CN111879430A - 热电偶温度检测切换器及热电偶温度检测系统 - Google Patents

Abstract

本发明实施例涉及一种热电偶温度检测切换器及热电偶温度检测系统。该热电偶温度检测切换器包括壳体、设置于壳体的第一插接件以及通过连接件和开关件与第一插接件电性连接的第二插接件，其中，第二插接件的数量为多个，每个第二插接件与扩散炉的石英管内的其中一个热电偶电性连接。在使用该热电偶温度检测切换器时，通过第一插接件实现该热电偶温度检测切换器与温度表的电性连接，并通过操作开关件可控制温度表与每个热电偶的导通状态，从而实现对每个热电偶的温度检测。这样，能够避免在检测热电偶的温度时反复插拔热电偶温度检测切换器，进而避免热电偶温度检测切换器出现短路及断路现象，确保通过温度表读取到的热电偶的温度值的准确性。

Description

热电偶温度检测切换器及热电偶温度检测系统

技术领域

本发明实施例涉及半导体扩散工艺中的热电偶检测技术领域，具体而言，涉及一种热电偶温度检测切换器及热电偶温度检测系统。

背景技术

在半导体扩散工艺中，扩散炉是重要的生产设备之一。扩散炉在使用一段时间后需要进行清洗，在对扩散炉进行拆装时会改变热电偶的位置，因此在每次完成对扩散炉的清洗或者对热电偶的更换之后，需要对扩散炉内的温度值(例如扩散炉的恒温区温度值)进行校对。然而在校对时，读取到的热电偶的温度值可能会存在偏差。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种热电偶温度检测切换器及热电偶温度检测系统，热电偶温度检测切换器连接在温度表以及多个热电偶连接之间，通过操作热电偶温度检测切换器能够控制温度表与每个热电偶的导通状态，从而实现对每个热电偶的温度检测。这样，能够避免在检测热电偶的温度时反复插拔热电偶温度检测切换器，进而避免热电偶温度检测切换器出现短路及断路现象，确保通过温度表读取到的热电偶的温度值的准确性。

本发明实施例的第一方面，提供一种热电偶温度检测切换器(100)，包括壳体(1)、第一插接件(2)和多个第二插接件(3)以及多个连接件(4)；

所述壳体(1)的第一侧壁(11)开设有第一通孔(111)，所述第一插接件(2)穿过所述第一通孔(111)并部分插入所述壳体(1)的内部，所述第一插接件(2)设置有用于与温度表电性连接的插头(21)，所述插头(21)位于所述壳体(1)的外部；

所述壳体(1)与所述第一侧壁(11)相对的第二侧壁(12)开设有第二通孔(121)；所述连接件(4)的一端通过所述第二通孔(121)伸入所述壳体(1)的内部、另一端与所述第二插接件(3)电性连接，所述第二插接件(3)包括用于与扩散炉的石英管内的热电偶电性连接的插接部(31)；

所述连接件(4)位于所述壳体(1)内部的一端与设置于所述壳体(1)的内部的开关件(5)电性连接；

所述开关件(5)与所述第一插接件(2)电性连接，以通过所述第一插接件(2)与所述温度表电性连接，用于控制所述温度表与所述热电偶的导通状态，从而实现对所述热电偶的温度检测。

在一个优选的实施例中，所述开关件(5)设置于所述壳体(1)的内部；

所述开关件(5)的按压部(51)穿过所述壳体(1)的第三侧壁(13)上开设的第三通孔(131)并朝所述壳体(1)的外部延伸；其中，所述第三侧壁(13)分别与所述第一侧壁(11)和所述第二侧壁(12)的边沿相接。

在一个优选的实施例中，还包括固定于所述第三侧壁(13)的多个指示灯(6)，每个指示灯(6)与其中一个按压部(51)电性连接，用于指示每个热电偶与所述温度表的导通状态。

