CN206127416U - 一种真空镀膜设备及其工件悬挂装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空镀膜设备及其工件悬挂装置，该工件悬挂装置包括第一驱动组件、与所述第一驱动组件传动连接的笼架、设置于所述笼架之底板上的至少一组悬挂杆，和驱动所述悬挂杆相对于所述底板自转的第二驱动组件；所述笼架在所述第一驱动组件的作用下绕其中心轴转动，待镀膜工件安装于所述悬挂杆上。在镀膜过程中，笼架绕其中心轴转动同时带动其上的悬挂杆绕中心轴公转，与此同时，悬挂杆上在第二驱动组件的作用下自转；其在笼架自身转动使每个悬挂杆依次靠近蒸发源，悬挂杆自转，使得其上的工件得到均匀镀膜，从而增加可镀膜面积，提高了镀膜均匀性，提高了产量。

Description

一种真空镀膜设备及其工件悬挂装置

技术领域

本实用新型涉及光学镀膜技术领域，具体涉及一种用于真空镀膜设备的工件悬挂装置。本实用新型还涉及一种包括该工件悬挂装置的真空镀膜设备。

背景技术

随着我国现代制造业的崛起，光学产品被广泛的应用到人们的实际生产和生活当中去，光学产品在使用时根据不同的使用需求需要在光学产品的表面进行镀膜。在实际生产中，多使用如图1所示的双开门真空镀膜设备来实现手机屏幕和手机外壳等处的防指纹镀膜系统。由于镀膜工件体积较小，需要在真空镀膜设备中设置工件悬挂装置，将工件安装在悬挂装置上实现工艺过程。

如图1和图2所示，传统的真空镀膜设备包括真空腔40、蒸发器20，和设置在真空腔内的工件悬挂装置30，该真空腔具有能够开合的仓门10，工件悬挂装置30有两组，分设于蒸发器20的两侧；工件悬挂装置30包括笼架和转轴，工作时笼架绕转轴自转，待镀膜的工件设置在笼架上，随笼架的转动，待镀膜工件朝向蒸发器的部分实现镀膜；但是，传统的工件悬挂装置30仅有单一的自转转轴，不仅安装工件的数量较少，且背向蒸发源一侧的镀膜效果较差甚至无法实现镀膜，导致镀膜均匀性较差，产量较低。

因此，提供一种用于真空镀膜设备的工件悬挂装置，以期增加可镀膜面积，提高镀膜均匀性，提高产量，就成为本领域技术人员亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于真空镀膜设备的工件悬挂装置，以期增加可镀膜面积，提高镀膜均匀性，提高产量。本实用新型还提供一种包括上述工件悬挂装置的真空镀膜设备。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种工件悬挂装置，设置于真空镀膜设备的真空腔内，包括第一驱动组件、与所述第一驱动组件传动连接的笼架、设置于所述笼架之底板上的至少一组悬挂杆，和驱动所述悬挂杆相对于所述底板自转的第二驱动组件；所述笼架在所述第一驱动组件的作用下绕其中心轴转动，待镀膜工件安装于所述悬挂杆上。

进一步地，所述第二驱动组件包括固定齿轮和与所述固定齿轮啮合的行星齿轮，所述固定齿轮与所述底板固接，所述行星齿轮与所述悬挂杆固接。

进一步地，所述第二驱动组件包括拉紧链条、与所述拉紧链条相连接的行走链条，和与所述链条啮合的链轮，所述拉紧链条远离所述行走链条的一端固接于所述底板。

进一步地，所述悬挂杆为多个，各所述悬挂杆均匀分布于所述中心轴的周向。

进一步地，所述笼架的顶板上设有第一挂接件，所述悬挂杆的顶端设有第二挂接件，所述第一挂接件与所述第二挂接件可拆卸地相挂接。

进一步地，所述第一挂接件为开设于所述顶板的过孔，所述第二挂接件为设置于所述悬挂杆的顶端凸台，所述顶端凸台挂接于所述过孔。

进一步地，所述悬挂杆的旁侧设置有吊耳。

本实用新型还提供一种真空镀膜设备，包括真空腔、设置于所述真空腔内的蒸发器，和设置于所述真空腔内的工件悬挂装置，所述工件悬挂装置为如上所述的工件悬挂装置，所述工件悬挂装置设置在所述蒸发器的旁侧。

