CN111884035A - 基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，包括：夹具单元、物料单元、探针单元、点胶单元、检测单元、第一位移平台和第二位移平台，所述第一位移平台和第二位移平台分别平行设置在所述物料单元两侧，所述夹具单元、点胶单元和检测单元固定设置在所述第一位移平台，所述探针单元固定设置在所述第二位移平台上，所述夹具单元与所述物料单元呈45°角设置。本发明结构设计合理，自动化程度高，能够通过算法实现反射镜的自动耦合与安装固定，耗时短速度快，有效提高了耦合效率，降低了操作人员的人身安全风险。

Description

基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置

技术领域

本发明涉及阵列半导体激光器技术领域，特别涉及一种基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置。

背景技术

半导体激光器具有体积小，重量轻，效率高，寿命长等诸多有点，其在国民经济的各方面起着越来越重要的作用；随着实际工程的发展，对于半导体激光器的输出功率要求越来越高，为了获得高输出功率需要采用阵列半导体激光器，即将多个半导体激光器线状集成在同一个载体上，通过光学元件将每个半导体激光器产生的激光汇聚到一起。

反射镜是阵列半导体激光器的光学元件中极为重要的一个，其负责将每个半导体激光器的光反射至同一方向，反射镜的耦合精度直接影响到阵列半导体激光器的质量；现有的阵列半导体激光器的反射镜通常采用人工操作的方式进行耦合，操作人员需要提前给半导体激光器上电，使其发射激光，随后利用器具将反射镜设置在光路上，通过细微的调整使得激光照射向指定角度，在激光反射方向上设置光束分析仪，通过光束分析仪确认光斑位置以及光斑大小从而确认反射镜耦合位置是否正确，在确定好耦合位置后还需要通过胶体令反射镜固定在载体上，整个过程工序繁琐且耗时长，且在整个过程中需要保证反射镜不会被污染，否则极易影响到激光的反射质量，若半导体激光器的功率过高还有可能对操作人员的人身安全造成影响。

发明内容

本发明提供了一种基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，其目的是为了解决人工耦合反射镜工序繁琐、效率低下，人员人身安全受影响等问题。

为了达到上述目的，本发明的实施例提供了一种基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，包括：夹具单元、物料单元、探针单元、点胶单元、检测单元、第一位移平台和第二位移平台，所述第一位移平台和第二位移平台分别平行设置在所述物料单元两侧，所述夹具单元、点胶单元和检测单元固定设置在所述第一位移平台，所述探针单元固定设置在所述第二位移平台上，所述夹具单元与所述物料单元呈45°角设置；所述物料单元用于放置阵列半导体激光器，所述探针单元用于对所述阵列半导体激光器上电，所述夹具单元用于夹持移动反射镜使其耦合，所述点胶单元用于对所述阵列半导体激光器点胶与固化。

其中，所述夹具单元包括第一直线运动平台、第二直线运动平台、第三直线运动平台、第一旋转运动平台、第二旋转运动平台、料盘和反射镜夹具；所述第一直线运动平台固定设置在所述第一位移平台，所述第一直线运动平台与所述物料单元呈45°角，所述第二直线运动平台设置在所述第一直线运动平台的滑台上，所述第三直线运动平台竖直设置在所述第二直线运动平台的滑台上，所述第一旋转运动平台设置在所述第三直线运动平台的滑台上，所述第二旋转运动平台设置在所述第一旋转运动平台的滑台上，所述反射镜夹具通过一夹具支撑座设置在所述第二旋转运动平台的前端，所述夹具支撑座上竖直设置有一料盘支撑座，所述料盘活动地设置在所述料盘支撑座上。

其中，所述料盘设置有中部通道，所述中部通道用于装填所述反射镜，所述料盘下部设置有一下料调整件，所述下料调整件上穿设有一调节旋钮，所述调节旋钮的杆体穿设在所述中部通道内。