在一个优选的实施例中，还包括可拆卸式连接于所述壳体(1)的内部的电源件(7)，所述电源件(7)与所述开关件(5)和所述指示灯(6)电性连接。

在一个优选的实施例中，所述第三通孔(131)间隔分布于所述第三侧壁(13)上。

在一个优选的实施例中，所述壳体(1)开设有开口(15)，所述开口(15)与所述第三侧壁(13)相对，所述开口(15)处可拆卸式连接有封闭件(16)，用于对所述壳体(1)的内部进行封闭。

在一个优选的实施例中，所述封闭件(16)包括夹层(162)以及设置于所述夹层(162)两侧的保护层(161)，所述夹层(162)包括导磁板，用于将所述热电偶温度检测切换器(100)固定在安装面上。

在一个优选的实施例中，所述封闭件(16)靠近所述壳体(1)的一面的边沿设置有卡设件(163)，所述开口(15)的边沿设置有卡设部(151)，所述卡设件(163)插入所述卡设部(151)以实现所述壳体(1)与所述封闭件(16)的拆卸式连接。

在一个优选的实施例中，所述第二插接件(3)还包括握持部(32)，所述握持部(32)的一端为楔形，另一端与所述插接部(31)一体成型；所述插接部(31)的截面积大于所述握持部(32)的截面积。

本发明实施例的第二方面，提供一种热电偶温度检测系统，包括温度表、石英套管和上述权利要求1-9任一项所述的热电偶温度检测切换器(100)；所述温度表与所述热电偶温度检测切换器(100)的插头(21)电性连接；所述石英套管内的每个热电偶与所述热电偶温度检测切换器(100)的其中一个第二插接件(3)的插接部(31)电性连接。

本发明实施所提供的热电偶温度检测切换器及热电偶温度检测系统，包括壳体、设置于壳体的第一插接件以及通过连接件和开关件与第一插接件电性连接的第二插接件，其中，第二插接件的数量为多个，每个第二插接件与扩散炉的石英管内的其中一个热电偶电性连接。在使用该热电偶温度检测切换器时，通过第一插接件实现该热电偶温度检测切换器与温度表的电性连接，并通过操作开关件控制温度表与每个热电偶的导通状态，从而实现对每个热电偶的温度检测。这样，能够避免在检测热电偶的温度时反复插拔热电偶温度检测切换器，进而避免热电偶温度检测切换器出现短路及断路现象，确保通过温度表读取到的热电偶的温度值的准确性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本发明实施例所提供的热电偶温度检测切换器的结构示意图。

图2为图1中的壳体的第一视角示意图。

图3为图1中的壳体的第二视角示意图。

图4为图1中的壳体的第三视角示意图。

图5为本发明实施例所提供的的封闭件的结构示意图。

图6为图5所示的封闭件的剖面示意图。

图7为图5所示的封闭件的另一结构示意图。

图8为与图5所示的封闭件相配合的壳体的结构示意图。

图9为图1中的第二插接件的结构示意图。

图10为图1中的第二插接件的第四视角示意图。

图标：

100-热电偶温度检测切换器；

1-壳体；11-第一侧壁；111-第一通孔；12-第二侧壁；121-第二通孔；13-第三侧壁；131-第三通孔；15-开口；151-卡设部；16-封闭件；161-保护层；162-夹层；163-卡设件；

2-第一插接件；21-插头；

3-第二插接件；31-插接部；32-握持部；

4-连接件；

5-开关件；51-按压部；

6-指示灯；

7-电源件。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例只是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

扩散炉的石英套管内通常设置有多个热电偶，在对清洗完成之后的扩散炉或者更换了热电偶的扩散炉进行温度校对时，需要反复读取和检测热电偶的温度值，而常见的用于连接热电偶和温度表的连接器每次只能对一个热电偶进行温度检测。在对多个热电偶进行反复的温度检测时，需要反复插拔连接器，这会导致连接器出现短路及断路现象，进而导致检测出的温度值可能为假值。此外，反复插拔连接器还会对连接器造成严重的磨损，这会导致检测出的温度值存在较大的波动和偏差。

