CN111926392A - 具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚及其倾倒方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚，包括底座，底座顶面一侧的中部设有矩形的立柱；底座的顶面中部设有固定板，固定板的顶面中部设有矩形柱，矩形柱的顶端中部设有支撑块，支撑块的顶面固定设有半球状的卡接座；卡接座的上方设有承载板；承载板内的中部开设有调节腔，调节腔内设有调节组件；承载板的顶面中部水平设有圆形的固定块，固定块的上方设有圆形的耐热棉板，耐热棉板的顶面设有石墨坩埚；本发明便于操作，通过驱动组件和调节组件，解决了不便于根据石墨坩埚的尺寸进行夹持固定的问题；通过升降组件和电推缸，解决了现有放料工作效率较低的问题；通过电推杆解决了现有石墨坩埚内的液体不便于倾倒的问题。

Description

具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚及其倾倒方法

技术领域

本发明涉及石墨坩埚的技术领域，尤其涉及具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚及其倾倒方法。

背景技术

半导体石墨坩埚具有良好的热导性和耐高温性，在高温使用过程中，热膨胀系数小；对酸碱性溶液的抗腐蚀性较强，具有优良的化学稳定性；半导体石墨坩埚在冶金、铸造、机械、化工等工业部门，被广泛用于合金工具钢的冶炼和有色金属及其合金的熔炼；现有的石墨坩埚存在以下缺点：1、现有的半导体石墨坩埚的固定装置不便于对不同尺寸的石墨坩埚进行夹持固定；2、现有的半导体石墨坩埚在向石墨坩埚内放料时，通过采用镊子夹取放料的方法，此方法费时费力，导致工作效率较低；3、现有半导体石墨坩埚内的液体不便于进行自动倾倒的缺点。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚，包括底座，所述底座为水平设置的矩形板状，在所述底座顶面一侧的中部竖向固定设有矩形的立柱，在所述立柱内的中部竖向开设有矩形的升降腔，且在所述升降腔内设有升降组件；在所述升降腔下方的立柱内部开设有矩形的电机腔；在所述底座的顶面中部水平固定设有矩形的固定板，在所述固定板的顶面中部竖向固定设有矩形柱，在所述矩形柱的顶端中部竖向固定设有矩形的支撑块，在所述支撑块的顶面固定设有半球状的卡接座，且所述卡接座顶面开设有圆形的卡接槽；在所述卡接座的上方水平设有矩形板状的承载板，在所述承载板的底面中部竖向固定设有竖杆，在所述竖杆的底端固接有转动球，且所述转动球的下半部球体活动卡设在卡接座的卡接槽内；在所述承载板内的中部横向开设有矩形调节腔，在所述调节腔内设有调节组件；

所述承载板的顶面中部水平固定设有圆形的固定块，所述固定块的上方水平设有圆形的耐热棉板，所述固定块内开设有圆形的减震腔，所述减震腔内均设有减震组件；所述耐热棉板的顶面设有圆柱状的石墨坩埚；所述石墨坩埚两侧的承载板顶面上均活动设有滑块，每个所述滑块的顶面均竖向固接有弧形夹板，且两个弧形夹板的内弧面均朝内设置；所述承载板一端的中部竖向固定设有矩形的驱动箱，所述驱动箱设有驱动组件。

优选地，在所述立柱的内侧面上部竖向活动设有滑板，在所述滑板的外侧面中部横向固接有电推缸，在所述电推缸的伸缩端顶部固定设有敞口朝上的下料漏斗，且所述下料漏斗的侧壁为设置阶梯状。

优选地，所述升降组件包括第一电机、螺纹杆、螺纹筒和连接柱，所述第一电机竖向固定设置在电机腔内；在所述升降腔内的顶部和底部均水平固定设有第一轴承，所述螺纹杆竖向设置在升降腔内，且所述螺纹杆的两端均固接在第一轴承的内圈中；所述螺纹杆的底端贯穿进电机腔内，并通过联轴器与第一电机的电机轴同轴固接；在所述螺纹杆的杆体上活动套设有螺纹筒，在所述螺纹筒的筒体一侧横向固接有连接柱，在所述立柱的内侧面上沿升降腔的高度竖向开设有条形开口，且所述连接柱的外端从条形开口内延伸出与滑板的内侧面固接。

