CN112130420B - 湿空气生成装置、湿空气制备装置、方法以及光刻机 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种湿空气生成装置、湿空气制备装置、方法以及光刻机。所述湿空气制备装置包括供水装置、供气装置、湿空气生成装置和输出装置，所述供水装置用于给所述湿空气生成装置提供液态的预制水，所述供气装置用于给所述湿空气生成装置提供预制空气，所述湿空气生成装置用于混合预制水和预制空气以生成湿空气，所述输出装置用于排出所述湿空气生成装置中的湿空气。本发明中的湿空气制备装置利用液态的预制水在毛细管束组件中的毛细现象制备湿空气。由于液态的预制水在毛细管束组件中发生毛细现象，因此，可通过毛细管束组件增加液态的预制水的液面的面积，从而可增加液态的预制水的蒸发效率，进而提高湿空气的制备效率。

Description

湿空气生成装置、湿空气制备装置、方法以及光刻机
技术领域
本发明涉及光刻技术领域，特别涉及一种湿空气生成装置、湿空气制备装置、方法以及光刻机。
背景技术
现代光刻设备以光学光刻为基础，它利用光学系统把掩膜版上的图形精确地投影曝光到涂有光刻胶的衬底上，所述衬底通常为硅片。浸没式光刻是指在曝光镜头与衬底之间充满浸没液体(或者水)，通过曝光镜头与衬底之间充满的浸没液体取代传统干式光刻技术中对应位置处的空气。由于浸没液体的折射率比空气大，这就使得透镜组数值孔径大，进而可获得更小的特征线宽，提高光刻设备的光刻精度。
在浸没式光刻设备中，硅片表面以及硅片附件的浸没液体存在蒸发制冷的现象，特定区域如测量光路存在抗干扰能力差的问题，通常需要向这些区域提供超洁净湿空气(XCHA，eXtreme Clean HumidifiedAir)，减缓硅片表面以及硅片附件的浸没液体的蒸发制冷，或者增大测量光路上气体的比热熔进而增强抗干扰性能。
现有的浸没式光刻设备中，通常通过湿空气制备装置提供超洁净湿空气，然而，这些湿空气制备装置通常存在湿空气制备效率低的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种湿空气生成装置、湿空气制备装置、方法以及光刻机，以解决现有的湿空气制备装置的湿空气制备效率低的问题。
为解决上述技术问题，本发明提供一种湿空气生成装置，包括加湿腔体、毛细管束组件和水槽，所述水槽设置在所述加湿腔体内，所述水槽中设置有液态的预制水，所述毛细管束组件设置在所述水槽中，所述毛细管束组件用于将所述水槽中液态的预制水转换为气态的预制水；或者，包括加湿腔体和毛细管束组件，所述加湿腔体中设置有液态的预制水，所述毛细管束组件设置在所述加湿腔体中，所述毛细管束组件用于将所述加湿腔体中液态的预制水转换为气态的预制水。
可选的，所述毛细管束组件包括至少一个毛细管，所述毛细管包括管体、相互连通的进水口和出水口，所述进水口浸没在液态的预制水的液面下方，所述出水口设置在液态的预制水的液面上方。
可选的，所述毛细管束组件中的所述毛细管呈蜂窝状布置。
可选的，所述毛细管的出水口与所述预制水的液面之间的距离一致，所述毛细管的进水口高于所述水槽或者所述加湿腔体的底面。
可选的，所述毛细管出水口处一侧的管壁的边沿与所述液面的距离大于另一侧的管壁的边沿与所述液面的距离。
可选的，所述毛细管出水口处的管壁的边沿中，与毛细管内的液面距离较大的一侧的管壁在毛细管轴向上的截面呈“C”型。
本发明还提供一种湿空气制备装置，包括供水装置、供气装置、湿空气生成装置和输出装置，所述供水装置用于给所述湿空气生成装置提供液态的预制水，所述供气装置用于给所述湿空气生成装置提供预制空气，所述湿空气生成装置用于混合预制水和预制空气以生成湿空气，所述输出装置用于排出所述湿空气生成装置中的湿空气。
可选的，所述湿空气生成装置包括加湿腔体、毛细管束组件和水槽，所述水槽设置在所述加湿腔体内，所述供水装置用于给所述水槽提供液态的预制水，所述毛细管束组件设置在所述水槽中，所述毛细管束组件用于将所述水槽中液态的预制水转换为气态的预制水，所述供气装置用于向所述加湿腔体内提供预制空气，所述输出装置用于排出所述加湿腔体中的空气。
