CN112051633A - 光学元件、光学系统和图像拾取装置 - Google Patents

Abstract

本公开涉及光学元件、光学系统和图像拾取装置。光学元件包括基板和被提供在基板上的多层膜。多层膜对于以0°的入射角入射的具有470nm至630nm的波长的光具有75％以上的平均透射率，以及对于以0°的入射角入射的具有1550nm的波长的光具有10％以下的透射率。多层膜包括交替层叠的由第一材料制成的层和由第二材料制成的层，以及设置在最外侧的由第三材料制成的最终层，并且满足预定条件。

Description

光学元件、光学系统和图像拾取装置

技术领域

本发明涉及光学元件、光学系统和图像拾取装置。

背景技术

LiDAR(光检测和测距)是一种用于测量照射的激光束撞击物体并从物体返回的时间以及用于测量到物体的距离和方向的技术。为了观察远处的物体，有必要增加激光束的强度，但是增强的激光束会损害人的视网膜。另一方面，具有1550nm的波长的激光束被水吸收，因此，如果有的话，撞击人的眼球的激光束会被眼球中的水吸收并且不会到达视网膜。因此，近年来，具有1550nm的波长的激光束已越来越多地被用于LiDAR。

数字相机使用对包括可见范围的从200nm至1100nm的波长具有灵敏度的图像传感器。可以在图像传感器的前表面上设置截止(cut)具有420nm以下的波长的紫外波段和具有680nm以上的波长的红外波段中的光的光学元件，以便使该灵敏度等于人眼的灵敏度。

日本专利特许公开No.(“JP”)2019-28421公开了一种滤光器，该滤光器对从425nm至620nm的波长具有80％以上的平均透射率，以及对从700nm至1200nm的波长具有12.5％以下的最大透射率。

当在相同的地方使用LiDAR和数字相机时，如果用于LiDAR的具有1550nm的高强度波长的激光束在维持其强度的同时到达图像传感器，那么图像传感器可能被损坏。JP2019-28421没有提及滤光器在1550nm的波长处的特性。假设在JP 2019-28421中公开的滤光器由于其使用光吸收材料代替电介质多层膜的干涉并且透射率从1100nm到1200nm的波长增加的事实而没有吸收太多1550nm的波长。因此，不清楚当JP 2019-28421中公开的滤光器被设置在图像传感器的前表面上时是否可以防止具有1550nm的波长的激光束到达图像传感器。

发明内容

本发明提供了光学元件、光学系统和图像拾取装置，它们中的每一个在维持可见范围中的高透射率的同时截止具有1550nm的波长的光。

根据本发明的一个方面的光学元件包括基板和被提供在基板上的多层膜。多层膜对于以0°的入射角入射的具有470nm至630nm的波长的光具有75％以上的平均透射率，以及对于以0°的入射角入射的具有1550nm的波长的光具有10％以下的透射率。多层膜包括交替层叠的由第一材料制成的层和由第二材料制成的层，以及设置在最外侧的由第三材料制成的最终层。满足以下条件表达式：

1.35≤n_m≤1.80

1.90≤n_h≤2.50

1.15≤n_l≤1.50

其中n_m是第一材料的折射率，n_h是第二材料的折射率，以及n_l是第三材料的折射率。

根据本发明的另一方面的光学元件包括基板和被提供在基板上的多层膜。多层膜对于以0°的入射角入射的具有470nm至630nm的波长的光具有75％以上的平均透射率，以及对于以0°的入射角入射的具有1550nm的波长的光具有10％以下的透射率。存在满足以下条件表达式的m/8个以上的整数：

480≤d_2i-1≤600

1.8≤d_2i/d_2i-1≤2.2

其中m是从基板的一侧算起的多层膜中的层的序数(order)，i是满足2≤i≤(m-1)/2的整数，d_2i-1(nm)是第(2i-1)层的光学厚度，以及d_2i(nm)是第2i层的光学厚度。

