CN112091251A - 一种靶材r角与外周面一体成型的加工刀具及采用其的加工方法 - Google Patents

一种靶材r角与外周面一体成型的加工刀具及采用其的加工方法 Download PDF

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CN112091251A CN202010953015.5A CN202010953015A CN112091251A CN 112091251 A CN112091251 A CN 112091251A CN 202010953015 A CN202010953015 A CN 202010953015A CN 112091251 A CN112091251 A CN 112091251A
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姚力军
窦兴贤
王学泽
王青松
闫安
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    • B23B5/00—Turning-machines or devices specially adapted for particular work; Accessories specially adapted therefor

Abstract

本发明提供了一种靶材R角与外周面一体成型的加工刀具及采用其的加工方法，所述的加工刀具包括刀头；所述的刀头包括主刀头，以及位于主刀头一端外周设置的至少三个R角加工齿，所述R角加工齿与主刀体一体成型，所述主刀头的外周面刃部用于加工成型靶材外周面，所述R角加工齿与靶材接触的一侧为弧形加工面，通过所述弧形加工面加工成型靶材R角。本发明特别针对靶材加工设计了一种R角和外周面一体成型的加工刀具，利用一个刀具能同时加工出靶材的R角和外周面，避免了在加工过程中换刀，缩短了加工时间，提高加工效率，也能防止因换刀导致的R角与外周面的对接处出现接刀痕迹，提高了产品良率，保证靶材表面能够正常溅射使用。

Description

一种靶材R角与外周面一体成型的加工刀具及采用其的加工 方法
技术领域
本发明属于靶材加工技术领域，涉及一种加工刀具及采用其的加工方法，尤其涉及一种靶材R角与外周面一体成型的加工刀具及采用其的加工方法。
背景技术
材料承受切削力不一致时，就会在看似同一个面上有接刀痕，使得加工后的表面纹理不一致。靶材在机械加工过程中，传统工艺是分开加工靶材的外周面和R角，中间要换刀，因此接刀处有接刀痕，而接刀处较为尖锐，常有毛刺未处理，造成靶材在溅射过程中出现异常。
CN208033807U公开了一种具有六条切削刃的复合铰刀，包括刀头及圆柱形结构的刀杆；所述刀头与所述刀杆采用硬质合金一体成型；所述刀头与所述刀杆同轴设置；所述刀头上圆周均匀设置有六条切削刃和排屑槽，所述切削刃和排屑槽相间隔设置，所述刀头从远离所述刀杆的一端起，从左至右设置有第一刀面和第二刀面；所述第一刀面与所述第二刀面之间直角过渡；相邻两个所述切削刃非工作面与工作面之间的夹角为70°；每一个所述切削刃工作面顶端的倾斜角度为20°。
CN206578310U公开了一种成型刀具，成型刀具用于加工第一工件得到第二工件，第二工件包括多段相互连接的曲面，成型刀具包括装夹部及工作部，工作部设于装夹部的端部，工作部包括多段切削刃，多段切削刃沿装夹部的轴向依次设置。切削刃的数量大于等于第二工件的曲面的数量，且第二工件的各曲面的形状均与多段切削刃中至少一个切削刃的表面形状互补。
CN205110832U公开了一种加工刀具，所述加工刀具包括刀柄和刀头。所述刀头的端面为圆面，所述刀头的一端与所述刀柄固定连接，所述刀头包括R角刃口和侧刃口。所述刀头不与所述刀柄连接的一端的端面边棱作为所述R角刃口，所述R角刃口从所述刀头的端面延伸到刀头的侧壁。所述刀头的侧壁作为所述侧刃口。
目前，针对靶材的加工成型，没有有效消除接刀痕的加工技术，而接刀处较为尖锐，常有毛刺未处理，造成靶材在溅射过程中出现异常。
发明内容
