CN211240077U - 压电反馈模组及装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种压电反馈模组及装置，所述压电反馈模组包括依次层叠的第一压电振动单元、基底以及第二压电振动单元，所述第一压电振动单元包括依次层叠的第一电极层、第一压电振动层以及第二电极层，所述第二电极层位于所述第一压电振动层靠近所述基底的表面；所述第二压电振动单元包括依次层叠的第三电极层、第二压电振动层以及第四电极层，所述第三电极层位于所述第二压电振动层靠近所述基底的表面；其中，所述基底上设置有用于产生共振的共振腔，以增大经过该共振腔的振动波产生驻波的振幅。从而增大相同驱动条件下压电反馈模组的振动位移量，提高了压电反馈模组的能量转换效率、振动或发声的效果，扩大了压电反馈模组的应用范围。

Description

压电反馈模组及装置

技术领域

本申请涉及压电反馈技术领域，尤其是涉及一种压电反馈模组及装置。

背景技术

压电材料因具有材质柔韧、低密度、低阻抗和高压电电压常数等诸多优点，被广泛应用于水下超声测量、压力传感、换能器及压电聚合物电声器件中。其中，换能器是将机械振动转变为电信号或在电场驱动下使压电材料产生机械振动的器件；压电聚合物电声器件主要利用了压电聚合物的逆压电效应，即，使压电聚合物在电场力的驱动下振动发声。

然而，传统的压电材料一般具有压电应变常数偏低的缺点，使其在应用于有源发射换能器的过程中受到很大的限制，并且在逆压电效应下的振动位移量较小，导致振动反馈效果差。

实用新型内容

基于此，有必要针对上述背景技术中的问题，提供一种在相同的驱动条件下具有更大振动位移量，且应用范围更广的压电反馈模组及装置。

本申请的一方面提供一种压电反馈模组，包括依次层叠的第一压电振动单元、基底以及第二压电振动单元，

所述第一压电振动单元包括依次层叠的第一电极层、第一压电振动层以及第二电极层，所述第二电极层位于所述第一压电振动层靠近所述基底的表面；

所述第二压电振动单元包括依次层叠的第三电极层、第二压电振动层以及第四电极层，所述第三电极层位于所述第二压电振动层靠近所述基底的表面；

其中，所述基底上设置有共振腔，所述共振腔用于通过共振增大经过所述共振腔的振动波产生驻波的振幅。

于上述实施例中的压电反馈模组中，通过设置依次层叠的第一压电振动单元、基底以及第二压电振动单元，并设置所述第一压电振动单元包括依次层叠的第一电极层、第一压电振动层以及第二电极层，所述第二电极层位于所述第一压电振动层靠近所述基底的表面；设置所述第二压电振动单元包括依次层叠的第三电极层、第二压电振动层以及第四电极层，所述第三电极层位于所述第二压电振动层靠近所述基底的表面；使得第一压电振动单元与第二压电振动单元产生的振动波之间可以产生谐振。通过在第一压电振动单元与第二压电振动单元之间的基底上设置共振腔，增大所述第一压电振动单元与所述第二压电振动单元的振动波经过所述共振腔产生驻波的振幅，从而增大相同驱动条件下所述压电反馈模组的振动位移量，提高了所述压电反馈模组的能量转换效率、振动或发声的效果，扩大了所述压电反馈模组的应用范围。

在其中一个实施例中，所述第一压电振动层包括由多层第一压电层层叠而成的第一层叠结构，以及设置于每相邻两层所述第一压电层之间的第五电极层；及/或，所述第二压电振动层包括由多层第二压电层层叠而成的第二层叠结构，以及设置于每相邻两层所述第二压电层之间的第六电极层。通过在第一压电振动层中设置由多层第一压电层层叠而成的第一层叠结构，并且在每相邻两层所述第一压电层之间设置第五电极层，使得第一压电层位于相邻的两个电极层之间，通过向各所述第五电极层、第一电极层和第二电极层施加驱动电压，使得各所述第一压电层可以受电场力的作用而振动，不同的第一压电层的振动可以相互叠加，可以提高第一压电振动单元的振动效果。类似地，在第二压电振动层中设置由多层第二压电层层叠而成的第二层叠结构，并在每相邻两层所述第二压电层之间设置第六电极层，通过向各所述第六电极层、第三电极层和第四电极层施加驱动电压，使得各所述第二压电层可以受电场力的作用而振动，不同的第二压电层的振动可以相互叠加，可以提高第二压电振动单元的振动效果。

