CN112091401B - 一种钛铝合金靶材及其焊接的方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种钛铝合金靶材及其焊接的方法，所述钛铝合金靶材组件焊接的方法通过在钛铝合金靶材与背板之间设置一层纯铝中间层，并在钛铝合金靶材远离背板的一侧设置纯铝盖板，降低了扩散焊接的难度，提高了钛铝合金靶材与背板的焊接强度并减少了焊接过程中钛铝合金靶材开裂的情况，具有较高的工业应用价值。

Description

一种钛铝合金靶材及其焊接的方法

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及靶材溅射技术领域，特别涉及一种钛铝合金靶材及其焊接的方法。

背景技术

在半导体领域，靶材组件是一种常用的物料，靶材组件由靶材和背板焊接在一起而成，所以需要将钛铝合金靶和背板进行焊接，并具有一定结合强度。钛铝合金靶材韧性较差，如钛铝合金靶材直接与背板进行热等静压焊接，高压力下钛铝合金靶材容易发生开裂，如焊接时通过降低压力来降低钛铝合金靶材开裂风险，会导致靶材与背板结合强度不高，靶材组件在溅射机台上溅射时有脱焊掉落的风险。

钛铝合金靶材是常用的溅射靶材。CN111101105A公开了一种钛铝合金的制备方法，所述制备方法包括混粉步骤、灌装步骤、冷等静压步骤、焊接包套脱气步骤、热等静压步骤、分切步骤、合金化扩散热处理步骤和机加工修整步骤，该方法制备效率高，但该方法并未涉及到钛铝合金靶材与背板焊接的问题。

但是，钛铝合金靶材需要与背板焊接结合后再用于半导体溅射，钛铝合金韧性较差，与金属材料不易扩散，现有的热等静压扩散焊接技术下，焊接时钛铝合金靶材与铝合金不易直接扩散，且在扩散焊接冷却阶段因为靶材和背板的热膨胀系数不同，容易出现开裂。

CN210506510U公开了一种靶材组件，通过调节靶材组件中环绕区远离背板一侧表面的表面积，并对环绕区进行特殊的结构设置，从而增加靶材在环绕区的附着面积以及附着力，从而减少靶材在环绕区溅射形成的膜层起皮的情况，从而增加靶材的使用寿命。但该靶材组件并未涉及到靶材与背板的焊接问题。

CN101648316A公开了一种靶材与背板的焊接结构及方法，所述方法通过对钛靶材进行机械加工形成螺纹状，能将其表面的氧化层撕裂，对铝背板进行机械加工能使其表面的氧化层变薄，进而使钛靶材和铝背板之间的结合强度提高。但该方法并不能较好的适用于钛铝合金靶材及其背板的焊接。

因此，需要一种有效的焊接方法，使得钛铝合金靶材与背板之间实现可靠结合，满足长期稳定生产、使用靶材的需要显得十分必要。

发明内容

鉴于现有技术中存在的问题，本发明提供一种钛铝合金靶材及其焊接的方法，所述钛铝合金靶材组件焊接的方法降低了扩散焊接的难度，提高了钛铝合金靶材与背板的焊接强度并减少了焊接过程中钛铝合金靶材开裂的情况，具有较高的工业应用价值。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

第一方面，本发明提供一种钛铝合金靶材组件焊接的方法，所述方法包括如下步骤：

(1)在钛铝合金靶材与背板之间设置一层纯铝中间层，在所述钛铝合金靶材远离背板的一侧设置纯铝盖板，形成装配组件，放入包套内，进行包套焊接；

(2)步骤(1)所述包套在脱气后，经扩散焊接，得到钛铝合金靶材组件。

本发明提供的钛铝合金靶材组件焊接的方法通过在钛铝合金靶材与背板之间设置一层纯铝中间层，并在钛铝合金靶材远离背板的一侧设置纯铝盖板，其中纯铝中间层能够缓解钛铝合金和硬化后的背板扩散难度大的问题，降低扩散焊接的难度，提高了钛铝合金靶材与背板的焊接强度，纯铝盖板的设置能够将钛铝合金靶材包覆在纯铝材料内部，在焊接过程中起到缓冲作用，降低了钛铝合金靶材开裂的情况。