优选地，在所述矩形柱两侧的顶部均固定设有槽口朝外的第一铰座，在每个所述第一铰座的槽口内均活动铰接有朝上倾斜设置的电推杆，在所述承载板底面两侧的中部均固接有槽口朝下的第二铰座，且每个所述电推杆的伸缩端顶部均活动铰接在第二铰座的槽口内。

优选地，所述调节组件包括转动杆、螺纹套管和连接杆，在所述调节腔的两侧内壁上均固定设有第二轴承，所述转动杆横向设置在调节腔内，且所述转动杆的两端均固接在第二轴承的内圈中；在所述转动杆中部两侧的杆体表面上分别设有正向螺纹和反向螺纹；在所述转动杆中部两侧的杆体上均活动套设有螺纹套管，在每个所述螺纹套管的管体顶部均竖向固定设有连接杆，在所述固定块两侧的承载板顶面上均横向开设有条状开口，且每个所述连接杆均从条状开口内延伸出与滑块的底部固接。

优选地，所述驱动组件包括第二电机、主动锥齿和从动锥齿，在所述驱动箱内的底部竖向固定设有第二电机，在所述第二电机的电机轴顶端固定套设有主动锥齿，所述转动杆的一端贯穿进驱动箱内，在所述转动杆位于驱动箱内的一端固定套设有从动锥齿，且所述主动锥齿与从动锥齿啮合传动。

优选地，在每个所述弧形夹板内的中部均竖向开设有圆柱形的缓冲腔，在每个所述缓冲腔内均设有缓冲组件，所述缓冲组件包括缓冲板、缓冲弹簧、缓冲杆和缓冲垫，在每个所述缓冲腔内均水平活动设有缓冲板，在每个所述缓冲板的底面均固定设有缓冲弹簧，且所述缓冲弹簧的底端均与缓冲腔的内底面固接；在每个所述缓冲板的顶面中部均竖向固接有缓冲杆，且每个所述缓冲杆的顶端均贯穿出缓冲腔外；在每个所述缓冲杆的顶端均水平固定设有缓冲垫。

优选地，所述减震组件包括减震板、减震弹簧和减震杆，在所述减震腔内水平活动设有圆形的减震板，在所述减震板的底面等距竖向固接有若干减震弹簧，且每个所述减震弹簧的底端均与减震腔的内底面固接；在所述减震板底面周侧均竖向固定设有减震杆，且每个所述减震杆的顶端均活动贯穿出减震腔外与耐热棉板的底面固接。

本发明还提出了具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚的倾倒方法，包括以下步骤：

步骤一，首先将电推缸、第一电机、电推杆和第二电机分别通过导线与外接电源电性连接，然后将石墨坩埚放置在耐热棉板的顶面，然后通过根据石墨坩埚的尺寸进行调节两个弧形夹板的间距；

步骤二，通过控制驱动组件带动调节组件，通过调节组件带动滑块在承载板上朝内移动，通过滑块的移动带动两个弧形夹板对石墨坩埚进行夹持固定；

步骤三，通过控制电推缸的伸缩将下料漏斗推送至石墨坩埚开口处的上方，通过控制升降组件带动滑板在立柱的内侧面上进行升降，通过滑板的升降带动电推缸伸缩端的下料漏斗下降进石墨坩埚，然后通过下料漏斗向石墨坩埚内添加待融材料，然后通过控制升降组件将下料漏斗升出石墨坩埚外，然后对石墨坩埚进行加热工作；