为改善上述技术问题，本发明实施例提供了热电偶温度检测切换器及热电偶温度检测系统，请参阅图1，为本发明提供的热电偶温度检测切换器100的结构示意图，包括壳体1、第一插接件2和多个第二插接件3以及多个连接件4，连接件4可以为导线。

请结合参阅图1和图2，所述壳体1的第一侧壁11开设有第一通孔111，所述第一插接件2穿过所述第一通孔111并部分插入所述壳体1的内部，所述第一插接件2设置有用于与温度表(在图中未示出)电性连接的插头21，所述插头21位于所述壳体1的外部。

请结合参阅图1和图3，所述壳体1与所述第一侧壁11相对的第二侧壁12开设有第二通孔121。所述连接件4的一端通过所述第二通孔121伸入所述壳体1的内部、另一端与所述第二插接件3电性连接，所述第二插接件3用于与扩散炉的石英管内的热电偶电性连接。

进一步地，请参阅图1和图4，所述连接件4位于所述壳体1内部的一端与设置于所述壳体1的内部的开关件5电性连接。所述开关件5与所述第一插接件2电性连接，以通过所述第一插接件2与所述温度表电性连接。所述开关件5用于控制所述温度表与所述热电偶的导通状态，从而实现对所述热电偶的温度检测。

这样，将每个第二插接件3与其中一个热电偶连接之后，通过开关件5可以控制温度表与每个热电偶的导通或断开，从而在避免反复插拔热电偶温度检测切换器的前提下实现对每个热电偶的反复检测，进而避免热电偶温度检测切换器因反复插拔出现短路及断路现象。如此，能够确保通过温度表准确地读取和检测热电偶的温度值。

请继续参阅图1和图2，所述开关件5的按压部51穿过所述壳体1的第三侧壁13上开设的第三通孔131并朝所述壳体1的外部延伸。其中，所述第三通孔131间隔分布于所述第三侧壁13上，按压部51可以为多个，所述第三侧壁13分别与所述第一侧壁11和所述第二侧壁12的边沿相接。在使用上述热电偶温度检测切换器100时，可以通过作用于不同的按压部51实现温度表与不同的热电偶的导通或者断开。

发明人在具体实施时发现，在对按压部51进行作用时，由于作用力度不够，可能导致温度表与热电偶的电连接状态没有被切换。这样会导致后面读取温度表的数值时出现错误。为解决上述问题，请继续参阅图1，热电偶温度检测切换器100还包括固定于所述第三侧壁13的多个指示灯6，每个指示灯6与其中一个按压部51电性连接，用于指示每个热电偶与所述温度表的导通状态。

例如，指示灯6亮起表征温度表与热电偶导通，指示灯6熄灭表征温度表与热电偶断开。如此，通过指示灯6的指示，能够确保对按压部51进行有效的作用，从而确保每次作用都能够实现温度表与热电偶的电连接状态的切换。

请结合参阅图4，热电偶温度检测切换器100还包括可拆卸式连接于所述壳体1的内部的电源件7，所述电源件7与所述开关件5和所述指示灯6电性连接，所述电源件7用于对所述开关件5和所述指示灯6进行供电。

请结合参阅图4和图5，所述壳体1开设有开口15，所述开口15与所述第三侧壁13相对，所述开口15处可拆卸式连接有封闭件16，封闭件16用于对所述壳体1的内部进行封闭。进一步地，请结合参阅图6，所述封闭件16可以包括夹层162以及以及设置于所述夹层162两侧的保护层161，所述夹层162包括导磁板，用于将所述热电偶温度检测切换器100固定在安装面上，以便于对热电偶温度检测切换器100进行固定。在本实施例中，安装面可以是墙面、门面或者其他设备的外壁。

请结合参阅图7和图8，所述封闭件16靠近所述壳体1的一面的边沿设置有卡设件163，所述开口15的边沿设置有卡设部151，所述卡设件163插入所述卡设部151以实现所述壳体1与所述封闭件16的拆卸式连接。可选地，除了上述卡扣连接的方式，还可以通过螺母连接的方式实现封闭件16与壳体1的可拆卸式连接，在此不作赘述。