优选地，所述钛铝合金靶材中铝的质量分数为5～40wt％，例如可以是5wt％、10wt％、15wt％、20wt％、25wt％、30wt％、35wt％或40wt％等。

优选地，所述背板包括铜合金背板或铝合金背板。

本发明所述背板既可以是铜合金背板，例如可以是C46400、C18200或TU1，也可以是铝合金背板，例如可以是Al6061、Al3003等。

优选地，步骤(1)中所述钛铝合金靶材的焊接面设置有第一螺纹。

本发明优选在钛铝合金的焊接面设置螺纹，增加焊接面积，提高焊接强度。

优选地，所述第一螺纹的螺纹间距为0.35～0.55mm，例如可以是0.35mm、0.36mm、0.37mm、0.38mm、0.40mm、0.41mm、0.42mm、0.45mm、0.48mm、0.50mm、0.52mm或0.55mm等。

优选地，所述第一螺纹的深度为0.1～0.25mm，例如可以是0.1mm、0.12mm、0.15mm、0.17mm、0.18mm、0.2mm、0.21mm、0.22mm、0.23mm或0.25mm等。

优选地，步骤(1)中所述背板的焊接面设置有第二螺纹。

本发明优选在背板的焊接面设置螺纹，增加焊接面积，提高焊接强度。

优选地，所述第二螺纹的螺纹间距为0.35～0.55mm，例如可以是0.35mm、0.36mm、0.37mm、0.38mm、0.40mm、0.41mm、0.42mm、0.45mm、0.48mm、0.50mm、0.52mm或0.55mm等。

优选地，所述第二螺纹的深度为0.1～0.25mm，例如可以是0.1mm、0.12mm、0.15mm、0.17mm、0.18mm、0.2mm、0.21mm、0.22mm、0.23mm或0.25mm等。

优选地，步骤(1)中所述纯铝中间层的铝纯度≥99wt％，例如可以是99wt％、99.1wt％、99.2wt％、99.5wt％、99.9wt％、99.91wt％、99.92wt％、99.95wt％、99.97wt％或99.99wt％等。

优选地，所述纯铝中间层的厚度为2～4mm，例如可以是2mm、2.1mm、2.2mm、2.4mm、2.5mm、2.8mm、2.9mm、3mm、3.2mm、3.5mm、3.8mm或4mm等。

本发明优选将纯铝中间层的厚度控制在2～4mm，既能够保障钛铝合金与背板之间的过渡焊接，又不会因为中间层厚度过厚对后续溅射造成影响。

优选地，步骤(1)中所述背板内设置有凹槽。

优选地，所述钛铝合金靶材的直径比所述凹槽的直径小。

优选地，所述纯铝盖板包括与钛铝合金靶材上表面相匹配的上层板，以及与所述钛铝合金靶材周侧相匹配的周侧板。

优选地，所述纯铝盖板中周侧板的外径与背板凹槽的直径内径相匹配。

优选地，所述纯铝盖板中周侧板的内径与钛铝合金靶材的直径相匹配。

本发明所述相匹配并不要求完全一致，能够满足纯铝盖板设置于背板内径内并能将钛铝合金靶材覆盖住，且其中配合的缝隙≤0.01mm即可。

优选地，所述纯铝盖板的铝纯度≥99wt％，例如可以是99wt％、99.1wt％、99.2wt％、99.5wt％、99.9wt％、99.91wt％、99.92wt％、99.95wt％、99.97wt％或99.99wt％等。

优选地，所述纯铝盖板的上层板厚度≥9mm，例如可以是9mm、10mm、10.5mm、11mm、11.5mm、11.8mm、12mm、12.2mm、12.5mm、12.8mm或13mm等。

本发明控制上层盖板的厚度≥9mm，有效提供加压焊接过程的缓冲，防止钛铝合金靶材开裂。

优选地，步骤(1)所述包套的材质为纯铝。

优选地，所述包套焊接包括：用氩弧焊将包套焊接。

优选地，步骤(2)中所述包套脱气的真空度≤0.02Pa，例如可以是0.02Pa、0.018Pa、0.017Pa、0.015Pa、0.012Pa或0.01Pa等。

优选地，所述包套脱气的温度为250～450℃，例如可以是250℃、260℃、280℃、290℃、300℃、320℃、340℃、350℃、360℃、380℃、400℃、420℃或450℃等。