针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种靶材R角与外周面一体成型的加工刀具及采用其的加工方法，本发明特别针对靶材加工设计了一种R角和外周面一体成型的加工刀具，利用一个刀具能同时加工出靶材的R角和外周面，避免了在加工过程中换刀，缩短了加工时间，提高加工效率，也能防止因换刀导致的R角与外周面的对接处出现接刀痕迹，提高了产品良率，保证靶材表面能够正常溅射使用。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
第一方面，本发明提供了一种靶材R角与外周面一体成型的加工刀具，所述的加工刀具包括刀头；所述的刀头包括主刀头，以及位于主刀头一端外周设置的至少三个R角加工齿，所述R角加工齿与主刀体一体成型，所述主刀头的外周面刃部用于加工成型靶材外周面，所述R角加工齿与靶材接触的一侧为弧形加工面，通过所述弧形加工面加工成型靶材R角。
本发明特别针对靶材加工设计了一种R角和外周面一体成型的加工刀具，利用一个刀具能同时加工出靶材的R角和外周面，避免了在加工过程中换刀，缩短了加工时间，提高加工效率，也能防止因换刀导致的R角与外周面的对接处出现接刀痕迹，提高了产品良率，保证靶材表面能够正常溅射使用。
作为本发明一种优选的技术方案，所述的加工刀具还包括刀柄，所述刀柄固定于刀头靠近R角加工齿的一端，所述刀柄用于固定所述刀头。
优选地，所述的刀柄与刀头同轴设置。
作为本发明一种优选的技术方案，所述的刀柄为圆柱形结构。
优选地，所述的刀柄直径为18～22mm，例如可以是18.0mm、18.2mm、18.4mm、18.6mm、18.8mm、19.0mm、19.2mm、19.4mm、19.6mm、19.8mm、20.0mm、20.2mm、20.4mm、20.6mm、20.8mm、21.0mm、21.2mm、21.4mm、21.6mm、21.8mm或22.0mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用，进一步优选为20mm。
优选地，所述的刀柄长度为40～60mm，例如可以是40mm、42mm、44mm、46mm、48mm、50mm、52mm、54mm、56mm、58mm或60mm，进一步优选为50mm。
优选地，所述刀柄远离刀头的一端面沿外缘加工倒角。
作为本发明一种优选的技术方案，所述的主刀头为圆柱形结构。
优选地，所述的主刀头的直径为18～22mm，例如可以是18.0mm、18.2mm、18.4mm、18.6mm、18.8mm、19.0mm、19.2mm、19.4mm、19.6mm、19.8mm、20.0mm、20.2mm、20.4mm、20.6mm、20.8mm、21.0mm、21.2mm、21.4mm、21.6mm、21.8mm或22.0mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用，进一步优选为20mm。
优选地，所述的主刀头的长度为20～25mm，例如可以是20mm、20.5mm、21mm、21.5mm、22mm、22.5mm、23mm、23.5mm、24mm、24.5mm或25mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用，进一步优选为25mm。
优选地，所述的刀柄直径与主刀头直径相同。
作为本发明一种优选的技术方案，所述的R角加工齿绕主刀头一端外周等距分布。
优选地，所述的主刀头外周设置有4～8个R角加工齿，例如可以是4个、5个、6个、7个或8个，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用，优选为6个。
作为本发明一种优选的技术方案，所述的R角加工齿的弧形加工面的弧形半径为3～4mm，例如可以是3.0mm、3.1mm、3.2mm、3.3mm、3.4mm、3.5mm、3.6mm、3.7mm、3.8mm、3.9mm或4.0mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用，优选为3.5mm。