其中，所述夹具支撑座上还设置有一下料气缸，所述下料气缸的推杆设置在所述料盘的底部后方，所述反射镜夹具设置有一夹具步进电机，所述夹具步进电机设置在所述夹具支撑座的一侧，所述夹具支撑座的另一侧设置有一吸嘴夹具，所述吸嘴夹具固定设置在所述夹具步进电机的转轴上，所述吸嘴夹具上设置有气嘴和吸嘴，所述气嘴与吸嘴相互连通。

其中，所述物料单元包括物料支撑座和物料底座，所述物料支撑座竖直设置在所述第一位移平台和第二位移平台之间，所述物料底座固定设置在所述物料支撑座上，所述物料底座上嵌设有吸盘和压力传感器，所述物料底座的顶部设置有底座盖板，所述底座盖板上开设有吸盘通孔，所述吸盘穿设在所述吸盘通孔中。

其中，所述物料底座设置有激光挡板和定位板。

其中，所述探针单元包括探针伸缩气缸、探针升降平台、第一探针支座、第二探针支座和探针，所述探针升降平台通过一升降平台支座固定设置在所述第二位移平台上，所述探针伸缩气缸设置在所述探针升降平台的顶部，所述第一探针支座竖直设置在所述探针伸缩气缸的顶部，所述第二探针支座平行于水平面设置在所述第一探针支座上，所述探针设置在所述第二探针支座上。

其中，所述点胶单元包括点胶底座、三维手动平台、气缸支撑座、点胶气缸、胶筒夹持座和胶筒，所述点胶底座固定设置在所述第一位移平台上，所述三维手动平台设置在所述点胶底座上方，所述气缸支撑座设置在所述三维手动平台的顶面，所述点胶气缸以预设角度设置在所述气缸支撑座上，所述胶筒通过所述胶筒夹持座固定设置在所述点胶气缸上。

其中，所述点胶单元还包括第一UV灯支座、第二UV灯支座、第三UV灯支座和UV灯，所述第一UV灯支座竖直设置在所述第一探针支座上，所述第二UV灯支座转动地设置在所述第一UV灯支座上，所述UV灯通过所述第三UV灯支座设置在所述第二UV灯支座上。

其中，所述检测单元设置有检测底座，所述检测底座设置在所述第一位移平台的端头，所述检测底座上方设置有检测三维手动平台，所述检测三维手动平台的顶面设置有一检测支撑座，光束分析仪设置在所述检测支撑座上。

本发明的上述方案有如下的有益效果：

本发明所述的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，设置有夹具单元、物料单元、探针单元、点胶单元以及检测单元，操作人员通过人工对料盘上料反射镜，探针单元会逐一对每个半导体激光器进行上电使其发射激光，物料单元会通过吸嘴吸取单个反射镜并将其耦合至合适位置，通过反射镜反射的激光由检测单元进行检测，其中通过光束分析仪对激光光斑位置判断反射镜设置角度是否偏差，通过光斑大小判断激光是否质量达标。本发明结构设计合理，自动化程度高，能够通过算法实现反射镜的自动耦合与安装固定，耗时短速度快，有效提高了耦合效率，降低了操作人员的人身安全风险。

