CN111950326B - 一种超声波传感器和显示面板 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种超声波传感器和显示面板，用于提高超声波传感器的发射性能，提高对超声信号的利用率。其中的超声波传感器包括承载基板，位于所述承载基板上的接收结构，以及位于所述接收结构远离所述承载基板一侧的发射结构；其中，所述发射结构设置有第一压电膜层，所述接收结构设置有第二压电膜层，所述第一压电膜层的压电常数大于所述第二压电膜层的压电常数。

Description

一种超声波传感器和显示面板
技术领域
本发明涉及传感器技术领域，特别涉及一种超声波传感器和显示面板。
背景技术
随着显示技术的高速发展，具有生物识别功能的电子设备逐渐进入人们的生活与工作中。例如超声波指纹识别技术是生物识别技术中应用较为广泛的技术之一。
目前的超声波指纹识别技术中，如图1所示，超声波传感器中，位于承载基板100上的接收电极200和发射电极300共用压电材料400，这样接收电极200和发射电极300可以制作在显示面板的承载基板100上，而承载基板100上制作了用于绑定的绑定电极500，便于后续显示面板的绑定工艺。
但是接收电极200和发射电极300共用压电材料的超声波传感器，存在发射性能较低的问题，对超声信号的利用率较低。
发明内容
本申请实施例提供一种超声波传感器和显示面板，用于提高超声波传感器的发射性能，提高对超声信号的利用率。
第一方面，本申请实施例提供了一种超声波传感器，该超声波传感器包括承载基板，位于所述承载基板上的接收结构，以及位于所述接收结构远离所述承载基板一侧的发射结构；
其中，所述发射结构设置有第一压电膜层，所述接收结构设置有第二压电膜层，所述第一压电膜层的压电常数大于所述第二压电膜层的压电常数。
在一种可能的实施方式中，该超声波传感器还包括：
位于所述发射结构和所述接收结构之间的保护层；其中，
所述保护层靠近所述发射结构的一侧设置第一电极引出部和第二电极引出部，分别用于引出所述发射结构包括的第一电极和第二电极，其中，所述第一电极引出部引出所述第一电极，第二电极引出部引出第二电极。
在一种可能的实施方式中，所述第一电极位于所述第一压电膜层的第一面，且所述第二电极包括相互电连接的第一部分和第二部分，所述第一部分位于所述第一面，所述第二部分位于所述第一压电膜层的第二面；其中，所述第一电极引出部与所述第一电极直接接触，所述第二电极引出部与所述第一部分直接接触。
在一种可能的实施方式中，所述第一电极位于所述第一压电膜层的第一面，所述第二电极位于所述第一压电膜层的第二面；其中，所述第一电极引出部与所述第一电极直接接触，所述第二电极预留引出孔，所述第二电极引出部通过导线从所述引出孔引出所述第二电极。
在一种可能的实施方式中，所述第一电极、所述第二电极以及所述第一电极引出部与所述第二电极引出部的金属材料均相同；或者，
所述第一电极和所述第二电极的金属材料相同，所述第一电极引出部与所述第二电极引出部的金属材料相同，所述第一电极和所述第一电极引出部的金属材料不相同。
在一种可能的实施方式中，所述承载基板上设置第一电极引出部和第二电极引出部，分别用于引出所述发射结构包括的第一电极和第二电极，其中，所述第一电极引出部引出所述第一电极，第二电极引出部引出第二电极。
在一种可能的实施方式中，接收结构靠近所述发射结构的一侧覆盖有第一电极过渡层，其中，所述第一电极过渡层与所述第一电极引出部连接，且与所述第一电极连接；
所述承载基板的预留区域设置有第二电极过渡层，所述预留区域位于所述第二电极引出部与所述接收结构之间，其中，所述第二电极过渡层与所述第二电极引出部连接，且与所述第二电极连接。
在一种可能的实施方式中，所述第一电极位于所述第一压电膜层的第一面，且所述第二电极包括相互电连接的第一部分和第二部分，所述第一部分位于所述第一面，所述第二部分位于所述第一压电膜层的第二面；其中，
所述第一电极过渡层与所述第一电极直接接触，所述第二电极过渡层与所述第一部分直接接触。
在一种可能的实施方式中，所述第一电极位于所述第一压电膜层的第一面，所述第二电极位于所述第一压电膜层的第二面；其中，所述第一电极过渡层与所述第一电极直接接触，所述第二电极预留引出孔，所述第二电极引出部通过导线从所述引出孔引出所述第二电极。
