CN111984121A - 一种触觉传感及反馈基板及其制造方法设备 - Google Patents
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Abstract
本公开实施例提供了一种触觉传感及反馈基板及其制造方法，触觉传感及反馈基板包括：电极层、柔性介质层和压电材料层；电极层包括第一电极层和第二电极层，第一电极层中的各个电极单元均按照预定阵列分布式布置，第二电极层中的各个电极单元的位置及类型均与第一电极层中各个电极单元一一对应设置，其中，电极单元的类型至少包括：传感电极单元和反馈电极单元；压电材料层包括第一压电材料层和第二压电材料层，第一压电材料层设置在第一电极层和柔性介质层的第一面之间，第二压电材料层设置在第二电极层和柔性介质层的第二面之间。通过本公开实施例，能够精准的在触控操作附近产生振动反馈，反馈的精细度得到较大提升，用户体验较好。
Description
技术领域
本公开涉及显示器领域，特别涉及一种触觉传感及反馈基板及其制造方法。
背景技术
现在的显示屏很多已经集成了触控功能，能通过触控的实现定位功能，其使用的技术是电容式结构。而在触控传感功能之外，触控的反馈也是直接影响用户使用体验。
现阶段智能电子设备实现的触控反馈技术采用的是马达，实现时具体分为偏心转子马达和线性谐振马达。这些马达往往体积较大，每个智能电子设备仅能放置几个马达，进而实现振动效果的触控反馈。然而，通过马达的方式虽然能实现触控反馈，但是由于马达体积较大，通过马达仅能实现全局的震动反馈，产品精细度较低，用户体验较差。
发明内容
有鉴于此，本公开实施例提出了一种触觉传感及反馈基板及其制造方法，用以解决现有技术的如下问题：通过马达的方式虽然能实现触控反馈，但是由于马达体积较大，通过马达仅能实现全局的震动反馈，产品精细度较低，用户体验较差。
一方面，本公开实施例提出了一种触觉传感及反馈基板，包括：电极层、柔性介质层和压电材料层；所述电极层包括第一电极层和第二电极层，第一电极层中的各个电极单元均按照预定阵列分布式布置，第二电极层中的各个电极单元的位置及类型均与第一电极层中各个电极单元一一对应设置，其中，所述电极单元的类型至少包括：传感电极单元和反馈电极单元；所述压电材料层包括第一压电材料层和第二压电材料层，第一压电材料层设置在第一电极层和柔性介质层的第一面之间，第二压电材料层设置在第二电极层和柔性介质层的第二面之间。
在一些实施例中，所述传感电极单元和所述反馈电极单元在所述预定阵列中依次相邻设置。
在一些实施例中，所述柔性介质层上设置有多个贯穿所述柔性介质层的通孔结构，每个所述通孔结构均设置在一个所述反馈电极单元的对应位置，所述通孔结构的开孔表面积与所述反馈电极单元的表面积相同。
在一些实施例中，所述电极层由外到内依次包括：衬底层，在所述衬底层上按照阵列式分布设置的电极单元，在部分电极单元上设置的无机绝缘层，其中，所述设置有无机绝缘层的电极单元为传感电极单元。
在一些实施例中，所述衬底层的材料为柔性绝缘材料，所述电极单元的材料为透明导电材料。
在一些实施例中，在所述第一电极层的所述衬底层和各个所述电极单元之间设置有第一导线，在所述第二电极层的所述衬底层和各个所述电极单元之间设置有第二导线，其中，所述第一导线和所述第二导线在同一水平面上的投影相互垂直。
在一些实施例中，同一电极层中相邻的各个电极单元均按照预定间隔布置。
在一些实施例中，预定阵列至少包括以下之一：矩形阵列，圆周环形阵列。
另一方面，本公开实施例提出了一种触觉传感及反馈基板的制造方法，用于制造本公开实施例所述的触觉传感及反馈基板，包括：将两层压电材料薄膜分别放置在柔性介质层的第一面和第二面，将一个电极层和另一个电极层分别与每层压电材料薄膜接触，通过胶压合方式进行机械压合，以生成触觉传感及反馈基板。
在一些实施例中，还包括：用喷涂的方式在玻璃基底上喷涂一层液态衬底材料，固化已喷涂的所述液态衬底材料；在已固化的衬底层上溅射一层的电极材料，并进行图案化，通过曝光刻蚀方式得到各个电极单元；通过CVD工艺在具有各个电极单元的衬底层上生成一层无机绝缘层，并进行图案化，通过曝光刻蚀方式刻蚀掉部分电极单元上的无机绝缘层，以形成所述电极层。
本公开实施例对触觉传感及反馈基板进行了改进，基板上按照预定阵列分布式布置了传感电极单元和反馈电极单元，传感电极单元和反馈电极单元交错的布置在电极层中，当传感电极单元接收到触控操作时，就会触发反馈电极单元工作，进而精准的在触控操作附近产生振动反馈，而非像现有技术一样进行全局的振动反馈，反馈的精细度得到较大提升，用户体验较好。