优选地，所述包套脱气的保温时间为2～5h，例如可以是2h、2.2h、2.3h、2.4h、2.5h、2.8h、3h、3.2h、3.4h、3.5h、4h、4.5h或5h等。

优选地，步骤(2)中所述扩散焊接的装置为热等静压机。

优选地，所述扩散焊接的温度为400～590℃，例如可以是400℃、420℃、430℃、450℃、470℃、480℃、500℃、520℃、530℃、540℃、550℃、560℃或590℃等。

本发明控制扩散焊接的温度为400～590℃，确保钛铝合金靶材能够与背板焊接成功，而且不会出现纯铝融化导致散失中间过渡层作用的问题。

优选地，所述扩散焊接的压力≥80MPa，例如可以是80MPa、82MPa、85MPa、88MPa、90MPa、92MPa、95MPa、100MPa、105MPa或110MPa等。

优选地，所述扩散焊接中保温保压的时间为2～5h，例如可以是2h、2.2h、2.4h、2.5h、2.8h、3h、3.2h、3.3h、3.5h、4h、4.5h、4.8h或5h等。

作为本发明优选的技术方案，所述方法包括如下步骤：

(1)在钛铝合金靶材与背板之间设置一层厚度为2～4mm的纯铝中间层，在所述钛铝合金靶材远离背板的一侧设置纯铝盖板，形成装配组件，放入纯铝包套内，用氩弧焊进行包套焊接；

所述钛铝合金靶材的焊接面设置有第一螺纹，第一螺纹的螺纹间距为0.35～0.55mm，深度为0.1～0.25mm；所述背板的焊接面设置有第二螺纹，第二螺纹的螺纹间距为0.35～0.55mm，深度为0.1～0.25mm；

所述纯铝盖板的外径与背板的内径相匹配，纯铝盖板的内径与钛铝合金靶材的外径相匹配，纯铝盖板包括与钛铝合金靶材上表面相匹配的上层板，以及与所述钛铝合金靶材周侧相匹配的周侧板；

所述背板内设置有凹槽，所述钛铝合金靶材的直径比所述凹槽的直径小，所述纯铝盖板包括与钛铝合金靶材上表面相匹配的上层板，以及与所述钛铝合金靶材周侧相匹配的周侧板，所述纯铝盖板中周侧板的外径与背板凹槽的直径相匹配，所述纯铝盖板中周侧板的内径与钛铝合金靶材的直径相匹配，纯铝盖板的上层板厚度≥9mm；

(2)步骤(1)所述包套在真空度≤0.02Pa，250～450℃条件中脱气2～5h后，将包套放入热等静压机中，在400～590℃，压力≥80MPa下保温保压2～5h进行扩散焊接，得到钛铝合金靶材组件。

第二方面，本发明提供一种钛铝合金靶材组件，所述钛铝合金靶材组件采用第一方面所述的钛铝合金靶材组件焊接的方法焊接得到。

本发明第二方面提供的钛铝合金靶材组件焊接牢固，焊接强度高且靶材不易开裂，能够较好的应用在溅射过程中。

与现有技术相比，本发明至少具有以下有益效果：

(1)本发明提供的钛铝合金靶材组件焊接的方法采用纯铝中间层进行过度，焊接强度高；

(2)本发明提供的钛铝合金靶材组件焊接的方法增加纯铝盖板，降低了钛铝合金靶材开裂的情况；

(3)本发明提供的钛铝合金靶材组件焊接牢固，焊接强度高，焊接强度≥20MPa，在较优条件下，焊接强度≥58MPa，且靶材不易开裂，能够较好的应用在溅射过程中。

附图说明

图1是本发明实施例1提供的钛铝合金靶材组件焊接的方法中焊接结构示意图。

图中：1-钛铝合金靶材；2-铝合金背板；3-纯铝中间层；4-纯铝盖板。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