各自具有上述光学元件之一的光学系统和图像拾取装置也构成本发明的另外的方面。

本发明的其它特征将从以下参考附图对示例性实施例的描述变得清楚。

附图说明

图1是根据本发明的一个实施例的光学元件的示意性截面图。

图2图示了光学元件的透射率特性(示例4)。

图3A和图3B是与图1中图示的光学元件不同的光学元件的示意性截面图。

图4图示了第一1550nm截止膜的透射率特性(示例1至示例7)。

图5图示了可见范围抗反射膜的透射率特性(示例1和示例5)。

图6图示了根据示例1的光学元件的透射率特性。

图7图示了第一IR截止膜的透射率特性(示例2和示例5)。

图8图示了根据示例2的光学元件的透射率特性。

图9图示了UV截止膜的透射率特性(示例3以及示例5至示例7)。

图10图示了根据示例3的光学元件的透射率特性。

图11图示了UV-IR截止膜的透射率特性(示例4)。

图12图示了根据示例5的光学元件的透射率特性。

图13图示了第二IR截止膜的透射率特性(示例6)。

图14图示了第三IR截止膜的透射率特性(示例6)。

图15图示了根据示例6的光学元件的透射率特性。

图16图示了第四IR截止膜的透射率特性(示例7)。

图17图示了根据示例7的光学元件的透射率特性。

图18是根据示例8的光学系统的示意性截面图。

图19是数字相机的透视图，该数字相机是根据示例9的说明性图像拾取装置。

图20图示了第二1550nm截止膜的透射率特性(示例10)。

图21图示了第三1550nm截止膜的透射率特性(示例10)。

图22图示了第四1550nm截止膜的透射率特性(示例10)。

图23图示了第一比较光学多层膜的透射率特性(比较示例)。

图24图示了第二比较光学多层膜的透射率特性(比较示例)。

具体实施方式

现在参考附图，将给出根据本发明的实施例的详细描述。各个附图中的对应元件将由相同的附图标记表示，并且将省略其重复描述。

图1是根据本发明的一个实施例的光学元件100的示意性截面图。光学元件100包括透明基板(基板)10并且用于选择波长，该透明基板10在一个光学表面(第一表面)上具有光学多层膜(多层膜)1并且在另一个光学表面(第二表面)上具有光学多层膜(多层膜)2，光学多层膜1具有透射率特性。光学多层膜2是根据预期应用来确定的，并且可以具有任何膜结构。

透射率特性的以下描述将讨论以0°(度)的入射角入射在光学元件100上的具有300nm至1800nm的波长的光。

光学多层膜1在470nm至630nm的可见波长范围内具有75％以上的平均透射率，并且在用于LiDAR的1550nm的波长处具有10％以下的透射率。光学多层膜1可以在420nm至680nm的波长处具有80％以上的平均透射率，并且在1550nm的波长处具有5％以下的透射率。

光学多层膜1可以具有对从700nm至1000nm的波长具有10％以下的透射率的波段。通过具有这样的波段，以少量的层和材料，光学多层膜1可以具有在420nm至680nm的波长处示出80％以上的平均透射率并且在1550nm的波长处示出10％以下的透射率的膜结构。

光学多层膜1在470nm至630nm的波长处的最大反射率与最小反射率之间的差异可以在8％以内。在可见范围内，如果每个波长处的反射率差异大，那么色彩平衡会变差。

光学多层膜1的层数可以是14以上且81以下。当层数小于14时，难以获得期望的透射率特性。当层数为82以上时，由于形成每个层时的膜厚度误差引起的特性分散(characteristic scattering)的影响变大，从而使制造困难。层数可以为20以上且61以下，并且特别地，可以为30以上且51以下。

光学多层膜1由折射率分别为n_m、n_h和n_l的三种类型的膜材料制成。光学多层膜1从透明基板10的前表面开始依次包括重复层(交替层)和最终层，在该重复层中交替重复折射率为n_m的第一材料和折射率为n_h的第二材料，最终层由折射率为n_l的第三材料制成。折射率n_m、n_h和n_l可以分别满足以下条件表达式(1)至(3)。