可选的，所述湿空气生成装置包括加湿腔体和毛细管束组件，所述供水装置用于给所述加湿腔体提供液态的预制水，所述毛细管束组件设置在所述加湿腔体中，所述毛细管束组件用于将所述加湿腔体中液态的预制水转换为气态的预制水，所述供气装置用于向所述加湿腔体内提供预制空气，所述输出装置用于排出所述加湿腔体中的空气。
可选的，所述毛细管束组件包括至少一个毛细管，所述毛细管包括管体、相互连通的进水口和出水口，所述进水口浸没在液态的预制水的液面下方，所述出水口设置在液态的预制水的液面上方，所述供气装置用于将预制空气输送到液态的预制水的液面上方。
可选的，所述毛细管束组件中的所述毛细管呈蜂窝状布置。
可选的，所述毛细管的出水口与所述预制水的液面之间的距离一致，所述毛细管的进水口高于所述水槽或者所述加湿腔体的底面。
可选的，所述毛细管出水口处一侧的管壁的边沿与所述液面的距离大于另一侧的管壁的边沿与所述液面的距离。
可选的，所述毛细管出水口处的管壁的边沿中，与所述预制水的液面的距离较大的一侧的管壁的内表面与所述供气装置提供的预制空气迎风设置。
可选的，所述毛细管出水口处的管壁的边沿中，与毛细管内的液面距离较大的一侧的管壁在毛细管轴向上的截面呈“C”型。
可选的，还包括废液排除装置，所述废液排除装置用于排除所述加湿腔体中的废液。
本发明还提供还一种湿空气制备方法，包括：给所述湿空气生成装置提供液态的预制水；给所述湿空气生成装置提供预制空气；湿空气生成装置混合预制水和预制空气以生成湿空气；排出所述湿空气生成装置中的湿空气。
可选的，所述湿空气生成装置包括加湿腔体、毛细管束组件和水槽，给所述湿空气生成装置提供的液态的预制水设置在所述水槽中，给所述湿空气生成装置提供的预制空气设置在所述加湿腔体中，所述湿空气生成装置混合预制水和预制空气以生成湿空气包括：毛细管束组件将水槽中液态的预制水转换为气态的预制水。
本发明还提供还一种光刻机，包括至少一个湿空气制备装置和目标装置，所述湿空气制备装置用于向所述目标装置输送湿空气，所述湿空气制备装置包括供水装置、供气装置、湿空气生成装置和输出装置，所述供水装置用于给所述湿空气生成装置提供液态的预制水，所述供气装置用于给所述湿空气生成装置提供预制空气，所述湿空气生成装置用于混合预制水和预制空气以生成湿空气，所述输出装置用于排出所述湿空气生成装置中的湿空气。
本发明提供的一种湿空气生成装置、湿空气制备装置、方法以及光刻机，具有以下有益效果：
首先，由于液态的预制水在毛细管束组件中发生毛细现象，因此，可通过毛细管束组件增加液态的预制水的液面的面积，从而可增加液态的预制水的蒸发效率，进而提高湿空气的制备效率。
其次，所述供水装置用于给所述湿空气生成装置提供液态的预制水，所述供气装置用于给所述湿空气生成装置提供预制空气，所述湿空气生成装置用于混合预制水和预制空气以生成湿空气，所述输出装置用于排出所述湿空气生成装置中的湿空气，因此可通过湿空气生成装置混合预制水和预制空气生成湿空气，由于湿空气生成装置具有湿空气生成效率高的特点，因此可有效提高制备湿空气的效率。
其次，所述湿空气制备装置通过在加湿腔体中设置毛细管束组件，并利用液态的预制水在毛细管束组件中的毛细现象，将毛细管束组件中液态的预制水转换为气态的预制水，并向加湿腔体中提供预制空气，从而制备湿空气。由于液态的预制水在毛细管束组件中发生毛细现象，因此，可通过毛细管束组件增加液态的预制水的液面的面积，从而可增加液态的预制水的蒸发效率，进而提高湿空气的制备效率。
附图说明
图1是本发明实施例一中湿空气制备装置的结构示意图；
图2是本发明实施例一中湿空气生成装置的结构示意图；
图3是本发明实施例一中毛细管束组件的截面示意图；
图4是本发明实施例一中毛细管束的截面示意图；
图5是本发明实施例三中湿空气制备装置的结构示意图；
图6是本发明实施例八中的光刻机的结构示意图。
附图标记说明：