附图说明

图1为本发明的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置的结构示意图；

图2为本发明的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置的局部结构示意图；

图3为本发明的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置的夹具单元示意图；

图4为本发明的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置的夹具单元局部示意图；

图5为本发明的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置物料单元示意图；

图6为本发明的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置物料单元局部示意图一；

图7为本发明的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置物料单元局部示意图二；

图8为本发明的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置探针单元示意图；

图9为本发明的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置点胶单元示意图；

图10为本发明的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置检测单元示意图。

【附图标记说明】

1-夹具单元；2-物料单元；3-探针单元；4-点胶单元；5-检测单元；6-第一位移平台；7-第二位移平台；101-第一直线运动平台；102-第二直线运动平台；103-第三直线运动平台；104-第一旋转运动平台；105-第二旋转运动平台；106-料盘；106a-中部通道；106b-下料调整件；106c-调节旋钮；107-夹具支撑座；108-料盘支撑座；1087a-磁铁容置孔；109-下料气缸；110-夹具步进电机；111-吸嘴夹具；111a-气嘴；111b-吸嘴；112-限位旋钮；113-限位传感器；114-感应片；201-阵列半导体激光器；202-物料支撑座；203-物料底座；204-吸盘；205-压力传感器；206-底座盖板；207-激光挡板；208-定位板；209-吸盘支撑座；301-探针升降平台；302-第一探针支座；303-第二探针支座；304-探针；305-升降平台支座；306-探针伸缩气缸；401-点胶底座；402-三维手动平台；403-气缸支撑座；404-点胶气缸；405-胶筒夹持座；406-胶筒；407-第一UV灯支座；408-第二UV灯支座；409-第三UV灯支座；410-UV灯；501-检测底座；502-检测三维手动平台；503-检测支撑座；504-光束分析仪。

具体实施方式

为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

本发明针对现有的人工耦合反射镜工序繁琐、效率低下，人员人身安全受影响等问题问题，提供了一种基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置。

如图1、图2和图5所示，本发明的实施例提供了一种基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，包括：夹具单元1、物料单元2、探针单元3、点胶单元4、检测单元5、第一位移平台6和第二位移平台7，所述第一位移平台6和第二位移平台7分别平行设置在所述物料单元2两侧，所述夹具单元1、点胶单元4和检测单元5固定设置在所述第一位移平台6，所述探针单元3固定设置在所述第二位移平台7上，所述夹具单元1与所述物料单元2呈45°角设置；所述物料单元2用于放置阵列半导体激光器201，所述探针单元3用于对所述阵列半导体激光器上电，所述夹具单元1用于夹持移动反射镜使其耦合，所述点胶单元4用于对所述阵列半导体激光器201点胶与固化。

本发明上述实施例所述的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，所述反射镜预先存放在所述夹具单元1内；当启动设备时，所述夹具单元1、探针单元3、点胶单元4和检测单元5会通过所述第一位移平台6和第二位移平台7移动到所述物料单元2旁，所述探针单元3会对放置在所述物料单元2的所述阵列半导体激光器201上的单个激光器芯片通电，激光器芯片通电后会向前发射激光，所述夹具单元1会装夹着所述反射镜移动至光路上进行耦合，经过所述反射镜反射的激光会射向所述检测单元5的检测端，通过所述光束分析仪501确认光斑的照射位置依此判断反射镜耦合的角度是否正确，通过确认光斑的大小判断反射的激光质量是否达标，经过所述夹具单元1不断运动使检测数据达标并完成耦合后，所述点胶单元4会在耦合处点上固化胶，所述反射镜能够通过UV胶固化后安装在阵列半导体激光器上201；当完成一处反射镜的安装后，所述第一位移平台6和第二位移平台7会将所述夹具单元1、探针单元3、点胶单元4和检测单元5移动到下一个激光器芯片的位置，开始下一轮反射镜耦合安装。

如图3和图4所示，所述夹具单元1包括第一直线运动平台101、第二直线运动平台102、第三直线运动平台103、第一旋转运动平台104、第二旋转运动平台105、料盘106和反射镜夹具；所述第一直线运动平台101固定设置在所述第一位移平台6，所述第一直线运动平台101与所述物料单元2呈45°角，所述第二直线运动平台102设置在所述第一直线运动平台101的顶面，所述第三直线运动平台103竖直设置在所述第二直线运动平台102的顶面，所述第一旋转运动平台104设置在所述第三直线运动平台103的滑台上，所述第二旋转运动平台105设置在所述第一旋转运动平台104的滑台上，所述反射镜夹具通过一夹具支撑座107设置在所述第二旋转运动平台105的前端，所述夹具支撑座107上竖直设置有一料盘支撑座108，所述料盘106活动地设置在所述料盘支撑座108上。