优选地，所述R角加工齿的外周面距主刀头外周面的水平距离为3～5mm，例如可以是3.0mm、3.2mm、3.4mm、3.6mm、3.8mm、4.0mm、4.2mm、4.4mm、4.6mm、4.8mm或5.0mm，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用，进一步优选为5mm。
作为本发明一种优选的技术方案，所述靶材为铜靶材。
作为本发明一种优选的技术方案，所述的刀头材质为金刚石。
第二方面，本发明提供了一种靶材R角与外周面一体成型的加工方法，采用第一方面所述的加工刀具对靶材的R角和外周面进行加工并一体成型，所述的加工方法包括：
加工刀具轴线与靶材待加工面平行，加工刀具旋转的同时平移靠近靶材的待加工面，主刀头加工加工成型靶材外周面，R角加工齿加工成型靶材R角，一次进刀一体加工成型靶材的外周面和R角。
作为本发明一种优选的技术方案，所述加工刀具的转速为5000～6000r/min，例如可以是5000r/min、5100r/min、5200r/min、5300r/min、5400r/min、5500r/min、5600r/min、5700r/min、5800r/min、5900r/min或6000r/min，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用，优选为5500r/min。
当刀具转速小于5000r/min时，易产生积屑从而导致表面粗糙度升高，当刀具转速大于6000mm/min时，会加剧刀具磨损，刀具的磨损会造成刀具刃口圆角变大，从而使刀刃表面的粗糙度变大，造成工件表面塑性变形加大，使已有残留面积被挤歪或沟纹加深，形成毛刺。
优选地，所述加工刀具的进给量为2500～3000mm/min，例如可以是2500mm/min、2550mm/min、2600mm/min、2650mm/min、2700mm/min、2750mm/min、2800mm/min、2850mm/min、2900mm/min、2950mm/min或3000mm/min，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用，进一步优选为2800mm/min。
进给量的大小直接影响了靶材的表面应力，进而造成了对靶材平面度的影响，当进给量小于2500mm/min时，靶材加工面的残余应力为压应力，无法保证靶材表面的平面度，减小进给量可以降低残留面积高度，因而可以减小表面粗糙度，但当进给量减小到小于2500mm/min时，粗糙度反而会上升；当进给量大于3000mm/min时，铣削随着轴向进给量的增大，切削力随之增大，靶材表层的塑性变形区域也随之增大，靶材表面的切削温度升高，会使由热塑性变形引起的残余拉应力增大，从而影响靶材的平面度。而进给量过大，切削厚度也会随之增大，切削力以及切削振动等因素对粗糙度的影响也加大，导致表面粗糙度明显加大。
与现有技术相比，本发明的有益效果为：
本发明特别针对靶材加工设计了一种R角和外周面一体成型的加工刀具，利用一个刀具能同时加工出靶材的R角和外周面，避免了在加工过程中换刀，缩短了加工时间，提高加工效率，也能防止因换刀导致的R角与外周面的对接处出现接刀痕迹；同时通过对刀具参数及刀具调整控制靶材侧边的平整度，提高了产品良率，保证靶材表面能够正常溅射使用。
附图说明
图1为本发明一个具体实施方式提供的加工刀具的主视结构示意图；
图2为本发明一个具体实施方式提供的加工刀具的俯视结构示意图；
图3为本发明一个具体实施方式提供的加工刀具的加工过程示意图。
其中，1-刀柄；2-主刀头；3-R角加工齿；4-靶材。
具体实施方式
需要理解的是，在本发明的描述中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
需要说明的是，在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
在一个具体实施方式中，本发明提供了一种靶材的R角与外周面一体成型的加工刀具，如图1所示，所述的加工刀具包括刀头。刀头包括主刀头2，以及位于主刀头2一端外周设置的至少三个R角加工齿3(如图2所示)，R角加工齿3与主刀体一体成型。主刀头2的外周面刃部用于加工成型靶材4外周面，R角加工齿3与靶材4接触的一侧为弧形加工面，通过弧形加工面加工成型靶材4的R角。
