CN112020294A - 超宽谱吸波材料及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种超宽谱吸波材料及其制备方法，所述超宽谱吸波材料包括金属背板、多个吸波结构层和多个介电层，相邻的两个所述吸波结构层之间具有介电层；每一所述吸波结构层分别包括多个吸波单元，每一所述吸波单元包括一个电阻膜结构，且多个所述吸波结构层的吸波单元的垂向投影相同；多个所述吸波结构层的电阻膜结构分别呈预设环状的几何形状设置，且相邻的两个所述吸波结构层的电阻膜结构的大小和/或几何形状不相同，并通过具有不同大小和/或几何形状的电阻膜结构吸收不同频谱的电磁波。本发明通过形成多个吸波耦合峰，增强了对电磁波的吸收能力，扩宽吸波频带宽度，可达成宽频带的吸波效果，降低吸波材料对电磁波斜入射角度的依赖性。

Description

超宽谱吸波材料及其制备方法

技术领域

本发明实施例涉及吸波材料领域，更具体地说，涉及一种超宽谱吸波材料及其制备方法。

背景技术

随着电子工业的蓬勃发展和5G通讯技术的升级，与5G通讯相关的各种基础设备(例如基站、天线阵列等等)、以及目前各种智能家居、手机、手环、蓝牙耳机和自动驾驶等等产品的研发与生产测试，都需要在特定干净的电磁环境下进行。通常有用于研发的微波暗室和电波暗室、以及用于产线测试的电磁屏蔽箱或中小型屏蔽暗室，而所有的这些测试用的应用场景最核心的就是吸波材料。

吸波材料是一种能够吸收、衰减一定频段内入射的电磁波，并使电磁能够转换成热能或其他形式的能量消耗掉、或使电磁波因干涉相消而无法被探测到的一类功能材料。

随着通讯频段的不断提高，目前5G在毫米波频段已经上升至26GHz及39GHz，而单层结构的吸波材料的吸波能力较差，因此目前多采用多层结构的吸波材料。但是，在现有多层结构的吸波材料中，多个吸波结构层上的电阻膜结构的几何形状及大小通常相同设置，这样无法形成多个吸波耦合峰，使得现有多层结构的吸波材料的吸波频带宽度较小，很难达成宽频带吸波的效果。

发明内容

本发明实施例针对上述现有多层结构的吸波材料无法形成多个吸波耦合峰、吸波频带宽度较小以及很难实现宽频带吸波效果的问题，提供一种超宽谱吸波材料及其制备方法。

本发明实施例解决上述技术问题的技术方案是，提供一种超宽谱吸波材料，包括金属背板、相叠于所述金属背板上的多个吸波结构层以及多个介电层，且相邻的两个所述吸波结构层之间具有介电层；每一所述吸波结构层分别包括有多个呈周期性排布的吸波单元，每一所述吸波单元包括一个电阻膜结构，且多个所述吸波结构层的吸波单元的垂向投影相同；多个所述吸波结构层的电阻膜结构分别呈预设环状的几何形状设置，且相邻的两个所述吸波结构层的电阻膜结构的大小和/或几何形状不相同，并通过具有不同大小和/或几何形状的电阻膜结构吸收不同频谱的电磁波。

优选地，每一所述吸波结构层均包括绝缘膜，且每一所述吸波结构层的多个电阻膜结构分别通过丝印工艺固定连接在所述绝缘膜上。

优选地，所述多个吸波结构层包括依次相叠于所述金属背板上的第一吸波结构层、第二吸波结构层、第三吸波结构层、第四吸波结构层和第五吸波结构层，且所述第一吸波结构层位于所述第五吸波结构层背向所述金属背板的一侧；

所述第一吸波结构层上的电阻膜结构分别呈圆环形，所述第二吸波结构层上的电阻膜结构分别呈方环形，且所述第二吸波结构层的电阻膜结构的尺寸大于或等于所述第一吸波结构层的电阻膜结构的尺寸；

所述第三吸波结构层上的电阻膜结构分别呈环状的六边形，且尺寸大于或等于所述第二吸波结构层上的电阻膜结构的尺寸；所述第四吸波结构层上的电阻膜结构分别呈方环形，且尺寸大于所述第二吸波结构层上的电阻膜结构的尺寸；所述第五吸波结构层上的电阻膜结构分别呈环状的椭圆形，且尺寸大于或等于所述第四吸波结构层上的电阻膜结构的尺寸。