1.35≤n_m≤1.80 (1)

1.90≤n_h≤2.50 (2)

1.15≤n_l≤1.50 (3)

折射率n_m、n_h和n_l同时满足n_l＜n_m＜n_h的关系。在实际的制造中，如果有很多材料或者如果使用具有特殊折射率的材料，那么成本增加。因此，可以以少量的类型和少量的层产生通常使用的材料。

条件表达式(1)至(3)的数值范围可以分别被设置为以下条件表达式(1a)至(3a)的范围。

1.39≤n_m≤1.75 (1a)

1.95≤n_h≤2.45 (2a)

1.19≤n_l≤1.45 (3a)

特别地，条件表达式(1)至(3)的数值范围可以分别被设置为以下条件表达式(1b)至(3b)的范围。

1.40≤n_m≤1.70 (1b)

2.00≤n_h≤2.40 (2b)

1.23≤n_l≤1.40 (3b)

在m是从基板的一侧(基板侧)算起的光学多层膜1中的层的序数、“i”是满足2≤i≤(m-1)/2的整数、d_2i-1(nm)是第(2i-1)层的光学厚度以及d_2i(nm)是第2i层的光学厚度的情况下，可以存在满足以下条件表达式(4)和(5)的至少m/8个整数。

480≤d_2i-1≤600 (4)

1.8≤d_2i/d_2i-1≤2.2 (5)

为了使光学多层膜1透射具有470nm至630nm的波长的光并截止(或过滤)具有1550nm的波长的光，有必要满足表达式(4)和(5)。

虽然这个实施例假设光从光学多层膜1被引入，但是光可以从光学多层膜2被引入。

图2图示了光学元件100的透射率特性。光学元件100在420nm至680nm的波长处具有80％以上的平均透射率，以及在1550nm的波长处具有10％以下的透射率。光学元件100甚至在作为UV波段的300nm至400nm的波长波段和作为IR波段的700nm至1100nm的波长波段中具有10％以下的透射率。但是，本发明不限于这个实施例，因为必要的透射率取决于应用而不同。

光学元件100可以位于光学系统的光轴上的任何位置处，只要光学元件100位于图像传感器的前表面上即可，但是可以位于更靠近图像传感器处。

图3A和图3B是与图1的光学元件100不同的光学元件的示意性截面图。图3A中图示的光学元件200包括在一个光学表面上具有光学多层膜3并且在另一个光学表面上具有光学多层膜4的透明基板12，以及在一个光学表面上具有光学多层膜5并且在另一个光学表面上具有光学多层膜6的透明基板13。透明基板12和13被布置在光轴上。图3B中图示的光学元件300包括在一个光学表面上具有光学多层膜7并且在另一个光学表面上具有光学多层膜8的透明基板14，以及在一个光学表面上具有光学多层膜9的透明基板16。透明基板14和16经由粘合剂15彼此粘合。

根据本发明的光学元件不限于在这个实施例中描述的构造，而是可以根据应用来构造。

下面将例示具体示例。以下示例仅仅是说明性的，并且根据本发明的光学元件不限于每个示例的条件。

示例1

根据这个示例的光学元件100具有图1中图示的构造。透明基扳10由折射率(λ＝550nm)为1.52并且无吸收的玻璃材料S1制成。光学多层膜1是第一1550nm截止膜，该第一1550nm截止膜具有截止(阻挡)用于LiDAR的具有1550nm的波长的光的90％以上的功能。光学多层膜2是可见范围抗反射膜，该可见范围抗反射膜透射作为可见范围的420nm至680nm的波长范围中的光。表1示出了第一1550nm截止膜的膜结构，以及表2示出了可见范围抗反射膜的膜结构。表1和表2中的折射率是在550nm的波长处的值。第一1550nm截止膜包括其中交替重复膜材料M1和膜材料H1的重复层以及由膜材料L1制成的最终层。可见范围抗反射膜2具有由膜材料M2、H1和L1制成的三层结构。