加工刀具还包括刀柄1，刀柄1固定于刀头靠近R角加工齿3的一端，刀柄1用于固定所述刀头，刀柄1与刀头同轴设置。刀柄1为圆柱形结构，刀柄1直径为18～22mm，刀柄1长度为40～60mm，刀柄1远离刀头的一端面沿外缘加工倒角。
主刀头2为圆柱形结构，主刀头2的直径为18～22mm，主刀头2的长度为20～25mm，主刀头2直径与刀柄1直径相同。
R角加工齿3绕主刀头2一端外周等距分布，进一步地，主刀头2外周设置有4～8个R角加工齿3，更进一步地，等距设置有6个。R角加工齿3的弧形加工面的弧形半径为3～4mm，R角加工齿3的外周面距主刀头2外周面的水平距离为3～5mm。
靶材4为铜靶材4，刀头材质为金刚石。
在另一个具体实施方式中，本发明提供了一种靶材的R角与外周面一体成型的加工方法，采用上述加工刀具对靶材的R角和外周面进行加工并一体成型，所述的加工方法包括：
加工刀具轴线与靶材4待加工面平行，加工刀具旋转的同时平移靠近靶材4的待加工面(如图3所示)，加工刀具的转速为5000～6000r/min，进给量为2500～3000mm/min，主刀头2加工加工成型靶材4外周面，R角加工齿3加工成型靶材4的R角，一次进刀一体加工成型靶材4的外周面和R角。
实施例1
本实施例提供了一种靶材的R角与外周面一体成型的加工刀具，所述的加工刀具基于具体实施方式提供的加工刀具，其中刀柄1直径为18mm，刀柄1长度为40mm，主刀头2直径为18mm，主刀头2的长度为20mm。
绕主刀头2一端外周等距分布有4个R角加工齿3，R角加工齿3的弧形加工面的弧形半径为3mm，R角加工齿3的外周面距主刀头2外周面的水平距离为3mm。
采用上述加工刀具对靶材4的R角和外周面进行加工并一体成型，所述的加工方法包括：
加工刀具轴线与铜靶材4待加工面平行，加工刀具旋转的同时平移靠近靶材4的待加工面，加工刀具的转速为5000r/min，进给量为2500mm/min，主刀头2加工加工成型靶材4外周面，R角加工齿3加工成型靶材4的R角，一次进刀一体加工成型靶材4的外周面和R角。
采用上述加工方法加工成型的靶材4的R角与外周面的对接处没有出现明显的接刀痕，加工面的表面粗糙度Ra为0.17μm，平面度公差为0.5mm。
实施例2
本实施例提供了一种靶材的R角与外周面一体成型的加工刀具，所述的加工刀具基于具体实施方式提供的加工刀具，其中刀柄1直径为19mm，刀柄1长度为45mm，主刀头2直径为19mm，主刀头2的长度为21mm。
绕主刀头2一端外周等距分布有5个R角加工齿3，R角加工齿3的弧形加工面的弧形半径为3.2mm，R角加工齿3的外周面距主刀头2外周面的水平距离为3.5mm。
采用上述加工刀具对靶材的R角和外周面进行加工并一体成型，所述的加工方法包括：
加工刀具轴线与铜靶材4待加工面平行，加工刀具旋转的同时平移靠近靶材4的待加工面，加工刀具的转速为5200r/min，进给量为2700mm/min，主刀头2加工加工成型靶材4外周面，R角加工齿3加工成型靶材4的R角，一次进刀一体加工成型靶材4的外周面和R角。
采用上述加工方法加工成型的靶材4的R角与外周面的对接处没有出现明显的接刀痕，加工面的表面粗糙度Ra为0.16μm，平面度公差为0.4mm。
实施例3
本实施例提供了一种靶材的R角与外周面一体成型的加工刀具，所述的加工刀具基于具体实施方式提供的加工刀具，其中刀柄1直径为20mm，刀柄1长度为50mm，主刀头2直径为20mm，主刀头2的长度为23mm。
绕主刀头2一端外周等距分布有6个R角加工齿3，R角加工齿3的弧形加工面的弧形半径为3.5mm，R角加工齿3的外周面距主刀头2外周面的水平距离为4mm。
采用上述加工刀具对靶材4的R角和外周面进行加工并一体成型，所述的加工方法包括：
加工刀具轴线与铜靶材4待加工面平行，加工刀具旋转的同时平移靠近靶材4的待加工面，加工刀具的转速为5500r/min，进给量为2800mm/min，主刀头2加工加工成型靶材4外周面，R角加工齿3加工成型靶材4的R角，一次进刀一体加工成型靶材4的外周面和R角。
