CN111926294A - 高效镀膜机 - Google Patents
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- 239000007888 film coating Substances 0.000 title claims abstract description 55
- 238000009501 film coating Methods 0.000 title claims abstract description 55
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 152
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 152
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 34
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 33
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 24
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 24
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims description 3
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 29
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 13
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 6
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
- C23C14/505—Substrate holders for rotation of the substrates
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract
本发明公开了一种高效镀膜机,包括工件转架、镀膜筒体、第一镀膜筒盖与第二镀膜筒盖,工件转架包括设置于第一镀膜筒盖内的第一工件转架与设置于第二镀膜筒盖内的第二工件转架,镀膜筒体上设有驱动组件,第一工件转架上设有配合驱动组件的第一联动件,当第一镀膜筒盖盖合镀膜筒体时,第一联动件与驱动组件构成联动,第二工件转架上设有配合驱动组件的第二联动件,当第二镀膜筒盖盖合镀膜筒体时,第二联动件与驱动组件构成联动;第一工件转架包括底座、下转盘以及上转盘,上转盘与下转盘之间连接有多根支撑杆与多根挂杆,每根挂杆均与上转盘和下转盘可拆卸固定连接。本发明具有以下优点和效果:加工效率高、使用更加安全以及加工质量更高等优点。
Description
技术领域
本发明涉及一种镀膜领域,特别涉及一种高效镀膜机。
背景技术
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。由于真空镀膜可以对产品实现更均匀地镀膜,其使用也越来越频繁。
随着科技的发展、技术的革新,现有市面上的镀膜机已经难以满足现有市场的使用需求,以往镀膜机上的设计缺陷与使用缺陷也逐渐暴露,导致现有镀膜机落后的使用功能已经大大阻碍了镀膜行业的发展与进步,针对现有市场上技术落后镀膜机上所存在的缺陷,本发明孕育而生。
发明内容
本发明的目的是提供一种高效度镀膜机,该高效镀膜机具有加工效率高、使用更加安全以及加工质量更高等优点。