本发明上述实施例所述的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，所述第一直线运动平台101和第二直线运动平台102的运动方向相互垂直，所述第三直线运动平台103的运动方向垂直于水平面，所述第一旋转运动平台104和第二旋转运动平台105能够令所述反射镜夹具在一定范围内自由旋转以提高耦合效率；由于所述第一直线运动平台101与所述物料单元2呈45°角设置，所述反射镜在通过所述反射镜夹具夹持运动到所述阵列半导体激光器201上时便已经大致达到了耦合的角度范围附近。

其中，所述料盘106设置有中部通道106a，所述中部通道106a用于装填所述反射镜，所述料盘106下部设置有一下料调整件106b，所述下料调整件106b上穿设有一调节旋钮106c，所述调节旋钮106c的杆体穿设在所述中部通道106a内。

本发明上述实施例所述的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，所述料盘支撑座108底部设置有定位凸起，所述料盘支撑座108上开设有磁铁容置孔108a，所述磁铁容置孔108a内设置有磁铁，所述料盘106能被所述料盘支撑座108所吸附并通过所述定位凸起快速安装；所述料盘106上的中部通道106a的形状与所述反射镜形状相匹配，所述中部通道106a能够容纳多个所述反射镜；当需要所述反射镜下料时通过调整所述调节旋钮106c令其杆体移出所述中部通道，从而令所述反射镜顺利落下。

其中，所述夹具支撑座106上还设置有一下料气缸109，所述下料气缸109的推杆设置在所述料盘106的底部后方，所述反射镜夹具设置有一夹具步进电机110，所述夹具步进电机110设置在所述夹具支撑座107的一侧，所述夹具支撑座107的另一侧设置有一吸嘴夹具111，所述吸嘴夹具111固定设置在所述夹具步进电机110的转轴上，所述吸嘴夹具111上设置有气嘴111a和吸嘴111b，所述气嘴111a与吸嘴111b相互连通。

所述夹具支撑座107上设置有限位旋钮112和限位传感器113，所述吸嘴夹具111上设置有一感应片114，所述限位旋钮112的杆体抵设在所述吸嘴夹具111的结束位置。

本发明上述实施例所述的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，所述吸嘴夹具111内部开设有气腔，所述气腔令所述气嘴111a与吸嘴111b连通，所述气嘴111a提前接通负压，由于所述气嘴111a与吸嘴111b连通，所述吸嘴111a具有吸附能力，当所述反射镜落下时，所述下料气缸109会通过其推杆将所述反射镜推到所述吸嘴111b上并吸附固定，所述夹具步进电机110会带动所述吸嘴夹具旋转，使得所述反射镜旋转至所述阵列半导体激光器201的上方，同时所述感应片114会触发所述限位传感器113即说明所述吸嘴111b垂直向下，所述限位旋钮112能够通过杆体硬限位防止所述吸嘴夹具111旋转过头。

如图5、图6和图7所示，所述物料单元2包括物料支撑座202和物料底座203，所述物料支撑座202竖直设置在所述第一位移平台6和第二位移平台7之间，所述物料底座固203定设置在所述物料支撑座202上，所述物料底座203上嵌设有吸盘204和压力传感器205，所述物料底座203的顶部设置有底座盖板206，所述底座盖板206上开设有吸盘通孔，所述吸盘204穿设在所述吸盘通孔中。

其中，所述物料底座203设置有激光挡板207和定位板208。

所述物料底座203底部设置有一吸盘支撑座209，所述吸盘204通过所述吸盘支撑座209固定穿设在所述物料底座203上。

本发明上述实施例所述的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，所述吸盘204具有吸附能力，所述阵列半导体激光器201通过所述定位板208和吸盘204快速安装在所述物料单元上；由于所述阵列半导体激光器201的输出功率较高，所述激光挡板207能够阻挡激光照射方向防止损坏设备；所述压力传感器205设置在所述底座盖板206下方，当所述反射镜通过所述夹具单元1放置在所述阵列半导体激光器201上时，所述压力传感器205会接收到压力，从而说明所述反射镜已经与阵列半导体激光器201发生接触。