步骤四，在将材料融化完成后，通过控制两个推杆的伸缩将承载板进行倾斜调节，通过承载板的倾斜，带动石墨坩埚向承载板较低的一端倾斜，通过石墨坩埚的倾斜便于将内部融化的液体倾倒出；在工作完成后，通过控制矩形柱两侧的电推杆的伸缩复位，将承载板上的石墨坩埚进行角度复位；

步骤五，在石墨坩埚使用结束以及待温度冷却后，控制驱动组件带动调节组件将两个弧形夹板之间的间距调大，然后将石墨坩埚从耐热棉板上取下，并将电源切断。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、通过驱动组件和调节组件，便于带动滑块顶端的带动两个弧形夹板对不同尺寸的石墨坩埚进行夹持固定，有效增加了本装置的使用范围；同时便于对石墨坩埚进行快速的夹持固定，同时有效提高了工作人员对与石墨坩埚固定的工作效率；解决了现有固定装置不便于根据石墨坩埚的尺寸进行快速夹持固定的问题；

2、通过升降组件和电推缸，便于带动下料漏斗向石墨坩埚内添加材料，通过阶梯状的下料漏斗便于起到下料减速的作用，便于提到防止材料在下落进石墨坩埚内时产生的冲击了对坩埚造成损伤，同时有效增加了放料的工作效率；解决了现有石墨坩埚在放料时工作效率较低的问题；通过减震组件和缓冲组件，解决了现有倾倒装置对于石墨坩埚的保护性能较差的问题；

3、通过电推杆的伸缩便于承载板进行倾斜调节，通过承载板的倾斜便于带动石墨坩埚向承载板较低的一端倾斜，通过石墨坩埚的倾斜便于将内部融化的液体倾倒出，有效提高了对于石墨坩埚内液体倾倒的工作效率，解决了现有石墨坩埚内的液体不便于倾倒的问题。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为本发明的主视结构示意图；

图2为本发明的主视剖面结构示意图；

图3为本发明的承载板剖面结构示意图；

图4为本发明的承载板俯视结构示意图；

图5为本发明的图2中A部位结构放大示意图；

图6为本发明的图3中B部位结构放大示意图；

图7为本发明的倾倒方法示意图；

图中序号：底座1、立柱2、固定板3、矩形柱4、支撑块5、卡接座6、承载板7、竖杆8、转动球9、固定块10、耐热棉板11、石墨坩埚12、滑块13、弧形夹板14、驱动箱15、滑板16、电推缸17、下料漏斗18、第一电机19、螺纹杆20、螺纹筒21、连接柱22、第一铰座23、电推杆24、第二铰座25、转动杆26、螺纹套管27、连接杆28、第二电机29、主动锥齿30、从动锥齿31、缓冲板32、缓冲弹簧33、缓冲杆33、缓冲垫35、减震板36、减震弹簧37、减震杆38。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

实施例1：参见图1-6，具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚，包括底座1，所述底座1为水平设置的矩形板状，在所述底座1顶面一侧的中部竖向固定设有矩形的立柱2，在所述立柱2内的中部竖向开设有矩形的升降腔，且在所述升降腔内设有升降组件；在所述升降腔下方的立柱2内部开设有矩形的电机腔；在所述底座1的顶面中部水平固定设有矩形的固定板3，在所述固定板3的顶面中部竖向固定设有矩形柱4，在所述矩形柱4的顶端中部竖向固定设有矩形的支撑块5，在所述支撑块5的顶面固定设有半球状的卡接座6，且所述卡接座6顶面开设有圆形的卡接槽；在所述卡接座6的上方水平设有矩形板状的承载板7，在所述承载板7的底面中部竖向固定设有竖杆8，在所述竖杆8的底端固接有转动球9，且所述转动球9的下半部球体活动卡设在卡接座6的卡接槽内；在所述承载板7内的中部横向开设有矩形调节腔，在所述调节腔内设有调节组件；所述承载板7的顶面中部水平固定设有圆形的固定块10，所述固定块10的上方水平设有圆形的耐热棉板11，所述固定块10内开设有圆形的减震腔，所述减震腔内均设有减震组件；所述耐热棉板11的顶面设有圆柱状的石墨坩埚12；所述石墨坩埚12两侧的承载板7顶面上均活动设有滑块13，每个所述滑块13的顶面均竖向固接有弧形夹板14，且两个弧形夹板14的内弧面均朝内设置；所述承载板7一端的中部竖向固定设有矩形的驱动箱15，所述驱动箱16设有驱动组件。

