CN111964324A - 一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备 - Google Patents

一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,包括固定框、保护框、风扇、防护网、冷却片、移动清理机构和收集机构,本发明通过在固定框上端设置了移动清理机构,电机通电进行工作,通过第一皮带轮带动皮带在第二皮带轮上端传动,使移动块带动竖板进行直线移动,从而使刷板对冷却管和冷却片上端进行清理,达到了能够快速对冷却管和冷却片上端灰尘进行清理的优点;通过在固定框上端设置了收集机构,清理的灰尘通过排放槽导流排放至到收集框内侧,同时拉动收集框,使收集框通过导向块在滑槽上端移动,即可对收集框拆下,达到了能够对灰尘收集和清除的优点。

Description

一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备
技术领域
本发明涉及半导体生产相关领域,具体是一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件。
在半导体生产中往往需要使用到水冷风冷一体冷却设备对半导体生产设备进行降温,从而防止半导体生产设备过热,现在的水冷风冷一体冷却设备在使用一段时间后,冷却管和冷却片上端往往会粘附有大量的灰尘,需要对水冷风冷一体冷却设备进行拆卸清理,清理不便,现有水冷风冷一体冷却设备不易快速对冷却管和冷却片上端灰尘进行清理,导致灰尘堆积,清理费时费力。
发明内容
因此,为了解决上述不足,本发明在此提供一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备。
本发明是这样实现的,构造一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,该装置包括固定框、保护框、风扇、防护网、冷却片、移动清理机构和收集机构,所述固定框右端设置有控制面板,所述控制面板前端安装有按钮,所述固定框后端固定有电源导线,所述固定框与保护框后端螺栓连接,所述移动清理机构安装固定于固定框顶部,所述收集机构与固定框底部滑动配合,所述移动清理机构包括安装框、固定板、电机、第一皮带轮、皮带、第二皮带轮、滑块、导轨、移动块和清洁板,所述安装框与固定框顶部螺栓连接,所述安装框内部固定有固定板,所述固定板通过螺钉与电机前端锁紧固定,所述电机与第一皮带轮中部相连接,所述第一皮带轮通过皮带与第二皮带轮内侧壁传动连接,所述皮带与移动块后端固定连接,所述移动块后端上下两侧相对设置有滑块,所述滑块沿着导轨上端滑动,所述移动块底部设置有清洁板,所述电机与控制面板电连接。
优选的,所述保护框内部设置有风扇,所述保护框通过螺钉与防护网后端锁紧固定,所述固定框前端左端设置有连接管,并且连接管与冷却管左端相连通,所述固定框内部等距分布有冷却片。
优选的,所述清洁板包括竖板、凹槽、压簧、刷板和滚轮,所述竖板与移动块底部固定连接,所述竖板右端开设有凹槽,所述刷板通过压簧与凹槽右端内侧弹性连接,所述竖板通过铰链轴与滚轮中部转动连接。
优选的,所述收集机构包括收集框、导向块、滑槽和排放槽,所述收集框上端左右两侧相对设置有导向块,所述导向块与滑槽内侧壁滑动配合,所述排放槽开设于固定框内部下端,并且排放槽与收集框上端相连通。
优选的,所述导向块横截面呈T字形状,并且导向块共设置有两块。
优选的,所述压簧共设置有三个,并且压簧沿刷板左端竖直方向等距分布。
优选的,所述滚轮嵌入于竖板下端内侧,并且滚轮与固定框内部下端滑动配合。
优选的,所述第一皮带轮和第二皮带轮尺寸相同,并且第一皮带轮和第二皮带轮相互平行分布。
优选的,所述导轨共设置有两根,并且导轨沿固定板前端上下两侧相对设置。
优选的,两根所述导轨上端均设置有滑块,并且导轨嵌入于滑块内侧。
优选的,所述压簧为合金钢材质,弹性势能优良。
优选的,所述滚轮为聚氨酯材质,耐磨性强。
本发明具有如下优点:本发明通过改进在此提供一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,与同类型设备相比,具有如下改进:
优点1:本发明所述一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,通过在固定框上端设置了移动清理机构,电机通电进行工作,通过第一皮带轮带动皮带在第二皮带轮上端传动,使移动块带动竖板进行直线移动,从而使刷板对冷却管和冷却片上端进行清理,达到了能够快速对冷却管和冷却片上端灰尘进行清理的优点。