在其中一个实施例中，所述共振腔为多个凹槽和/或通孔，使得第一压电振动单元与第二压电振动单元的振动波经由所述凹槽和/或通孔可以产生共振，用于增大经过所述凹槽和/或通孔的振动波产生驻波的振幅。

在其中一个实施例中，所述凹槽和/或通孔沿垂直于所述基底表面的方向设置，且所述凹槽和/或通孔开口于所述基底表面，以使得第一压电振动单元与第二压电振动单元的振动波经由所述凹槽和/或通孔可以规律地叠加，以增大产生驻波的振幅。

在其中一个实施例中，所述凹槽和/或通孔在垂直于所述基底表面的截面上成喇叭状，以提高相同条件下，所述压电反馈模组的振动位移量。

在其中一个实施例中，所述凹槽对称地设置于所述基底相对的表面，使得第一压电振动单元与第二压电振动单元产生相同波形的振动波，经由所述凹槽和/或通孔可以更容易产生共振。

在其中一个实施例中，所述凹槽和/或通孔呈阵列排布，使得第一压电振动单元与第二压电振动单元的振动波经由所述凹槽和/或通孔可以规律地叠加，以增大产生驻波的振幅。

在其中一个实施例中，所述凹槽和/或通孔在所述基底表面的正投影为圆、椭圆、月牙形和多边形中的至少一种。由于不同形状的凹槽和/或通孔对经由所述通孔产生驻波的振幅影响不同，可以设置通孔具有不同的形状，以适应不同应用场景的不同需求。

在其中一个实施例中，所述多边形的最小角度大于90度，相对于将所述通孔设置为在所述基底表面正投影的最小角度小于或等于90度，可以增大经由通孔产生驻波的振幅。

在其中一个实施例中，所述第一压电振动单元与所述第二压电振动单元分别设置于所述基底的相对两侧，且所述第一压电振动单元与所述第二压电振动单元相互对称，便于所述第一压电振动单元与所述第二压电振动单元的振动波相互叠加增强，且便于产生最佳的共振效果。

在其中一个实施例中，所述基底靠近所述第一压电振动单元的表面，及/或所述基底靠近所述第二压电振动单元的表面为平面，避免了因基底表面不平而吸收所述第一压电振动单元和/或所述第二压电振动单元产生的振动波。

在其中一个实施例中，所述第一压电层和/或所述第二压电层为压电晶体、压电陶瓷和压电聚合物中的至少一种，通过设置所述第一压电层和/或所述第二压电层中的压电材料，可以提高压电反馈模组的应用范围，以满足不同应用场景的不同需求。

在其中一个实施例中，所述第一压电振动单元与所述第二压电振动单元串联或并联驱动。当所述第一压电振动单元与所述第二压电振动单元串联驱动时，相对于二者并联驱动在相同的驱动电压下的驱动电流更小，对压电材料的耐热性要求较低；当所述第一压电振动单元与所述第二压电振动单元并联驱动时，相对于二者串联驱动在相同的驱动电流下所需驱动电压更小，避免了高电压可能带来的压电材料被击穿的风险。

本申请的一方面提供一种压电反馈装置，包括根据任一项本申请实施例中所述的压电反馈模组，用于增大所述第一压电振动单元与所述第二压电振动单元产生的振动波产生驻波的振幅，从而增大相同驱动条件下所述压电反馈模组的振动位移量，提高了所述压电反馈模组的能量转换效率，扩大了所述压电反馈模组的应用范围。