100-供水装置；
200-供气装置；210-预制空气源装置；220-气体流量压力控制装置；N-预制空气；
300-湿空气生成装置；310-加湿腔体；320-毛细管束组件；321-毛细管；322-管体；323-进水口；324-出水口；325-一侧；326-另一侧；330-水槽；
400-输出装置；410-湿空气流量压力控制装置；420-处理单元；
500-废液排除装置；
P-预制水的液面；P1-预制水的液面的上方；P2-预制水的液面的下方；
601-主框架；602-照明系统；603-投影物镜；604-工件台；605-硅片；606-光电测量装置；607-测量光；608-浸液；609-浸液限制机构(浸没头)；610-掩模版。
具体实施方式
本发明的主要目的在于提供湿空气生成装置，所述湿空气生成装置通过在加湿腔体或者水槽中设置毛细管束组件，并利用液态的预制水在毛细管束组件中的毛细现象，将毛细管束组件中液态的预制水转换为气态的预制水，而制备湿空气。由于液态的预制水在毛细管束组件中发生毛细现象，因此，可通过毛细管束组件增加液态的预制水的液面的面积，从而可增加液态的预制水的蒸发效率，进而提高湿空气的制备效率。
相应的，本发明还提供一种湿空气制备装置，所述湿空气制备装置通过在加湿腔体中设置毛细管束组件，并利用液态的预制水在毛细管束组件中的毛细现象，将毛细管束组件中液态的预制水转换为气态的预制水，并向加湿腔体中提供预制空气，从而制备湿空气。由于液态的预制水在毛细管束组件中发生毛细现象，因此，可通过毛细管束组件增加液态的预制水的液面的面积，从而可增加液态的预制水的蒸发效率，进而提高湿空气的制备效率。
相应的，本发明还提供一种湿空气制备方法，所述湿空气制备方法通过在加湿腔体中设置毛细管束组件，并利用液态的预制水在毛细管束组件中的毛细现象，将毛细管束组件中的液态的预制水转换为气态的预制水，并向加湿腔体中提供预制空气，从而制备湿空气。
相应的，本发明还提供一种光刻机，所述光刻机包括上述的湿空气制备装置，所述湿空气制备装置用于向所述光刻机中的目标装置输送湿空气。
以下结合附图和具体实施例对本发明提出的湿空气生成装置、湿空气制备装置、方法以及光刻机作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
实施例一
本实施例提供一种湿空气制备装置。参考图1，图1是本发明实施例一中湿空气制备装置的结构示意图，所述湿空气制备装置包括供水装置100、供气装置200、湿空气生成装置300和输出装置400，所述供水装置100用于给所述湿空气生成装置300提供液态的预制水M，所述供气装置200用于给所述湿空气生成装置300提供预制空气N，所述湿空气生成装置300用于混合预制水M和预制空气N以生成湿空气，所述输出装置400用于排出所述湿空气生成装置300中的湿空气。
参考图2，图2是本发明实施例一中湿空气生成装置300的结构示意图，所述湿空气生成装置300包括加湿腔体310、毛细管束组件320和水槽330，所述水槽330设置在所述加湿腔体310内，所述供水装置100用于给所述水槽330提供液态的预制水M，所述毛细管束组件320设置在所述水槽330中，所述毛细管束组件320用于将所述水槽330中液态的预制水M转换为气态的预制水M，所述供气装置200用于向所述加湿腔体310内提供预制空气N，所述输出装置400用于排出所述加湿腔体310中的空气。