优点2:本发明所述一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,通过在移动清理机构上端设置了清洁板,在竖板移动时,会使滚轮在固定框内侧下端滑动,对竖板进行导流,使竖板平稳移动,同时刷板会压动压簧产生形变收缩,通过压簧恢复形变的弹性势能带动刷板与冷却管和冷却片上端紧密贴合,达到了能够对冷却管和冷却片清理彻底的优点。
优点3:本发明所述一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,通过在固定框上端设置了收集机构,清理的灰尘通过排放槽导流排放至到收集框内侧,同时拉动收集框,使收集框通过导向块在滑槽上端移动,即可对收集框拆下,达到了能够对灰尘收集和清除的优点。
附图说明
图1是本发明结构示意图;
图2是本发明固定框剖面结构示意图;
图3是本发明移动清理机构剖面结构示意图;
图4是本发明移动清理机构局部侧视结构示意图;
图5是本发明清洁板剖面结构示意图;
图6是本发明收集机构剖面结构示意图。
其中:固定框-1、控制面板-2、按钮-3、电源导线-4、保护框-5、风扇-6、防护网-7、连接管-8、冷却管-9、冷却片-10、移动清理机构-11、收集机构-12、安装框-111、固定板-112、电机-113、第一皮带轮-114、皮带-115、第二皮带轮-116、滑块-117、导轨-118、移动块-119、清洁板-1110、竖板-11101、凹槽-11102、压簧-11103、刷板-11104、滚轮-11105、收集框-121、导向块-122、滑槽-123、排放槽-124。
具体实施方式
下面将结合附图1-6对本发明进行详细说明,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例一:
请参阅图1和图2,本发明通过改进在此提供一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,包括固定框1、保护框5、风扇6、防护网7、冷却片10、移动清理机构11和收集机构12,固定框1右端设置有控制面板2,控制面板2前端安装有按钮3,固定框1后端固定有电源导线4,固定框1与保护框5后端螺栓连接,移动清理机构11安装固定于固定框1顶部,收集机构12与固定框1底部滑动配合,保护框5内部设置有风扇6,保护框5通过螺钉与防护网7后端锁紧固定,固定框1前端左端设置有连接管8,并且连接管8与冷却管9左端相连通,固定框1内部等距分布有冷却片10。
请参阅图3和图4,本发明通过改进在此提供一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,移动清理机构11包括安装框111、固定板112、电机113、第一皮带轮114、皮带115、第二皮带轮116、滑块117、导轨118、移动块119和清洁板1110,安装框111与固定框1顶部螺栓连接,安装框111内部固定有固定板112,固定板112通过螺钉与电机113前端锁紧固定,电机113与第一皮带轮114中部相连接,第一皮带轮114通过皮带115与第二皮带轮116内侧壁传动连接,皮带115与移动块119后端固定连接,移动块119后端上下两侧相对设置有滑块117,滑块117沿着导轨118上端滑动,移动块119底部设置有清洁板1110,电机113与控制面板2电连接,第一皮带轮114和第二皮带轮116尺寸相同,并且第一皮带轮114和第二皮带轮116相互平行分布,导轨118共设置有两根,并且导轨118沿固定板112前端上下两侧相对设置,两根导轨118上端均设置有滑块117,并且导轨118嵌入于滑块117内侧,利于起到使滑块117平稳移动的作用。
请参阅图5,本发明通过改进在此提供一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,清洁板1110包括竖板11101、凹槽11102、压簧11103、刷板11104和滚轮11105,竖板11101与移动块119底部固定连接,竖板11101右端开设有凹槽11102,刷板11104通过压簧11103与凹槽11102右端内侧弹性连接,竖板11101通过铰链轴与滚轮11105中部转动连接,压簧11103共设置有三个,并且压簧11103沿刷板11104左端竖直方向等距分布,滚轮11105嵌入于竖板11101下端内侧,并且滚轮11105与固定框1内部下端滑动配合,利于起到使滚轮11105平稳转动的作用,压簧11103为合金钢材质,弹性势能优良,滚轮11105为聚氨酯材质,耐磨性强。