本申请的另一方面提供一种压电反馈装置，包括根据任一本申请实施例中所述的压电反馈模组，用于增大所述第一压电振动单元与所述第二压电振动单元产生的振动波产生驻波的振幅，从而增大相同驱动条件下所述压电反馈模组的振动位移量，提高了所述压电反馈模组的能量转换效率，扩大了所述压电反馈模组的应用范围。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他实施例的附图。

图1为本申请第一实施例中提供的一种无共振腔的压电反馈模组的剖面结构示意图；

图2为在图1中设置共振腔的压电反馈模组的剖面结构示意图；

图3为本申请第二实施例中提供的一种压电反馈模组的剖面结构示意图；

图4为本申请第三实施例中提供的一种压电反馈模组的剖面结构示意图；

图5a为本申请第四实施例中提供的一种压电反馈模组的剖面结构示意图；

图5b为本申请第五实施例中通孔在基底表面正投影的示意图；

图5c为本申请第六实施例中通孔在基底表面正投影的示意图；

图6为本申请第七实施例中提供的一种压电反馈装置的剖面结构示意图；

图7为本申请第八实施例中提供的一种压电反馈装置的剖面结构示意图；

图8为图1中的压电反馈模组的振动位移曲线图；

图9为图2中的压电反馈模组的振动位移曲线图；

图10为本申请第九实施例中提供的一种电子装置的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的较佳的实施例。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本申请的公开内容的理解更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在限制本申请。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

在使用本文中描述的“包括”、“具有”和“包含”的情况下，除非使用了明确的限定用语，例如“仅”、“由……组成”等，否则还可以添加另一部件。除非相反地提及，否则单数形式的术语可以包括复数形式，并不能理解为其数量为一。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接连接，亦可以是通过中间媒介间接连接，可以是两个部件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

此外，在本申请的描述中，除非另有说明，“若干”、“叠合”、“叠层”、“层叠”、“相互”或“互相”的含义是两个或两个以上。

如图1所示，在本申请的一个实施例中提供的一种压电反馈模组中，包括依次层叠的第一压电振动单元10、基底30以及第二压电振动单元20，第一压电振动单元10包括依次层叠的第一电极层11、第一压电振动层12以及第二电极层13，第二电极层13位于第一压电振动层12靠近基底30的表面；第二压电振动单元20包括依次层叠的第三电极层21、第二压电振动层22以及第四电极层23，第三电极层21位于第二压电振动层22靠近基底30的表面。通过向第一电极层11与第二电极层13分别施加不同极性的驱动电压，使得第一电极层11与第二电极层13之间的第一压电振动层12受电场力的作用在逆压电效应下产生振动；通过向第三电极层21与第四电极层23分别施加不同极性的驱动电压，使得第三电极层21与第四电极层23之间的第二压电振动层22受电场力的作用在逆压电效应下产生振动；第一压电振动层12的振动波与第二压电振动层22的振动波叠加谐振，以提高压电反馈模组的振动反馈效果。

如图2所示，在本申请的一个实施例中提供的一种压电反馈模组中，包括依次层叠的第一压电振动单元10、基底30以及第二压电振动单元20，第一压电振动单元10包括依次层叠的第一电极层11、第一压电振动层12以及第二电极层13，第二电极层13位于第一压电振动层12靠近基底30的表面；第二压电振动单元20包括依次层叠的第三电极层21、第二压电振动层22以及第四电极层23，第三电极层21位于第二压电振动层22靠近基底30的表面。与图1中所示实施例的区别在于，基底30上设置有共振腔31，第一压电振动单元10的振动波与第二压电振动单元20的振动波经由共振腔共振，可以提高产生驻波的振动位移量，从而提高了所述压电反馈模组的振动反馈效果。