本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:一种高效镀膜机,包括工件转架、镀膜筒体以及铰接于镀膜筒体的第一镀膜筒盖与第二镀膜筒盖,所述工件转架包括两个结构相同的第一工件转架与第二工件转架,所述第一工件转架转动设置于第一镀膜筒盖内、第二工件转架转动设置于第二镀膜筒盖内,所述镀膜筒体上设有用于驱动工件转架转动的驱动组件,所述第一工件转架上设有配合驱动组件用于带动第一工件转架转动的第一联动件,当所述第一镀膜筒盖盖合镀膜筒体时,所述第一联动件与驱动组件构成联动,所述第二工件转架上设有配合驱动组件用于带动第二工件转架转动的第二联动件,当所述第二镀膜筒盖盖合镀膜筒体时,所述第二联动件与驱动组件构成联动;所述第一工件转架包括固定设置于第一镀膜筒盖内的底座、转动设置于底座上方的下转盘以及设置于下转盘上方的上转盘,所述上转盘与下转盘之间连接有多根支撑杆,所述上转盘与下转盘之间设有多根挂杆,每根所述挂杆均与上转盘可拆卸固定连接,每根所述挂杆均与下转盘可拆卸固定连接。
通过采用上述技术方案,当第一镀膜筒盖盖合于镀膜筒体时,第一连联动件与驱动组件构成联动,使驱动组件通过第一联动件能驱动第一工件转架进行转动。打开第一镀膜筒盖并将第二镀膜筒盖盖合于镀膜筒体后,第二联动件与驱动组件构成联动,使驱动组件通过第二联动件能驱动第二工件转架进行转动。该种设置结构实现了一个驱动组件对于两个工件转架的驱动,从而降低设备的能耗与体积并减少了企业的生产成本。且通过第一镀膜筒盖与第二镀膜筒盖两者之间的配合,当其中一个镀膜筒盖在加工时,可利用该镀膜筒盖的加工时间将工件悬挂到另一个镀膜筒盖的工件转架上,这样就缩短了工件在于工件转架上的取挂时间,提升了镀膜机的加工效率。
将挂杆与上转盘之间、挂杆与下转盘之间设置成可拆卸固定连接的方式,可以根据加工工件的数量去调节挂杆的数量,这样能在最大程度上保证镀膜机的加工效率。且当工件的加工数量较少时,通过减少挂杆的数量能降低对于镀膜材料附着至工件表面造成的阻挡,从而提升镀膜机的加工质量。
进一步设置为:包括设置于第一镀膜筒盖内与第二镀膜筒盖内的蒸发电极杆以及设置于蒸发电极杆的若干哈弗铜片,所述镀膜筒体与第一镀膜筒盖之间、镀膜筒体与第二镀膜筒盖之间设有用于控制蒸发电极杆通断电的开关控制组件。
通过采用上述技术方案,外部电源连接于开关控制组件,通过开关控制组件对蒸发电极杆进行供电,当工人打开镀膜箱盖时,开关控制组件断开,实现蒸发电极杆的断电操作;当工人关闭镀膜箱盖时,开关控制组件导通,实现蒸发电极杆的通电操作。这样就能避免工人因疏忽而导致的将镀膜箱盖开启后忘记对蒸发电极杆进行断电,从而提升了该设备的安全等级,降低了存在的安全隐患。
进一步设置为:所述驱动组件包括转动设置于镀膜筒体的转轴、转动设置于转轴的转动块、随转轴转动的联动齿轮、设置于镀膜筒体外侧且用于驱动转轴转动的驱动电机以及设置于转动块的主动齿轮,所述主动齿轮转动设置于转动块且位于联动齿轮一侧并与之啮合,所述转动块与镀膜筒体之间设有驱动主动齿轮朝向镀膜筒体开口一侧转动的弹性件。
通过采用上述技术方案,当第一镀膜筒盖或第二镀膜筒盖朝向镀膜筒体转动时,第一联动件或第二联动件随之靠近主动齿轮并与主动齿轮配合,而弹性件的设置使得主动齿轮在弹性力的作用下会朝向第一联动件或第二联动件所在的位置一侧转动从而使主动齿轮抵紧于第一联动件或第二联动件,确保传动结构的稳定性且避免了两者在接触时对双方造成的磕碰,延长它们的使用寿命。驱动电机驱动转轴转动,转动中的转轴通过联动齿轮驱动主动齿轮进行转动。
进一步设置为:包括设置于转轴且位于镀膜筒体外侧的第一带轮、设置于驱动电机输出轴的第二带轮以及连接第一带轮与第二带轮的皮带,所述第一联动件包括设置于第一工件转架且随之转动的第一从动齿轮,所述第二联动件包括设置于第二工件转架且随之转动的第二从动齿轮。
通过采用上述技术方案,驱动电机通过第一带轮、第二带轮与皮带三者之间的配合带动转轴进行转动,通过第一从动齿轮与主动齿轮啮合的方式、第二从动齿轮与主动齿轮啮合的方式实现两两之间的相互联动配合。
进一步设置为:包括设置于镀膜筒体且供驱动电机安装的安装架,所述安装架上开设有用于调节第一带轮与第二带轮之间距离的腰形孔,螺栓穿过所述腰形孔与驱动电机螺纹连接。
通过采用上述技术方案,腰形孔与螺栓两者之间的配合用于调节驱动电机与转轴之间的距离,可对皮带的松紧进行调节,使力实现更稳定的传输。
进一步设置为:所述开关控制组件包括设置于第一镀膜筒盖与第二镀膜筒盖的导电碰板以及设置于镀膜筒体且供外部电源连接的导电碰头,位于所述第一镀膜筒盖上的导电碰板与第一镀膜筒盖内的蒸发电极杆电连接,位于所述第二镀膜筒盖上的导电碰板与第二镀膜筒盖内的蒸发电极杆电连接。