附图说明
为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本公开实施例提供的触觉传感及反馈基板的一种结构示意图；
图2为本公开实施例提供的电极层的结构示意图；
图3为本公开实施例提供的触觉传感及反馈基板的工作示意图；
图4为本公开实施例提供的电极单元依次相邻设置的示意图；
图5为本公开实施例提供的触觉传感及反馈基板的另一种结构示意图；
图6为本公开实施例提供的触觉传感及反馈基板的制造方法的流程图；
图7为本公开实施例提供的为制造触觉传感及反馈基板的整体流程图。
附图标记：
1-电极层，2-柔性介质层，3-压电材料层，11-第一电极层，12-第二电极层，111-电极单元，1111-传感电极单元，1112-反馈电极单元，31-第一压电材料层，32-第二压电材料层，101-衬底层，121-无机绝缘层，21-通孔结构。
具体实施方式
为了使得本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。
除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
为了保持本公开实施例的以下说明清楚且简明，本公开省略了已知功能和已知部件的详细说明。
本公开第一实施例提供了一种触觉传感及反馈基板，其结构示意如图1所示，包括：
电极层1、柔性介质层2和压电材料层3；电极层1包括第一电极层11和第二电极层12，第一电极层11中的各个电极单元111均按照预定阵列分布式布置，第二电极层12中的各个电极单元111的位置及类型均与第一电极层11中各个电极单元一一对应设置，其中，电极单元的类型至少包括：传感电极单元1111和反馈电极单元1112；压电材料层3包括第一压电材料层31和第二压电材料层32，第一压电材料层31设置在第一电极层11和柔性介质层2的第一面之间，第二压电材料层32设置在第二电极层12和柔性介质层2的第二面之间。
本公开实施例对触觉传感及反馈基板进行了改进，基板上按照预定阵列分布式布置了传感电极单元和反馈电极单元，传感电极单元和反馈电极单元交错的布置在电极层中，当传感电极单元接收到触控操作时，就会触发反馈电极单元工作，进而精准的在触控操作附近产生振动反馈，而非像现有技术一样进行全局的振动反馈，反馈的精细度得到较大提升，用户体验较好。
具体实现时，电极层1的结构示意可以如图2所示，其由外到内依次包括：衬底层101，在衬底层上按照阵列式分布设置的电极单元111，在部分电极单元上设置的无机绝缘层121。如图2所示，图中设置有无机绝缘层121的电极单元111就是传感电极单元1111，未设置有无机绝缘层121的电极单元111就是反馈电极单元1112。在选择制造材料时，所述衬底层的材料为柔性绝缘材料，例如，聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚二甲基硅氧烷等；所述电极单元的材料为透明导电材料，例如，氧化铟锡、纳米银线、碳纳米管、3,4-乙烯二氧噻吩等；所述无机绝缘层的材料可以包括硅氧化物、氮化物等。
上述预定阵列可以是矩形阵列，也可以是圆周环形阵列等，对于触觉传感及反馈基板而言，矩形阵列制造简单，且准确度高，因此，优先采用矩形阵列。
由于传感电极单元需要精准的确定位置，且在传感电极单元接收到触控操作时，反馈电极单元需要通电后才能实现振动反馈，所以，可以在第一电极层的衬底层和各个电极单元之间设置有第一导线，在第二电极层的衬底层和各个电极单元之间设置有第二导线，其中，第一导线和第二导线在同一水平面上的投影相互垂直。由于第一导线和第二导线垂直，则每一个触控点都可以通过第一导线和第二导线的位置确定，也可以通过导线为反馈电极单元提供电能，进而使得反馈电极单元实现振动反馈。其工作示意如图3所示，第一导线和第二导线分布设置在触觉传感及反馈基板上，图中为了清楚的示意导线的位置关系，仅将导线突出显示，其它部分未突出显示。当触觉传感及反馈基板的某一个点(图中打X的点)被按压，则离该点最近的传感电极单元会检测到触控操作，进而触发该传感电极单元附近的反馈电极单元(图中的黑点)被导通，进而实现振动反馈。