由于所述水槽330设置在所述加湿腔体310内，所述毛细管束组件320设置在所述水槽330中，所述毛细管束组件320用于将所述水槽330中液态的预制水M转换为气态的预制水M，因此所述加湿腔体310内设置有气态的预制水M。又由于所述供气装置200用于向所述加湿腔体310内提供预制空气N，因此所述加湿腔体310内还设置有预制空气N。又由于所述加湿腔体310内还设置有液态的预制水M，因此，在所述加湿腔体310内液态的预制水M、气态的预制水M和预制空气N可混合生成湿空气。由于液态的预制水M在毛细管束组件320中发生毛细现象，因此，可通过毛细管束组件320增加液态的预制水的液面P的面积，从而可增加液态的预制水M的蒸发效率，进而提高湿空气的制备效率。由于所述输出装置400可排出所述加湿腔体310中的空气，因此可进一步的利于将液态的预制水M转换为气态的预制水M，利于混合预制水M和预制空气N，从而提高湿空气的制备效率。此外，本实施例中通过毛细管束组件320即可高效的将液态的预制水M转换为气态的预制水M，可避免在预制水M和预制空气N中产生不必要的颗粒或者离子，从而污染预制水M和预制空气N，使湿空气的洁净度降低，最终影响光刻机的精度。再者，本实施例中无需通过加热即可高效的将液态的预制水M转换为气态的预制水M，制得的湿空气温度稳定，可降低湿空气温度控制的难度，温度控制精度高且能耗低。
具体的，参考图2，所述毛细管束组件320包括支架和至少一个毛细管321，所述毛细管321设置在所述支架上，所述支架设置在所述水槽330中。所述毛细管321包括管体322、相互连通的进水口323和出水口324，所述进水口323浸没在液态的预制水M的液面下方P2，所述出水口324设置在液态的预制水M的液面上方P1，所述供气装置200用于将预制空气N输送到液态的预制水的液面上方P1。由于所述毛细管束组件320包括至少一个毛细管321，而液态的预制水M在所述毛细管321中易发生毛细现象，因此，可通过毛细管321增大液态的预制水M的液面P的面积，从而可增加液态的预制水M的蒸发效率，进而提高湿空气的制备效率。在其的实施例中，所述毛细管321可通过支架直接设置在所述水槽330中，本发明对此不做限制。
优选的，参考图3，图3是本发明实施例一中毛细管束组件320的截面示意图，所述毛细管束组件320中的毛细管321呈蜂窝状布置，如此可进一步利于将水槽330中液态的预制水M转换为气态的预制水M。进一步，相邻的毛细管321相互接触，如此可使毛细管321密集布置，利于将水槽330中液态的预制水M转换为气态的预制水M。
优选的，参考图2，各个所述毛细管321的出水口324与所述预制水的液面P之间的距离一致。如此，可减小相邻的毛细管321之间的相互影响，进而避免降低毛细管束组件320将液态的预制水M转换为气态的预制水M的效率。进一步的，所述毛细管321的进水口323高于所述水槽330的底面，如此，可便于水槽330中的液态水进入毛细管321中，从而利于将水槽330中液态的预制水M转换为气态的预制水M。进一步的，所述毛细管321的出水口324与所述预制水的液面P之间的距离一致。
液态的预制水M在表面张力的作用下将毛细管321的管腔润湿，使毛细管321中液态的预制水的液面P弯曲。参考图4，图4是本发明实施例一中毛细管321的截面示意图，毛细管321中液态的预制水的液面P弯曲呈弯液面(meniscus)或弯月面，液态的预制水M在气液界面上蒸发。由于毛细管321中的液面呈弯液面(meniscus)或弯月面，使毛细管321中液面的表面积大于毛细管321的截面积，即使液态的预制水的液面P的面积增大，从而可利于将液态的预制水M蒸发转换为气态的预制水M。另外，由于毛细管321中的液面呈弯液面(meniscus)或弯月面，毛细管321内液态的预制水M中存在的分离压力和毛细力，导致气液界面出现液相和气相的压力差，此时，毛细管321中的蒸汽压力可用拓展的Young–Laplace方程表示：
Pv＝Pc+Pd+Pl
其中，Pv为蒸汽压力，Pl为液体压力，Pc为毛细力，Pd为脱离压力。大量研究表明，毛细管321中的弯液面(meniscus)或弯月面在蒸发的过程中，毛细管321中的液面呈弯液面(meniscus)或弯月面可提高液态的预制水M蒸发的动力，毛细管321中的气-液界面有高效的热量质量传递能力，利于将液态的预制水M蒸发转换为气态的预制水M，从而提高湿空气的制备效率。