具体地，可以向第一电极层11与第二电极层13分别施加不同极性的驱动电压，同步地，向第三电极层21与第四电极层23分别施加不同极性的驱动电压，使得位于第一电极层11与第二电极层13之间的第一压电振动层12受电场力的作振动产生振动波，位于第三电极层21与第四电极层23之间的第二压电振动层22受电场力的作用振动产生振动波。由于在基底30上设置有共振腔31，例如是凹槽和/或通孔，使得第一压电振动单元10产生的振动波与第二压电振动单元20产生的振动波经由共振腔31谐振，以增大产生驻波的振幅，从而提高了压电反馈模组的振动反馈效果。

于上述实施例中的压电反馈模组中，通过设置依次层叠的第一压电振动单元、基底以及第二压电振动单元，并设置所述第一压电振动单元包括依次层叠的第一电极层、第一压电振动层以及第二电极层，所述第二电极层位于所述第一压电振动层靠近所述基底的表面；设置所述第二压电振动单元包括依次层叠的第三电极层、第二压电振动层以及第四电极层，所述第三电极层位于所述第二压电振动层靠近所述基底的表面；使得第一压电振动单元与第二压电振动单元产生的振动波之间可以产生谐振。通过在第一压电振动单元与第二压电振动单元之间的基底上设置共振腔，增大所述第一压电振动单元与所述第二压电振动单元的振动波经过所述共振腔产生驻波的振幅，从而增大相同驱动条件下所述压电反馈模组的振动位移量，提高了所述压电反馈模组的能量转换效率、振动或发声的效果，扩大了所述压电反馈模组的应用范围。

进一步地，在本申请的一个实施例中提供的一种压电反馈模组中，如图3所示，第一压电振动层12包括由多层第一压电层121层叠而成的第一层叠结构，以及设置于每相邻两层第一压电层121之间的第五电极层122；第二压电振动层22包括由多层第二压电层221层叠而成的第二层叠结构，以及设置于每相邻两层第二压电层221之间的第六电极层222。通过在第一压电振动层12中设置由多层第一压电层121层叠而成的第一层叠结构，并且在每相邻两层第一压电层121之间设置第五电极层122，使得第一压电层121位于相邻的两个电极层之间，通过向各第五电极层122、第一电极层11和第二电极层13施加驱动电压，使得各第一压电层121可以受电场力的作用而振动，不同的第一压电层121的振动相互叠加，可以提高第一压电振动单元10的振动反馈效果。类似地，在第二压电振动层22中设置由多层第二压电层221层叠而成的第二层叠结构，并在每相邻两层第二压电层221之间设置第六电极层222，通过向各第六电极层222、第三电极层21和第四电极层23施加驱动电压，使得各第二压电层22可以受电场力的作用而振动，不同的第二压电层221的振动可以相互叠加，可以提高第二压电振动单元20的振动反馈效果。在本实施例中，相邻的第五电极层122之间设置有第一绝缘层123，以起到绝缘隔离的作用，且相邻的第五电极层122用于输入不同极性的驱动电压，第一绝缘层123可以是基材或绝缘油墨等绝缘材料；相邻的第六电极层222之间设置有第二绝缘层223，且相邻的第六电极层222用于输入不同极性的驱动电压，第二绝缘层223可以是基材或绝缘油墨等绝缘材料。在本申请的其他实施例中，相邻的第五电极层122之间可以不设置第一绝缘层123，需保证相邻的第五电极层122可以形成正负交替的电极；相邻的第六电极层222之间可以不设置第二绝缘层223，需保证相邻的第六电极层222可以形成正负交替的电极。本实施例仅示例性说明第一压电单元10中的第一压电振动层12包括由多层第一压电层121层叠而成的第一层叠结构，具体第一压电层121的层数可以根据具体的应用场景而设定；同样地，具体第二压电层221的层数可以根据具体的应用场景而设定。

进一步地，在本申请的一个实施例中提供的一种压电反馈模组100中，如图4中所示，所述共振腔为多个通孔31和凹槽32，使得第一压电振动单元10与第二压电振动单元20的振动波经由通孔31和/或凹槽32产生共振，用于增大经过通孔31和/或凹槽32的振动波产生驻波的振幅。优选地，通孔31和凹槽32呈阵列排布，使得第一压电振动单元10与第二压电振动单元20的振动波经由通孔31和/或凹槽32可以规律地叠加，以增大产生驻波的振幅。