具体实现时，相邻的各个电极单元均按照预定间隔布置，优选的，将传感电极单元和反馈电极单元在预定阵列中依次相邻设置。例如图4所示，其为图3中手指按压位置对应的传感电极单元以虚线为剖面的结构示意图，图4中展示了依次相邻设置的一种可能结构，不对本公开实施例构成限定，本领域技术人员可以根据实际需求布置传感电极单元和反馈电极单元的排布关系，例如，可以在任意一个剖面上呈现各个传感电极单元之间分别间隔两个反馈电极单元，本实施例不构成限定。
相对于电极层中各个电极单元的结构设计，为了更好的实现振动反馈的效果，本公开实施例的柔性介质层2上设置有多个贯穿柔性介质层的通孔结构21，每个通孔结构21均设置在一个反馈电极单元1111(即未设置有无机绝缘层的电极单元)的对应位置，通孔结构的开孔表面积与反馈电极单元1111的表面积相同。压电材料层的工作原理是通交流电产生振动(在本公开实施例中是触控操作发生后通电)，上述通孔结构21内是空气，空气层能够使振动的幅度更大一些，增强反馈电极单元1111产生的振动效果。
如图5所示，为设置有上述柔性介质层的触觉传感及反馈基板的结构示意图，即每个反馈电极单元1111对应的柔性介质层都设置有通孔结构21，图中仅画出一个作为示例。柔性介质层的材料需要选择绝缘体且具有一定弹性，优选为形变量比较大的聚二甲基硅氧烷。
通过本公开实施例设计结构得到的触觉传感及反馈基板能够在触控点周边精确的实现振动反馈，获得更好的用户体验。
本公开实施例还提供了一种触觉传感及反馈基板的制造方法，用于制造上述实施例中的触觉传感及反馈基板，其流程如图6所示，包括步骤S601至S603：
S601，将两层压电材料薄膜分别放置在柔性介质层的第一面和第二面；
S602，将一个电极层和另一个电极层分别与每层压电材料薄膜接触；
S603，通过胶压合方式进行机械压合，以生成触觉传感及反馈基板。
具体实现时，由于电极层中的各个电极单元均是按照预定阵列分布式布置的，所以还需要制备电极层，其包括如下步骤S701至S703：
S701，用喷涂的方式在玻璃基底上喷涂一层液态衬底材料(即PI，聚酰亚胺)，固化已喷涂的液态衬底材料；
S702，在已固化的衬底层上溅射一层的电极材料(即)，并进行图案化，通过曝光刻蚀方式得到各个电极单元；
S703，通过CVD工艺在具有各个电极单元的衬底层上生成一层无机绝缘层(即)，并进行图案化，通过曝光刻蚀方式将部分电极单元上的无机绝缘层，以形成电极层。
上述过程既可以用于制造第一电极层，也可以用于第二电极层，无论是哪个电极层，其制造工艺都是相同的，只是在使用过程中由于其所处的位置不同，需要将某一个电极层翻转使用，即形成上电极层和下电极层。
为了更好的实现振动反馈的效果，本公开实施例在具有一定厚度的柔性薄膜上通过激光打孔的方法在预定的位置形成通孔，以形成具有通孔结构的柔性介质层，其中，每个通孔结构均设置在一个反馈电极单元的对应位置，通孔结构的开孔表面积与反馈电极单元的表面积相同。
如图7所示，为制造触觉传感及反馈基板的整体流程(图中仅以一个制造区域为例)，图中左侧为制造上电极层，中间为制造柔性介质层，右侧为制造下电极层，下侧为上电极层、柔性介质层和下电极层都制造完成后，与压电材料层结合的过程。
本公开实施例将触控传感与触控反馈集成于一体，而不是简单的物理上的上下层叠加。共用衬底、电极层，图案化无机隔绝层和介电层实现两者阵列化的高度集成。阵列化的触控传感和反馈可以应用到智能电子设备屏幕实现触控定位，根据显示的图案驱动相应的执行器实现反馈，实现通过触控屏幕感受到观察到的景象；其可以应用于工业设备实现触控效果的确认，模拟实体按键的效果；更大的前景是应用于VR/AR的配套可穿戴硬件，实现人与虚拟场景的交互。
此外，尽管已经在本文中描述了示例性实施例，其范围包括任何和所有基于本公开的具有等同元件、修改、省略、组合(例如，各种实施例交叉的方案)、改编或改变的实施例。权利要求书中的元件将被基于权利要求中采用的语言宽泛地解释，并不限于在本说明书中或本申请的实施期间所描述的示例，其示例将被解释为非排他性的。因此，本说明书和示例旨在仅被认为是示例，真正的范围和精神由以下权利要求以及其等同物的全部范围所指示。
以上描述旨在是说明性的而不是限制性的。例如，上述示例(或其一个或更多方案)可以彼此组合使用。例如本领域普通技术人员在阅读上述描述时可以使用其它实施例。另外，在上述具体实施方式中，各种特征可以被分组在一起以简单化本公开。这不应解释为一种不要求保护的公开的特征对于任一权利要求是必要的意图。相反，本公开的主题可以少于特定的公开的实施例的全部特征。从而，以下权利要求书作为示例或实施例在此并入具体实施方式中，其中每个权利要求独立地作为单独的实施例，并且考虑这些实施例可以以各种组合或排列彼此组合。本公开的范围应参照所附权利要求以及这些权利要求赋权的等同形式的全部范围来确定。
