CN111979503A - 退火炉抽真空方法及退火炉 - Google Patents
退火炉抽真空方法及退火炉 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111979503A CN111979503A CN202010738777.3A CN202010738777A CN111979503A CN 111979503 A CN111979503 A CN 111979503A CN 202010738777 A CN202010738777 A CN 202010738777A CN 111979503 A CN111979503 A CN 111979503A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- annealing furnace
- water
- heating
- water circulation
- circulation system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22F—CHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
- C22F1/00—Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working
- C22F1/02—Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working in inert or controlled atmosphere or vacuum
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D1/00—General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
- C21D1/26—Methods of annealing
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D9/00—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor
- C21D9/52—Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor for wires; for strips ; for rods of unlimited length
- C21D9/54—Furnaces for treating strips or wire
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22F—CHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
- C22F1/00—Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working
- C22F1/16—Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working of other metals or alloys based thereon
- C22F1/18—High-melting or refractory metals or alloys based thereon
- C22F1/183—High-melting or refractory metals or alloys based thereon of titanium or alloys based thereon
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Furnace Details (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
Abstract
本发明涉及钛合金制造技术领域,尤其涉及退火炉抽真空方法及退火炉,其中,退火炉抽真空方法,包括:S1,通过水循环系统对退火炉进行水浴加热至第一预设温度;S2,通过抽真空装置对所述退火炉进行抽真空至预设真空度;S3,通过加热装置对所述退火炉进行加热至第二预设温度;S4,关闭水循环系统,排出所述退火炉中残留的水;S5,继续对所述退火炉进行加热与抽真空。本发明无需多次抽真空的操作,有效提高抽真空阶段的抽气效率,退火炉无需打开后再加热,能够保证空气排净,抽真空装置在水浴升温后对炉内抽真空,可保证炉内水分子无残留,可避免的加速钛与氧的结合,减少钛工件表面高温段的氧化。
Description
技术领域
本发明涉及钛合金制造技术领域,尤其涉及退火炉抽真空方法及退火炉。
背景技术
钛及钛合金在高温下性质活泼,易与碳、氧、氮、氢等化合,所以钛合金的退火工艺对退火环境的真空度要求很高。工艺生产中一般采用真空退火炉对钛及钛合金卷(或者板材)进行成品退火。