进一步地，于上述实施例中的压电反馈模组中，如图4中所示，通孔31和凹槽32沿垂直于基底30表面的方向设置，且通孔31和凹槽32开口于基底30表面，以使得第一压电振动单元10与第二压电振动单元20的振动波经由通孔31和/或凹槽32产生共振，规律地叠加，以增大产生驻波的振幅。

具体地，于上述实施例中的压电反馈模组中，如图4中所示，通孔31可以设置为在垂直于基底30表面的截面上成喇叭状，以提高相同条件下，压电反馈模组100的振动位移量。在本申请的其他实施例中，凹槽32也可以设置为一端开口小且一端开口大的喇叭状，以提高相同条件下，压电反馈模组100的振动位移量。

进一步地，于上述实施例中的压电反馈模组中，如图4中所示，凹槽32对称地设置于基底30相对的表面，使得第一压电振动单元10与第二压电振动单元20产生相同波形的振动波，经由通孔31和/或凹槽32可以更容易产生共振。

进一步地，在本申请的一个实施例中提供的一种压电反馈模组中，所述凹槽和/或通孔在所述基底表面的正投影为圆、椭圆、月牙形和多边形中的至少一种。由于不同形状的凹槽和/或通孔对经由所述通孔产生驻波的振幅影响不同，可以设置通孔具有不同的形状，以适应不同应用场景的不同需求。

进一步地，在本申请的一个实施例中提供的一种压电反馈模组中，如图5a中所示，通孔31在基底30表面正投影的最小角度311大于90度，实验证明可以通过提高最小角度311的角度数值来提高压电反馈模组的振动位移量。在本申请的其他实施例中，通孔31在基底30表面正投影的最小角度311也可以小于或等于90度，这里不作具体限定。

进一步地，在本申请的一个实施例中提供的一种压电反馈模组中，如图5b中所示，与如图5a中所示实施例的区别在于，通孔31在基底30表面正投影的最小角度311大于图5a中的所述最小角度，在相同的驱动条件下，本实施例中的压电反馈模组的振动位移量较如图5a中压电反馈模组的振动位移量更大。

进一步地，在本申请的一个实施例中提供的一种压电反馈模组中，如图5c中所示，与图5b中所示实施例的区别在于，通孔31在基底30表面的正投影为圆，在相同的驱动条件下，本实施例中的压电反馈模组的振动位移量较图5b中所示压电反馈模组的振动位移量更大。

于上述实施例中的压电反馈模组中，优选设置所述通孔在基底表面正投影的最小角度大于90度，可以通过提高所述最小角度的数值来提高压电反馈模组的振动位移量，当所述通孔在所述基底表面的正投影为圆时，可以获取最大的振动位移量，即，可以获取最好的振动反馈效果。

进一步地，于上述实施例中的压电反馈模组中，第一压电振动单元与第二压电振动单元沿垂直于基底表面的方向对称设置，使得第一压电振动单元与第二压电振动单元的振动波相互叠加增强，且便于产生最佳的共振效果。

进一步地，于上述实施例中的压电反馈模组中，所述基底靠近所述第一压电振动单元的表面，及/或所述基底靠近所述第二压电振动单元的表面为平面，避免了因基底表面不平而吸收所述第一压电振动单元和/或所述第二压电振动单元产生的振动波。

进一步地，于上述实施例中的压电反馈模组中，所述第一压电层和/或所述第二压电层为压电晶体、压电陶瓷和压电聚合物中的至少一种，通过设置所述第一压电层和/或所述第二压电层中的压电材料，可以提高压电反馈模组的应用范围，以满足不同应用场景的不同需求。