优选地，每一所述吸波结构层的方阻为50-1000Ω/□；

所述第二吸波结构层的方阻大于所述第一吸波结构层的方阻、小于所述第三吸波结构层的方阻，所述第四吸波结构层的方阻与所述第三吸波结构层的方阻相等、大于所述第五吸波结构层的方阻。

优选地，所述第一吸波结构层背向所述第二吸波结构层的一侧设有一个所述介电层，以隔断所述第一吸波结构层与外部空气的接触，起到保护作用；所述第五吸波结构层和金属背板之间由一个所述介电层间隔分开；

所述第一吸波结构层上的电阻膜结构的方阻为326Ω/□，所述第二吸波结构层上的电阻膜结构的方阻为490Ω/□，所述第三吸波结构层上的电阻膜结构的方阻为600Ω/□，所述第四吸波结构层上的电阻膜结构的方阻为600Ω/□，所述第五吸波结构层上的电阻膜结构的方阻为62Ω/□。

优选地，所述多个介电层的介电常数均为1.02-1.14，且相邻的两个所述吸波结构层之间的介电层的厚度分别为2.5mm；位于所述第一吸波结构层背向所述第二吸波结构层的一侧的介电层的厚度为2mm；位于所述第五吸波结构层和金属背板之间的介电层的厚度为2mm；所述超宽谱吸波材料的厚度小于20mm。

优选地，所述金属背板、介电层和吸波结构层之间分别通过固定胶连接在一起。

本发明实施例还提供一种如上任一项所述的超宽谱吸波材料的制备方法，包括以下步骤：

a：在吸波结构层和介电层的表面添加低温固化胶；

b：将多个吸波结构层和多个介电层按预设排列顺序相叠排布，并通过抽真空装置抽真空后静置预设时间；

c：通过烘箱设备加温，完成超宽谱吸波材料的制备。

优选地，所述步骤a还包括：将多个形状及尺寸相同的电阻膜结构按周期性排布并固定在绝缘膜上，同时使相邻的两个所述电阻膜结构之间的距离为16mm，并在所述绝缘膜背向所述电阻膜结构的表面添加所述低温固化胶。

优选地，所述超宽谱吸波材料包括第一吸波结构层、第二吸波结构层、第三吸波结构层、第四吸波结构层、第五吸波结构层、六层介电层以及设于其中一个所述介电层的表面上的金属背板；

所述步骤b还包括：在一个所述介电层的一个表面上通过刻蚀工艺加工制成所述金属背板，并将所述金属背板所在的介电层以金属背板朝下的方式放置，再将所述第五吸波结构层、第四吸波结构层、第三吸波结构层、第二吸波结构层和第一吸波结构层依次叠加在所述金属背板所在的介电层朝上的表面上，同时在第五吸波结构层、第四吸波结构层、第三吸波结构层、第二吸波结构层与第一吸波结构层相邻之间分别叠加一个所述介电层，然后在所述第一吸波结构层背向所述第二吸波结构层的表面上叠加一个所述介电层。

本发明实施例的超宽谱吸波材料及其制备方法具有以下有益效果：通过设置多个吸波结构层，并使相邻的两个吸波结构层的电阻膜结构的大小和/或几何形状不相同，从而可以由多个吸波结构层共同形成多个吸波耦合峰，大大增强超宽谱吸波材料对电磁波的吸收能力，扩宽吸波频带宽度，进而达成宽频带的吸波效果。并且，还通过将吸波结构层的电阻膜结构呈环状的几何形状设置，可以利用环状的几何结构的各向同性，使得单个吸波结构层11倍频S₁₁保持-10dB以下的吸波特性，同时降低对电磁波斜入射角度的依赖性，以满足于对电磁环境具有高要求的通讯及电子产品的研发测试。

此外，上述超宽谱吸波材料及其制备方法还通过使电阻膜结构经丝印工艺固定连接在绝缘膜上，这样不仅有利于加工制造，还能在保证宽频带吸波效果的同时缩小超宽谱吸波材料的厚度，进而缩减体积，以减少对空间的占用，提高使用的实用性。