采用上述加工方法加工成型的靶材4的R角与外周面的对接处没有出现明显的接刀痕，加工面的表面粗糙度Ra为0.15μm，平面度公差为0.3mm。
实施例4
本实施例提供了一种靶材的R角与外周面一体成型的加工刀具，所述的加工刀具基于具体实施方式提供的加工刀具，其中刀柄1直径为21mm，刀柄1长度为55mm，主刀头2直径为21mm，主刀头2的长度为24mm。
绕主刀头2一端外周等距分布有7个R角加工齿3，R角加工齿3的弧形加工面的弧形半径为3.7mm，R角加工齿3的外周面距主刀头2外周面的水平距离为4.5mm。
采用上述加工刀具对靶材的R角和外周面进行加工并一体成型，所述的加工方法包括：
加工刀具轴线与铜靶材4待加工面平行，加工刀具旋转的同时平移靠近靶材4的待加工面，加工刀具的转速为5700r/min，进给量为2900mm/min，主刀头2加工加工成型靶材4外周面，R角加工齿3加工成型靶材4的R角，一次进刀一体加工成型靶材4的外周面和R角。
采用上述加工方法加工成型的靶材4的R角与外周面的对接处没有出现明显的接刀痕，加工面的表面粗糙度Ra为0.14μm，平面度公差为0.4mm。
实施例5
本实施例提供了一种靶材的R角与外周面一体成型的加工刀具，所述的加工刀具基于具体实施方式提供的加工刀具，其中刀柄1直径为22mm，刀柄1长度为60mm，主刀头2直径为22mm，主刀头2的长度为25mm。
绕主刀头2一端外周等距分布有8个R角加工齿3，R角加工齿3的弧形加工面的弧形半径为4mm，R角加工齿3的外周面距主刀头2外周面的水平距离为5mm。
采用上述加工刀具对靶材的R角和外周面进行加工并一体成型，所述的加工方法包括：
加工刀具轴线与铜靶材4待加工面平行，加工刀具旋转的同时平移靠近靶材4的待加工面，加工刀具的转速为6000r/min，进给量为23000mm/min，主刀头2加工加工成型靶材4外周面，R角加工齿3加工成型靶材4的R角，一次进刀一体加工成型靶材4的外周面和R角。
采用上述加工方法加工成型的靶材4的R角与外周面的对接处没有出现明显的接刀痕，加工面的表面粗糙度Ra为0.16μm，平面度公差为0.4mm。
实施例6
采用实施例3提供的加工刀具对铜靶材的R角和外周面一体加工成型，所述的加工成型过程与实施例3提供的加工方法的区别在于，进给量为2300mm/min，其余参数与实施例3完全相同。
采用上述加工方法加工成型的靶材4的R角与外周面的对接处没有出现明显的接刀痕，加工面的表面粗糙度Ra为0.54μm，平面度公差为1.2mm。
实施例7
采用实施例3提供的加工刀具对铜靶材的R角和外周面一体加工成型，所述的加工成型过程与实施例3提供的加工方法的区别在于，进给量为3200mm/min，其余参数与实施例3完全相同。
采用上述加工方法加工成型的靶材4的R角与外周面的对接处没有出现明显的接刀痕，加工面的表面粗糙度Ra为0.56μm，平面度公差为1.3mm。
实施例8
采用实施例3提供的加工刀具对铜靶材的R角和外周面一体加工成型，所述的加工成型过程与实施例3提供的加工方法的区别在于，加工刀具的转速为4800r/min，其余参数与实施例3完全相同。
采用上述加工方法加工成型的靶材4的R角与外周面的对接处没有出现明显的接刀痕，加工面的表面粗糙度Ra为0.52μm，平面度公差为1.5mm。
实施例9
采用实施例3提供的加工刀具对铜靶材的R角和外周面一体加工成型，所述的加工成型过程与实施例3提供的加工方法的区别在于，加工刀具的转速为6200r/min，其余参数与实施例3完全相同。
采用上述加工方法加工成型的靶材4的R角与外周面的对接处没有出现明显的接刀痕，加工面的表面粗糙度Ra为0.48μm，平面度公差为1.7mm。
对比例1
本对比例提供了一种靶材R角和外周面的加工方法，所述的加工方法包括：
对靶材外周面和R角分别加工，加工过程中保持进给量和刀具转速与实施例3完全相同。
采用上述加工方法加工成型的靶材4的R角与外周面的对接处出现了明显的接刀痕，加工面的表面粗糙度Ra为0.13μm，平面度公差为2.3mm。
