CN112129973A - 辅助固定装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种辅助固定装置，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，包括两个夹持臂及两个固定半环，两个所述夹持臂的一端相互连接，两个所述夹持臂的另一端分别与两个所述固定半环连接，两个所述夹持臂的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环相互靠近并围合成一个整环，所述整环的内壁与所述样品固定器接触并夹紧所述样品固定器，旋转两个所述夹持臂以带动所述样品固定器旋转。通过用手操纵两个所述夹持臂不仅能够将所述样品固定器夹紧，还可以通过旋转所述夹持臂来带动所述样品固定器旋转，由于夹持臂具有一定的长度，避免了用手直接旋转样品固定器的过程中容易触碰到纳米探针台上的探针的问题，从而避免对探针造成损坏。
Description
技术领域
本发明涉及半导体失效分析技术领域，尤其涉及一种辅助固定装置。
背景技术
纳米探针台是一种集成了扫描电子显微镜(SEM)的纳米探针系统，可对集成电路芯片中的器件进行纳米级失效分析，如电学特性参数测量、纳米级断路及短路失效定位、高低温特性量测等。对于常规测试，只需要将样品粘贴在普通的固定器上，通过样品传送杆送进检测腔室内部，随后进行测试。然而高低温测试需要特殊的样品台，以及带有螺纹的特殊固定器来放置样品，放样品时，首先要把样品台升到特定位置，然后手持固定器进行旋转数圈后将螺纹旋紧以将固定器固定在所述样品台上。
然而在实际操作中发现，手持特殊固定器进行旋转的过程中存在较大风险，极易碰到价格昂贵的探针，造成针尖损坏，影响工作效率，增加测试成本。
发明内容
本发明的目的在于提供一种辅助固定装置，能够有效解决用手直接旋转样品固定器的过程中容易触碰到纳米探针台上的探针的问题。
为了达到上述目的，本发明提供了一种辅助固定装置，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，包括两个夹持臂及两个固定半环，两个所述夹持臂的一端相互连接，两个所述夹持臂的另一端分别与两个所述固定半环连接，两个所述夹持臂的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环相互靠近并围合成一个整环，所述整环的内壁与所述样品固定器接触并夹紧所述样品固定器，旋转两个所述夹持臂以带动所述样品固定器旋转。
可选的，所述样品固定器包括承载台及连接杆，所述承载台的上表面设置有一待测样品，所述连接杆的一端与所述承载台的下表面连接，另一端设置有外螺纹并通过所述外螺纹与所述纳米探针台螺纹连接。
可选的，两个所述固定半环的内壁上均设置有弧形凹槽，两个所述固定半环围合成一个整环时，两个固定半环上的弧形凹槽围合成一环形凹槽，所述承载台卡入所述环形凹槽内。
可选的，两个所述弧形凹槽的内壁上均设置有一弹性层。
可选的，两个所述固定半环的内壁上均设置有一弹性层。
可选的，所述弹性层为橡胶。
可选的，两个所述夹持臂的一端交汇于同一点。
可选的，两个所述夹持臂的一端通过一弧形连杆连接；或者，两个所述夹持臂交叉设置，且两个所述夹持臂在交叉处相互铰接。
可选的，两个所述夹持臂及两个所述固定半环的材质均为金属。
可选的，两个所述夹持臂及两个所述固定半环的材质均为奥氏体不锈钢。
本发明提供了一种辅助固定装置，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，包括两个夹持臂及两个固定半环，两个所述夹持臂的一端相互连接，两个所述夹持臂的另一端分别与两个所述固定半环连接，两个所述夹持臂的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环相互靠近并围合成一个整环，所述整环的内壁与所述样品固定器接触并夹紧所述样品固定器，旋转两个所述夹持臂以带动所述样品固定器旋转。通过用手操纵两个所述夹持臂不仅能够将所述样品固定器夹紧，还可以通过旋转所述夹持臂来带动所述样品固定器旋转，由于夹持臂具有一定的长度，避免了用手直接旋转样品固定器的过程中容易触碰到纳米探针台上的探针的问题，从而避免对探针造成损坏，整个装置结构简单，方便操作，工作效率高。
附图说明
图1为本发明实施例提供的辅助固定装置的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的样品固定器的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的固定半环的结构示意图；
图4为本发明实施例提供的弹性层的结构示意图；