请参阅图6,本发明通过改进在此提供一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,收集机构12包括收集框121、导向块122、滑槽123和排放槽124,收集框121上端左右两侧相对设置有导向块122,导向块122与滑槽123内侧壁滑动配合,排放槽124开设于固定框1内部下端,并且排放槽124与收集框121上端相连通,导向块122横截面呈T字形状,并且导向块122共设置有两块,利于起到使收集框121平稳移动的作用。
实施例二:
本发明通过改进在此提供一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,收集框121呈上端开口的长方体状,利于起到对杂物进行收集的作用,连接管8共设置有两个,并且连接管8沿固定框1左端上下两侧呈对称状分布,利于起到进行水冷循环的作用。
本发明通过改进提供一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,其工作原理如下;
第一,在使用前,将半导体生产用水冷风冷一体冷却设备进行水平放置,使固定框1对该设备进行固定支撑,并且通过螺栓将该设备固定于半导体生产设备上端合适的位置上,并且通过连接管8往冷却管9内部加上适量的冷却液,并且在连接管8上端连接上循环泵;
第二,在使用时,通过电源导线4接通外接电源,给该设备提供电源,随后按下控制面板2上端的按钮3,启动该设备,风扇6通电进行工作,对半导体生产设备进行风冷降温,同时循环泵对冷却管9内部冷却液进行循环输送,对半导体生产设备进行水冷却,并且冷却片10能够增加半导体生产设备上端的散热效率;
第三,当要对冷却管9和冷却片10上端灰尘进行清理时,启动移动清理机构11,电机113通电进行通电,通过第一皮带轮114带动皮带115在第二皮带轮116上端传动,从而使皮带115带动移动块119通过滑块117在导轨118上端移动,使移动块119带动竖板11101进行直线移动,从而使刷板11104对冷却管9和冷却片10上端进行清理,达到了能够快速对冷却管9和冷却片10上端灰尘进行清理,并且在竖板11101移动时,会使滚轮11105在固定框1内侧下端滑动,对竖板11101进行导流,使竖板11101平稳移动,同时刷板11104会压动压簧11103产生形变收缩,通过压簧11103恢复形变的弹性势能带动刷板11104与冷却管9和冷却片10上端紧密贴合,能够对冷却管9和冷却片10清理彻底;
第四,同时通过在固定框1上端设置了收集机构12,清理的灰尘通过排放槽124导流排放至到收集框121内侧,同时拉动收集框121,使收集框121通过导向块122在滑槽123上端移动,即可对收集框121拆下,能够对灰尘收集和清除。
本发明通过改进提供一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,通过在固定框1上端设置了移动清理机构11,电机113通电进行工作,通过第一皮带轮114带动皮带115在第二皮带轮116上端传动,从而使皮带115带动移动块119通过滑块117在导轨118上端移动,使移动块119带动竖板11101进行直线移动,从而使刷板11104对冷却管9和冷却片10上端进行清理,达到了能够快速对冷却管9和冷却片10上端灰尘进行清理的优点;通过在移动清理机构11上端设置了清洁板1110,在竖板11101移动时,会使滚轮11105在固定框1内侧下端滑动,对竖板11101进行导流,使竖板11101平稳移动,同时刷板11104会压动压簧11103产生形变收缩,通过压簧11103恢复形变的弹性势能带动刷板11104与冷却管9和冷却片10上端紧密贴合,达到了能够对冷却管9和冷却片10清理彻底的优点;通过在固定框1上端设置了收集机构12,清理的灰尘通过排放槽124导流排放至到收集框121内侧,同时拉动收集框121,使收集框121通过导向块122在滑槽123上端移动,即可对收集框121拆下,达到了能够对灰尘收集和清除的优点。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,并且本发明使用到的标准零件均可以从市场上购买,异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制,各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓铆钉、焊接等常规手段,机械、零件和设备均采用现有技术中,常规的型号,加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式,在此不再详述。