在一种可能的实施方式中，所述第二电极过渡层包括位于承载基板上的材料层和位于所述材料层上的金属层。
在一种可能的实施方式中，所述材料层与所述第二压电膜层的材料相同，且所述材料层与所述第二压电膜层同层设置。
在一种可能的实施方式中，所述第一部分和所述第二部分通过银胶实现电连接。
在一种可能的实施方式中，所述第一电极、所述第二电极以及所述第一电极引出部与所述第一电极过渡层和所述第二电极过渡层的金属材料均相同；或者，
所述第一电极和所述第二电极的金属材料相同，所述第一电极过渡层和所述第二电极过渡层的金属材料相同，所述第一电极和所述第一电极过渡层的金属材料不相同。
在一种可能的实施方式中，所述第一压电膜层的材料为锆钛酸铅压电陶瓷或压电驻极体材料。
第二方面，本申请实施例提供了一种显示面板，该显示面板包括显示背板，以及设置于所述显示背板上的如第一方面任一所述的超声波传感器；其中，所述承载基板为所述显示背板的衬底基板。
本申请实施例提供的超声波传感器中的发射结构采用第一压电膜层，接收结构采用第二压电膜层，且第一压电膜层的压电常数大于第二压电膜层的压电常数，所以具有更好的发射性能，从而可以使得超声波传感器达到更好的发射效果。
附图说明
图1为现有技术提供的超声波传感器的截面的示意图；
图2为本申请实施例提供的超声波传感器的一种截面示意图；
图3为本申请实施例提供的超声波传感器的一种截面示意图；
图4为本申请实施例提供的超声波传感器的一种截面示意图；
图5为本申请实施例提供的超声波传感器的一种截面示意图；
图6为本申请实施例提供的超声波传感器的一种截面示意图；
图7为本申请实施例提供的超声波传感器的一种截面示意图；
图8为本申请实施例提供的超声波传感器的一种截面示意图；
图9为本申请实施例提供的显示面板的一种结构示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
目前发射结构和接收结构共用压电材料的超声波传感器，存在发射性能较低的问题，对超声信号的利用率较低。
鉴于此，本申请实施例提供的超声波传感器中的发射结构和接收结构分别采用不同的压电膜层，这样可以使用压电常数较高的压电膜层为发射结构使用，从而可以使得超声波传感器达到更好的发射效果。
下面结合附图，对本发明实施例提供的超声波传感器和显示面板的具体实施方式进行详细地说明。附图中各膜层的厚度和形状不反映真实比例，目的只是示意说明本发明内容。
请参见图2，本发明实施例提供的一种超声波传感器，该超声波传感器包括承载基板10，位于承载基板10上的接收结构30，以及位于接收结构30远离承载基板10一侧的发射结构20；其中，发射结构20设置有第一压电膜层201和发射电极，例如图2示意的部分发射电极202，接收结构30设置有第二压电膜层301和接收电极302，第一压电膜层201的压电常数大于第二压电膜层301的压电常数。由于第一压电膜层201的压电常数大于第二压电膜层301的压电常数，所以第一压电膜层201的发射性能更好，从而可以提高发射结构20的发射效果。图2中的发射结构20的发射电极202只是示意。
在一些可能的实施方式中，第一压电膜层201的材料可以为锆钛酸铅压电陶瓷PZT，也可以为或压电驻极体材料。第二压电膜层301的材料可以是聚偏氟乙烯PVDF。例如，第一压电膜层201是PZT，其压电常数较高，发射量更大。在一些实施例中，为了进一步增加发射结构20的发射效果，第一压电膜层201可以包括多个子膜层，每个子膜层的材料均可以是PZT。
在本申请实施例中，发射结构20和接收结构30分别采用各自对应的压电膜层，对于接收结构30而言，仍然可以采用现有技术的结构，即接收结构30的电极制作在承载基板10上。但是对于发射结构20而言，发射结构20上的发射电极202由于制作在第一压电膜层201上，这就需要通过导线与其他器件连接。但是这样不利于超声波传感器的绑定，或者是安装超声波传感器的结构，例如显示面板的绑定，所以本申请实施例提供的超声波传感器将发射结构20的电极引出至方便连接其他器件的位置，例如，将发射结构20的电极引出至承载基板10上。
具体的，根据接收结构30和发射结构20是一体结构，还是独立结构，本申请实施例引出发射结构20的电极的方式也所有不同，下面分别介绍。
请参见图3，本申请实施例提供的超声波传感器还包括位于发射结构20和接收结构30之间的保护层40，这种情况下，发射结构20的电极可以引出至保护层40。