进一步地，所述工件悬挂装置为两个，两所述工件悬挂装置分设于所述蒸发器的两侧。

本实用新型所提供的工件悬挂装置，设置于真空镀膜设备的真空腔内，该工件悬挂装置包括第一驱动组件、与所述第一驱动组件传动连接的笼架、设置于所述笼架之底板上的至少一组悬挂杆，和驱动所述悬挂杆相对于所述底板自转的第二驱动组件；所述笼架在所述第一驱动组件的作用下绕其中心轴转动，待镀膜工件安装于所述悬挂杆上。在镀膜过程中，笼架绕其中心轴转动同时带动其上的悬挂杆绕中心轴公转，与此同时，悬挂杆上在第二驱动组件的作用下自转；其在笼架自身转动使每个悬挂杆依次靠近蒸发源，悬挂杆自转，使得其上的工件得到均匀镀膜，从而增加可镀膜面积，提高了镀膜均匀性，提高了产量。

附图说明

图1-图2为传统工件悬挂装置的结构示意图；

图3为本实用新型所提供的工件悬挂装置一种具体实施方式的结构示意图；

图4为图3所示工件悬挂装置在另一方向的视图；

图5为图3所示工件悬挂装置的俯视图；

图6-图7为本实用新型所提供的第二驱动组件一种实施例的结构示意图；

图8为本实用新型所提供的第二驱动组件另一种实施例的结构示意图；

图9为本实用新型所提供的工件悬挂装置的安装结构示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

请参考图3-图5，图3为本实用新型所提供的工件悬挂装置一种具体实施方式的结构示意图；图4为图3所示工件悬挂装置在另一方向的视图；图5为图3所示工件悬挂装置的俯视图。

在一种具体实施方式中，本实用新型所提供的工件悬挂装置，设置于真空镀膜设备的真空腔内，具体地，该工件悬挂装置安装于真空镀膜设备的仓门上，与仓门固定，并可部分嵌入仓门中，且工件悬挂装置设置在蒸发器的旁侧，以提高空间布局合理性，减少空间占用。该工件悬挂装置包括第一驱动组件4、与所述第一驱动组件4传动连接的笼架2、设置于所述笼架2之底板上的至少一组悬挂杆3，和驱动所述悬挂杆3相对于所述底板自转的第二驱动组件；所述笼架2在所述第一驱动组件4的作用下绕其中心轴转动，待镀膜工件安装于所述悬挂杆3上。在镀膜过程中，笼架2绕其中心轴转动同时带动其上的悬挂杆3绕中心轴公转，与此同时，悬挂杆3上在第二驱动组件的作用下自转；其在笼架2自身转动使每个悬挂杆3依次靠近蒸发源，悬挂杆3自转，使得其上的工件得到均匀镀膜，从而增加可镀膜面积，提高了镀膜均匀性，提高了产量。

为了实现笼架2的转动，第一驱动组件4可以利用现有的皮带传输的结构，或者采用链轮传动等方式。为了实现悬挂杆3的自转，第二驱动组件有多种结构形式。

在一种实施例中，如图6-图7所示，可采用行星齿轮的方式实现悬挂杆3的自转，具体地，第二驱动组件包括固定齿轮6和与所述固定齿轮6啮合的行星齿轮5，所述固定齿轮6与所述底板固接，所述行星齿轮5与所述悬挂杆3固接；工作过程中，当笼架2转动时，带动固定齿轮6按一个方向转动(例如顺时针方向)，从而带动与之啮合的各个行星齿轮5按与之转动方向相反的方向转动(相应地为逆时针方向)，则实现了悬挂杆3的自转。当悬挂杆3为多个时，具体可以为四个、六个或者更多个，具体数量可根据使用要求确定，转动时，各悬挂杆3的行星齿轮5规格相同，均与固定齿轮6啮合，因此各悬挂杆3的自转可保持同步。