1550nm截止膜1的膜材料M1、H1和L1的折射率分别满足表达式(1)至(3)。存在满足表达式(4)和(5)的至少六个以上的整数i。图4图示了第一1550nm截止膜的透射率特性。第一1550nm截止膜在420nm至680nm的波长处具有80％以上的平均透射率，以及在1550nm的波长处具有10％以下的透射率。图5图示了可见范围抗反射膜的透射率特性。

根据这个示例的光学元件100的透射率特性是第一1550nm截止膜的透射率特性与可见范围抗反射膜的透射率特性的乘积。图6图示了根据这个示例的光学元件100的透射率特性。根据这个示例的光学元件100在420nm至680nm的波长处具有80％以上的平均透射率。光学元件100在1550nm的波长处具有10％以下的透射率。即，光学元件100可以截止具有1550nm的波长的光。光学元件100在1550nm的波长处可以具有5％以下的透射率，特别地具有3％以下的透射率。

表1

表2

示例2

根据这个示例的光学元件100具有图1中图示的构造。透明基板10由折射率(λ＝550nm)为1.52并且无吸收的玻璃材料S1制成。光学多层膜1是第一1550nm截止膜，该第一1550nm截止膜具有截止用于LiDAR的具有1550nm的波长的光的90％以上的功能。光学多层膜2是第一IR截止膜，该第一IR截止膜透射具有420nm至680nm的波长的可见波段中的光并截止具有700nm至1100nm的波长的IR波段中的光。表1示出了1550nm截止膜的第一膜结构，以及表3示出了第一IR截止膜的膜结构。表1和表3中的折射率是在550nm的波长处的值。第一IR截止膜包括其中交替重复膜材料M1和膜材料H2的重复层，以及由膜材料L1制成的最终层。图7图示了第一IR截止膜的透射率特性。

根据这个示例的光学元件100的透射率特性是第一1550nm截止膜的透射率特性与第一IR截止膜的透射率特性的乘积。图8图示了根据这个示例的光学元件100的透射率特性。根据这个示例的光学元件100对从420nm至680nm的波长具有80％以上的平均透射率。根据这个示例的光学元件100在1550nm的波长处具有10％以下的透射率。即，它可以截止具有1550nm的波长的光。它还可以截止从700nm至1100nm的波长波段中的光。

表3

示例3

根据这个示例的光学元件100具有图1中所示的构造。透明基板10是折射率(λ＝550nm)为1.52并且无吸收的玻璃材料S1。光学多层膜1是第一1550nm截止膜，该第一1550nm截止膜具有截止用于LiDAR的具有1550nm的波长的光的90％以上的功能。光学多层膜2是UV截止膜，该UV截止膜透射具有从420nm至680nm的波长的可见波段中的光并且截止具有从300nm至400nm的波长的UV波段中的光。表1示出了第一1550nm截止膜1的膜结构，以及表4示出了UV截止膜的膜结构。表1和表4中的折射率是在550nm的波长处的值。UV截止膜包括其中交替重复膜材料M1和膜材料H2的重复层，以及由膜材料L1制成的最终层。图9图示了UV截止膜的透射率特性。

根据这个实施例的光学元件100的透射率特性是第一1550nm截止膜的透射率特性与UV截止膜的透射率特性的乘积。图10图示了根据这个示例的光学元件100的透射率特性。根据这个示例的光学元件100在420nm至680nm的波长处具有80％以上的平均透射率。它在1550nm的波长处具有10％以下的透射率。即，它可以截止具有1550nm的波长的光。另外，它可以截止具有300nm至400nm的波长波段的光。

