CN112093298A - 一种电子级氢氟酸生产用罐装设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种电子级氢氟酸生产用罐装设备，具体涉及氢氟酸生产技术领域，包括底座、设置于底座上方的贮存罐和连接于底座与贮存罐之间的支撑座，所述贮存罐内部贯穿开设有多个通风道，多个所述通风道水平设置且两端贯通，所述贮存罐外壁上环绕设置有循环水管，所述循环水管位于贮存罐顶部的一端处设置有传动装置，所述贮存罐端部外壁上设置有冷却组件。本发明采用冷却水驱动水轮叶带动旋转轴转动，进而带动整个冷却组件工作的方式，使整个设备组件内没有会产生大量热量的部件，在进行大量贮藏时，降低了库房的散热压力，也提升了库房的通风性。

Description

一种电子级氢氟酸生产用罐装设备
技术领域
本发明涉及氢氟酸生产技术领域，更具体地说，本发明涉及一种电子级氢氟酸生产用罐装设备。
背景技术
电子级氢氟酸主要用于集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)芯片的清洗和腐蚀,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品，目前,在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业,其他方面用量较少。
电子级氢氟酸应储存在避光、阴凉通，风处,温度不宜超过19.54℃,大多数的氢氟酸储存罐着重强调抗腐蚀性,而忽略了保存方法,现有的氢氟酸储存罐上并没有设置可以降温的装置,大多采用外力散热的方式，局限性较大,不便于氢氟酸的储存。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供如下技术方案：一种电子级氢氟酸生产用罐装设备，包括底座、设置于底座上方的贮存罐和连接于底座与贮存罐之间的支撑座，所述贮存罐内部贯穿开设有多个通风道，多个所述通风道水平设置且两端贯通，所述贮存罐外壁上环绕设置有循环水管，所述循环水管位于贮存罐顶部的一端处设置有传动装置，所述贮存罐端部外壁上设置有冷却组件；
所述传动装置包括贯穿于循环水管的第一旋转轴、固定于第一旋转轴外壁上的多个水轮叶、套设于第一旋转轴外部的多个套管和连接于套管与循环水管内壁之间的连接杆，所述水轮叶设置于第一旋转轴位于循环水管内的一端，所述第一旋转轴远离循环水管的一端设置有第一同步轮；
所述冷却组件包括安装于贮存罐端部外壁上的轴承、插接于轴承内部的第二旋转轴和固定于第二旋转轴端部的降温扇叶，所述第二旋转轴外部套设有第二同步轮。
在一个优选地实施方式中，所述第一旋转轴与循环水管的连接处设置有机械密封，所述第一旋转轴通过机械密封与循环水管活动连接。
在一个优选地实施方式中，多个所述水轮叶和套管依次间隔设置，所述第一旋转轴通过机械密封、套管和连接杆与循环水管活动连接。
在一个优选地实施方式中，所述底座表面设置有蓄水箱和循环水泵，所述循环水管与蓄水箱和循环水泵连接。
在一个优选地实施方式中，所述第一旋转轴与第二旋转轴通过第一同步轮、第二同步轮和同步带传动连接，所述轴承的安装位置为贮存罐端部外壁的中心处。
在一个优选地实施方式中，所述贮存罐顶部设置有进料管，所述底座底部设置有多个活动轮，所述贮存罐外壁上还设置温度计。
本发明的技术效果和优点：
1、设置的循环水管等部件可以带动冷却水对贮存罐进行降温恒温，使贮存罐的温度保持在一个恒定的范围内，且贮存罐中设置多个贯通的通风道，利用流动的冷却水驱动水轮叶进而带动冷却部件工作，产生气流，气流从贮存罐的外部和通风道内流过整个贮存罐，进一步提升了贮存罐的恒温效果；
2、采用冷却水驱动水轮叶带动旋转轴转动，进而带动整个冷却组件工作的方式，循环水泵的温度与冷却水温度相当，使整个设备组件内没有会产生大量热量的部件，在进行大量贮藏时，降低了库房的散热压力，也提升了库房的通风性。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图。
图2为本发明的图1中A处细节结构示意图。
图3为本发明的图1中B-B处剖面结构示意图。
图4为本发明的贮存罐内部结构示意图。
图5为本发明的贮存罐横剖结构示意图。
附图标记为：1底座、2贮存罐、3支撑座、4通风道、5循环水管、6传动装置、7冷却组件、8第一旋转轴、9水轮叶、10套管、11连接杆、12第一同步轮、13轴承、14第二旋转轴、15降温扇叶、16第二同步轮、17机械密封、18蓄水箱、19循环水泵、20进料管、21活动轮、22温度计。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1-5所示的一种电子级氢氟酸生产用罐装设备，包括底座1、设置于底座1上方的贮存罐2和连接于底座1与贮存罐2之间的支撑座3，所述贮存罐2内部贯穿开设有多个通风道4，多个所述通风道4水平设置且两端贯通，所述贮存罐2外壁上环绕设置有循环水管5，所述循环水管5位于贮存罐2顶部的一端处设置有传动装置6，所述贮存罐2端部外壁上设置有冷却组件7；