通过采用上述技术方案,当第一镀膜筒盖盖设于镀膜筒体时,第一镀膜筒盖上的导电碰板与导电碰头两者之间接触来实现电流的导通,对第一镀膜筒盖内的蒸发电极杆进行供电,当第一镀膜筒盖上的导电碰板与导电碰头分离时,电流断开从而切断对第一镀膜筒盖内蒸发电极杆的供电。当第二镀膜筒盖盖设于镀膜筒体时,第二镀膜筒盖上的导电碰板与导电碰头两者之间接触来实现电流的导通,对第二镀膜筒盖内的蒸发电极杆进行供电,当第二镀膜筒盖上的导电碰板与导电碰头分离时,电流断开从而切断对第二镀膜筒盖内蒸发电极杆的供电。
进一步设置为:所述镀膜筒体上设置有安装座,所述安装座上设有用于驱动导电碰头往复运动的驱动件,所述的导电碰头设置于驱动件,当所述第一镀膜筒盖或第二镀膜筒盖盖合镀膜筒体开口时,所述驱动件驱动导电碰头朝向导电碰板往复运动,导电碰头上连接有导电连接板,安装座上设有绝缘连接板,绝缘连接板上设有供导电连接板穿过且用于引导导电碰头往复运动的引导孔。
通过采用上述技术方案,导电连接板的设置与外部电源进行更好的连接,通过引导孔的设置用于引导导电碰头与导电连接板的移动,防止与导电连接板连接的导线在移动的过程中发生其他方位上的扭曲,从而提升了连接的稳定性。驱动件驱动导电碰头朝向导向碰板移动,实现两者之间的更稳定接触,从而提升该结构的稳定性。
进一步设置为:两两所述哈弗铜片形成一片组,形成所述片组的两个哈弗铜片之间相对设置且蒸发电极杆位于该两个哈弗铜片之间,形成所述片组的两个哈弗铜片之间设有用于将该两个哈弗铜片同时固定于蒸发电极杆的锁紧组件,锁紧组件包括依次穿过两个哈弗铜片的锁紧螺栓以及与锁紧螺栓螺纹连接的螺母。
通过采用上述技术方案,锁紧螺栓与螺母两者之间的配合实现两个哈弗铜片在于蒸发电极杆上的抱紧,从而达到固定的目的,且该种固定方式操作简便、方便调节。
进一步设置为:包括设置于上转盘且供挂杆穿过的上限位孔以及设置于下转盘且供挂杆穿过的下限位孔,下转盘上转动设置有多个转动件,多个所述转动件的数量与下限位孔的数量一一对应,每个所述转动件均配合底座使得下转盘在转动的过程中能实现转动,所述转动件延伸进下限位孔且与之转动配合,所述挂杆与转动件之间设有使挂杆能随转动件转动并实现两者分离的联动组件,联动组件包括设置于转动件且供挂杆插设的插孔、设置于挂杆的联杆以及设置于转动件且供联杆插设的联槽,当所述挂杆插进插孔时,所述联杆随挂杆插进联槽,所述转动件上设置有第一齿轮,所述底座上设有与第一齿轮构成联动的第二齿轮。
通过采用上述技术方案,挂杆的下端通过联动组件与转动件构成联动,这样使得下转盘在转动的过程中,通过联动组件、转动件与底座三者之间的配合能带动挂杆进行独立转动,从而实现工件转架的公自转转动,使得挂杆上的工件能与镀膜材料实现更均匀且更全面的接触,从而进一步提升工件的镀膜质量与效率。挂杆插进插孔的过程中,联杆随挂杆插进联槽,通过联杆与联槽两者之间的配合使得挂杆能随转动件进行转动,从而达到可拆卸联动的目的。通过第一齿轮与第二齿轮两者之间的配合,使得下转盘的转动能带动转动件进行转动,从而实现公自转。
进一步设置为:所述第一镀膜筒盖与镀膜筒体之间、第二镀膜筒盖与镀膜筒体之间均设有锁定组件,其中一个所述锁定组件包括设置于第一镀膜筒盖的固定杆、设置于镀膜筒体且用于驱动第一镀膜筒盖压紧镀膜筒体的拉紧气缸以及铰接于拉紧气缸且与固定杆挂接配合的挂钩。
通过采用上述技术方案,固定杆随第一镀膜筒盖靠近镀膜筒体后,将挂钩挂接于固定杆上,通过拉紧气缸拉动固定杆靠近镀膜筒体移动,实现镀膜筒体与第一镀膜筒盖两者之间的更紧密密封,从而达到更好的密封效果。
综上所述,本发明具有以下有益效果:具有加工效率高、使用更加安全以及加工质量更高等优点。
附图说明
图1为实施例的立体图;
图2为图1中A部放大图;
图3为实施例的结构示意图;
图4为实施例的局部结构示意图;
图5为实施例中驱动组件的结构示意图;
图6为实施例的剖视图;
图7为实施例的另一局部结构示意图;
图8为实施例中开关控制组件的局部结构示意图;
图9为实施例中蒸发电极杆的结构示意图;
图10为实施例中锁紧组件的结构示意图;
图11为实施例中第一工件转架的结构示意图;
图12为图11中B部放大图;
图13为实施例中第一工件转架另一视角的结构示意图;