如图8所示，所述探针单元3包括探针伸缩气缸306、探针升降平台301、第一探针支座302、第二探针支座303和探针304，所述探针升降平台301通过一升降平台支座305固定设置在所述第二位移平台7上，所述探针伸缩气缸306设置在所述探针升降平台301的顶部，所述第一探针支座302竖直设置在所述探针伸缩气缸306的顶部，所述第二探针支座303平行于水平面设置在所述第一探针支座303上，所述探针304设置在所述第二探针支座303上。

本实施例中，所述探针304共设置有两根，分别为正极探针和负极探针，所述正极探针和负极探针分别对应激光器芯片上的正极和负极。

本发明上述实施例所述的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，当所述探针304分别接触到激光器芯片上的正负极时，所述激光器芯片发射激光；由于每个激光器芯片在所述阵列半导体激光器201上呈阶梯状排列，所述探针304能够通过所述第二位移平台7实现横向位移，以及所述探针伸缩气缸306从而为设置在所述阵列半导体激光器201上的每一个激光器芯片上电，所述探针升降平台301能够控制所述探针304的高度。

如图8和图9所示，所述点胶单元4包括点胶底座401、三维手动平台402、气缸支撑座403、点胶气缸404、胶筒夹持座405和胶筒406，所述点胶底座401固定设置在所述第一位移平台6上，所述三维手动平台402设置在所述点胶底座401上方，所述气缸支撑座403设置在所述三维手动平台402的顶面，所述点胶气缸404以预设角度设置在所述气缸支撑座403上，所述胶筒406通过所述胶筒夹持座405固定设置在所述点胶气缸404上。

其中，所述点胶单元4还包括第一UV灯支座407、第二UV灯支座408、第三UV灯支座409和UV灯410，所述第一UV灯支座407竖直设置在所述第一探针支座302上，所述第二UV灯支座408转动地设置在所述第一UV灯支座407上，所述UV灯410通过所述第三UV灯支座409设置在所述第二UV灯支座408上。

本发明上述实施例所述的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，所述点胶单元4的功能包括点胶和固化，其中点胶功能通过所述胶筒406实现，所述三维手动平台402能通过手动调整对所述胶筒406位置进行调节，所述点胶气缸404呈斜向下45°角设置，当所述反射镜完成耦合后，所述胶筒406能够通过所述点胶气缸404实现快速下降，所述胶筒406的针头能够直接向耦合处进行点胶；所述UV灯410设置在所述胶筒406的对面，所述UV灯410能够通过所述第二UV灯支座408、第三UV灯支座409手动调整角度，当所述胶筒406点胶完成，所述UV灯410会照射紫外线令所述胶体固化。

如图10所示，所述检测单元5设置有检测底座501，所述检测底座501设置在所述第一位移平台6的端头，所述检测底座501上方设置有检测三维手动平台502，所述检测三维手动平台502的顶面设置有一检测支撑座503，光束分析仪504设置在所述检测支撑座503上。

本发明上述实施例所述的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，所述检测单元5的位置随所述第一位移平台6移动，同时可通过所述检测三维手动502平台提前调节所述检测支撑座503的具体位置，当所述反射镜移动到光路上时，其反射光线直接照射在所述光束分析仪504上，通过所述光束分析仪504确认光斑的照射位置依此判断反射镜耦合的角度是否正确，通过确认光斑的大小判断反射的激光质量是否达标。

以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，其特征在于，包括：夹具单元、物料单元、探针单元、点胶单元、检测单元、第一位移平台和第二位移平台，所述第一位移平台和第二位移平台分别平行设置在所述物料单元两侧，所述夹具单元、点胶单元和检测单元固定设置在所述第一位移平台，所述探针单元固定设置在所述第二位移平台上，所述夹具单元与所述物料单元呈45°角设置；所述物料单元用于放置阵列半导体激光器，所述探针单元用于对所述阵列半导体激光器上电，所述夹具单元用于夹持移动反射镜使其耦合，所述点胶单元用于对所述阵列半导体激光器点胶与固化。