所述传动装置6包括贯穿于循环水管5的第一旋转轴8、固定于第一旋转轴8外壁上的多个水轮叶9、套设于第一旋转轴8外部的多个套管10和连接于套管10与循环水管5内壁之间的连接杆11，所述水轮叶9设置于第一旋转轴8位于循环水管5内的一端，所述第一旋转轴8远离循环水管5的一端设置有第一同步轮12；
所述冷却组件7包括安装于贮存罐2端部外壁上的轴承13、插接于轴承13内部的第二旋转轴14和固定于第二旋转轴14端部的降温扇叶15，所述第二旋转轴14外部套设有第二同步轮16。
所述第一旋转轴8与循环水管5的连接处设置有机械密封17，所述第一旋转轴8通过机械密封17与循环水管5活动连接，设置机械密封17即保证了循环水管5的密封性同时不影响第一旋转轴8的转动；
多个所述水轮叶9和套管10依次间隔设置，所述第一旋转轴8通过机械密封17、套管10和连接杆11与循环水管5活动连接，所述底座1表面设置有蓄水箱18和循环水泵19，所述循环水管5与蓄水箱18和循环水泵19连接，所述第一旋转轴8与第二旋转轴14通过第一同步轮12、第二同步轮16和同步带传动连接，所述轴承13的安装位置为贮存罐2端部外壁的中心处，利用冷却水在循环水管5内流动的动力驱动水轮叶9转动从而带动第一旋转轴8转动，并通过同步轮部件带动第二旋转轴14转动，使降温扇叶15工作；
所述贮存罐2顶部设置有进料管20，所述底座1底部设置有多个活动轮21，设置了活动轮21，便于进行移动，所述贮存罐2外壁上还设置温度计22，温度计22能够实时检测贮存罐2的温度。
本发明工作原理：
参照说明书附图1-2：将电子级氢氟酸从进料管20处添加至贮存罐2内,在贮藏的过程中，启动循环水泵19工作，驱动蓄水箱18内的冷却水在循环水管5内流动，对整个贮存罐2进行降温，使贮存罐2的温度保持在一个恒定的范围内，同时当冷却水在流动的过程中，会推动水轮叶9旋转，从而带动旋转轴在套管10内转动，旋转轴端部的第一同步轮12通过同步带和第二同步轮16带动第二旋转轴14在轴承13内转动，从而使降温扇叶15转动，产生气流；
参照说明书附图3-5，气流从贮存罐2的外部和通风道4内流过整个贮存罐2，进行辅助降温，当多个贮存罐2在库房内存储时，这些流动的气流能够带动整个库房内的空气流动；
参照说明书附图1-5，由于采用冷却水驱动水轮叶9带动旋转轴转动，进而带动整个冷却组件7工作的方式，循环水泵19的温度与冷却水温度相当，使整个设备组件内没有会产生大量热量的部件，在进行大量贮藏时，降低了库房的散热压力，也提升了库房的通风性。
最后应说明的几点是：首先，在本申请的描述中,需要说明的是,除非另有规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,可以是机械连接或电连接,也可以是两个元件内部的连通,可以是直接相连,“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变，则相对位置关系可能发生改变；
其次：本发明公开实施例附图中，只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计，在不冲突情况下，本发明同一实施例及不同实施例可以相互组合；
最后：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种电子级氢氟酸生产用罐装设备，包括底座、设置于底座上方的贮存罐和连接于底座与贮存罐之间的支撑座，其特征在于：所述贮存罐内部贯穿开设有多个通风道，多个所述通风道水平设置且两端贯通，所述贮存罐外壁上环绕设置有循环水管，所述循环水管位于贮存罐顶部的一端处设置有传动装置，所述贮存罐端部外壁上设置有冷却组件；
所述传动装置包括贯穿于循环水管的第一旋转轴、固定于第一旋转轴外壁上的多个水轮叶、套设于第一旋转轴外部的多个套管和连接于套管与循环水管内壁之间的连接杆，所述水轮叶设置于第一旋转轴位于循环水管内的一端，所述第一旋转轴远离循环水管的一端设置有第一同步轮；
所述冷却组件包括安装于贮存罐端部外壁上的轴承、插接于轴承内部的第二旋转轴和固定于第二旋转轴端部的降温扇叶，所述第二旋转轴外部套设有第二同步轮。
2.根据权利要求1所述的一种电子级氢氟酸生产用罐装设备，其特征在于：所述第一旋转轴与循环水管的连接处设置有机械密封，所述第一旋转轴通过机械密封与循环水管活动连接。
3.根据权利要求2所述的一种电子级氢氟酸生产用罐装设备，其特征在于：多个所述水轮叶和套管依次间隔设置，所述第一旋转轴通过机械密封、套管和连接杆与循环水管活动连接。
4.根据权利要求1所述的一种电子级氢氟酸生产用罐装设备，其特征在于：所述底座表面设置有蓄水箱和循环水泵，所述循环水管与蓄水箱和循环水泵连接。
5.根据权利要求1所述的一种电子级氢氟酸生产用罐装设备，其特征在于：所述第一旋转轴与第二旋转轴通过第一同步轮、第二同步轮和同步带传动连接，所述轴承的安装位置为贮存罐端部外壁的中心处。
6.根据权利要求1所述的一种电子级氢氟酸生产用罐装设备，其特征在于：所述贮存罐顶部设置有进料管，所述底座底部设置有多个活动轮，所述贮存罐外壁上还设置温度计。
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