另外，参考图4，所述毛细管321出水口324处一侧325的管壁的边沿与所述液面的距离大于所述另一侧326的管壁的边沿与所述液面的距离。其中，所述毛细管321出水口324处的管壁的边沿中，与液面的距离较大的一侧的管壁的内表面与供气装置200提供的预制空气N迎风设置。如此，当供气装置200提供的预制空气N流经毛细管321的出水口324时，受到毛细管321出水口324处的管壁的边沿中，与液面的距离较大的一侧325的管壁的内表面的阻挡，从而在毛细管321出水口324附近形成回流和紊流，从而可提升液态的预制水M的蒸发速度，同时可便于预制水M与预制空气N混合，进而提高湿空气的制备效率。
如图4所示，所述毛细管321出水口324处的管壁的边沿中，与毛细管321内的液面的距离较大的一侧的管壁向所述毛细管321的管腔内部弯折，如此可进一步的加强阻挡预制空气N的效果，使预制空气N与预制水M充分混合，同时提高毛细管束组件320中预制水M的蒸发速度，进一步改善湿气制备的效率。
具体的，所述毛细管321出水口324处的管壁的边沿中，与毛细管321内的液面距离较大的一侧325的管壁在毛细管321轴向上的截面呈“C”型。在其他的实施例，所述毛细管321出水口324处的管壁的边沿中，与毛细管321内的液面距离较大的一侧325还可呈其他的形状，例如为倒“L”型，或者仅与所述毛细管321的管壁有一个折角，只要可以阻挡供气装置200提供的预制空气N即可。
所述湿空气生成装置300还包括废液排除装置500，所述废液排除装置500用于排除所述加湿腔体310中的废液。由于所述加湿腔体310中气态的预制水M容易冷凝，这些冷凝的废液容易聚集在加湿腔体310中，如聚集在加湿腔体310的内壁上，或者加湿腔体310的底部，如若不将这些废液及时排出，则易影响湿空气制备效率，因此，通过设置废液排除装置500可避免湿空气制备效率受到影响。具体的，所述废液排除装置500可采用抽排的方式排除废液。所述废液排除装置500优选从所述加湿腔体310的底部排出废液。
参考图1，所述供水装置100包括预制水源装置和液体流量压力控制装置，所述预制水源装置用于提供液态的预制水M，所述液体流量压力控制装置用于控制所述液态的预制水M的流量和压力。所述预制水M可以是超纯水(UPW，Ultra Pure Water)。所述供水装置100工作时，将所述预制水源装置中的预制水M经过液体流量压力控制装置处理后输送到所述水槽330中，以为所述水槽330中的毛细管束组件320提供液态的预制水M。
参考图1，所述供气装置200包括预制空气源装置210和气体流量压力控制装置220，所述预制水源装置用于提供预制空气N，所述气体流量压力控制装置220用于控制所述气态的预制水M的流量和压力。所述预制空气N可以是超洁净压缩空气(XCDA，eXtremeClean compressed DryAir)。所述供气装置200工作时，将所述预制空气源装置210中的预制空气N经过气体流量压力控制装置220处理后输送到加湿腔体310中。
所述预制空气N优选向所述毛细管束组件320的上方吹送，以利于所述预制空气N与气态的预制水M混合，并提高液态的预制水M转换成气态的预制水M的效率。
所述供气装置200还包括至少一个喷嘴，所述喷嘴用于向所述毛细管束组件320上方输送预制空气N。
所述输出装置400包括湿空气流量压力控制装置410、处理单元420和湿空气分流装置，所述湿空气流量压力控制装置410用于控制所述湿空气的流量和压力，所述处理单元420用于对所述湿空气进行温度处理和过滤处理，所述湿空气分流装置用于将经所述处理单元420处理后的湿空气通过至少一个输出通道输出。例如，本实施例中的湿空气制备装置可用于向光刻机中的浸没头输送湿空气，还用于向测量光路中输送湿空气，则所述湿空气制备装置的湿空气分流装置可包括两个输出通道，一个输出通道向浸没头输送湿空气，另一个输出通道向测量光路中输送湿空气。本实施例中的湿空气制备装置可仅用于向光刻机中的浸没头输送湿空气，则所述湿空气制备装置的湿空气分流装置仅包括一个输出通道。