附图说明

图1是本发明实施例提供的超宽谱吸波材料的局部结构示意图；

图2是本发明实施例提供的超宽谱吸波材料的吸波特性曲线图；

图3是本发明实施例提供的超宽谱吸波材料分解的结构示意图；

图4是本发明实施例提供的超宽谱吸波材料的吸波性能与电磁波斜入射角度的关系曲线图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

如图1所示，是本发明实施例提供的超宽谱吸波材料的局部结构示意图，该超宽谱吸波材料可应用于吸波材料领域，特别是在用于研发的微波暗室和电波暗室、以及用于产线测试的电磁屏蔽箱或中小型屏蔽暗室中。本实施例中的超宽谱吸波材料包括金属背板1、以及相叠于金属背板1上的多个吸波结构层20以及多个介电层3，且相邻的两个吸波结构层20之间具有介电层3，即由介电层3间隔分开两个吸波结构层20，使相邻两个吸波结构层20之间存在间隙，以对应波长的频带，有利于形成多个吸收峰。上述介电层3具体可选用蜂窝材料或聚甲基丙烯酰亚胺泡沫(即PMI泡沫)，重量轻，方便加工制作，且能够在保证介电性能的同时不会增大厚度。当然，介电层3的具体构成材料可根据实际情况进行确定。

每一吸波结构层20分别包括有多个吸波单元，且吸波结构层20上的多个吸波单元呈周期性排布，可以使得吸波结构层20吸收电磁波更加平衡稳定，保证吸波结构层20的吸波性能。进一步地，每一吸波单元包括一个电阻膜结构(如图1中的211、221、231、241、251)，且多个吸波结构层20的吸波单元的垂向投影相同，即在多个吸波结构层20相叠在一起时，多个吸波结构层20上的多个吸波单元分别沿垂向重叠在一起。优选将电阻膜结构设于吸波单元的中央，这样在多个吸波结构层20相叠一起时，能够使多个吸波结构层20上的电阻膜结构的中心轴同轴设置。

特别地，多个吸波结构层20的电阻膜结构分别呈预设的环状的几何形状设置，且相邻的两个吸波结构层20的电阻膜结构的大小(电阻膜结构的大小也就是其外形尺寸大小，具体由环状的几何形状的内外边长确定)和/或几何形状不相同，并通过具有不同大小和/或几何形状的电阻膜结构形成吸收峰，以吸收不同频谱的电磁波。上述多个吸波结构层20的电阻膜结构的几何形状可根据实际情况进行设定，以使得电阻膜结构具各向同性的结构特性，具体可呈圆环形、方环形以及环状的六边形等等。

上述超宽谱吸波材料通过设置多个吸波结构层20，并使相邻的两个吸波结构层20的电阻膜结构的大小和/或几何形状不相同，从而可以由多个吸波结构层20共同形成多个吸波耦合峰，大大增强了超宽谱吸波材料对电磁波的吸收能力，进而能够有效扩宽吸波频带宽度，使适用范围更加广泛，并满足于对电磁环境具有高要求的通讯及电子产品的研发测试。

此外，由于吸波结构层20的电阻膜结构呈环状的几何形状设置，因此可以利用环状的几何结构的各向同性，降低对电磁波斜入射角度的依赖性，同时使得单个吸波结构层20的11倍频S₁₁能够稳定保持-10dB以下的吸波特性，具体能够在3.5-40GHz内，实现S₁₁低于-10dB、及11倍频的宽谱吸收，从而达成宽频带的吸波效果，以覆盖5G毫米波工作频段，其吸波曲线具体如图2所示。

在实际应用中，吸波结构层20的数量及介电层3的数量可根据实际情况确定，优选在相邻的两个吸波结构层20之间叠加一个介电层3，以简化超宽谱吸波材料的整体结构，同时能够防止增大组装操作的复杂程度。

每一吸波结构层20均包括绝缘膜，且每一吸波结构层20的多个电阻膜结构分别通过丝印工艺固定连接在绝缘膜上，这样不仅有利于吸波结构层20的加工制造，还能在保证超宽谱吸波材料的宽频带吸波效果的同时，缩小超宽谱吸波材料的厚度，进而缩减体积，以减少对空间的占用，提高超宽谱吸波材料使用的实用性。