在本发明中，在所述立柱2的内侧面上部竖向活动设有滑板16，在所述滑板16的外侧面中部横向固接有电推缸17，电推缸17的型号为DYTP-C460；在所述电推缸17的伸缩端顶部固定设有敞口朝上的下料漏斗18，且所述下料漏斗18的侧壁为设置阶梯状；所述升降组件包括第一电机19、螺纹杆20、螺纹筒21和连接柱22，第一电机19的型号为YCTL-112-4B；所述第一电机19竖向固定设置在电机腔内；在所述升降腔内的顶部和底部均水平固定设有第一轴承，所述螺纹杆20竖向设置在升降腔内，且所述螺纹杆20的两端均固接在第一轴承的内圈中；所述螺纹杆20的底端贯穿进电机腔内，并通过联轴器与第一电机19的电机轴同轴固接；在所述螺纹杆20的杆体上活动套设有螺纹筒21，在所述螺纹筒21的筒体一侧横向固接有连接柱22，在所述立柱2的内侧面上沿升降腔的高度竖向开设有条形开口，且所述连接柱22的外端从条形开口内延伸出与滑板16的内侧面固接；通过升降组件和电推缸，便于带动下料漏斗向石墨坩埚内添加材料，通过阶梯状的下料漏斗便于起到下料减速的作用，便于提到防止材料在下落进石墨坩埚内时产生的冲击了对坩埚造成损伤，同时有效增加了放料的工作效率。

在本发明中，在所述矩形柱4两侧的顶部均固定设有槽口朝外的第一铰座23，在每个所述第一铰座23的槽口内均活动铰接有朝上倾斜设置的电推杆24，电推杆24的型号为DYTP-C450；在所述承载板7底面两侧的中部均固接有槽口朝下的第二铰座25，且每个所述电推杆24的伸缩端顶部均活动铰接在第二铰座25的槽口内；通过电推杆的伸缩便于对承载板进行倾斜调节，通过承载板的倾斜便于带动石墨坩埚向承载板较低的一端倾斜，通过石墨坩埚的倾斜便于将内部融化的液体倾倒出，有效提高了对于石墨坩埚内液体倾倒的工作效率。

在本发明中，所述调节组件包括转动杆26、螺纹套管27和连接杆28，在所述调节腔的两侧内壁上均固定设有第二轴承，所述转动杆26横向设置在调节腔内，且所述转动杆26的两端均固接在第二轴承的内圈中；在所述转动杆26中部两侧的杆体表面上分别设有正向螺纹和反向螺纹；在所述转动杆26中部两侧的杆体上均活动套设有螺纹套管27，在每个所述螺纹套管27的管体顶部均竖向固定设有连接杆28，在所述固定块10两侧的承载板7顶面上均横向开设有条状开口，且每个所述连接杆28均从条状开口内延伸出与滑块13的底部固接；所述驱动组件包括第二电机29、主动锥齿30和从动锥齿31，第二电机29的型号为YS8024；在所述驱动箱15内的底部竖向固定设有第二电机29，在所述第二电机29的电机轴顶端固定套设有主动锥齿30，所述转动杆26的一端贯穿进驱动箱15内，在所述转动杆26位于驱动箱15内的一端固定套设有从动锥齿31，且所述主动锥齿30与从动锥齿31啮合传动；通过驱动组件和调节组件，便于带动滑块顶端的带动两个弧形夹板对不同尺寸的石墨坩埚进行夹持固定，有效增加了本装置的使用范围；同时便于对石墨坩埚进行快速的夹持固定，同时有效提高了工作人员对与石墨坩埚固定的工作效率。