下面对本发明进一步详细说明。但下述的实例仅仅是本发明的简易例子，并不代表或限制本发明的权利保护范围，本发明的保护范围以权利要求书为准。

一、实施例

实施例1

本实施例提供一种钛铝合金靶材组件焊接的方法，所述方法包括如下步骤：

(1)如图1所示，在钛铝合金靶材(钛：80wt％；铝：20wt％)与铝合金背板(型号为：Al6061)之间设置一层厚度为3mm的纯铝中间层(Al1060)，在所述钛铝合金靶材远离背板的一侧设置纯铝盖板(Al1060)，形成装配组件，放入纯铝包套内，用氩弧焊进行包套焊接；

所述钛铝合金靶材的焊接面设置有第一螺纹，第一螺纹的螺纹间距为0.4mm，深度为0.2mm；所述背板的焊接面设置有第二螺纹，第二螺z纹的螺纹间距为0.4mm，深度为0.2mm；

所述背板内设置有凹槽，所述钛铝合金靶材的直径比所述凹槽的直径小，所述纯铝盖板包括与钛铝合金靶材上表面相匹配的上层板，以及与所述钛铝合金靶材周侧相匹配的周侧板，所述纯铝盖板中周侧板的外径与背板凹槽的直径相匹配，所述纯铝盖板中周侧板的内径与钛铝合金靶材的直径相匹配，纯铝盖板的上层板厚度为12mm；

(2)步骤(1)所述包套在真空度为0.018Pa，350℃条件中脱气4h后，将包套放入热等静压机中，在450℃，压力85MPa下保温保压3.5h进行扩散焊接，得到钛铝合金靶材组件。

实施例2

本实施例提供一种钛铝合金靶材组件焊接的方法，所述方法包括如下步骤：

(1)在钛铝合金靶材(钛：60wt％；铝：40wt％)与铝合金背板(型号为：Al6061)之间设置一层厚度为2mm的纯铝中间层(Al1060)，在所述钛铝合金靶材远离背板的一侧设置纯铝盖板(Al1060)，形成装配组件，放入纯铝包套内，用氩弧焊进行包套焊接；

所述钛铝合金靶材的焊接面设置有第一螺纹，第一螺纹的螺纹间距为0.35mm，深度为0.1mm；所述背板的焊接面设置有第二螺纹，第二螺纹的螺纹间距为0.35mm，深度为0.1mm；

所述背板内设置有凹槽，所述钛铝合金靶材的直径比所述凹槽的直径小，所述纯铝盖板包括与钛铝合金靶材上表面相匹配的上层板，以及与所述钛铝合金靶材周侧相匹配的周侧板，所述纯铝盖板中周侧板的外径与背板凹槽的直径相匹配，所述纯铝盖板中周侧板的内径与钛铝合金靶材的直径相匹配，纯铝盖板的上层板厚度为11mm；

(2)步骤(1)所述包套在真空度0.02Pa，250℃条件中脱气5h后，将包套放入热等静压机中，在400℃，压力80MPa下保温保压5h进行扩散焊接，得到钛铝合金靶材组件。

实施例3

本实施例提供一种钛铝合金靶材组件焊接的方法，所述方法包括如下步骤：

(1)在钛铝合金靶材(钛：95wt％；铝：5wt％)与铝合金背板(型号为：Al6061)之间设置一层厚度为4mm的纯铝中间层(Al1060)，在所述钛铝合金靶材远离背板的一侧设置纯铝盖板(Al1060)，形成装配组件，放入纯铝包套内，用氩弧焊进行包套焊接；

所述钛铝合金靶材的焊接面设置有第一螺纹，第一螺纹的螺纹间距为0.55mm，深度为0.25mm；所述背板的焊接面设置有第二螺纹，第二螺纹的螺纹间距为0.55mm，深度为0.25mm；

所述背板内设置有凹槽，所述钛铝合金靶材的直径比所述凹槽的直径小，所述纯铝盖板包括与钛铝合金靶材上表面相匹配的上层板，以及与所述钛铝合金靶材周侧相匹配的周侧板，所述纯铝盖板中周侧板的外径与背板凹槽的直径相匹配，所述纯铝盖板中周侧板的内径与钛铝合金靶材的直径相匹配，纯铝盖板的上层板厚度为10mm；