上述吸波结构层20的绝缘膜具体可由聚酰亚胺薄膜(即PI膜)构成，材料成本低且具有较好的绝缘性能。当然，上述绝缘膜的材料的选定、以及电阻膜结构与绝缘膜之间的加工固定方式具体可根据实际情况确定

在本发明的实施例中，上述超宽谱吸波材料包括五个吸波结构层20、六个介电层3以及一个金属背板1。

结合图3所示，五个吸波结构层20具体为依次相叠于金属背板1上的第一吸波结构层21、第二吸波结构层22、第三吸波结构层23、第四吸波结构层24和第五吸波结构层25，且第一吸波结构层21位于第五吸波结构层25背向金属背板1的一侧，即第五吸波结构层25、第四吸波结构层24、第三吸波结构层23、第二吸波结构层22和第一吸波结构层21沿远离金属背板1的方向依次相叠。

特别地，上述第一吸波结构层21上的电阻膜结构211分别呈圆环形，第二吸波结构层22上的电阻膜结构221分别呈方环形，且第二吸波结构层22的电阻膜结构221的尺寸大于或等于第一吸波结构层21的电阻膜结构211的尺寸，从而可由第一吸波结构层21和第二吸波结构层22形成两个吸波耦合峰。

进一步地，第三吸波结构层23上的电阻膜结构231分别呈环状的六边形，且尺寸大于或等于第二吸波结构层22上的电阻膜结构221的尺寸。第四吸波结构层24上的电阻膜结构241分别呈方环形，且尺寸大于第二吸波结构层22上的电阻膜结构221的尺寸。而第五吸波结构层25上的电阻膜结构251分别呈环状圆形，且尺寸大于或等于第四吸波结构层24上的电阻膜结构241的尺寸。上述设置方式可使得超宽谱吸波材料具有五个吸收耦合峰，以实现宽频带的吸波效果。

上述超宽谱吸波材料将第一吸波结构层21上的电阻膜结构211分别设置为圆环形，将第二吸波结构层22上的电阻膜结构221分别设置为方环形，将第三吸波结构层23上的电阻膜结构231分别设置为环状的六边形，将第四吸波结构层24上的电阻膜结构241分别设置为方环形以及将第五吸波结构层25上的电阻膜结构251分别设置为环状的圆形，这样可以在保证超宽谱吸波材料的厚度的同时使得其吸波性能最佳，同时最大限度降低对电磁波斜入射角度的依赖性，以确保电磁波斜入射角度在30°以内，超宽谱吸波材料的吸波性能能够保持在-10dB以下，如图4所示。

当然，在实际应用中，第一吸波结构层21、第二吸波结构层22、第三吸波结构层23、第四吸波结构层24和第五吸波结构层25上的电阻膜结构211、221、231、241、251的几何形状具体可根据实际情况进行调整。并且，优选使第一吸波结构层21、第二吸波结构层22、第三吸波结构层23、第四吸波结构层24和第五吸波结构层25上的电阻膜结构211、221、231、241、251的尺寸依次增大。

每一吸波结构层20的方阻为50-1000Ω/□，且第二吸波结构层22的方阻大于第一吸波结构层21的方阻、而小于第三吸波结构层23的方阻。另外，第四吸波结构层24的方阻与第三吸波结构层23的方阻相等、且大于第五吸波结构层25的方阻。

具体地，为增强超宽谱吸波材料的吸波能力，以及进一步提高宽频带的吸波效果，在加工制造时，可将第一吸波结构层21上的电阻膜结构211的方阻设置为326Ω/□，将第二吸波结构层22上的电阻膜结构221的方阻设置为490Ω/□，将第三吸波结构层23上的电阻膜结构231的方阻设置为600Ω/□，将第四吸波结构层24上的电阻膜结构241的方阻设置为600Ω/□，将第五吸波结构层25上的电阻膜结构251的方阻设置为62Ω/□。

第一吸波结构层21背向第二吸波结构层22的一侧设有一个介电层3，这样可由该介电层3隔断第一吸波结构层21上的电阻膜结构211与外部空气的接触，防止外部空气腐蚀电阻膜结构211，提高第一吸波结构层21的使用寿命。另外，第五吸波结构层25和金属背板1之间由一个介电层3间隔分开，以防止第五吸波结构层25与金属背板1直接接触。