图5-图6为本发明实施例提供的辅助固定装置的另外两种结构示意图；
其中，附图标记为：
10-夹持臂；20-固定半环；30-承载台；40-连接杆；50-弧形凹槽；60-弹性层。
具体实施方式
下面将结合示意图对本发明的具体实施方式进行更详细的描述。根据下列描述，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
如图1所示，本实施例提供了一种辅助固定装置，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，包括两个夹持臂10及两个固定半环20，两个所述夹持臂10的一端相互连接，两个所述夹持臂10的另一端分别与两个所述固定半环20连接，两个所述夹持臂10的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环20相互靠近并围合成一个整环，所述整环的内壁与所述样品固定器接触并夹紧所述样品固定器，旋转两个所述夹持臂10以带动所述样品固定器旋转。
具体的，请参照图2，所述样品固定器包括相互连接的承载台30和连接杆40，所述承载台30的上表面设置有一待测样品，所述连接杆40的一端与所述承载台30的下表面连接，另一端设置有外螺纹并通过所述外螺纹与所述纳米探针台螺纹连接。可以理解为所述纳米探针台上的设定位置处设置有螺纹孔，通过将所述连接杆40旋入所述螺纹孔内以将所述样品固定器固定在所述纳米探针台上。
本实施例中，所述样品固定器可以是一体成型结构，也可以是将承载台30的底面与连接杆40的一端焊接而成，还可以是承载台30与连接杆40可拆卸连接形成，例如是螺纹连接，本申请对此不作限制。
本实施例中，所述承载台30的形状例如是方形或圆盘形，本申请对此不作限制，本实施例中，所述承载台30为圆盘形，且所述承载台30的表面的面积大于待测样品的面积，以更好的固定住所述待测样品样品。
本实施例中，所述待测样品例如是晶圆、芯片或其他待测试的器件，本申请对此不作限制。所述待测样品与所述承载台30的固定方式为胶粘，以避免对待测样品的表面造成损伤，且胶粘的方式容易取下待测样品。所述胶粘的粘剂包括但不限于是银胶。
请继续参照图1，两个所述夹持臂10的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环20相互靠近并围合成一个整环，所述整环的内壁与所述样品固定器接触并夹紧所述样品固定器，旋转两个所述夹持臂10以带动所述样品固定器旋转。由于夹持臂10具有一定的长度，通过用手操纵两个所述夹持臂10不仅能够将所述样品固定器夹紧，还可以通过旋转所述夹持臂10来带动所述样品固定器旋转，避免了用手直接旋转样品固定器的过程中容易触碰到纳米探针台上的探针的问题，从而避免对探针造成损坏。
具体操作时，可先将样品固定在所述样品固定器上，然后通过检测人员用手使两个所述夹持臂10的另一端相对运动以夹住所述样品固定器，之后再用手旋转所述夹持臂10以带动所述样品固定器旋转，进而将所述样品固定器固定在所述纳米探针台上，整个装置结构简单，操纵方便，且工作效率高。
本实施例中，所述夹持臂10与所述固定半环20可以是一体成型结构，也可以通过焊接、螺纹连接以及其它的连接方式连接而成，本申请对此不作限制。
请参照图3，两个所述固定半环20的内壁上均设置有弧形凹槽50，两个所述固定半环20围合成一个整环时，两个固定半环20上的弧形凹槽50围合成一环形凹槽，所述承载台30卡入所述环形凹槽内。通过设置弧形凹槽50以便于更好的固定住所述样品固定器，防止所述样品固定器在旋转过程中脱落或掉落。
本实施例中，所述弧形凹槽50位于所述固定半环20的内壁下半部分，相当于所述固定半环20的下半部分的直径要大于所述固定半环20的上半部分的直径。当然，所述弧形凹槽50也可以是位于所述固定半环20的内壁的中间区域，或是位于所述固定半环20的内壁上的其它位置，本申请对此不作任何限制。
本实施例中，所述环形凹槽的尺寸与所述承载台30的尺寸相匹配。
请参照图4，两个所述弧形凹槽50的内壁上均设置有一弹性层60。由于弹性层60具有可逆形变的特性，在很小的外力作用下能产生较大形变，除去外力后能恢复原状。当两个所述夹持臂10的另一端相对运动时，所述弧形凹槽50通过所述弹性层60与所述承载台30的侧壁接触，在外力的作用下使得承载台30与所述弹性层60相互挤压，不仅能够更好地固定住所述样品固定器，同时还能起到一定的缓冲作用，避免对所述样品固定器的接触面造成损伤。
本实施例中，所述弹性层60为橡胶。橡胶具有很好的耐磨性及很高的弹性，能够反复利用，使用寿命长。