图14为实施例中第一工件转架的局部结构示意图。
图中:1、镀膜筒体;2、第一镀膜筒盖;3、第二镀膜筒盖;4、第一工件转架;5、第二工件转架;6、第一联动件;7、第二联动件;8、主动齿轮;9、驱动电机;10、转轴;11、转动块;12、联动齿轮;13、第一带轮;14、第二带轮;15、皮带;16、安装架;17、腰形孔;18、螺栓;19、锁定组件;20、固定杆;21、拉紧气缸;22、挂钩;53、蒸发电极杆;54、导电碰板;55、导电碰头;56、驱动件;57、安装座;58、导电连接板;59、绝缘连接板;510、引导孔;512、片组;513、哈弗铜片;514、锁紧组件;515、锁紧螺栓;516、螺母;91、底座;92、下转盘;93、上转盘;94、支撑杆;95、挂杆;96、上限位孔;97、下限位孔;98、转动件;99、联动组件;991、插孔;992、联杆;993、联槽;910、第一齿轮;911、第二齿轮;912、定块;913、转动槽;914、承重轴承;915、限位轴承。
具体实施方式
以下结合附图对本发明作进一步详细说明。
参考图1至图14,一种高效镀膜机,包括工件转架、镀膜筒体1以及铰接于镀膜筒体1的第一镀膜筒盖2与第二镀膜筒盖3,第一镀膜筒盖2与第二镀膜筒盖3分别位于镀膜筒体1相对的两侧。工件转架包括转动设置于第一镀膜筒盖2内的第一工件转架4以及转动设置于第二镀膜筒盖3内的第二工件转架5,第一工件转架4的结构与第二工件转架5的结构相同,故本申请只对第一工件转架4的具体结构进行描述。镀膜筒体1上设有用于驱动工件转架转动的驱动组件,第一工件转架4上设有配合驱动组件用于带动第一工件转架4转动的第一联动件6,第二工件转架5上设有配合驱动组件用于带动第二工件转架5转动的第二联动件7。第一镀膜筒盖2内位于第一工件转架4的中央位置、第二镀膜筒体1内位于第二工件转架5的中央位置均固定设置有蒸发电极杆53,蒸发电极杆53上设置有若干哈弗铜片513。镀膜筒体1与第一镀膜筒盖2之间、镀膜筒体1与第二镀膜筒盖3之间设有用于控制蒸发电极杆53通断电的开关控制组件,开关控制组件由外部电源供电。
开关控制组件包括固定设置于第一镀膜筒盖2顶部与第二镀膜筒盖3顶部的导电碰板54以及导电碰头55,镀膜筒体1外顶部固定设置有安装座57,安装座57上设有驱动件56,驱动件56为气缸,气缸的缸体固定设置于安装座57,位于气缸缸体与安装座57之间的位置设有被两者夹持固定的绝缘连接板59。气缸的活塞杆依次穿过绝缘连接板59与安装座57,导电碰头55固定设置于气缸的活塞杆,导电碰头55位于安装座57背对绝缘连接板59的一侧。
导电碰头55上固定连接有导电连接板58,绝缘连接板59上开设有供导电连接板58穿过且用于引导导电碰头55往复运动的引导孔510。位于第一镀膜筒盖2上的导电碰板54通过导电片与第一镀膜筒盖2内的蒸发电极杆53固定连接;位于第二镀膜筒盖3上的导电碰板54通过导电片与第二镀膜筒盖3内的蒸发电极杆53固定连接。当第一镀膜筒盖2或第二镀膜筒盖3盖合镀膜筒体1开口时,驱动件56驱动导电碰头55朝向导电碰板54往复运动且可与导电碰板54抵触。
两两哈弗铜片513形成一片组512,形成片组512的两个哈弗铜片513之间相对设置且蒸发电极杆53位于该两个哈弗铜片513之间。形成片组512的两个哈弗铜片513之间设有用于将该两个哈弗铜片513同时固定于蒸发电极杆53的锁紧组件514。锁紧组件514包括依次穿过两个哈弗铜片513的锁紧螺栓515以及与锁紧螺栓515螺纹连接的螺母516,锁紧螺栓515依次穿过两个哈弗铜片513后与螺母516螺纹连接。
第一工件转架4包括固定设置于第一镀膜筒盖2内的底座91、设置于底座91上方的下转盘92以及设置于下转盘92正上方的上转盘93,上转盘93与下转盘92两者之间的间隔设置且下转盘92与底座91转动配合。上转盘93与下转盘92之间固定连接有多根支撑杆94,多根支撑杆94围绕于下转盘92的外周间隔环绕设置;上转盘93与下转盘92之间设有多根挂杆95,挂杆95与支撑杆94相互平行。
上转盘93上开设有供挂杆95上端穿过的上限位孔96、下转盘92上开设有供挂杆95下端穿过的下限位孔97。下转盘92的底部对应于下限位孔97的位置通过轴承转动设置有转动件98,转动件98的数量设置为多个且与下限位孔97的数量一一对应。转动件98延伸进下限位孔97且与之转动配合,挂杆95与转动件98之间设有使挂杆95能随转动件98转动并实现两者分离的联动组件99。