一般情况下,每个退火周期完成后开炉把钛及钛合金带材(或者板材)吊走,等待下一批料入炉,因为钛及钛合金带材(或者板材)的产量相对不饱和,有时等待时间1-2天才有下一批料的入炉,甚至更长时间,在这个等待过程中随着炉温下降到一定程度,退火炉内部会有部分水汽凝结附着在退火炉内壁上。同时开炉后整个炉体充满了空气,空气中含有水分子,内壁上有附着的水分子,这两部分水在抽真空时在压力变小的状况下分子之间的距离被拉大,当达到一定距离时,其分子间的作用力开始让其结晶,于是液态水就变成了冰凝结在炉壁上,这部分冰在抽真空时会不定时地释放气体,大幅延长了前期抽真空的时间。后期真空度达到生产要求后,仍然有相当一部分水分子以冰的形式附着在内壁上,开始加热后,这部分凝固的水分子会在温度的作用下释放水分子,水分子在高温状态下又会分解成氧,氧会与钛及钛合金工件反应生产钛的氧化物,从而影响钛加工件的表面质量和性能。
面对上述情况,通常有以下方法进行处理:①采用多次抽真空——充氩——再抽真空的工艺,可降低炉体内部的气体氧含量;②炉体打开后,对其内部进行加温;关闭炉体,先加温再抽真空。这些措施能提高抽真空效率但存在以下问题:1、采用多次抽真空——充氩——再抽真空的工艺,需要非常精细的操作,必须确保炉内压力低于大气压,否则一旦超压,真空炉的密封失效,大量气体进入炉室;多次充氩也会增加生产成本,延长生产周期;2、炉体打开后加热只能排除部分空气,仍会有大量水分子残留。3、如果关闭炉体后先加热再抽真空,会不可避免的加速钛与氧的结合,使钛工件表面氧化。
发明内容
本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本发明提出一种退火炉抽真空方法,无需多次抽真空的操作,有效提高抽真空阶段的抽气效率,退火炉无需打开后再加热,能够保证空气排净,抽真空装置在水浴升温后对炉内抽真空,可保证炉内水分子无残留,可避免的加速钛与氧的结合,减少钛工件表面高温段的氧化。
本发明还提出一种退火炉。
根据本发明第一方面实施例的退火炉抽真空方法,包括:
S1,通过水循环系统对退火炉进行水浴加热至第一预设温度;
S2,通过抽真空装置对所述退火炉进行抽真空至预设真空度;
S3,通过加热装置对所述退火炉进行加热至第二预设温度;
S4,关闭水循环系统,排出所述退火炉中残留的水;
S5,继续对所述退火炉进行加热与抽真空。
根据本发明的一个实施例,步骤S1前还包括:
S01,确认所述退火炉和所述水循环系统的管路是否畅通;
S02,检查所述退火炉和所述水循环系统是否有漏点。
根据本发明的一个实施例,在步骤S02中,通过所述水循环系统的水循环装置使所述水循环系统的水箱中的水在所述水循环系统和所述退火炉之间循环流动,观察是否有漏点。
根据本发明的一个实施例,在步骤S1中,通过所述水循环系统的水加热装置对水箱中的水进行加热。
根据本发明的一个实施例,所述第一预设温度为35℃~45℃;所述第二预设温度为190℃~210℃。
根据本发明的一个实施例,所述预设真空度为0.05~0.15Pa。
根据本发明第二方面实施例的应用如上所述的退火炉抽真空方法进行抽真空的退火炉,包括炉体、水循环系统、加热装置和抽真空装置,所述加热装置与所述抽真空装置与所述炉体连接,所述炉体包括内壳体与套设于所述内壳体外侧的外壳体,所述内壳体与所述外壳体之间形成加热腔,所述水循环系统与所述加热腔连通。
根据本发明的一个实施例,所述水循环系统包括水箱、水加热装置和水循环装置,所述水循环装置、所述水加热装置、所述水箱与所述加热腔通过管路连接形成循环回路。
根据本发明的一个实施例,所述水循环系统还包括温度传感器,所述温度传感器设置于所述加热腔的出水口与所述水循环装置连通的所述管路上。
根据本发明的一个实施例,所述加热腔的进水口与出水口与所述管路的连接处均设有阀体。
本发明实施例中的上述一个或多个技术方案,至少具有如下技术效果:本发明实施例的退火炉抽真空方法,利用退火炉的双层壳体结构,在抽真空前采用水循环系统对退火炉提供水浴升温,温水使退火炉的壳体内壁温度升高,避免炉内气体中水汽在内壁结露,同时已在退火炉的内壁结露的水汽在第一预热温度的作用下挥发成水分子,再对退火炉进行抽真空,水分子被抽真空装置吸出,再通过加热装置对退火炉进行进一步升温,升温至预设温度后将退火炉双层壳体结构中的水排出。
本发明无需多次抽真空的操作,有效提高抽真空阶段的抽气效率,退火炉无需打开后再加热,能够保证空气排净,抽真空装置在水浴升温后对炉内抽真空,可保证炉内水分子无残留,可避免的加速钛与氧的结合,减少钛工件表面高温段的氧化。本发明避免了退火炉内壁水汽凝结的现象,提高抽真空装置的抽气效率和提高产品质量,解决了钛合金退火炉抽真空时效率低下的问题,由传统的10-12小时的预抽真空时间缩短至5小时,钛加工件的表面质量获得明显的改善,降低生产成本,减少操作流程。
除了上面所描述的本发明解决的技术问题、构成的技术方案的技术特征以及有这些技术方案的技术特征所带来的优点之外,本发明的其他技术特征及这些技术特征带来的优点,将结合附图作出进一步说明,或通过本发明的实践了解到。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例退火炉抽真空方法的流程图;
图2是本发明实施例退火炉的结构示意图。
附图标记:
1:炉体;11:内壳体;12:外壳体;13:加热腔;
2:水循环系统;21:水箱;22:水加热装置;23:水循环装置;24:管路;25:温度传感器;26:阀体。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明,但不能用来限制本发明的范围。