在本发明中，在每个所述弧形夹板14内的中部均竖向开设有圆柱形的缓冲腔，在每个所述缓冲腔内均设有缓冲组件，所述缓冲组件包括缓冲板32、缓冲弹簧33、缓冲杆33和缓冲垫35，在每个所述缓冲腔内均水平活动设有缓冲板32，在每个所述缓冲板32的底面均固定设有缓冲弹簧33，且所述缓冲弹簧33的底端均与缓冲腔的内底面固接；在每个所述缓冲板32的顶面中部均竖向固接有缓冲杆33，且每个所述缓冲杆33的顶端均贯穿出缓冲腔外；在每个所述缓冲杆33的顶端均水平固定设有缓冲垫35。通过通减震组件和耐热棉板，有效增了对于石墨坩埚的保护性能；所述减震组件包括减震板36、减震弹簧37和减震杆38，在所述减震腔内水平活动设有圆形的减震板36，在所述减震板36的底面等距竖向固接有若干减震弹簧37，且每个所述减震弹簧37的底端均与减震腔的内底面固接；在所述减震板36底面周侧均竖向固定设有减震杆38，且每个所述减震杆38的顶端均活动贯穿出减震腔外与耐热棉板11的底面固接；通过缓冲组件便于在下料漏斗下降时对下料漏斗起到势能缓冲的作用，便于有效防止下料漏斗对石墨坩埚产生的压力过大导致石墨坩埚边沿破损的情况发生。

实施例2：参见图7，在本实施例中，本发明还提出了具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚的倾倒方法，包括以下步骤：

步骤一，首先将电推缸17、第一电机19、电推杆24和第二电机29分别通过导线与外接电源电性连接，然后将石墨坩埚12放置在耐热棉板11的顶面，然后通过根据石墨坩埚12的尺寸进行调节两个弧形夹板14的间距；

步骤二，通过控制第二电机29带动主动锥齿轮30进行转动，通过主动锥齿30与从动锥齿31的啮合传动带动转动杆26进行转动，通过抓到转动杆26上的正向螺纹和反向螺纹带动两个螺纹套管27上同时朝内移动，通过螺纹套管27的移动带动连接杆28顶端的滑块13在承载板7上朝内移动，通过滑块13的移动带动两个弧形夹板14对石墨坩埚12进行夹持固定；

步骤三，通过控制电推缸17的伸缩将下料漏斗18推送至石墨坩埚12开口处的上方，通过控制第一电机19带动螺纹杆20进行转动，通过螺纹杆20的转动带动螺纹筒21在杆体上进行升降，通过螺纹筒21的升降带动连接柱22外端的滑板16在立柱2的内侧面上进行升降，通过滑板16的升降带动电推缸17伸缩端的下料漏斗18下降进石墨坩埚12，然后通过下料漏斗18向石墨坩埚12内添加待融材料，然后通过控制升降组件将下料漏斗18升出石墨坩埚12外，然后对石墨坩埚12进行加热工作；

步骤四，在将材料融化完成后，通过控制矩形柱4一侧的电推杆24的伸缩将承载板7的一端升高，另一侧的电推杆24将承载板7的另一端降低，通过承载板7一端的升高，使夹持在弧形夹板14的石墨坩埚12向承载板7较低的一端倾斜，通过石墨坩埚12的倾斜便于将内部融化的液体倾倒出；在工作完成后，通过控制矩形柱4两侧的电推杆24的伸缩复位，将承载板7上的石墨坩埚12进行角度复位；