在一些实施例中，保护层40可以是玻璃基板，或者也可以是IP膜层。其中，保护层40靠近接收结构30的一侧还可以设置光学透明胶(Optically Clear Adhesive，OCA)层。发射结构20上的第一压电膜层201设置了第一电极202和第二电极203，其中，第一电极202和第二电极203分别分布在第一压电膜层201的两侧。在保护层40靠近发射结构20的一侧设置第一电极引出部401和第二电极引出部402。第一电极引出部401用于引出第一电极202，第二电极引出部402引用第二电极203。第一电极引出部401和第二电极引出部402可以分别设置在保护层40面向发射结构20的两端。
根据发射结构20上的第一电极202和第二电极203的引出端可以位于第一压电膜层201的同一侧，也可以位于第一压电膜层201的两侧。根据第一电极202和第二电极203的引出端的设置位置的不同，第一电极引出部401引出第一电极202，或者，第二电极引出部402引出第二电极203的方式也有所不同。
第一种引出方式：请参见图4，发射结构20上的第一电极202和第二电极203的引出端位于第一压电膜层201的同一侧时，第一电极可以位于第一压电膜层201的第一面，第二电极203包括相互电连接的两部分，这两部分分别为第一部分2031和第二部分2032。其中，第一部分2031位于第一压电膜层201的第一面，第二部分2032位于第一压电膜层201与第一面相对的第二面可以位于第一压电膜层201的第二面。第一电极引出部401和第二电极引出部402均为金属，第一电极引出部401与第一电极202直接接触，第二电极引出部402与第一部分2031直接接触，以实现将第一电极202通过第一电极引出部401引出至保护层40，同样，将第二电极203通过第二电极引出部402引出至保护层40。
在一些实施例中，第一部分2031和第二部分2032可以通过金属实现电连接，或者，也可以通过银胶实现电连接。在基体制作时，可以先在第一压电膜层201上制作第一部分2031，然后制作第二部分2032，再制作连接第一部分2031和第二部分2032的金属或银胶。
第二种引出方式：请参见图5，发射结构20上的第一电极202和第二电极203的引出端分别位于第一压电膜层201的两侧时，第一电极201可以位于第一压电膜层201的第一面，第二电极203位于第一压电膜层201与第一面相对的第二面。同样，第一电极引出部401和第二电极引出部402均为金属，第一电极引出部401与第一电极201直接接触，第二电极203可以预留引出孔50，第二电极引出部402通过导线从引出孔50引出第二电极203。
在一种可能的实施方式中，第一电极202和第二电极203的金属材料相同，第一电极引出部401与第二电极引出部402的金属材料相同，第一电极202和第一电极引出部401的金属材料不相同。例如，第一电极202和第二电极203可以由银制成，第一电极引出部401与第二电极引出部402可以由钼制成，图5以此为例。这样第一电极202与第一电极引出部401直接接触，则可以通过金属键合的方式实现连接，可以较好地传递超声波信号。
在另一种可能的实施方式中，第一电极202、第二电极203以及第一电极引出部401与第二电极引出部402的金属材料均相同，例如，第一电极202、第二电极203以及第一电极引出部401与第二电极引出部402均可以由导电性良好的银制成，图4以此为例。同样第一电极202与第一电极引出部401直接接触，则可以通过金属键合的方式实现连接，可以更好地传递超声波信号。
上述第一种引出方式和第二种引出方式均可以将发射结构20的电极引出至保护层40，这样其他器件就可以通过保护层40上所设置的第一电极引出部401和第二电极引出部402实现与发射结构20的电极的连接，减少了导线的用量，利于绑定工艺。
且，第一压电膜层201的第一电极202和第二电极203所形成的有效发射区域和第二压电膜层301的有效接收区域面积一致，可以更多地传递超声波信号。
发射结构20上设置了保护层40，可以将保护层40看作是发射结构20的承载体，从而利于单独制作发射结构20。
与图3不同的是，请参见图6，本申请实施例提供的超声波传感器中的发射结构20和接收结构30之间没有保护层40。这种情况下，发射结构20的电极引出端可以设置在承载基板10上，即承载基板10上设置用于引出第一电极202的第一电极引出部401和用于引出第二电极203的第二电极引出部402。