在本发明实施例的描述中,需要说明的是,术语“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明实施例和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明实施例的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明实施例的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明实施例中的具体含义。
在本发明实施例中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,在不相互矛盾的情况下,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
如图1和图2所示,本发明实施例提供的退火炉抽真空方法,包括:
S1,通过水循环系统2对退火炉进行水浴加热至第一预设温度;
S2,通过抽真空装置对退火炉进行抽真空至预设真空度;
S3,通过加热装置对退火炉进行加热至第二预设温度;
S4,关闭水循环系统2,排出退火炉中残留的水;
S5,继续对退火炉进行加热与抽真空。
本发明实施例的退火炉抽真空方法,利用退火炉的双层壳体结构,在抽真空前采用水循环系统2对退火炉提供水浴升温,温水使退火炉的壳体内壁温度升高,避免炉内气体中水汽在内壁结露,同时已在退火炉的内壁结露的水汽在第一预热温度的作用下挥发成水分子,再对退火炉进行抽真空,水分子被抽真空装置吸出,再通过加热装置对退火炉进行进一步升温,升温至预设温度后将退火炉双层壳体结构中的水排出。
本发明无需多次抽真空的操作,有效提高抽真空阶段的抽气效率,退火炉无需打开后再加热,能够保证空气排净,抽真空装置在水浴升温后对炉内抽真空,可保证炉内水分子无残留,可避免的加速钛与氧的结合,减少钛工件表面高温段的氧化。本发明避免了退火炉内壁水汽凝结的现象,提高抽真空装置的抽气效率和提高产品质量,解决了钛合金退火炉抽真空时效率低下的问题,由传统的10-12小时的预抽真空时间缩短至5小时,钛加工件的表面质量获得明显的改善,降低生产成本,减少操作流程。
根据本发明的一个实施例,步骤S1前还包括:
S01,确认退火炉和水循环系统2的管路24是否畅通;
S02,检查退火炉和水循环系统2是否有漏点。
本实施例中,在水循环系统2对退火炉进行水浴加热前,确保水循环系统2的管路24畅通,以及保证退火炉与水循环系统2的连通水路上无漏点,以防后续操作过程中出现管路24不畅和漏水现象。
在步骤S02中,通过水循环系统2的水循环装置23使水循环系统2的水箱21中的水在水循环系统2和退火炉之间循环流动,观察是否有漏点。本实施例中,在水循环系统2对退火炉进行水浴加热前,先确认水循环系统2的管路24畅通,然后开启水循环装置23,视为加热的水在退火炉的双层壳体结构中以及水循环系统2中循环流动,观察是否有漏点。在其它实施例中,也可通过其方式检查退火炉和水循环系统2是否有漏点。
根据本发明的一个实施例,在步骤S1中,通过水循环系统2的水加热装置22对水箱21中的水进行加热。本实施例中,水循环系统2中具有水加热装置22,水加热装置22对水箱21中的进行加热,从而控制步骤S1中退火炉的炉内温度到达第一预设温度。水加热装置22可采用电加热、换热器等。
根据本发明的一个实施例,第一预设温度为35℃~45℃;第二预设温度为190℃~210℃。本实施例中,第一预设温度设定为40℃;第二预设温度设定为200℃。
根据本发明的一个实施例,预设真空度为0.05~0.15Pa。。本实施例中,预设真空度设定为10-1Pa。
如图2所示,本发明实施例还提供了应用如上实施例的退火炉抽真空方法进行抽真空的退火炉,包括炉体1、水循环系统2、加热装置和抽真空装置,加热装置与抽真空装置与炉体1连接,炉体1包括内壳体11与套设于内壳体11外侧的外壳体12,内壳体11与外壳体12之间形成加热腔13,水循环系统2与加热腔13连通。
本发明实施例的退火炉,炉体1的内壳体11与外壳体12组成双层壳体结构,双层壳体结构构成加热腔13,水循环系统2的一端与加热腔13的进水口连通,另一端与加热腔13的出水口连通,以在抽真空过程中对炉体1进行前期的水浴加热,炉体1、加热装置和抽真空装置连接,加热装置对炉体1本身进行加热升温,抽真空装置对炉体1进行抽气。利用炉体1的双层壳体结构,在抽真空前采用水循环系统2对炉体1的加热腔13提供水浴升温,温水使炉体1内壳体11的内壁温度升高,避免炉内气体中水汽在内壁结露,同时已在炉体1内壳体11的内壁结露的水汽在第一预热温度的作用下挥发成水分子,再对炉体1进行抽真空,水分子被抽真空装置吸出,再通过加热装置对炉体1进行进一步升温,升温至预设温度后将炉体1的加热腔13中的水排出。
本发明无需多次抽真空的操作,有效提高抽真空阶段的抽气效率,退火炉无需打开后再加热,能够保证空气排净,抽真空装置在水浴升温后对炉内抽真空,可保证炉内水分子无残留,可避免的加速钛与氧的结合,减少钛工件表面高温段的氧化。本发明避免了退火炉内壁水汽凝结的现象,提高抽真空装置的抽气效率和提高产品质量,解决了钛合金退火炉抽真空时效率低下的问题,由传统的10-12小时的预抽真空时间缩短至5小时,钛加工件的表面质量获得明显的改善,降低生产成本,减少操作流程。