步骤五，在石墨坩埚12使用结束以及待温度冷却后，控制驱动组件带动调节组件将两个弧形夹板14之间的间距调大，然后将石墨坩埚12从耐热棉板11上取下，并将电源切断。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）为水平设置的矩形板状，在所述底座（1）顶面一侧的中部竖向固定设有矩形的立柱（2），在所述立柱（2）内的中部竖向开设有矩形的升降腔，且在所述升降腔内设有升降组件；在所述升降腔下方的立柱（2）内部开设有矩形的电机腔；在所述底座（1）的顶面中部水平固定设有矩形的固定板（3），在所述固定板（3）的顶面中部竖向固定设有矩形柱（4），在所述矩形柱（4）的顶端中部竖向固定设有矩形的支撑块（5），在所述支撑块（5）的顶面固定设有半球状的卡接座（6），且所述卡接座（6）顶面开设有圆形的卡接槽；在所述卡接座（6）的上方水平设有矩形板状的承载板（7），在所述承载板（7）的底面中部竖向固定设有竖杆（8），在所述竖杆（8）的底端固接有转动球（9），且所述转动球（9）的下半部球体活动卡设在卡接座（6）的卡接槽内；在所述承载板（7）内的中部横向开设有矩形调节腔，在所述调节腔内设有调节组件；

所述承载板（7）的顶面中部水平固定设有圆形的固定块（10），所述固定块（10）的上方水平设有圆形的耐热棉板（11），所述固定块（10）内开设有圆形的减震腔，所述减震腔内均设有减震组件；所述耐热棉板（11）的顶面设有圆柱状的石墨坩埚（12）；所述石墨坩埚（12）两侧的承载板（7）顶面上均活动设有滑块（13），每个所述滑块（13）的顶面均竖向固接有弧形夹板（14），且两个弧形夹板（14）的内弧面均朝内设置；所述承载板（7）一端的中部竖向固定设有矩形的驱动箱（15），所述驱动箱（16）设有驱动组件。

2.根据权利要求1所述的具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚，其特征在于：在所述立柱（2）的内侧面上部竖向活动设有滑板（16），在所述滑板（16）的外侧面中部横向固接有电推缸（17），在所述电推缸（17）的伸缩端顶部固定设有敞口朝上的下料漏斗（18），且所述下料漏斗（18）的侧壁为设置阶梯状。

3.根据权利要求2所述的具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚，其特征在于：所述升降组件包括第一电机（19）、螺纹杆（20）、螺纹筒（21）和连接柱（22），所述第一电机（19）竖向固定设置在电机腔内；在所述升降腔内的顶部和底部均水平固定设有第一轴承，所述螺纹杆（20）竖向设置在升降腔内，且所述螺纹杆（20）的两端均固接在第一轴承的内圈中；所述螺纹杆（20）的底端贯穿进电机腔内，并通过联轴器与第一电机（19）的电机轴同轴固接；在所述螺纹杆（20）的杆体上活动套设有螺纹筒（21），在所述螺纹筒（21）的筒体一侧横向固接有连接柱（22），在所述立柱（2）的内侧面上沿升降腔的高度竖向开设有条形开口，且所述连接柱（22）的外端从条形开口内延伸出与滑板（16）的内侧面固接。

4.根据权利要求1所述的具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚，其特征在于：在所述矩形柱（4）两侧的顶部均固定设有槽口朝外的第一铰座（23），在每个所述第一铰座（23）的槽口内均活动铰接有朝上倾斜设置的电推杆（24），在所述承载板（7）底面两侧的中部均固接有槽口朝下的第二铰座（25），且每个所述电推杆（24）的伸缩端顶部均活动铰接在第二铰座（25）的槽口内。

5.根据权利要求1所述的具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚，其特征在于：所述调节组件包括转动杆（26）、螺纹套管（27）和连接杆（28），在所述调节腔的两侧内壁上均固定设有第二轴承，所述转动杆（26）横向设置在调节腔内，且所述转动杆（26）的两端均固接在第二轴承的内圈中；在所述转动杆（26）中部两侧的杆体表面上分别设有正向螺纹和反向螺纹；在所述转动杆（26）中部两侧的杆体上均活动套设有螺纹套管（27），在每个所述螺纹套管（27）的管体顶部均竖向固定设有连接杆（28），在所述固定块（10）两侧的承载板（7）顶面上均横向开设有条状开口，且每个所述连接杆（28）均从条状开口内延伸出与滑块（13）的底部固接。