2.根据权利要求1所述的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，其特征在于，所述夹具单元包括第一直线运动平台、第二直线运动平台、第三直线运动平台、第一旋转运动平台、第二旋转运动平台、料盘和反射镜夹具；所述第一直线运动平台固定设置在所述第一位移平台，所述第一直线运动平台与所述物料单元呈45°角，所述第二直线运动平台设置在所述第一直线运动平台的滑台上，所述第三直线运动平台竖直设置在所述第二直线运动平台的滑台上，所述第一旋转运动平台设置在所述第三直线运动平台的滑台上，所述第二旋转运动平台设置在所述第一旋转运动平台的滑台上，所述反射镜夹具通过一夹具支撑座设置在所述第二旋转运动平台的前端，所述夹具支撑座上竖直设置有一料盘支撑座，所述料盘活动地设置在所述料盘支撑座上。

3.根据权利要求2所述的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，其特征在于，所述料盘设置有中部通道，所述中部通道用于装填所述反射镜，所述料盘下部设置有一下料调整件，所述下料调整件上穿设有一调节旋钮，所述调节旋钮的杆体穿设在所述中部通道内。

4.根据权利要求3所述的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，其特征在于，所述夹具支撑座上还设置有一下料气缸，所述下料气缸的推杆设置在所述料盘的底部后方，所述反射镜夹具设置有一夹具步进电机，所述夹具步进电机设置在所述夹具支撑座的一侧，所述夹具支撑座的另一侧设置有一吸嘴夹具，所述吸嘴夹具固定设置在所述夹具步进电机的转轴上，所述吸嘴夹具上设置有气嘴和吸嘴，所述气嘴与吸嘴相互连通。

5.根据权利要求1所述的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，其特征在于，所述物料单元包括物料支撑座和物料底座，所述物料支撑座竖直设置在所述第一位移平台和第二位移平台之间，所述物料底座固定设置在所述物料支撑座上，所述物料底座上嵌设有吸盘和压力传感器，所述物料底座的顶部设置有底座盖板，所述底座盖板上开设有吸盘通孔，所述吸盘穿设在所述吸盘通孔中。

6.根据权利要求5所述的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，其特征在于，所述物料底座设置有激光挡板和定位板。

7.根据权利要求1所述的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，其特征在于，所述探针单元包括探针伸缩气缸、探针升降平台、第一探针支座、第二探针支座和探针，所述探针升降平台通过一升降平台支座固定设置在所述第二位移平台上，所述探针伸缩气缸设置在所述探针升降平台的顶部，所述第一探针支座竖直设置在所述探针伸缩气缸的顶部，所述第二探针支座平行于水平面设置在所述第一探针支座上，所述探针设置在所述第二探针支座上。

8.根据权利要求1所述的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，其特征在于，所述点胶单元包括点胶底座、三维手动平台、气缸支撑座、点胶气缸、胶筒夹持座和胶筒，所述点胶底座固定设置在所述第一位移平台上，所述三维手动平台设置在所述点胶底座上方，所述气缸支撑座设置在所述三维手动平台的顶面，所述点胶气缸以预设角度设置在所述气缸支撑座上，所述胶筒通过所述胶筒夹持座固定设置在所述点胶气缸上。

9.根据权利要求7或8任一项所述的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，其特征在于，所述点胶单元还包括第一UV灯支座、第二UV灯支座、第三UV灯支座和UV灯，所述第一UV灯支座竖直设置在所述第一探针支座上，所述第二UV灯支座转动地设置在所述第一UV灯支座上，所述UV灯通过所述第三UV灯支座设置在所述第二UV灯支座上。

10.根据权利要求1所述的基于光束分析仪检测的阵列半导体激光器反射镜耦合装置，其特征在于，所述检测单元设置有检测底座，所述检测底座设置在所述第一位移平台的端头，所述检测底座上方设置有检测三维手动平台，所述检测三维手动平台的顶面设置有一检测支撑座，光束分析仪设置在所述检测支撑座上。

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