表4

示例4

根据这个示例的光学元件100具有图1中图示的构造。透明基板10由折射率(λ＝550nm)为1.52并且无吸收的玻璃材料S1制成。光学多层膜1是第一1550nm截止膜1，该1550nm截止膜1具有截止用于LiDAR的具有1550nm的波长的光的90％以上的功能。光学多层膜2是UV-IR截止膜，该UV-IR截止膜透射作为可见范围的420nm至680nm的波长范围内的光，并且截止作为UV波段的300nm至400nm的波长范围内的光，并且截止具有作为IR波段的700nm至1100nm的波长的光。表1示出了第一1550nm截止膜的膜结构，以及表5示出了UV-IR截止膜的膜结构。表1和表5中的折射率是在550nm的波长处的值。UV-IR截止膜2包括其中交替重复膜材料M1和膜材料H2的重复层，以及由膜材料L1制成的最终层。图11示出了UV-IR截止膜的透射率特性。

根据这个示例的光学元件100的透射率特性是第一1550nm截止膜的透射率特性与UV-IR截止膜的透射率特性的乘积。图2图示了根据这个示例的光学元件100的透射率特性。根据这个示例的光学元件100在420nm至680nm的波长处具有80％以上的平均透射率。它在1550nm的波长处具有10％以下的透射率。即，它可以截止具有1550nm的波长的光。此外，它可以截止300nm至400nm的波长波段中的光和700nm至1100nm的波长波段中的光。

表5

示例5

根据这个示例的光学元件200具有图3A的构造。透明基板12和13中的每一个由折射率(λ＝550nm)为1.52并且无吸收的玻璃材料S1制成。光学多层膜3是第一1550nm截止膜，该第一1550nm截止膜具有截止用于LiDAR的具有1550nm的波长的光的90％以上的功能。光学多层膜4是可见范围抗反射膜，该可见范围抗反射膜透射具有从420nm至680nm的可见范围波长的光。光学多层膜5是第一IR截止膜，该第一IR截止膜透射具有从420nm至680nm的可见范围波长的光并且截止从700nm至1100nm的IR波段波长中的光。光学多层膜6是UV截止膜，该UV截止膜透射具有从420nm至680nm的可见范围波长的光并且截止具有从300nm至400nm的UV波段波长的光。

根据这个示例的光学元件200的透射率特性是四个膜的透射率特性的乘积。图12图示了根据这个示例的光学元件200的透射率特性。根据这个示例的光学元件200在从420nm至680nm的波长范围具有80％以上的平均透射率。另外，它在1550nm的波长处具有10％以下的透射率。即，它可以截止具有1550nm的波长的光。另外，它可以截止具有300nm至400nm的波长波段的光和具有700nm至1100nm的波长波段的光。

只要第一1550nm截止膜、可见范围抗反射膜、第一IR截止膜和UV截止膜全部被使用，图12中图示的透射率特性就是可获得的，因此膜阵列不限于这个示例的次序，并且可以具有任何次序。

示例6

根据这个示例的光学元件200具有图3A的构造。透明基板12和13中的每一个由折射率(λ＝550nm)为1.52并且无吸收的玻璃材料S1制成。光学多层膜3是第一1550nm截止膜1，该第一1550nm截止膜1具有截止用于LiDAR的具有1550nm的波长的光的90％以上的功能。光学多层膜4是第二IR截止膜，该第二IR截止膜截止具有从700nm至900nm的IR波段波长的光。光学多层膜5是第三IR截止膜，该第三IR截止膜截止具有900nm至1100nm的IR波段波长的光。光学多层膜6是UV截止膜，该UV截止膜截止具有从300nm至400nm的UV波段波长的光。表1、表4、表6和表7分别示出了第一1550nm截止膜、UV截止膜以及第二IR截止膜和第三IR截止膜的膜结构。表1、表4、表6和表7中的折射率是在550nm的波长处的值。图13和图14分别示出了第二IR截止膜和第三IR截止膜的透射率特性。

根据这个示例的光学元件200的透射率特性具有第一1550nm截止膜的透射率特性、第二IR截止膜的透射率特性、第三IR截止膜的透射率特性和UV截止膜的透射率特性的乘积。图15图示了根据这个示例的光学元件200的透射率特性。根据这个示例的光学元件200在从420nm至680nm的波长处具有80％以上的平均透射率。另外，它在1550nm的波长处具有10％以下的透射率。即，它可以截止具有1550nm的波长的光。它可以截止具有300nm至400nm的波长的光和具有700nm至1100nm的波长的光。