进一步地，于上述实施例中的压电反馈模组中，所述第一压电振动单元与所述第二压电振动单元串联或并联驱动。当所述第一压电振动单元与所述第二压电振动单元串联驱动时，相对于二者并联驱动在相同的驱动电压下的驱动电流更小，对压电材料的耐热性要求较低；当所述第一压电振动单元与所述第二压电振动单元并联驱动时，相对于二者串联驱动在相同的驱动电流下所需驱动电压更小，避免了高电压可能带来的压电材料被击穿的风险。

在本申请的一个实施例中提供的一种压电反馈装置中，如图6所示，包括至少两个层叠如图3中所述的压电反馈模组100，在本实施例中，相邻的压电反馈模组100之间设置有第三绝缘层40，使得位于第三绝缘层40的第一表面和第二表面的第四电极层23和第一电极层11之间绝缘隔离。其中，各基底30上设置有共振腔，用于增大第一压电振动单元10与第二压电振动单元20产生的振动波产生驻波的振幅，从而增大相同驱动条件下所述压电反馈模组的振动位移量，提高了所述压电反馈模组的能量转换效率，扩大了所述压电反馈模组的应用范围。

进一步地，在本申请的一个实施例中提供的一种压电反馈装置中，如图7所示，第一压电振动单元10与第二压电振动单元20并联驱动，相邻的压电反馈模组100并联驱动。一压电反馈模组100中的第一压电层121远离基底30的表面的电极层用于输入相同极性的驱动电压例如是正电压，并且，该压电反馈模组100中的第二压电层221靠近基底30的表面的电极层用于输入相同极性的驱动电压例如是正电压，其余电极层接地，使得各第一压电层121与各第二压电层221受到电场力的作用振动。各通电电极层可以基于控制器50的控制改变驱动电压的幅值和/或频率。通过控制器50可以控制第一压电振动单元10与第二压电振动单元20同步振动，层叠的压电反馈模组100的振动相互叠加，可以产生最佳的振动效果，进而使得所述压电反馈装置获得最大的振动位移量。本实施例中各压电反馈模组采用并联等电压驱动，相对于采用串联等电流驱动在相同的驱动电流下所需驱动电压更小，避免了高电压可能带来的压电材料被击穿的风险。

图8为监测图1中所示的无共振腔的压电反馈模组在施加驱动电压前后获取的振动位移曲线图。如图8中所示，区域A内表示向如图1中所示的未设置共振腔的压电反馈模组中施加驱动电压幅值为40V的驱动电压下获取的振动位移曲线图，区域A左侧的区域B内的曲线为监测该无共振腔的压电反馈模组在施加驱动电压前获取的振动位移曲线图，通过对比图8中区域A与区域B内的曲线图可知，通过向所述无共振腔的压电反馈模组施加驱动电压，可以明显地提高压电反馈模组振动位移的幅值，以提高振动反馈效果。

图9为监测图2中所示的有共振腔的压电反馈模组在施加驱动电压前后获取的振动位移曲线图。如图9中所示，区域A内表示向如图2中所示的压电反馈模组中施加幅值为40V的驱动电压下获取的振动位移曲线图，区域A左侧的B区域内曲线为监测该设有共振腔的压电反馈模组在施加驱动电压前获取的振动位移曲线图，通过对比区域A与区域B内的位移曲线图可知，通过向所述设有共振腔的压电反馈模组施加驱动电压，可以明显地提高振动位移的幅值，即提高了振动反馈效果。通过对比图9中区域A内的曲线与图8中区域A内的曲线可知，通过设置共振腔，较好地提高了相同条件下的压电反馈模组在逆压电效应下的振动反馈效果。