多个介电层3的介电常数均为1.02-1.14，且相邻的两个吸波结构层20之间的介电层3的厚度分别为2.5mm，而位于第一吸波结构层21背向第二吸波结构层22的一侧的介电层3的厚度为2mm，位于第五吸波结构层25和金属背板1之间的介电层3的厚度为2mm，这样能够在确保宽频带吸波效果的同时保证超宽谱吸波材料的超薄特性，以使得超宽谱吸波材料的整体厚度小于20mm。

优选地，在金属背板1、介电层3和吸波结构层20之间设置有由低温固化胶制成的胶膜层，以通过粘胶的方式使金属背板1、介电层3和吸波结构层20连接在一起。上述低温固化胶具体可由环氧树脂、酚醛树脂、或者不饱和聚酯树脂等等构成，这样能够有效提高超宽谱吸波材料粘接工艺的整体力学性能，使整体结构的连接强度更高。

特别地，上述金属背板1具体可由金、铜、铝等金属材料或合金材料刻蚀在介电层3的表面上而。

本发明实施例还提供一种上述超宽谱吸波材料的制备方法，具体包括以下步骤：

S1：在吸波结构层20和介电层3的表面添加低温固化胶，以便于进行吸波结构层20和介电层3之间的粘结操作。在实际应用中，可在低温固化胶内添加纤维增强材料，这样可以增加吸波结构层20与介电层3粘结后的连接强度。上述纤维增强材料具体可为玻璃纤维、碳纤维、或者有机纤维等等。

S2：将多个吸波结构层20和多个介电层3按预设排列顺序相叠排布，然后通过抽真空装置抽真空后静置预设时间。

当然，当吸波材料20和介电层3的数量较多时，可以进行分批、多次数抽真空压合，以提高抽真空压合效果，同时还可降低抽真空压合操作的难度。并且，抽真空之后静置的时间长度优选在12小时以上。

S3：通过烘箱设备加温，使吸波结构层20和介电层3之间的低温固化胶固化融合，以完成超宽谱吸波材料的制备。

此外，步骤S1中还包括：将多个形状以及尺寸相同的电阻膜结构按周期性排布、并固定在绝缘膜上，同时使相邻的两个电阻膜结构之间的距离为16mm。上述操作步骤简单合理，且可在加工制成超宽谱吸波材料的吸波结构层20的同时提高操作效率。并且，在步骤S1中，低温固化胶添加在绝缘膜背向电阻膜结构的表面。

具体地，上述超宽谱吸波材料包括第一吸波结构层21、第二吸波结构层22、第三吸波结构层23、第四吸波结构层24、第五吸波结构层25、六层介电层3以及设于其中一个介电层3的表面上的金属背板1。

特别地，上述步骤S2还包括：

S21：在介电层3的表面上通过刻蚀工艺加工制成金属背板1。

S22：将金属背板1所在的介电层3以金属背板1朝下的方式放置，再将第五吸波结构层25、第四吸波结构层24、第三吸波结构层23、第二吸波结构层22和第一吸波结构层21依次叠加在金属背板1所在的介电层3朝上的表面上，同时在第五吸波结构层25、第四吸波结构层24、第三吸波结构层23、第二吸波结构层22与第一吸波结构层21相邻之间分别叠加一个介电层3。

S23：在第一吸波结构层21背向第二吸波结构层22的表面上叠加一个介电层3。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种超宽谱吸波材料，其特征在于，包括金属背板、相叠于所述金属背板上的多个吸波结构层以及多个介电层，且相邻的两个所述吸波结构层之间具有介电层；每一所述吸波结构层分别包括有多个呈周期性排布的吸波单元，每一所述吸波单元包括一个电阻膜结构，且多个所述吸波结构层的吸波单元的垂向投影相同；多个所述吸波结构层的电阻膜结构分别呈预设环状的几何形状设置，且相邻的两个所述吸波结构层的电阻膜结构的大小和/或几何形状不相同，并通过具有不同大小和/或几何形状的电阻膜结构吸收不同频谱的电磁波。