由实施例6、实施例7和实施例3的表面粗糙度数据和平面度公差数据对比发现，实施例6和实施例7的表面粗糙度和平面度公差大于实施例3，由此可以看出，当进给量小于2500mm/min时，靶材加工面的残余应力为压应力，无法保证靶材表面的平面度，减小进给量可以降低残留面积高度，因而可以减小表面粗糙度，但当进给量减小到小于2500mm/min时，粗糙度反而会上升；当进给量大于3000mm/min时，铣削随着轴向进给量的增大，切削力随之增大，靶材表层的塑性变形区域也随之增大，靶材表面的切削温度升高，会使由热塑性变形引起的残余拉应力增大，从而影响靶材的平面度。而进给量过大，切削厚度也会随之增大，切削力以及切削振动等因素对粗糙度的影响也加大，导致表面粗糙度明显加大。
由实施例8、实施例9和实施例3的表面粗糙度数据和平面度公差数据对比发现，实施例8和实施例9的表面粗糙度和平面度公差大于实施例3，由此可以看出，当刀具转速小于5000r/min时，易产生积屑从而导致表面粗糙度升高，当刀具转速大于6000mm/min时，会加剧刀具磨损，刀具的磨损会造成刀具刃口圆角变大，从而使刀刃表面的粗糙度变大，造成工件表面塑性变形加大，使已有残留面积被挤歪或沟纹加深，形成毛刺。
由对比例1和实施例3的表面粗糙度数据和平面度公差数据对比发现，对比例1的表面粗糙度和平面度公差明显大于实施例3，这是由于采用了两次加工分别成型靶材的R角和外周面，换刀时会在接到处产生接刀痕，而接刀处会产生毛刺，由此造成表面粗糙度和平面度达不到设计要求。
申请人声明，以上所述仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

Claims (10)

1.一种靶材R角与外周面一体成型的加工刀具，其特征在于，所述的加工刀具包括刀头；所述的刀头包括主刀头，以及位于主刀头一端外周设置的至少三个R角加工齿，所述R角加工齿与主刀体一体成型，所述主刀头的外周面刃部用于加工成型靶材外周面，所述R角加工齿与靶材接触的一侧为弧形加工面，通过所述弧形加工面加工成型靶材R角。
2.根据权利要求1所述的加工刀具，其特征在于，所述的加工刀具还包括刀柄，所述刀柄固定于刀头靠近R角加工齿的一端，所述刀柄用于固定所述刀头；
优选地，所述的刀柄与刀头同轴设置。
3.根据权利要求1或2所述的加工刀具，其特征在于，所述的刀柄为圆柱形结构；
优选地，所述的刀柄直径为18～22mm，进一步优选为20mm；
优选地，所述的刀柄长度为40～60mm，进一步优选为50mm；
优选地，所述刀柄远离刀头的一端面沿外缘加工倒角。
4.根据权利要求1-3任一项所述的加工刀具，其特征在于，所述的主刀头为圆柱形结构；
所述的主刀头的直径为18～22mm，进一步优选为20mm；
优选地，所述的主刀头的长度为20～25mm，进一步优选为25mm；
优选地，所述的刀柄直径与主刀头直径相同。
5.根据权利要求1-4任一项所述的加工刀具，其特征在于，所述的R角加工齿绕主刀头一端外周等距分布；
优选地，所述的主刀头外周设置有4～8个R角加工齿，进一步优选为6个。
6.根据权利要求1-5任一项所述的加工刀具，其特征在于，所述的R角加工齿的弧形加工面的弧形半径为3～4mm，优选为3.5mm；
优选地，所述R角加工齿的外周面距主刀头外周面的水平距离为3～5mm，进一步优选为5mm。
7.根据权利要求1-6任一项所述的加工刀具，其特征在于，所述靶材为铜靶材。
8.根据权利要求1-7任一项所述的加工刀具，其特征在于，所述的刀头材质为金刚石。
9.一种靶材R角与外周面一体成型的加工方法，其特征在于，采用权利要求1-8任一项所述的加工刀具对靶材的R角和外周面进行加工并一体成型，所述的加工方法包括：
加工刀具轴线与靶材待加工面平行，加工刀具旋转的同时平移靠近靶材的待加工面，主刀头加工加工成型靶材外周面，R角加工齿加工成型靶材R角，一次进刀一体加工成型靶材的外周面和R角。
10.根据权利要求9所述的加工方法，其特征在于，所述加工刀具的转速为5000～6000r/min，优选为5500r/min；
优选地，所述加工刀具的进给量为2500～3000mm/min，进一步优选为2800mm/min。
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