具体的，请参见图7，在一种可能的实施方式中，接收结构30靠近发射结构20的一侧覆盖有第一电极过渡层501，第一电极过渡层501与第一电极引出部401连接，且与第一电极202连接，这样第一电极引出部401就可以通过第一电极过渡层501将第一电极202引出至承载基板10。同时，承载基板10的预留区域设置有第二电极过渡层502，预留区域位于第二电极引出部402与接收结构30之间，第二电极过渡层502与第二电极引出部402连接，且与第二电极203连接，这样第二电极引出部402就可以通过第二电极过渡层502将第二电极203引出至承载基板10。
在一种可能的实施方式中，第二电极过渡层502可以是金属层，该金属层的厚度与第二压电膜层301以及第一电极过渡层501的厚度相同或者相近。由于工艺的限制，金属层的厚度可能不好控制。所以在另一种可能的实施方式中，第二电极过渡层502可以包括位于承载基板10上的材料层和位于材料层上的金属层，这样金属层可以做的较薄，对工艺的要求较低。
在一些实施例中，第二电极过渡层502中的材料层与第二压电膜层301的材料相同，且材料层与第二压电膜层301同层设置。这样在制作发射结构20时，可以制作整面的第二压电膜层301，然后对第二压电膜层301进行图像化处理，使得预设预留区域与发射结构20的端面相互间隔。之后再制作整面的金属层，同样对整面的金属层进行图案化处理，形成位于第二压电膜层301上的第一电极过渡层501，以及位于材料层的金属层，而不需要另外单独制作第二过渡电极层，简化了制作工艺。
其中，根据第一电极202和第二电极203的引出端的设置位置的不同，第一电极引出部401引出第一电极201，或者，第二电极引出部402引出第二电极203的方式也有所不同。
例如，请继续参见图7，与图4的实施例相同，第一电极202可以位于第一压电膜层201的第一面，且第二电极203的第一部分2031位于第一面，第二部分2032位于第一压电膜层201的第二面；其中，第一电极过渡层501与第一电极202直接接触，第二电极过渡层502与第一部分2031直接接触，从而实现将第一电极202通过第一电极引出部401引出至承载基板10，将第二电极203通过第二电极引出部402引出至承载基板10。
又例如，请参见图8，与图5的实施例相同，第一电极202可以位于第一压电膜层201的第一面，第二电极203位于第一压电膜层201与第一面相对的第二面；其中，第一电极过渡层501与第一电极202直接接触，第二电极203预留引出孔50，第二电极引出部402通过导线从引出孔50引出第二电极203。
在一种可能的实施方式中，第一电极202和第二电极203的金属材料相同，第一电极引出部401与第二电极引出部402的金属材料相同，第一电极202和第一电极引出部401的金属材料不相同。例如，第一电极202和第二电极203可以由银制成，第一电极引出部401与第二电极引出部402可以由钼制成，图8以此为例。这样第一电极与第一电极引出部401直接接触，则可以通过金属键合的方式实现连接，可以较好地传递超声波信号。
在另一种可能的实施方式中，第一电极202、第二电极203以及第一电极引出部401与第二电极引出部402的金属材料均相同，例如，第一电极202、第二电极203以及第一电极引出部401与第二电极引出部402均可以由导电性良好的银制成，图7以此为例。同样第一电极202与第一电极引出部401直接接触，则可以通过金属键合的方式实现连接，可以更好地传递超声波信号。
请参见图9，基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种显示面板，该显示面板包括显示背板，以及设置于显示背板上的如上述的超声波传感器；其中，承载基板10为显示背板的衬底基板。在一些实施例中，该衬底基板可以是薄膜晶体管(Thin FilmTransistor，TFT)基板。当然，该显示面板还包括其他必须的器件，例如，显示发光器件600以及玻璃盖板700等，这里不再赘述。
综上，本申请实施例提供的超声波传感器中的发射结构采用第一压电膜层，接收结构采用第二压电膜层，且第一压电膜层的压电常数大于第二压电膜层的压电常数，所以具有更好的发射性能，从而可以使得超声波传感器达到更好的发射效果。