本实施例中，所述湿空气制备装置在工作的过程中，将预制水源装置内液态的预制水M通过液体流量压力控制装置控制后供给至水槽330中；将水槽330中液态的预制水M通过毛细管束组件320蒸发转换成气态的预制水M；将预制空气源装置210中的预制空气N通过气体流量压力控制装置220控制后供给至加湿腔体310中毛细管束组件320上方；将加湿腔体310中的气体(湿空气)依次经湿空气流量压力控制装置410、处理单元420和湿空气分流装置后输送至目标工位，例如输送至光刻机的点浸没头和测量光路处。
实施例二
本实施例提供一种湿空气制备装置。本实施例中的湿空气制备装置与实施例一中的湿空气制备装置的区别在于，所述湿空气生成装置300中所述毛细管束组件320的数量为两个，两个所述毛细管束组件320沿预制水的液面P并排设置在所述水槽330中。设置多个毛细管束组件320可增加加湿流量。在其他的实施例中，所述毛细管束组件320的数量还可为三个、四个或者五个，这些毛细管束组件320均可以并排的方式设置在所述水槽330中，本发明对设置在所述水槽330中的毛细管束组件320的数量不做限制。
实施例三
本实施例提供一种湿空气制备装置。本实施例中的湿空气制备装置与实施例一中的湿空气制备装置的区别在于，所述湿空气生成装置300中包括至少两个水槽330，每个水槽330中设置有至少一个毛细管束组件320。多个所述水槽330可沿预制水的液面P并排设置，也可以在与所述预制水的液面P垂直的方向上并排设置，还可以部分可沿预制水的液面P并排设置，部分在与所述预制水的液面P垂直的方向上并排设置。
参考图5，图5是本发明实施例三中湿空气制备装置的结构示意图，所述水槽330的数量为两个，一个所述水槽330中设置有一个毛细管束组件320。两个所述水槽330在与所述预制水的液面P垂直的方向上并排设置。如此，可减小湿空气生成装置300的占地面积，进而减小湿空气制备装置的占地面积。
所述供水装置100还包括供水分流装置，所述供水分流装置用于将经所述液体流量压力控制装置处理后的预制水M，通过两个输出通道分别输出到两个水槽330中。在其他的实施例中，所述水槽330的数量还可为多个，所述供水分流装置可将经所述液体流量压力控制装置处理后的预制水M通过多个通道输出到各个水槽330中，所述供水分流装置中的通道的数量与所述水槽330的数量相对应。
所述供气装置200还包括供气分流装置，所述供气分流装置用于将经所述气体流量压力控制装置220处理后的预制空气N，通过两个输出通道分别输出致两个水槽330的上方。在其他的实施例中，所述水槽330的数量还可为多个，所述供气分流装置可将经所述气体流量压力控制装置220处理后的预制空气N通过多个通道输出到各个水槽330的上方，所述供气分流装置中通道的数量与所述水槽330的数量相对应。
实施例四
本实施例提供一种湿空气制备装置。本实施例中的湿空气制备装置与实施例一中的湿空气制备装置的区别在于，所述湿空气生成装置300不包括水槽330和废液排除装置500。
具体的，供水装置100用于给加湿腔体310提供液态的预制水M，所述毛细管束组件320设置在所述加湿腔体310中，所述毛细管束组件320用于将所述加湿腔体310中液态的预制水M转换为气态的预制水M，所述供气装置200用于向所述加湿腔体310内提供预制空气N，所述输出装置400用于排出所述加湿腔体310中的空气。
实施例五
本实施例提供一种湿空气制备装置。本实施例中的湿空气制备装置与实施例四中的湿空气制备装置的区别在于，所述湿空气生成装置300中的毛细管束组件320的数量为两个，两个所述毛细管束组件320沿预制水的液面P并排设置在所述加湿腔体310中。在其他的实施例中，所述毛细管束组件320的数量还可为三个、四个或者五个，这些毛细管束组件320均可以并排的方式设置在所述加湿腔体310中，本发明对设置在所述加湿腔体310中的毛细管束组件320的数量不做限制。
实施例六
本实施例提供一种湿空气制备装置。本实施例中的湿空气制备装置与实施例四中的湿空气制备装置的区别在于，所述湿空气生成装置300中包括至少两个加湿腔体310，每个加湿腔体310中设置有至少一个毛细管束组件320。多个所述加湿腔体310可沿预制水的液面P并排设置，也可以在与所述预制水的液面P垂直的方向上并排设置，还可以部分可沿预制水的液面P并排设置，部分在与所述预制水的液面P垂直的方向上并排设置。