只要第一1550nm截止膜，第二IR截止膜和第三IR截止膜以及UV截止膜全部被使用，就可以获得图15中图示的透射率特性，并且膜布置不限于根据这个示例的次序，并且可以具有任何次序。

表6

表7

示例7

根据这个示例的光学元件300具有图3B的构造。透明基板14和16由折射率(λ＝550nm)为1.52并且无吸收的玻璃材料S1制成。粘合剂15是折射率(λ＝550nm)为1.52并且无吸收的粘合剂A1。光学多层膜7是第一1550nm截止膜，该第一1550nm截止膜具有截止用于LiDAR的具有1550nm的波长的光的90％以上的功能。光学多层膜8是第四IR截止膜，该第四IR截止膜截止作为IR波段的从700nm至1100nm的波长波段中的光。光学多层膜9是UV截止膜，该UV截止膜截止作为UV波段的300nm至400nm的波长波段中的光。第一1550nm截止膜、UV截止膜和第四IR截止膜的膜结构分别在表1、表4和表8中示出。表1、表4和表8中的折射率是在550nm的波长处的值。图16图示了第四IR截止膜的透射率特性。

这个示例的光学元件300的透射率特性是第一1550nm截止膜的透射率特性、第四IR截止膜的透射率特性和UV截止膜的透射率特性的乘积。图17图示了根据这个示例的光学元件300的透射率特性。根据这个示例的光学元件300在从420nm至680nm的波长处具有80％以上的平均透射率。它在1550nm的波长处具有10％以下的透射率。它可以截止具有1550nm的波长的光。它可以截止在300nm至400nm的波长波段中的光和在700nm至1100nm的波长波段中的光。

表8

示例8

这个示例将讨论根据本发明的另一实施例的光学系统。图18是光学系统500的示意性截面图。光学系统500具有多个光学元件G101至G112以及光圈(孔径光阑)102。18A至18F表示可以设置根据本发明的光学元件的位置。根据本发明的光学元件可以被设置在由18A至18F表示的位置中的任何一个位置处。

示例9

这个示例将讨论根据本发明的另一实施例的图像拾取装置。图19是作为图像拾取装置的示例的数字相机600的透视图。数字相机600具有透镜单元601和主体602。透镜单元601包括根据示例8的光学系统500。主体602具有诸如CCD和CMOS传感器之类的图像传感器603，该图像传感器603位于光学系统500的像面处。图像传感器603对经由光学系统500形成的光学像进行光电转换并输出图像数据。根据本发明的光学元件可以被结合在透镜单元601中，或者可以作为过滤器被附接到透镜单元601的前表面。它可以被设置在主体602中的图像传感器603的前表面上。

根据本发明的光学元件在使用用于驾驶辅助等的小透镜的图像拾取装置中也是有效的，但是在使用较大透镜的照相图像拾取装置中更有效。特别地，当被用在具有10mm以上的有效直径的图像拾取装置中时，它是有效的。

示例10

这个示例将描述与示例1至示例7中使用的第一1550nm截止膜不同的第二1550nm截止膜至第四1550nm截止膜。

表9、表10和表11分别示出了第二1550nm截止膜、第三1550nm截止膜和第四1550nm截止膜的膜结构。图20、图21和图22分别示出了第二1550nm截止膜、第三1550nm截止膜和第四1550nm截止膜的透射率特性。

第二1550nm截止膜、第三1550nm截止膜和第四1550nm截止膜的膜材料M3、H2和L1的折射率分别满足表达式(1)至(3)。在第二1550nm截止膜和第三1550nm截止膜中存在满足表达式(4)和(5)的至少6个以上的整数i，以及在第四1550nm截止膜中存在满足表达式(4)和(5)的至少4个以上的整数i。因此，每个1550nm截止膜都可以获得期望的特性。