6.根据权利要求5所述的具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚，其特征在于：所述驱动组件包括第二电机（29）、主动锥齿（30）和从动锥齿（31），在所述驱动箱（15）内的底部竖向固定设有第二电机（29），在所述第二电机（29）的电机轴顶端固定套设有主动锥齿（30），所述转动杆（26）的一端贯穿进驱动箱（15）内，在所述转动杆（26）位于驱动箱（15）内的一端固定套设有从动锥齿（31），且所述主动锥齿（30）与从动锥齿（31）啮合传动。

7.根据权利要求1所述的具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚，其特征在于：在每个所述弧形夹板（14）内的中部均竖向开设有圆柱形的缓冲腔，在每个所述缓冲腔内均设有缓冲组件，所述缓冲组件包括缓冲板（32）、缓冲弹簧（33）、缓冲杆（33）和缓冲垫（35），在每个所述缓冲腔内均水平活动设有缓冲板（32），在每个所述缓冲板（32）的底面均固定设有缓冲弹簧（33），且所述缓冲弹簧（33）的底端均与缓冲腔的内底面固接；在每个所述缓冲板（32）的顶面中部均竖向固接有缓冲杆（33），且每个所述缓冲杆（33）的顶端均贯穿出缓冲腔外；在每个所述缓冲杆（33）的顶端均水平固定设有缓冲垫（35）。

8.根据权利要求1所述的具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚，其特征在于：所述减震组件包括减震板（36）、减震弹簧（37）和减震杆（38），在所述减震腔内水平活动设有圆形的减震板（36），在所述减震板（36）的底面等距竖向固接有若干减震弹簧（37），且每个所述减震弹簧（37）的底端均与减震腔的内底面固接；在所述减震板（36）底面周侧均竖向固定设有减震杆（38），且每个所述减震杆（38）的顶端均活动贯穿出减震腔外与耐热棉板（11）的底面固接。

9.根据权利要求1-8任一所述的具有自动倾倒功能的半导体石墨坩埚的倾倒方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一，首先将电推缸（17）、第一电机（19）、电推杆（24）和第二电机（29）分别通过导线与外接电源电性连接，然后将石墨坩埚（12）放置在耐热棉板（11）的顶面，然后通过根据石墨坩埚（12）的尺寸进行调节两个弧形夹板（14）的间距；

步骤二，通过控制驱动组件带动调节组件，通过调节组件带动滑块（13）在承载板（7）上朝内移动，通过滑块（13）的移动带动两个弧形夹板（14）对石墨坩埚（12）进行夹持固定；

步骤三，通过控制电推缸（17）的伸缩将下料漏斗（18）推送至石墨坩埚（12）开口处的上方，通过控制升降组件带动滑板（16）在立柱（2）的内侧面上进行升降，通过滑板（16）的升降带动电推缸（17）伸缩端的下料漏斗（18）下降进石墨坩埚（12），然后通过下料漏斗（18）向石墨坩埚（12）内添加待融材料，然后通过控制升降组件将下料漏斗（18）升出石墨坩埚（12）外，然后对石墨坩埚（12）进行加热工作；

步骤四，在将材料融化完成后，通过控制两个推杆（24）的伸缩将承载板（7）进行倾斜调节，通过承载板（7）的倾斜，带动石墨坩埚（12）向承载板（7）较低的一端倾斜，通过石墨坩埚（12）的倾斜便于将内部融化的液体倾倒出；在工作完成后，通过控制矩形柱（4）两侧的电推杆（24）的伸缩复位，将承载板（7）上的石墨坩埚（12）进行角度复位；

步骤五，在石墨坩埚（12）使用结束以及待温度冷却后，控制驱动组件带动调节组件将两个弧形夹板（14）之间的间距调大，然后将石墨坩埚（12）从耐热棉板（11）上取下，并将电源切断。

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