所述供水装置100还包括供水分流装置，所述供水分流装置用于将经所述液体流量压力控制装置处理后的预制水M，通过多个输出通道分别输出到多个加湿腔体310中。在其他的实施例中，所述加湿腔体310的数量还可为多个，所述供水分流装置可将经所述液体流量压力控制装置处理后的预制水M通过多个通道输出到各个加湿腔体310中，所述供水分流装置中的通道的数量与所述加湿腔体310的数量相对应。
所述供气装置200还包括供气分流装置，所述供气分流装置用于将经所述气体流量压力控制装置220处理后的预制空气N，通过多个输出通道分别输出至多个加湿腔体310内，所述供气分流装置中通道的数量与所述加湿腔体310的数量相对应。
所述湿空气制备装置包括至少一个输出装置400，所述输出装置400的数量与所述加湿腔体310的数量相对应，一个输出装置400用于排出一个加湿腔体310中的空气。
实施例七
本实施例提供一种湿空气制备方法。所述湿空气制备方法包括：给所述湿空气生成装置300提供液态的预制水M；给所述湿空气生成装置300提供预制空气N；湿空气生成装置300混合预制水M和预制空气N以生成湿空气；排出所述湿空气生成装置300中的湿空气。
其中，所述湿空气生成装置300包括加湿腔体310、毛细管束组件320和水槽330，给所述湿空气生成装置300提供的液态的预制水M设置在水槽330中，给所述湿空气生成装置300提供的预制空气N设置在加湿腔体310中，毛细管束组件320将水槽330中液态的预制水M转换为气态的预制水M。
实施例八
本实施例提供一种光刻机。所述光刻机包括上述实施例中的任一种或者多种湿空气制备装置，所述湿空气制备装置用于向所述光刻机中的目标装置输送湿空气，所述光刻机包括至少一个所述湿空气制备装置。
如图6所示，图6是本发明实施例八中的光刻机的结构示意图。所述光刻机包括：主框架601、照明系统602、投影物镜603、工件台604、硅片605、光电测量装置606、测量光607、浸液608、浸液限制机构(浸没头)609、掩模版610。其中，所述主框架601支撑照明系统602、投影物镜603和工件台604，工件台604上放置有涂有感光光刻胶的硅片605。所述光刻机为浸没式光刻机，在投影物镜603和硅片605之间的缝隙内填充有浸液608(水)。工作时，光电测量装置606通过处理测量光607获取工件台604的位置，工件台604带动硅片605作高速的扫描、步进动作，浸液限制机构(浸没头)609根据工件台604的运动状态，在投影物镜603视场范围，提供一个稳定的浸液608流场，同时保证流场与外界密封，保证液体不泄漏。掩模版610上集成电路的图形通过照明系统602和投影物镜603，浸液608以成像曝光的方式，转移到涂有感光胶的硅片605上，从而完成曝光。
所述湿空气制备装置用于向所述光刻机中的浸液608限制机构输送湿空气，以减缓浸液608蒸发制冷。所述湿空气制备装置还用于向所述测量光路输送湿空气，以增大光路上气体比热熔进而增强抗干扰性能。
上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (16)

1.一种湿空气生成装置，其特征在于，包括加湿腔体、毛细管束组件和水槽，所述水槽设置在所述加湿腔体内，所述水槽中设置有液态的预制水，所述毛细管束组件设置在所述水槽中，所述毛细管束组件用于将所述水槽中液态的预制水转换为气态的预制水；或者，包括加湿腔体和毛细管束组件，所述加湿腔体中设置有液态的预制水，所述毛细管束组件设置在所述加湿腔体中，所述毛细管束组件用于将所述加湿腔体中液态的预制水转换为气态的预制水；
所述毛细管束组件包括至少一个毛细管，所述毛细管包括管体、相互连通的进水口和出水口，所述进水口浸没在液态的预制水的液面下方，所述出水口设置在液态的预制水的液面上方；所述毛细管出水口处一侧的管壁的边沿与所述液面的距离大于另一侧的管壁的边沿与所述液面的距离。