联动组件99包括开设于转动件98且供挂杆95插设的插孔991、固定设置于挂杆95的联杆992以及开设置于转动件98且供联杆992插设的联槽993,当挂杆95插进插孔991时,联杆992随挂杆95插进联槽993。每个转动件98的底部一体设置有第一齿轮910,底座91的外周壁一体设置有第二齿轮911,两两第一齿轮910之间相互啮合组成一齿轮组,齿轮组中的任意一第一齿轮910与第二齿轮911相互啮合构成联动。
下转盘92的中央开设有贯穿下转盘92且与之同心设置的转动槽913,底座91上固定设置有与转动槽913转动配合的定块912,定块912沿着转动槽913壁环绕排列设置有多个。定块912上转动设置有抵接于下转盘92底部的承重轴承914;定块912上转动设置有抵接于转动槽913壁的限位轴承915。
第一镀膜筒盖2与镀膜筒体1之间、第二镀膜筒盖3与镀膜筒体1之间均设有锁定组件19,设置于第一镀膜筒盖2与镀膜筒体1之间的锁定组件19包括固定设置于第一镀膜筒盖2的固定杆20、设置于镀膜筒体1且用于驱动第一镀膜筒盖2压紧镀膜筒体1的拉紧气缸21以及铰接于拉紧气缸21活塞杆且与固定杆20挂接配合的挂钩22,拉紧气缸21的缸体与镀膜筒体1固定连接。设置于第二镀膜筒盖3与镀膜筒体1之间的锁定组件19包括固定设置于第二镀膜筒盖3的第二固定杆20、设置于镀膜筒体1且用于驱动第一镀膜筒盖2压紧镀膜筒体1的第二拉紧气缸21以及铰接于第二拉紧气缸21活塞杆且与第二固定杆20挂接配合的第二挂钩22,第二拉紧气缸21的缸体与镀膜筒体1固定连接。
驱动组件包括主动齿轮8、驱动电机9、转轴10、转动块11以及联动齿轮12,镀膜筒体1的外壁固定设置有安装架16,驱动电机9安装于安装架16,转轴10一端穿设进镀膜筒体1内部且通过轴承与镀膜筒体1转动配合。转动块11通过轴承转动设置于转轴10且位于镀膜筒体1的内部,联动齿轮12固定设置于转轴10且与之同轴设置,主动齿轮8通过轴承转动设置于转动块11,主动齿轮8位于联动齿轮12的一侧且与之啮合。
转动块11与镀膜筒体1之间设有驱动主动齿轮8朝向镀膜筒体1开口一侧转动的弹性件(图中未示出),弹性件为套设于转轴10的扭簧,扭簧的一端与镀膜筒体1的内壁固定连接、另一端与转动块11固定连接。转轴10位于镀膜筒体1外侧的位置固定设置有第一带轮13、驱动电机9的输出轴固定设置有第二带轮14,第一带轮13与第二带轮14之间套设有皮带15。安装架16上开设有用于调节第一带轮13与第二带轮14之间距离的腰形孔17,螺栓18穿过腰形孔17与驱动电机9螺纹连接。
第一联动件6包括固定设置于第一工件转架4下转盘92且随之转动的第一从动齿轮,第二联动件7包括固定设置于第二工件转架5下转盘且随之转动的第二从动齿轮。当第一镀膜筒盖2盖合于镀膜筒体1时,第一从动齿轮与主动齿轮8啮合,当第二镀膜筒盖3盖合于镀膜筒体1时,第二从动齿轮与主动齿轮8啮合。镀膜机如何实现镀膜的原理为现有技术,在此不做阐述。
本具体实施例仅仅是对本发明的解释,其并不是对本发明的限制,本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改,但只要在本发明的权利要求范围内都受到专利法的保护。
Claims (10)
1.一种高效镀膜机,其特征在于:包括工件转架、镀膜筒体(1)以及铰接于镀膜筒体(1)的第一镀膜筒盖(2)与第二镀膜筒盖(3),所述工件转架包括两个结构相同的第一工件转架(4)与第二工件转架(5),所述第一工件转架(4)转动设置于第一镀膜筒盖(2)内、第二工件转架(5)转动设置于第二镀膜筒盖(3)内,所述镀膜筒体(1)上设有用于驱动工件转架转动的驱动组件,所述第一工件转架(4)上设有配合驱动组件用于带动第一工件转架(4)转动的第一联动件(6),当所述第一镀膜筒盖(2)盖合镀膜筒体(1)时,所述第一联动件(6)与驱动组件构成联动,所述第二工件转架(5)上设有配合驱动组件用于带动第二工件转架(5)转动的第二联动件(7),当所述第二镀膜筒盖(3)盖合镀膜筒体(1)时,所述第二联动件(7)与驱动组件构成联动;所述第一工件转架(4)包括固定设置于第一镀膜筒盖(2)内的底座(91)、转动设置于底座(91)上方的下转盘(92)以及设置于下转盘(92)上方的上转盘(93),所述上转盘(93)与下转盘(92)之间连接有多根支撑杆(94),所述上转盘(93)与下转盘(92)之间设有多根挂杆(95),每根所述挂杆(95)均与上转盘(93)可拆卸固定连接,每根所述挂杆(95)均与下转盘(92)可拆卸固定连接。