以上对本公开多个实施例进行了详细说明，但本公开不限于这些具体的实施例，本领域技术人员在本公开构思的基础上，能够做出多种变型和修改实施例，这些变型和修改都应落入本公开所要求保护的范围之内。
Claims (10)
1.一种触觉传感及反馈基板，其特征在于，包括：
电极层、柔性介质层和压电材料层；
所述电极层包括第一电极层和第二电极层，第一电极层中的各个电极单元均按照预定阵列分布式布置，第二电极层中的各个电极单元的位置及类型均与第一电极层中各个电极单元一一对应设置，其中，所述电极单元的类型至少包括：传感电极单元和反馈电极单元；
所述压电材料层包括第一压电材料层和第二压电材料层，第一压电材料层设置在第一电极层和柔性介质层的第一面之间，第二压电材料层设置在第二电极层和柔性介质层的第二面之间。
2.如权利要求1所述的触觉传感及反馈基板，其特征在于，
所述传感电极单元和所述反馈电极单元在所述预定阵列中依次相邻设置。
3.如权利要求1所述的触觉传感及反馈基板，其特征在于，
所述柔性介质层上设置有多个贯穿所述柔性介质层的通孔结构，每个所述通孔结构均设置在一个所述反馈电极单元的对应位置，所述通孔结构的开孔表面积与所述反馈电极单元的表面积相同。
4.如权利要求1所述的触觉传感及反馈基板，其特征在于，所述电极层由外到内依次包括：
衬底层，在所述衬底层上按照阵列式分布设置的电极单元，在部分电极单元上设置的无机绝缘层，其中，所述设置有无机绝缘层的电极单元为传感电极单元。
5.如权利要求4所述的触觉传感及反馈基板，其特征在于，所述衬底层的材料为柔性绝缘材料，所述电极单元的材料为透明导电材料，所述无机绝缘层的材料。
6.如权利要求4所述的触觉传感及反馈基板，其特征在于，
在所述第一电极层的所述衬底层和各个所述电极单元之间设置有第一导线，在所述第二电极层的所述衬底层和各个所述电极单元之间设置有第二导线，其中，所述第一导线和所述第二导线在同一水平面上的投影相互垂直。
7.如权利要求1至6中任一项所述的触觉传感及反馈基板，其特征在于，同一电极层中相邻的各个电极单元均按照预定间隔布置。
8.如权利要求1至6中任一项所述的触觉传感及反馈基板，其特征在于，预定阵列至少包括以下之一：矩形阵列，圆周环形阵列。
9.一种触觉传感及反馈基板的制造方法，用于制造权利要求1至8中任一项所述的触觉传感及反馈基板，其特征在于，包括：
将两层压电材料薄膜分别放置在柔性介质层的第一面和第二面，将一个电极层和另一个电极层分别与每层压电材料薄膜接触，通过胶压合方式进行机械压合，以生成触觉传感及反馈基板。
10.如权利要求9所述的制造方法，其特征在于，还包括：
用喷涂的方式在玻璃基底上喷涂一层液态衬底材料，固化已喷涂的所述液态衬底材料；
在已固化的衬底层上溅射一层电极材料，并进行图案化，通过曝光刻蚀方式得到各个电极单元；
通过CVD工艺在具有各个电极单元的衬底层上生成一层无机绝缘层，并进行图案化，通过曝光刻蚀方式刻蚀掉部分电极单元上的无机绝缘层，以形成所述电极层。
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN113447172A (zh) * | 2021-06-11 | 2021-09-28 | 北京纳米能源与系统研究所 | 一种基于天然叶脉的穿戴式压力传感器及制作方法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110043477A1 (en) * | 2009-08-21 | 2011-02-24 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Touch feedback panel, and touch screen device and electronic device inluding the same |
| US20150102947A1 (en) * | 2013-10-14 | 2015-04-16 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Film-type haptic device, haptic feedback electronic device and haptic keyboard |