(2)步骤(1)所述包套在真空度0.02Pa，450℃条件中脱气2h后，将包套放入热等静压机中，在550℃，压力90MPa下保温保压2h进行扩散焊接，得到钛铝合金靶材组件。

实施例4

本实施例提供一种钛铝合金靶材组件焊接的方法，所述方法除步骤(1)中钛铝合金靶材的焊接面和背板的焊接面均未设置螺纹外，其余均与实施例1相同。

实施例5

本实施例提供一种钛铝合金靶材组件焊接的方法，所述方法除步骤(1)中纯铝中间层的厚度为1.5mm外，其余均与实施例1相同。

实施例6

本实施例提供一种钛铝合金靶材组件焊接的方法，所述方法除步骤(1)中纯铝中间层的厚度为5mm外，其余均与实施例1相同。

实施例7

本实施例提供一种钛铝合金靶材组件焊接的方法，所述方法除步骤(1)中纯铝盖板上层板的厚度为9mm外，其余均与实施例1相同。

实施例8

本实施例提供一种钛铝合金靶材组件焊接的方法，所述方法除步骤(2)中将“在450℃，压力85MPa下保温保压3.5h进行扩散焊接”替换为“在380℃，压力85MPa下保温保压3.5h进行扩散焊接”外，其余均与实施例1相同。

实施例9

本实施例提供一种钛铝合金靶材组件焊接的方法，所述方法除步骤(2)中将“在450℃，压力85MPa下保温保压3.5h进行扩散焊接”替换为“在590℃，压力85MPa下保温保压3.5h进行扩散焊接”外，其余均与实施例1相同。

二、对比例

对比例1

本对比例提供一种钛铝合金靶材组件焊接的方法，所述方法除步骤(1)中不设置纯铝中间层外，其余均与实施例1相同。

对比例2

本对比例提供一种钛铝合金靶材组件焊接的方法，所述方法除步骤(1)中不设置纯铝盖板外，其余均与实施例1相同。

三、测试及结果

采用以上实施例和对比例提供的方法对钛铝合金靶材与铝合金背板进行焊接，采用GB/T 11363-2008钎焊接头强度试验方法检测焊接后钛铝合金靶材组件的焊接强度，并进行10次重复试验计算钛铝合金靶材开裂率。

以上实施例和对比例的测试结果如表1所示。

表1

从表1可以看出以下几点：

(1)综合实施例1～9可以看出，本发明提供的钛铝合金靶材组件焊接的方法通过设置纯铝中间层以及纯铝盖板，大大提高了钛铝合金靶材与背板的焊接结合率，其能够在保障产品不开裂的情况下实现焊接强度≥20MPa，在较优条件下，焊接强度≥58MPa，焊接效果好且产品不开裂，成品率高；

(2)对比例实施例1以及对比例1～2可以看出，相较于对比例1中不设置纯铝中间层以及对比例2中不设置纯铝盖板，实施例1中同时设置纯铝中间层和纯铝盖板，焊接结合率高达64.3MPa，产品不开裂，而对比例1和对比例2中不仅焊接结合率低，而且产品基本均会开裂无法使用，由此表明，本发明通过采用纯铝中间层和纯铝盖板，提高了焊接结合强度并大大降低了产品开裂情况；

(3)相较于实施例4中焊接面未设置螺纹而言，实施例1焊接面设置有螺纹，其焊接强度为64.3MPa，远高于实施例4中的20.6MPa，由此表明，本发明通过在焊接面增设螺纹，大大提高了焊接强度；

(4)相较于实施例5和实施例6的纯铝中间层的厚度分别为1.5mm和5mm而言，实施例1中纯铝中间层的厚度为3mm，焊接强度比实施例5～6均高，由此表明，本发明通过将纯铝中间层的厚度控制在特定范围内，提高了靶材与背板的焊接强度；

(5)相较于实施例8中扩散焊接温度为380℃而言，实施例1和实施例9中扩散焊接温度均分别为450℃和590℃，其焊接强度均比实施例8中焊接强度高，由此表明，本发明通过将扩散焊接温度控制在特定范围内，提高了靶材与背板的焊接强度。