2.根据权利要求1所述的高效镀膜机,其特征在于:包括设置于第一镀膜筒盖(2)内与第二镀膜筒盖(3)内的蒸发电极杆(53)以及设置于蒸发电极杆(53)的若干哈弗铜片(513),所述镀膜筒体(1)与第一镀膜筒盖(2)之间、镀膜筒体(1)与第二镀膜筒盖(3)之间设有用于控制蒸发电极杆(53)通断电的开关控制组件。
3.根据权利要求1所述的高效镀膜机,其特征在于:所述驱动组件包括转动设置于镀膜筒体(1)的转轴(10)、转动设置于转轴(10)的转动块(11)、随转轴(10)转动的联动齿轮(12)、设置于镀膜筒体(1)外侧且用于驱动转轴(10)转动的驱动电机(9)以及设置于转动块(11)的主动齿轮(8),所述主动齿轮(8)转动设置于转动块(11)且位于联动齿轮(12)一侧并与之啮合,所述转动块(11)与镀膜筒体(1)之间设有驱动主动齿轮(8)朝向镀膜筒体(1)开口一侧转动的弹性件。
4.根据权利要求3所述的高效镀膜机,其特征在于:包括设置于转轴(10)且位于镀膜筒体(1)外侧的第一带轮(13)、设置于驱动电机(9)输出轴的第二带轮(14)以及连接第一带轮(13)与第二带轮(14)的皮带(15),所述第一联动件(6)包括设置于第一工件转架(4)且随之转动的第一从动齿轮,所述第二联动件(7)包括设置于第二工件转架(5)且随之转动的第二从动齿轮。
5.根据权利要求4所述的高效镀膜机,其特征在于:包括设置于镀膜筒体(1)且供驱动电机(9)安装的安装架(16),所述安装架(16)上开设有用于调节第一带轮(13)与第二带轮(14)之间距离的腰形孔(17),螺栓(18)穿过所述腰形孔(17)与驱动电机(9)螺纹连接。
6.根据权利要求2所述的高效镀膜机,其特征在于:所述开关控制组件包括设置于第一镀膜筒盖(2)与第二镀膜筒盖(3)的导电碰板(54)以及设置于镀膜筒体(1)且供外部电源连接的导电碰头(55),位于所述第一镀膜筒盖(2)上的导电碰板(54)与第一镀膜筒盖(2)内的蒸发电极杆(53)电连接,位于所述第二镀膜筒盖(3)上的导电碰板(54)与第二镀膜筒盖(3)内的蒸发电极杆(53)电连接。
7.根据权利要求6所述的高效镀膜机,其特征在于:所述镀膜筒体(1)上设置有安装座(57),所述安装座(57)上设有用于驱动导电碰头(55)往复运动的驱动件(56),所述的导电碰头(55)设置于驱动件(56),当所述第一镀膜筒盖(2)或第二镀膜筒盖(3)盖合镀膜筒体(1)开口时,所述驱动件(56)驱动导电碰头(55)朝向导电碰板(54)往复运动,导电碰头(55)上连接有导电连接板(58),安装座(57)上设有绝缘连接板(59),绝缘连接板(59)上设有供导电连接板(58)穿过且用于引导导电碰头(55)往复运动的引导孔(510)。
8.根据权利要求2所述的高效镀膜机,其特征在于:两两所述哈弗铜片(513)形成一片组(512),形成所述片组(512)的两个哈弗铜片(513)之间相对设置且蒸发电极杆(53)位于该两个哈弗铜片(513)之间,形成所述片组(512)的两个哈弗铜片(513)之间设有用于将该两个哈弗铜片(513)同时固定于蒸发电极杆(53)的锁紧组件(514),锁紧组件(514)包括依次穿过两个哈弗铜片(513)的锁紧螺栓(515)以及与锁紧螺栓(515)螺纹连接的螺母(516)。