2.根据权利要求1所述的超宽谱吸波材料，其特征在于，每一所述吸波结构层均包括绝缘膜，且每一所述吸波结构层的多个电阻膜结构分别通过丝印工艺固定连接在所述绝缘膜上。

3.根据权利要求1所述的超宽谱吸波材料，其特征在于，所述多个吸波结构层包括依次相叠于所述金属背板上的第一吸波结构层、第二吸波结构层、第三吸波结构层、第四吸波结构层和第五吸波结构层，且所述第一吸波结构层位于所述第五吸波结构层背向所述金属背板的一侧；

所述第一吸波结构层上的电阻膜结构分别呈圆环形，所述第二吸波结构层上的电阻膜结构分别呈方环形，且所述第二吸波结构层的电阻膜结构的尺寸大于或等于所述第一吸波结构层的电阻膜结构的尺寸；

所述第三吸波结构层上的电阻膜结构分别呈环状的六边形，且尺寸大于或等于所述第二吸波结构层上的电阻膜结构的尺寸；所述第四吸波结构层上的电阻膜结构分别呈方环形，且尺寸大于所述第二吸波结构层上的电阻膜结构的尺寸；所述第五吸波结构层上的电阻膜结构分别呈环状的椭圆形，且尺寸大于或等于所述第四吸波结构层上的电阻膜结构的尺寸。

4.根据权利要求3所述的超宽谱吸波材料，其特征在于，每一所述吸波结构层的方阻为50-1000Ω/□；

所述第二吸波结构层的方阻大于所述第一吸波结构层的方阻、小于所述第三吸波结构层的方阻，所述第四吸波结构层的方阻与所述第三吸波结构层的方阻相等、大于所述第五吸波结构层的方阻。

5.根据权利要求4所述的超宽谱吸波材料，其特征在于，所述第一吸波结构层背向所述第二吸波结构层的一侧设有一个所述介电层，以隔断所述第一吸波结构层与外部空气的接触，起到保护作用；所述第五吸波结构层和金属背板之间由一个所述介电层间隔分开；

所述第一吸波结构层上的电阻膜结构的方阻为326Ω/□，所述第二吸波结构层上的电阻膜结构的方阻为490Ω/□，所述第三吸波结构层上的电阻膜结构的方阻为600Ω/□，所述第四吸波结构层上的电阻膜结构的方阻为600Ω/□，所述第五吸波结构层上的电阻膜结构的方阻为62Ω/□。

6.根据权利要求5所述的超宽谱吸波材料，其特征在于，所述多个介电层的介电常数均为1.02-1.14，且相邻的两个所述吸波结构层之间的介电层的厚度分别为2.5mm；位于所述第一吸波结构层背向所述第二吸波结构层的一侧的介电层的厚度为2mm；位于所述第五吸波结构层和金属背板之间的介电层的厚度为2mm；所述超宽谱吸波材料的厚度小于20mm。

7.根据权利要求1所述的超宽谱吸波材料，其特征在于，所述金属背板、介电层和吸波结构层之间分别通过固定胶连接在一起。

8.一种如权利要求1-7中任一项所述的超宽谱吸波材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

a：在吸波结构层和介电层的表面添加低温固化胶；

b：将多个吸波结构层和多个介电层按预设排列顺序相叠排布，并通过抽真空装置抽真空后静置预设时间；

c：通过烘箱设备加温，完成超宽谱吸波材料的制备。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述步骤a还包括：将多个形状及尺寸相同的电阻膜结构按周期性排布并固定在绝缘膜上，同时使相邻的两个所述电阻膜结构之间的距离为16mm，并在所述绝缘膜背向所述电阻膜结构的表面添加所述低温固化胶。

10.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述超宽谱吸波材料包括第一吸波结构层、第二吸波结构层、第三吸波结构层、第四吸波结构层、第五吸波结构层、六层介电层以及设于其中一个所述介电层的表面上的金属背板；

所述步骤b还包括：在一个所述介电层的一个表面上通过刻蚀工艺加工制成所述金属背板，并将所述金属背板所在的介电层以金属背板朝下的方式放置，再将所述第五吸波结构层、第四吸波结构层、第三吸波结构层、第二吸波结构层和第一吸波结构层依次叠加在所述金属背板所在的介电层朝上的表面上，同时在第五吸波结构层、第四吸波结构层、第三吸波结构层、第二吸波结构层与第一吸波结构层相邻之间分别叠加一个所述介电层，然后在所述第一吸波结构层背向所述第二吸波结构层的表面上叠加一个所述介电层。

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