应当理解的是，所述固定半环20的内壁上也可以不设置弧形凹槽50，只要两个固定半环20围合的整环的尺寸与所述承载台30的尺寸相匹配即可。当所述固定半环20上没有设置所述弧形凹槽50内，两个所述固定半环20的内壁上均设置有一弹性层60。同理，所述弹性层60一是为了更好地夹紧样品固定器，提高稳固性，二是起缓冲作用。
请继续参照图1，两个所述夹持臂10的一端交汇于同一点。可以理解为两个夹持臂10的结构类似于镊子，通过用手控制两个所述夹持臂10之间的间距以控制以使两个所述固定半环20相互靠近。
或者，请参照图5及图6，图5-图6为本发明实施例提供的辅助固定装置的另外两种结构示意图，如图5所示，两个所述夹持臂10的一端通过一弧形连杆连接，如图6所示，两个所述夹持臂10交叉设置，且两个所述夹持臂10在交叉处相互铰接，类似于剪刀的结构。因此，本申请对于两个夹持臂10的连接方式不作任何限制，只要两个所述夹持臂10的一端连接，且通过用手能够控制两个所述夹持臂10的另一端相对运动即可。
可选的，两个所述夹持臂10及两个所述固定半环20的材质均为金属。采用金属材质的夹持臂10及固定半环20，具有更高的强度和硬度，能够长时间的使用。
本实施例中，两个所述夹持臂10及两个所述固定半环20的材质均为奥氏体不锈钢。奥氏体不锈钢无磁性、抗氧化性好及抗腐蚀能力强，既能在使用过程中避免对纳米探针造成影响，又具有较长的使用寿命，是较佳的选择。当然，所述夹持臂10及所述固定半环20也可以采用其他的金属材料，例如铝，本申请对此不作限制。
综上，本发明实施例提供了一种辅助固定装置，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，包括两个夹持臂及两个固定半环，两个所述夹持臂的一端相互连接，两个所述夹持臂的另一端分别与两个所述固定半环连接，两个所述夹持臂的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环相互靠近并围合成一个整环，所述整环的内壁与所述样品固定器接触并夹紧所述样品固定器，旋转两个所述夹持臂以带动所述样品固定器旋转。通过用手操纵两个所述夹持臂不仅能够将所述样品固定器夹紧，还可以通过旋转所述夹持臂来带动所述样品固定器旋转，由于夹持臂具有一定的长度，避免了用手直接旋转样品固定器的过程中容易触碰到纳米探针台上的探针的问题，从而避免对探针造成损坏。整个装置结构简单，方便操作。
上述仅为本发明的优选实施例而已，并不对本发明起到任何限制作用。任何所属技术领域的技术人员，在不脱离本发明的技术方案的范围内，对本发明揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本发明的技术方案的内容，仍属于本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种辅助固定装置，用于将一样品固定器固定在纳米探针台上，其特征在于，包括两个夹持臂及两个固定半环，两个所述夹持臂的一端相互连接，两个所述夹持臂的另一端分别与两个所述固定半环连接，两个所述夹持臂的另一端能够相对运动以使两个所述固定半环相互靠近并围合成一个整环，所述整环的内壁与所述样品固定器接触并夹紧所述样品固定器，旋转两个所述夹持臂以带动所述样品固定器旋转。
2.如权利要求1所述的辅助固定装置，其特征在于，所述样品固定器包括承载台及连接杆，所述承载台的上表面设置有一待测样品，所述连接杆的一端与所述承载台的下表面连接，另一端设置有外螺纹并通过所述外螺纹与所述纳米探针台螺纹连接。
3.如权利要求2所述的辅助固定装置，其特征在于，两个所述固定半环的内壁上均设置有弧形凹槽，两个所述固定半环围合成一个整环时，两个固定半环上的弧形凹槽围合成一环形凹槽，所述承载台卡入所述环形凹槽内。
4.如权利要求3所述的辅助固定装置，其特征在于，两个所述弧形凹槽的内壁上均设置有一弹性层。
5.如权利要求1所述的辅助固定装置，其特征在于，两个所述固定半环的内壁上均设置有一弹性层。
6.如权利要求4或5所述的辅助固定装置，其特征在于，所述弹性层为橡胶。
7.如权利要求1所述的辅助固定装置，其特征在于，两个所述夹持臂的一端交汇于同一点。
8.如权利要求1所述的辅助固定装置，其特征在于，两个所述夹持臂的一端通过一弧形连杆连接；或者，两个所述夹持臂交叉设置，且两个所述夹持臂在交叉处相互铰接。
9.如权利要求1所述的辅助固定装置，其特征在于，两个所述夹持臂及两个所述固定半环的材质均为金属。
10.如权利要求9所述的辅助固定装置，其特征在于，两个所述夹持臂及两个所述固定半环的材质均为奥氏体不锈钢。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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