表9

表10

表11

比较示例

表12和表13示出了在示例1至示例10中描述的第一1550nm截止膜至第四1550nm截止膜的第一比较光学多层膜和第二比较光学多层膜的膜结构。图23和图24分别图示了第一比较光学多层膜和第二比较光学多层膜的透射率特性。

在比较光学多层膜中，满足表达式(4)和(5)的整数i的数量不会变成6以上。因此，第一比较光学多层膜在470nm至630nm的波长处具有75％以上的平均透射率，但是在1550nm的波长处具有10％以上的透射率。第二比较光学多层膜2在1550nm的波长处具有10％以下的透射率。但是，在从470nm至630nm的波长波段中，它的透射率对于每个波长显著地分散，并且平均透射率为75％以下。

表12

表13

上述实施例可以提供光学元件、光学系统和图像拾取装置，它们中的每一个可以在维持可见范围中的高透射率的同时截止具有1550nm的波长的光。

虽然已经参考示例性实施例描述了本发明，但是要理解的是，本发明不限于所公开的示例性实施例。所附权利要求的范围应被赋予最宽泛的解释，以涵盖所有这样的修改以及等同的结构和功能。

Claims (10)

1.一种光学元件，包括：

基板；以及

多层膜，所述多层膜被提供在基板上，

其中所述多层膜对于以0°的入射角入射的具有470nm至630nm的波长的光具有75％以上的平均透射率，以及对于以0°的入射角入射的具有1550nm的波长的光具有10％以下的透射率，

其特征在于，所述多层膜包括交替层叠的由第一材料制成的层和由第二材料制成的层，以及设置在最外侧的由第三材料制成的最终层，以及

其中满足以下条件表达式：

1.35≤n_m≤1.80

1.90≤n_h≤2.50

1.15≤n_l≤1.50

其中n_m是第一材料的折射率，n_h是第二材料的折射率，以及n_l是第三材料的折射率。

2.如权利要求1所述的光学元件，其特征在于，所述多层膜对于以0°的入射角入射的具有420nm至680nm的波长的光的平均透射率为80％以上。

3.如权利要求1所述的光学元件，其特征在于，所述多层膜在470nm至630nm的波长处的最大反射率与最小反射率之间的差异在8％以内。

4.如权利要求1所述的光学元件，其特征在于，所述多层膜具有其中透射率在700nm至1000nm的波长处为10％以下的波段。

5.如权利要求1所述的光学元件，其特征在于，所述多层膜具有14层至81层，包括14层和81层。

6.如权利要求1所述的光学元件，其特征在于，存在满足以下条件表达式的m/8个以上的整数：

480≤d_2i-1≤600

1.8≤d_2i/d_2i-1≤2.2

其中m是从光出射侧算起的所述多层膜中的层的序数，i是满足2≤i≤(m-1)/2的整数，d_2i-1(nm)是第(2i-1)层的光学厚度，以及d_2i(nm)是第2i层的光学厚度。

7.如权利要求1所述的光学元件，其特征在于，所述多层膜在1550nm的波长处的透射率为5％以下。

8.一种光学元件，包括：

基板；以及

多层膜，所述多层膜被提供在基板上，

其特征在于，所述多层膜对于以0°的入射角入射的具有470nm至630nm的波长的光具有75％以上的平均透射率，以及对于以0°的入射角入射的具有1550nm的波长的光具有10％以下的透射率，

其中存在满足以下条件表达式的m/8个以上的整数：

480≤d_2i-1≤600

1.8≤d_2i/d_2i-1≤2.2

其中m是从基板的一侧算起的所述多层膜中的层的序数，i是满足2≤i≤(m-1)/2的整数，d_2i-1(nm)是第(2i-1)层的光学厚度，以及d_2i(nm)是第2i层的光学厚度。

9.一种光学系统，其特征在于，所述光学系统包括多个光学元件，

其中所述多个光学元件包括如权利要求1至8中任一项所述的光学元件。

10.一种图像拾取装置，其特征在于，包括：

如权利要求1至8中任一项所述的光学元件；以及

图像传感器，被构造为接收来自所述光学元件的光。

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