| US20150169118A1 (en) * | 2013-12-13 | 2015-06-18 | Lg Display Co., Ltd. | Monolithic haptic type touch screen, manufacturing method thereof, and display device including the same |
| CN207766319U (zh) * | 2017-09-30 | 2018-08-24 | 南昌欧菲生物识别技术有限公司 | 壳体组件和电子装置 |
| CN108758984A (zh) * | 2018-04-04 | 2018-11-06 | 海信（山东）空调有限公司 | 一种家用电器的控制方法及控制装置和空调 |
| CN111256571A (zh) * | 2020-01-20 | 2020-06-09 | 腾讯科技（深圳）有限公司 | 柔性电容触觉传感器及其制备方法和触觉传感系统 |
| CN211240077U (zh) * | 2020-01-02 | 2020-08-11 | 南昌欧菲生物识别技术有限公司 | 压电反馈模组及装置 |
-
2020
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Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110043477A1 (en) * | 2009-08-21 | 2011-02-24 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Touch feedback panel, and touch screen device and electronic device inluding the same |
| US20150102947A1 (en) * | 2013-10-14 | 2015-04-16 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Film-type haptic device, haptic feedback electronic device and haptic keyboard |
| US20150169118A1 (en) * | 2013-12-13 | 2015-06-18 | Lg Display Co., Ltd. | Monolithic haptic type touch screen, manufacturing method thereof, and display device including the same |
| CN207766319U (zh) * | 2017-09-30 | 2018-08-24 | 南昌欧菲生物识别技术有限公司 | 壳体组件和电子装置 |
| CN108758984A (zh) * | 2018-04-04 | 2018-11-06 | 海信（山东）空调有限公司 | 一种家用电器的控制方法及控制装置和空调 |
| CN211240077U (zh) * | 2020-01-02 | 2020-08-11 | 南昌欧菲生物识别技术有限公司 | 压电反馈模组及装置 |
| CN111256571A (zh) * | 2020-01-20 | 2020-06-09 | 腾讯科技（深圳）有限公司 | 柔性电容触觉传感器及其制备方法和触觉传感系统 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113447172A (zh) * | 2021-06-11 | 2021-09-28 | 北京纳米能源与系统研究所 | 一种基于天然叶脉的穿戴式压力传感器及制作方法 |
| CN113447172B (zh) * | 2021-06-11 | 2023-08-18 | 北京纳米能源与系统研究所 | 一种基于天然叶脉的穿戴式压力传感器及制作方法 |
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