在另一实施例中，如图8所示，可通过链轮驱动方式实现悬挂杆3的自转，具体地，上述第二驱动组件包括拉紧链条7、与所述拉紧链条7相连接的行走链条8，和与所述链条啮合的链轮9，所述拉紧链条7远离所述行走链条8的一端固接于所述底板，链轮9固接于悬挂杆3；当笼架2转动时，带动行走链条8进而驱动链轮9转动，带动各链轮9转动，从而带动各链轮9所在的悬挂杆3自转。

具体地，上述悬挂杆3可以为多个，各所述悬挂杆3均匀分布于所述中心轴的周向。

在上述具体实施方式中，为了提高安装便利性，可在笼架2的顶板上设置第一挂接件，所述悬挂杆3的顶端设有第二挂接件，所述第一挂接件与所述第二挂接件可拆卸地相挂接；在安装时将悬挂杆3挂接在笼架2顶板上即可。

具体地，所述第一挂接件为开设于所述顶板的过孔11，所述第二挂接件为设置于所述悬挂杆3的顶端凸台12，所述顶端凸台12挂接于所述过孔11。该种结构的挂接形式便于加工，且挂接后结构稳定性较好。理论上，第一挂接件也可以为挂钩，第二挂接件也可以为挂槽等其他形式。为了便于辅助吊装结构的起吊挂接，在悬挂杆3的旁侧还可以设置有吊耳13，该吊耳可以为吊环，或者板式结构等各种形式。

除了上述工件挂接装置，本实用新型还提供一种包括上述工件挂接装置的真空镀膜设备，该真空镀膜设备包括真空腔、设置于所述真空腔内的蒸发器1，和设置于所述真空腔内的工件悬挂装置，且该工件悬挂装置优选为两个，两所述工件悬挂装置分设于所述蒸发器的两侧，并相对于蒸发器对称设置。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (9)

1.一种工件悬挂装置，设置于真空镀膜设备的真空腔内，其特征在于，包括第一驱动组件、与所述第一驱动组件传动连接的笼架、设置于所述笼架之底板上的至少一组悬挂杆，和驱动所述悬挂杆相对于所述底板自转的第二驱动组件；所述笼架在所述第一驱动组件的作用下绕其中心轴转动，待镀膜工件安装于所述悬挂杆上。

2.根据权利要求1所述的工件悬挂装置，其特征在于，所述第二驱动组件包括固定齿轮和与所述固定齿轮啮合的行星齿轮，所述固定齿轮与所述底板固接，所述行星齿轮与所述悬挂杆固接。

3.根据权利要求1所述的工件悬挂装置，其特征在于，所述第二驱动组件包括拉紧链条、与所述拉紧链条相连接的行走链条，和与所述链条啮合的链轮，所述拉紧链条远离所述行走链条的一端固接于所述底板。

4.根据权利要求1所述的工件悬挂装置，其特征在于，所述悬挂杆为多个，各所述悬挂杆均匀分布于所述中心轴的周向。

5.根据权利要求1-4任一项所述的工件悬挂装置，其特征在于，所述笼架的顶板上设有第一挂接件，所述悬挂杆的顶端设有第二挂接件，所述第一挂接件与所述第二挂接件可拆卸地相挂接。

6.根据权利要求5所述的工件悬挂装置，其特征在于，所述第一挂接件为开设于所述顶板的过孔，所述第二挂接件为设置于所述悬挂杆的顶端凸台，所述顶端凸台挂接于所述过孔。

7.根据权利要求6所述的工件悬挂装置，其特征在于，所述悬挂杆的旁侧设置有吊耳。

8.一种真空镀膜设备，包括真空腔、设置于所述真空腔内的蒸发器，和设置于所述真空腔内的工件悬挂装置，其特征在于，所述工件悬挂装置为如权利要求1-7任一项所述的工件悬挂装置，所述工件悬挂装置设置在所述蒸发器的旁侧。

9.根据权利要求8所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述工件悬挂装置为两个，两所述工件悬挂装置分设于所述蒸发器的两侧。