9.根据权利要求1所述的高效镀膜机,其特征在于:包括设置于上转盘(93)且供挂杆(95)穿过的上限位孔(96)以及设置于下转盘(92)且供挂杆(95)穿过的下限位孔(97),下转盘(92)上转动设置有多个转动件(98),多个所述转动件(98)的数量与下限位孔(97)的数量一一对应,每个所述转动件(98)均配合底座(91)使得下转盘(92)在转动的过程中能实现转动,所述转动件(98)延伸进下限位孔(97)且与之转动配合,所述挂杆(95)与转动件(98)之间设有使挂杆(95)能随转动件(98)转动并实现两者分离的联动组件(99),联动组件(99)包括设置于转动件(98)且供挂杆(95)插设的插孔(991)、设置于挂杆(95)的联杆(992)以及设置于转动件(98)且供联杆(992)插设的联槽(993),当所述挂杆(95)插进插孔(991)时,所述联杆(992)随挂杆(95)插进联槽(993),所述转动件(98)上设置有第一齿轮(910),所述底座(91)上设有与第一齿轮(910)构成联动的第二齿轮(911)。
10.根据权利要求1所述高效镀膜机,其特征在于:所述第一镀膜筒盖(2)与镀膜筒体(1)之间、第二镀膜筒盖(3)与镀膜筒体(1)之间均设有锁定组件(19),其中一个所述锁定组件(19)包括设置于第一镀膜筒盖(2)的固定杆(20)、设置于镀膜筒体(1)且用于驱动第一镀膜筒盖(2)压紧镀膜筒体(1)的拉紧气缸(21)以及铰接于拉紧气缸(21)且与固定杆(20)挂接配合的挂钩(22)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202010504324.4A CN111926294A (zh) | 2020-06-05 | 2020-06-05 | 高效镀膜机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN202010504324.4A CN111926294A (zh) | 2020-06-05 | 2020-06-05 | 高效镀膜机 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111926294A true CN111926294A (zh) | 2020-11-13 |
Family
ID=73316514
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202010504324.4A Pending CN111926294A (zh) | 2020-06-05 | 2020-06-05 | 高效镀膜机 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN111926294A (zh) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112626478A (zh) * | 2020-12-15 | 2021-04-09 | 安徽新和博亚电子科技有限公司 | 电子材料表面镀膜处理设备及其镀膜处理方法 |
CN113136553A (zh) * | 2021-04-23 | 2021-07-20 | 深圳市乐苏科技有限公司 | 一种用于手机摄像头镜片的镀膜设备及镀膜工艺 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN201347020Y (zh) * | 2008-01-31 | 2009-11-18 | 北京经纬恒润科技有限公司 | 车灯转向驱动装置 |
CN102003518A (zh) * | 2010-12-07 | 2011-04-06 | 中国船舶重工集团公司第七一○研究所 | 一种弹性齿轮 |
CN102540659A (zh) * | 2010-12-21 | 2012-07-04 | 中强光电股份有限公司 | 投影机及齿轮模块 |
CN202326988U (zh) * | 2011-11-02 | 2012-07-11 | 浙江正泰机床电气制造有限公司 | 一种消除旋转限位开关齿轮回程误差的结构 |
CN202595249U (zh) * | 2012-03-31 | 2012-12-12 | 广东友通工业有限公司 | 真空蒸发镀膜用的电接触结构 |
CN104366920A (zh) * | 2014-11-17 | 2015-02-25 | 建德市新世纪水晶烫钻工艺品厂 | 一种高效节能水晶烫钻镀铝膜机 |
CN206127416U (zh) * | 2016-10-10 | 2017-04-26 | 布勒莱宝光学设备(北京)有限公司 | 一种真空镀膜设备及其工件悬挂装置 |