根据本发明的一个实施例,水循环系统2包括水箱21、水加热装置22和水循环装置23,水循环装置23、水加热装置22、水箱21与加热腔13通过管路24连接形成循环回路。本实施例中,水箱21为水循环系统2与炉体1的加热腔13提供水源,水循环装置23为水箱21中的水提供驱动力,使其在炉体1与水循环系统2形成的循环回路中流动,水加热装置22对循环回路中的进行加热,控制水加热装置22的加热温度即可控制炉体1内加热腔13的温度,从而控制第一预设温度的温度值。水加热装置22可采用电加热、换热器等。
根据本发明的一个实施例,水循环系统2还包括温度传感器25,温度传感器25设置于加热腔13的出水口与水循环装置23连通的管路24上。本实施例中,水循环系统2的管路24上还设有温度传感器25,用于检测流出炉体1加热腔13的水的温度。温度传感器25将检测结果反馈至水加热装置22,可控制水加热装置22的加热情况,也可实时检测炉体1内加热腔13的温度,以便在炉体1内的温度到达第一预设温度后,能够及时进行后续抽真空和加热操作。
根据本发明的一个实施例,加热腔13的进水口与出水口与管路24的连接处均设有阀体26。本实施例中,在加热腔13的进水口与出水口设置阀体26,阀体26可选用单向阀体26,保证水循环系统2中管路24内的水流方向,以及方便管路24在与加热腔13进水口和出水口连接处的安装与拆卸。
实际生产过程中,先确认水循环系统2的管路24畅通,然后开启水循环装置23,观察是水循环系统2与炉体1的加热腔13否有漏点;确认无漏点后,开启水加热装置22,炉体1的内壁温度上升至40℃,开启抽真空装置,开始对炉体1内部进行抽真空,真空度下降至符合生产要求的预设真空度后,开启加热装置,炉体1内部开始升温至200℃后,水循环系统2关闭,放掉加热腔13内残留水,炉体1继续通过加热装置加热,通过抽真空装置抽真空,直至达到要求的工艺温度。
最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (10)
1.一种退火炉抽真空方法,其特征在于:包括:
S1,通过水循环系统对退火炉进行水浴加热至第一预设温度;
S2,通过抽真空装置对所述退火炉进行抽真空至预设真空度;
S3,通过加热装置对所述退火炉进行加热至第二预设温度;
S4,关闭水循环系统,排出所述退火炉中残留的水;
S5,继续对所述退火炉进行加热与抽真空。
2.根据权利要求1所述的退火炉抽真空方法,其特征在于:步骤S1前还包括:
S01,确认所述退火炉和所述水循环系统的管路是否畅通;
S02,检查所述退火炉和所述水循环系统是否有漏点。
3.根据权利要求2所述的退火炉抽真空方法,其特征在于:在步骤S02中,通过所述水循环系统的水循环装置使所述水循环系统的水箱中的水在所述水循环系统和所述退火炉之间循环流动,观察是否有漏点。
4.根据权利要求1所述的退火炉抽真空方法,其特征在于:在步骤S1中,通过所述水循环系统的水加热装置对水箱中的水进行加热。
5.根据权利要求1至4任意一项所述的退火炉抽真空方法,其特征在于:所述第一预设温度为35℃~45℃;所述第二预设温度为190℃~210℃。
6.根据权利要求5所述的退火炉抽真空方法,其特征在于:所述预设真空度为0.05~0.15Pa。
7.一种应用如权利要求1至6任意一项所述的退火炉抽真空方法进行抽真空的退火炉,其特征在于:包括炉体、水循环系统、加热装置和抽真空装置,所述加热装置与所述抽真空装置与所述炉体连接,所述炉体包括内壳体与套设于所述内壳体外侧的外壳体,所述内壳体与所述外壳体之间形成加热腔,所述水循环系统与所述加热腔连通。
8.根据权利要求7所述的退火炉,其特征在于:所述水循环系统包括水箱、水加热装置和水循环装置,所述水循环装置、所述水加热装置、所述水箱与所述加热腔通过管路连接形成循环回路。
9.根据权利要求8所述的退火炉,其特征在于:所述水循环系统还包括温度传感器,所述温度传感器设置于所述加热腔的出水口与所述水循环装置连通的所述管路上。
10.根据权利要求8或9所述的退火炉,其特征在于:所述加热腔的进水口与出水口与所述管路的连接处均设有阀体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010738777.3A CN111979503B (zh) | 2020-07-28 | 2020-07-28 | 退火炉抽真空方法及退火炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010738777.3A CN111979503B (zh) | 2020-07-28 | 2020-07-28 | 退火炉抽真空方法及退火炉 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111979503A true CN111979503A (zh) | 2020-11-24 |
CN111979503B CN111979503B (zh) | 2021-11-26 |
Family
ID=73444657
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010738777.3A Active CN111979503B (zh) | 2020-07-28 | 2020-07-28 | 退火炉抽真空方法及退火炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN111979503B (zh) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004115876A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Nippon Steel Corp | 成形性及び潤滑性に優れたチタン材とその製造方法 |