表1为图8和图9中所示振动位移曲线的幅值对照表，其中，图8中B区域内位移曲线的幅值范围为-0.49μm-0.41μm，图8中A区域内位移曲线的幅值范围为-0.55μm-0.50μm，图8中的压电反馈模组在施加驱动电压后较施加驱动电压前的振动位移的最大值增加了11.6％；图9中B区域内位移曲线的幅值范围为-0.45μm-0.45μm，图9中A区域内位移曲线的幅值范围为-0.75μm-0.62μm，图9中的压电反馈模组在施加驱动电压后较施加驱动电压前的振动位移的最大值增加了52.2％。在相同的驱动条件下，图9中增设共振腔的压电反馈模组相比于图8中无共振腔的压电反馈模组，在相同驱动电压下的振动位移提高了35.6％，因此，增设共振腔的压电反馈模组相比于同等条件下无共振腔的压电反馈模组明显地提高了振动位移量，因而有效地提高了振动反馈效果。

表1

	B区振动位移(μm)	A区振动位移(μm)	增加的百分比
				图8	-0.49-0.41	-0.55-0.50	16.6％
图9	-0.45-0.45	-0.75-0.62	52.2％

在本申请的一个实施例中提供的一种压电反馈装置中，例如是手机，如图10所示，手机的触控面板采用根据任一本申请实施例中所述的压电反馈模组100，用于在用户触控手机触控面板的过程中，压电反馈模组100中的第一压电振动单元与第二压电振动单元产生的振动波经由共振腔而提高振动的位移量，使用户感受到更强的触觉反馈振动效果。

本申请实施例中所述的电子装置可以是键盘、手机、车载触摸屏、电子皮肤、智能穿戴设备、水声超声测量装置、压力传感器、换能器及压电聚合物电声器件等，采用本申请实施例中所述的压电反馈模组或压电反馈装置的电子装置，较传统的电子装置具有更好的能量转换或振动反馈效果。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (12)

1.一种压电反馈模组，其特征在于，包括依次层叠的第一压电振动单元、基底以及第二压电振动单元，

所述第一压电振动单元包括依次层叠的第一电极层、第一压电振动层以及第二电极层，所述第二电极层位于所述第一压电振动层靠近所述基底的表面；

所述第二压电振动单元包括依次层叠的第三电极层、第二压电振动层以及第四电极层，所述第三电极层位于所述第二压电振动层靠近所述基底的表面；

其中，所述基底上设置有共振腔，所述共振腔用于通过共振增大经过所述共振腔的振动波产生驻波的振幅。

2.根据权利要求1所述的压电反馈模组，其特征在于，所述第一压电振动层包括由多层第一压电层层叠而成的第一层叠结构，以及设置于每相邻两层所述第一压电层之间的第五电极层；和/或

所述第二压电振动层包括由多层第二压电层层叠而成的第二层叠结构，以及设置于每相邻两层所述第二压电层之间的第六电极层。

3.根据权利要求1所述的压电反馈模组，其特征在于，所述共振腔为多个凹槽和/或通孔。

4.根据权利要求3所述的压电反馈模组，其特征在于，所述凹槽和/或通孔沿垂直于所述基底表面的方向设置，且所述凹槽和/或通孔开口于所述基底表面。

5.根据权利要求4所述的压电反馈模组，其特征在于，所述凹槽和/或通孔在垂直于所述基底表面的截面上成喇叭状。

6.根据权利要求5所述的压电反馈模组，其特征在于，所述凹槽对称地设置于所述基底相对的表面。

7.根据权利要求5所述的压电反馈模组，其特征在于，所述凹槽和/或通孔呈阵列排布。

8.根据权利要求7所述的压电反馈模组，其特征在于，所述凹槽和/或通孔在所述基底表面的正投影为圆、椭圆、月牙形和多边形中的至少一种。

9.根据权利要求8所述的压电反馈模组，其特征在于，所述多边形的最小角度大于90度。

10.根据权利要求1-9中任一项中所述的压电反馈模组，其特征在于，所述第一压电振动单元与所述第二压电振动单元分别设置于所述基底的相对两侧，且所述第一压电振动单元与所述第二压电振动单元相互对称。

11.根据权利要求1-9中任一项中所述的压电反馈模组，其特征在于，所述第一压电振动单元与所述第二压电振动单元串联或并联驱动。

12.一种压电反馈装置，其特征在于，包括：

如权利要求1-11中任一项中所述的压电反馈模组。

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