2.如权利要求1所述的湿空气生成装置，其特征在于，所述毛细管束组件中的所述毛细管呈蜂窝状布置。
3.如权利要求1所述的湿空气生成装置，其特征在于，所述毛细管的进水口高于所述水槽或者所述加湿腔体的底面。
4.如权利要求1所述的湿空气生成装置，其特征在于，所述毛细管出水口处的管壁的边沿中，与毛细管内的液面距离较大的一侧的管壁在毛细管轴向上的截面呈“C”型。
5.一种湿空气制备装置，其特征在于，包括供水装置、供气装置、如权利要求1至4任一项所述的湿空气生成装置和输出装置，所述供水装置用于给所述湿空气生成装置提供液态的预制水，所述供气装置用于给所述湿空气生成装置提供预制空气，所述湿空气生成装置用于混合预制水和预制空气以生成湿空气，所述输出装置用于排出所述湿空气生成装置中的湿空气。
6.如权利要求5所述的湿空气制备装置，其特征在于，所述湿空气生成装置包括加湿腔体、毛细管束组件和水槽，所述水槽设置在所述加湿腔体内，所述供水装置用于给所述水槽提供液态的预制水，所述毛细管束组件设置在所述水槽中，所述毛细管束组件用于将所述水槽中液态的预制水转换为气态的预制水，所述供气装置用于向所述加湿腔体内提供预制空气，所述输出装置用于排出所述加湿腔体中的空气。
7.如权利要求5所述的湿空气制备装置，其特征在于，所述湿空气生成装置包括加湿腔体和毛细管束组件，所述供水装置用于给所述加湿腔体提供液态的预制水，所述毛细管束组件设置在所述加湿腔体中，所述毛细管束组件用于将所述加湿腔体中液态的预制水转换为气态的预制水，所述供气装置用于向所述加湿腔体内提供预制空气，所述输出装置用于排出所述加湿腔体中的空气。
8.如权利要求6或7任一项所述的湿空气制备装置，其特征在于，所述供气装置用于将预制空气输送到液态的预制水的液面上方。
9.如权利要求8所述的湿空气制备装置，其特征在于，所述毛细管束组件中的所述毛细管呈蜂窝状布置。
10.如权利要求8所述的湿空气制备装置，其特征在于，所述毛细管的进水口高于所述水槽或者所述加湿腔体的底面。
11.如权利要求5所述的湿空气制备装置，其特征在于，所述毛细管出水口处的管壁的边沿中，与所述预制水的液面的距离较大的一侧的管壁的内表面与所述供气装置提供的预制空气迎风设置。
12.如权利要求5所述的湿空气制备装置，其特征在于，所述毛细管出水口处的管壁的边沿中，与毛细管内的液面距离较大的一侧的管壁在毛细管轴向上的截面呈“C”型。
13.如权利要求5所述的湿空气制备装置，其特征在于，还包括废液排除装置，所述废液排除装置用于排除所述加湿腔体中的废液。
14.一种湿空气制备方法，其特征在于，利用如权利要求1至4任一项所述的湿空气生成装置，所述湿空气制备方法包括：
给所述湿空气生成装置提供液态的预制水；
给所述湿空气生成装置提供预制空气；
湿空气生成装置混合预制水和预制空气以生成湿空气；
排出所述湿空气生成装置中的湿空气。
15.如权利要求14所述的湿空气制备方法，其特征在于，所述湿空气生成装置包括加湿腔体、毛细管束组件和水槽，给所述湿空气生成装置提供的液态的预制水设置在所述水槽中，给所述湿空气生成装置提供的预制空气设置在所述加湿腔体中，所述湿空气生成装置混合预制水和预制空气以生成湿空气包括：毛细管束组件将水槽中液态的预制水转换为气态的预制水。
16.一种光刻机，其特征在于，包括至少一个湿空气制备装置和目标装置，所述湿空气制备装置用于向所述目标装置输送湿空气，所述湿空气制备装置包括供水装置、供气装置、如权利要求1至4任一项所述的湿空气生成装置和输出装置，所述供水装置用于给所述湿空气生成装置提供液态的预制水，所述供气装置用于给所述湿空气生成装置提供预制空气，所述湿空气生成装置用于混合预制水和预制空气以生成湿空气，所述输出装置用于排出所述湿空气生成装置中的湿空气。
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