CN204027292U (zh) * | 2014-08-25 | 2014-12-17 | 杭州青化社化工有限公司 | 一种干燥机抽真空装置 |
CN105464932A (zh) * | 2014-08-15 | 2016-04-06 | 北京和华腾真空泵压缩机有限公司 | 一种抽真空排气装置 |
-
2020
- 2020-07-28 CN CN202010738777.3A patent/CN111979503B/zh active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004115876A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Nippon Steel Corp | 成形性及び潤滑性に優れたチタン材とその製造方法 |
CN105464932A (zh) * | 2014-08-15 | 2016-04-06 | 北京和华腾真空泵压缩机有限公司 | 一种抽真空排气装置 |
CN204027292U (zh) * | 2014-08-25 | 2014-12-17 | 杭州青化社化工有限公司 | 一种干燥机抽真空装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN111979503B (zh) | 2021-11-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105865159A (zh) | 一种锂离子电池电芯的干燥方法 | |
WO2014071709A1 (zh) | 稀土永磁合金柔性烧结工艺方法及其烧结设备 | |
CN111979503B (zh) | 退火炉抽真空方法及退火炉 | |
CN111761158A (zh) | 用于真空保温杯连续抽真空的真空室及连续抽真空工艺 | |
TW202024367A (zh) | 半導體處理系統 | |
CN107326156A (zh) | 一种钕铁硼永磁真空烧结热处理方法及真空热处理设备 | |
CN111302299A (zh) | 一种焊接密封系统及焊接密封工艺 | |
TW201842209A (zh) | 水蒸氣處理製品的製造方法及製造裝置 | |
CN112962052A (zh) | 氮氧化炉 | |
CN111215003A (zh) | 一种高压釜 | |
CN101893383A (zh) | 一种工业炉抽真空并充填惰性气体的方法及装置 | |
CN211052518U (zh) | 一种用于真空烧结回火的半自动烧结炉 | |
CN111394711A (zh) | 用于获取超高真空的真空系统及方法 | |
KR102463338B1 (ko) | 수증기 처리 제품의 제조 방법 및 제조 장치 | |
CN113782481B (zh) | 一种多工位不锈钢加热基座表面处理装置及方法 | |
CN218115512U (zh) | 一种热处理装置 | |
CN115560586B (zh) | 一种快速降温气氛钟罩炉及其降温方法 | |
KR100759105B1 (ko) | 냉매를 이용한 고효율 진공장치 | |
CN117146580B (zh) | 一种八室真空连续烧结炉控制方法和八室真空连续烧结炉 | |
CN220335280U (zh) | 一种阴极翅片式离子氮化炉 | |
CN219424348U (zh) | 一种通氢还原装置 | |
JP2923534B2 (ja) | コイル状被処理材の焼鈍方法及び熱処理炉 | |
CN115815731B (zh) | 一种环保高密封钎焊装置 | |
CN105865212A (zh) | 快速气冷真空炉 | |
CN101162672A (zh) | 一种平板显示器无排气管真空方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
TR01 | Transfer of patent right | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20221012 Address after: 266000 Room 235, Science and Technology Museum, EMU Town, Qingdao Rail Industry Demonstration Zone, west end of Chunyang Road, Jihongtan Sub district Office, Chengyang District, Qingdao, Shandong Patentee after: China titanium guochuang (Qingdao) Technology Co.,Ltd. Address before: Room 105, no.10-1 Xinlong street, Hunnan District, Shenyang City, Liaoning Province Patentee before: Shenyang Titanium Equipment Manufacturing Co.,Ltd. |