对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,包括固定框(1)、保护框(5)、风扇(6)、防护网(7)和冷却片(10),所述固定框(1)右端设置有控制面板(2),所述控制面板(2)前端安装有按钮(3),所述固定框(1)后端固定有电源导线(4),所述固定框(1)与保护框(5)后端螺栓连接;
其特征在于:还包括移动清理机构(11)和收集机构(12),所述移动清理机构(11)安装固定于固定框(1)顶部,所述收集机构(12)与固定框(1)底部滑动配合,所述移动清理机构(11)包括安装框(111)、固定板(112)、电机(113)、第一皮带轮(114)、皮带(115)、第二皮带轮(116)、滑块(117)、导轨(118)、移动块(119)和清洁板(1110),所述安装框(111)与固定框(1)顶部螺栓连接,所述安装框(111)内部固定有固定板(112),所述固定板(112)通过螺钉与电机(113)前端锁紧固定,所述电机(113)与第一皮带轮(114)中部相连接,所述第一皮带轮(114)通过皮带(115)与第二皮带轮(116)内侧壁传动连接,所述皮带(115)与移动块(119)后端固定连接,所述移动块(119)后端上下两侧相对设置有滑块(117),所述滑块(117)沿着导轨(118)上端滑动,所述移动块(119)底部设置有清洁板(1110),所述电机(113)与控制面板(2)电连接。
2.根据权利要求1所述一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,其特征在于:所述保护框(5)内部设置有风扇(6),所述保护框(5)通过螺钉与防护网(7)后端锁紧固定,所述固定框(1)前端左端设置有连接管(8),并且连接管(8)与冷却管(9)左端相连通,所述固定框(1)内部等距分布有冷却片(10)。
3.根据权利要求1所述一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,其特征在于:所述清洁板(1110)包括竖板(11101)、凹槽(11102)、压簧(11103)、刷板(11104)和滚轮(11105),所述竖板(11101)与移动块(119)底部固定连接,所述竖板(11101)右端开设有凹槽(11102),所述刷板(11104)通过压簧(11103)与凹槽(11102)右端内侧弹性连接,所述竖板(11101)通过铰链轴与滚轮(11105)中部转动连接。
4.根据权利要求1所述一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,其特征在于:所述收集机构(12)包括收集框(121)、导向块(122)、滑槽(123)和排放槽(124),所述收集框(121)上端左右两侧相对设置有导向块(122),所述导向块(122)与滑槽(123)内侧壁滑动配合,所述排放槽(124)开设于固定框(1)内部下端,并且排放槽(124)与收集框(121)上端相连通。
5.根据权利要求4所述一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,其特征在于:所述导向块(122)横截面呈T字形状,并且导向块(122)共设置有两块。
6.根据权利要求3所述一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,其特征在于:所述压簧(11103)共设置有三个,并且压簧(11103)沿刷板(11104)左端竖直方向等距分布。
7.根据权利要求3所述一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,其特征在于:所述滚轮(11105)嵌入于竖板(11101)下端内侧,并且滚轮(11105)与固定框(1)内部下端滑动配合。
8.根据权利要求1所述一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,其特征在于:所述第一皮带轮(114)和第二皮带轮(116)尺寸相同,并且第一皮带轮(114)和第二皮带轮(116)相互平行分布。
9.根据权利要求1所述一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,其特征在于:所述导轨(118)共设置有两根,并且导轨(118)沿固定板(112)前端上下两侧相对设置。
10.根据权利要求9所述一种半导体生产用水冷风冷一体冷却设备,其特征在于:两根所述导轨(118)上端均设置有滑块(117),并且导轨(118)嵌入于滑块(117)内侧。
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