且，本申请实施例将发射结构的电极引出至承载基板或保护层，使得其他器件可以直接通过承载基板或保护层的电极引出部实现与发射结构的电极连接，减少导线的使用，利于绑定工艺。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (9)

1.一种超声波传感器，其特征在于，包括承载基板，位于所述承载基板上的接收结构，以及位于所述接收结构远离所述承载基板一侧的发射结构；
其中，所述发射结构设置有第一压电膜层，所述接收结构设置有第二压电膜层，所述第一压电膜层的压电常数大于所述第二压电膜层的压电常数；
其中，位于所述发射结构和所述接收结构之间设置保护层，所述保护层靠近所述发射结构的一侧设置第一电极引出部和第二电极引出部，或，位于所述承载基板上设置第一电极引出部和第二电极引出部；
其中，所述第一电极引出部和第二电极引出部分别用于引出所述发射结构包括的第一电极和第二电极，所述第一电极引出部引出所述第一电极，第二电极引出部引出第二电极；所述发射结构包括的所述第一电极和所述第二电极所形成的有效发射区域和所述接收结构的有效接收区域面积一致；
接收结构靠近所述发射结构的一侧覆盖有第一电极过渡层，其中，所述第一电极过渡层与所述第一电极引出部连接，且与所述第一电极连接；
所述承载基板的预留区域设置有第二电极过渡层，所述预留区域位于所述第二电极引出部与所述接收结构之间，其中，所述第二电极过渡层与所述第二电极引出部连接，且与所述第二电极连接；
其中，所述第一电极位于所述第一压电膜层的第一面，且所述第二电极包括相互电连接的第一部分和第二部分，所述第一部分位于所述第一面，所述第二部分位于所述第一压电膜层的第二面；其中，所述第一电极过渡层与所述第一电极直接接触，所述第二电极过渡层与所述第一部分直接接触，所述第二电极过渡层包括位于承载基板上的材料层和位于所述材料层上的金属层；或者，
其中，所述第一电极位于所述第一压电膜层的第一面，所述第二电极位于所述第一压电膜层的第二面；其中，所述第一电极过渡层与所述第一电极直接接触，所述第二电极预留引出孔，所述第二电极引出部通过导线从所述引出孔引出所述第二电极，所述第二电极过渡层包括位于承载基板上的材料层和位于所述材料层上的金属层。
2.如权利要求1所述的超声波传感器，其特征在于，所述第一电极位于所述第一压电膜层的第一面，且所述第二电极包括相互电连接的第一部分和第二部分，所述第一部分位于所述第一面，所述第二部分位于所述第一压电膜层的第二面；其中，所述第一电极引出部与所述第一电极直接接触，所述第二电极引出部与所述第一部分直接接触。
3.如权利要求1所述的超声波传感器，其特征在于，所述第一电极位于所述第一压电膜层的第一面，所述第二电极位于所述第一压电膜层的第二面；其中，所述第一电极引出部与所述第一电极直接接触，所述第二电极预留引出孔，所述第二电极引出部通过导线从所述引出孔引出所述第二电极。
4.如权利要求1-3任一所述的超声波传感器，其特征在于，
所述第一电极、所述第二电极以及所述第一电极引出部与所述第二电极引出部的金属材料均相同；或者，
所述第一电极和所述第二电极的金属材料相同，所述第一电极引出部与所述第二电极引出部的金属材料相同，所述第一电极和所述第一电极引出部的金属材料不相同。
5.如权利要求1所述的超声波传感器，其特征在于，所述材料层与所述第二压电膜层的材料相同，且所述材料层与所述第二压电膜层同层设置。
6.如权利要求1或2所述的超声波传感器，其特征在于，所述第一部分和所述第二部分通过银胶实现电连接。
7.如权利要求1所述的超声波传感器，其特征在于，所述第一电极、所述第二电极以及所述第一电极引出部与所述第一电极过渡层和所述第二电极过渡层的金属材料均相同；或者，
所述第一电极和所述第二电极的金属材料相同，所述第一电极过渡层和所述第二电极过渡层的金属材料相同，所述第一电极和所述第一电极过渡层的金属材料不相同。
8.如权利要求1所述的超声波传感器，其特征在于，所述第一压电膜层的材料为锆钛酸铅压电陶瓷或压电驻极体材料。
9.一种显示面板，其特征在于，包括显示背板，以及设置于所述显示背板上的如权利要求1-8任一所述的超声波传感器；其中，所述承载基板为所述显示背板的衬底基板。
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Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102068276A (zh) * 2009-11-24 2011-05-25 株式会社东芝 超声波探头