综上所述，本发明提供的钛铝合金靶材组件焊接的方法能够较好地将钛铝合金靶材与背板焊接结合，降低了扩散焊接的难度，其焊接强度≥20MPa，产品不开裂，焊接得到的靶材组件能够很好地应用在溅射过程中，具有较高的工业应用价值。

申请人声明，本发明通过上述实施例来说明本发明的详细结构特征，但本发明并不局限于上述详细结构特征，即不意味着本发明必须依赖上述详细结构特征才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本发明的任何改进，对本发明所选用部件的等效替换以及辅助部件的增加、具体方式的选择等，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

Claims (22)

1.一种钛铝合金靶材组件焊接的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

(1)在钛铝合金靶材与背板之间设置一层纯铝中间层，在所述钛铝合金靶材远离背板的一侧设置纯铝盖板，形成装配组件，放入包套内，进行包套焊接；

(2)步骤(1)所述包套在脱气后，经扩散焊接，得到钛铝合金靶材组件；

步骤(1)中所述背板内设置有凹槽；

所述钛铝合金靶材的直径比所述凹槽的直径小；

所述纯铝盖板包括与钛铝合金靶材上表面相匹配的上层板，以及与所述钛铝合金靶材周侧相匹配的周侧板；

所述纯铝盖板中周侧板的外径与背板凹槽的直径相匹配；

所述纯铝盖板中周侧板的内径与钛铝合金靶材的直径相匹配。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)中所述钛铝合金靶材的焊接面设置有第一螺纹。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述第一螺纹的螺纹间距为0.35～0.55mm。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述第一螺纹的深度为0.1～0.25mm。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)中所述背板的焊接面设置有第二螺纹。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第二螺纹的螺纹间距为0.35～0.55mm。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第二螺纹的深度为0.1～0.25mm。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)中所述纯铝中间层的铝纯度≥99wt％。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述纯铝中间层的厚度为2～4mm。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述纯铝盖板的铝纯度≥99wt％。

11.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述纯铝盖板的上层板厚度≥9mm。

12.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)所述包套的材质为纯铝。

13.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述包套焊接包括：用氩弧焊将包套焊接。

14.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(2)中所述包套脱气的真空度≤0.02Pa。

15.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(2)所述包套脱气的温度为250～450℃。

16.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(2)所述包套脱气的保温时间为2～5h。

17.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(2)中所述扩散焊接的装置为热等静压机。

18.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(2)所述扩散焊接的温度为400～590℃。

19.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(2)所述扩散焊接的压力≥80MPa。

20.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(2)所述扩散焊接中保温保压的时间为2～5h。

21.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

(1)在钛铝合金靶材与背板之间设置一层厚度为2～4mm的纯铝中间层，在所述钛铝合金靶材远离背板的一侧设置纯铝盖板，形成装配组件，放入纯铝包套内，用氩弧焊进行包套焊接；

所述钛铝合金靶材的焊接面设置有第一螺纹，第一螺纹的螺纹间距为0.35～0.55mm，深度为0.1～0.25mm；所述背板的焊接面设置有第二螺纹，第二螺纹的螺纹间距为0.35～0.55mm，深度为0.1～0.25mm；

所述背板内设置有凹槽，所述钛铝合金靶材的直径比所述凹槽的直径小，所述纯铝盖板包括与钛铝合金靶材上表面相匹配的上层板，以及与所述钛铝合金靶材周侧相匹配的周侧板，所述纯铝盖板中周侧板的外径与背板凹槽的直径相匹配，所述纯铝盖板中周侧板的内径与钛铝合金靶材的直径相匹配，纯铝盖板的上层板厚度≥9mm；

(2)步骤(1)所述包套在真空度≤0.02Pa，250～450℃条件中脱气2～5h后，将包套放入热等静压机中，在400～590℃，压力≥80MPa下保温保压2～5h进行扩散焊接，得到钛铝合金靶材组件。

22.一种钛铝合金靶材组件，其特征在于，所述钛铝合金靶材组件采用权利要求1～21任一项所述的钛铝合金靶材组件焊接的方法焊接得到。

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