CN207715688U (zh) * | 2017-11-28 | 2018-08-10 | 蚌埠市行星工程机械有限公司 | 内置扭簧的圆柱齿轮 |
JP2018135558A (ja) * | 2017-02-21 | 2018-08-30 | 株式会社神戸製鋼所 | ワーク回転装置およびそれを備えた成膜装置 |
CN208308952U (zh) * | 2018-03-29 | 2019-01-01 | 青岛华磊真空镀膜有限公司 | 镀膜均匀的真空镀膜装置 |
CN209602631U (zh) * | 2018-12-25 | 2019-11-08 | 青岛华磊真空镀膜有限公司 | 提高下料速度的溅射镀膜设备 |
-
2020
- 2020-06-05 CN CN202010504324.4A patent/CN111926294A/zh active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN201347020Y (zh) * | 2008-01-31 | 2009-11-18 | 北京经纬恒润科技有限公司 | 车灯转向驱动装置 |
CN102003518A (zh) * | 2010-12-07 | 2011-04-06 | 中国船舶重工集团公司第七一○研究所 | 一种弹性齿轮 |
CN102540659A (zh) * | 2010-12-21 | 2012-07-04 | 中强光电股份有限公司 | 投影机及齿轮模块 |
CN202326988U (zh) * | 2011-11-02 | 2012-07-11 | 浙江正泰机床电气制造有限公司 | 一种消除旋转限位开关齿轮回程误差的结构 |
CN202595249U (zh) * | 2012-03-31 | 2012-12-12 | 广东友通工业有限公司 | 真空蒸发镀膜用的电接触结构 |
CN104366920A (zh) * | 2014-11-17 | 2015-02-25 | 建德市新世纪水晶烫钻工艺品厂 | 一种高效节能水晶烫钻镀铝膜机 |
CN206127416U (zh) * | 2016-10-10 | 2017-04-26 | 布勒莱宝光学设备(北京)有限公司 | 一种真空镀膜设备及其工件悬挂装置 |
JP2018135558A (ja) * | 2017-02-21 | 2018-08-30 | 株式会社神戸製鋼所 | ワーク回転装置およびそれを備えた成膜装置 |
CN207715688U (zh) * | 2017-11-28 | 2018-08-10 | 蚌埠市行星工程机械有限公司 | 内置扭簧的圆柱齿轮 |
CN208308952U (zh) * | 2018-03-29 | 2019-01-01 | 青岛华磊真空镀膜有限公司 | 镀膜均匀的真空镀膜装置 |
CN209602631U (zh) * | 2018-12-25 | 2019-11-08 | 青岛华磊真空镀膜有限公司 | 提高下料速度的溅射镀膜设备 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
《无线电与电视》编辑部编: "《晶体管收音机》", 30 November 1981, 上海科学技术出版社 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112626478A (zh) * | 2020-12-15 | 2021-04-09 | 安徽新和博亚电子科技有限公司 | 电子材料表面镀膜处理设备及其镀膜处理方法 |
CN112626478B (zh) * | 2020-12-15 | 2022-10-28 | 江门豪达电子科技有限公司 | 电子材料表面镀膜处理设备及其镀膜处理方法 |
CN113136553A (zh) * | 2021-04-23 | 2021-07-20 | 深圳市乐苏科技有限公司 | 一种用于手机摄像头镜片的镀膜设备及镀膜工艺 |
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