CN205308749U (zh) * 2015-12-25 2016-06-15 中国科学院声学研究所东海研究站 一种复合超声换能器
CN106709429A (zh) * 2016-11-30 2017-05-24 麦克思商务咨询(深圳)有限公司 超声波感测装置及其制造方法
CN106951130A (zh) * 2017-03-28 2017-07-14 京东方科技集团股份有限公司 一种阵列基板、显示面板、显示设备及阵列基板制备方法
CN108960218A (zh) * 2018-09-25 2018-12-07 东莞新科技术研究开发有限公司深圳分公司 一种超声波指纹传感器及指纹识别模组
CN109492461A (zh) * 2017-09-12 2019-03-19 南昌欧菲生物识别技术有限公司 超声波传感器及电子装置
CN109643378A (zh) * 2018-11-20 2019-04-16 深圳市汇顶科技股份有限公司 超声换能器件及电子装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011112622A1 (en) 2010-03-08 2011-09-15 Ultra-Scan Corporation Biometric sensor with delay layer
JP6164405B2 (ja) 2013-03-28 2017-07-19 セイコーエプソン株式会社 圧電素子モジュール、超音波トランスデューサー、超音波デバイス、液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子モジュールの製造方法
CN106872583B (zh) 2017-01-16 2020-04-17 业成科技（成都）有限公司 超声波感测器
CN107229909B (zh) 2017-05-18 2019-12-06 上海思立微电子科技有限公司 电子设备、超声波指纹识别装置及其制造方法
CN107194345B (zh) 2017-05-18 2020-01-24 上海思立微电子科技有限公司 电子设备、超声波指纹识别装置及其制造方法
CN107656656B (zh) * 2017-10-24 2021-05-18 业成科技（成都）有限公司 声波式触控装置及其触控判断方法
CN109815918B (zh) * 2019-01-28 2021-11-05 京东方科技集团股份有限公司 指纹识别模组及其制作方法和驱动方法、显示装置
US11392249B2 (en) * 2019-05-08 2022-07-19 Qualcomm Incorporated Broadband ultrasonic sensor

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102068276A (zh) * 2009-11-24 2011-05-25 株式会社东芝 超声波探头
CN205308749U (zh) * 2015-12-25 2016-06-15 中国科学院声学研究所东海研究站 一种复合超声换能器
CN106709429A (zh) * 2016-11-30 2017-05-24 麦克思商务咨询(深圳)有限公司 超声波感测装置及其制造方法
CN106951130A (zh) * 2017-03-28 2017-07-14 京东方科技集团股份有限公司 一种阵列基板、显示面板、显示设备及阵列基板制备方法
CN109492461A (zh) * 2017-09-12 2019-03-19 南昌欧菲生物识别技术有限公司 超声波传感器及电子装置
CN108960218A (zh) * 2018-09-25 2018-12-07 东莞新科技术研究开发有限公司深圳分公司 一种超声波指纹传感器及指纹识别模组
CN109643378A (zh) * 2018-11-20 2019-04-16 深圳市汇顶科技股份有限公司 超声换能器件及电子装置

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