请结合参阅图9和图10，所述第二插接件3包括用于与扩散炉的石英管内的热电偶电性连接的插接部31和握持部32。其中，所述握持部32的一端为楔形，另一端与所述插接部31一体成型。所述插接部31的截面积大于所述握持部32的截面积。这样，在将第二插接件3与热电偶进行连接时，插接部31形成的挡板结构能够避免工作人员与热电偶接触而被烫伤。

在上述基础上，本发明实施例还提供了一种热电偶温度检测系统，包括温度表、石英套管和上述的热电偶温度检测切换器100。其中，所述温度表与所述热电偶温度检测切换器100的插头21电性连接。所述石英套管内的每个热电偶与所述热电偶温度检测切换器100的其中一个第二插接件3的插接部31电性连接。

上述热电偶温度检测系统在运行时，热电偶温度检测切换器100连接在温度表以及多个热电偶连接之间，通过操作热电偶温度检测切换器100能够控制温度表与每个热电偶的导通状态，从而实现对每个热电偶的温度检测。能够避免对热电偶温度检测切换器的反复插拔，进而避免热电偶温度检测切换器出现短路及断路现象，确保通过温度表读取到的热电偶的温度值的准确性。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种热电偶温度检测切换器(100)，其特征在于，包括壳体(1)、第一插接件(2)和多个第二插接件(3)以及多个连接件(4)；

所述壳体(1)的第一侧壁(11)开设有第一通孔(111)，所述第一插接件(2)穿过所述第一通孔(111)并部分插入所述壳体(1)的内部，所述第一插接件(2)设置有用于与温度表电性连接的插头(21)，所述插头(21)位于所述壳体(1)的外部；

所述壳体(1)与所述第一侧壁(11)相对的第二侧壁(12)开设有第二通孔(121)；所述连接件(4)的一端通过所述第二通孔(121)伸入所述壳体(1)的内部、另一端与所述第二插接件(3)电性连接，所述第二插接件(3)包括用于与扩散炉的石英管内的热电偶电性连接的插接部(31)；

所述连接件(4)位于所述壳体(1)内部的一端与设置于所述壳体(1)的内部的开关件(5)电性连接；

所述开关件(5)与所述第一插接件(2)电性连接，以通过所述第一插接件(2)与所述温度表电性连接，用于控制所述温度表与所述热电偶的导通状态，从而实现对所述热电偶的温度检测。

2.根据权利要求1所述的热电偶温度检测切换器(100)，其特征在于，所述开关件(5)设置于所述壳体(1)的内部；

所述开关件(5)的按压部(51)穿过所述壳体(1)的第三侧壁(13)上开设的第三通孔(131)并朝所述壳体(1)的外部延伸；其中，所述第三侧壁(13)分别与所述第一侧壁(11)和所述第二侧壁(12)的边沿相接。

3.根据权利要求2所述的热电偶温度检测切换器(100)，其特征在于，还包括固定于所述第三侧壁(13)的多个指示灯(6)，每个指示灯(6)与其中一个按压部(51)电性连接，用于指示每个热电偶与所述温度表的导通状态。

4.根据权利要求3所述的热电偶温度检测切换器(100)，其特征在于，还包括可拆卸式连接于所述壳体(1)的内部的电源件(7)，所述电源件(7)与所述开关件(5)和所述指示灯(6)电性连接。

5.根据权利要求2所述的热电偶温度检测切换器(100)，其特征在于，所述第三通孔(131)间隔分布于所述第三侧壁(13)上。

6.根据权利要求2所述的热电偶温度检测切换器(100)，其特征在于，所述壳体(1)开设有开口(15)，所述开口(15)与所述第三侧壁(13)相对，所述开口(15)处可拆卸式连接有封闭件(16)，用于对所述壳体(1)的内部进行封闭。

7.根据权利要求6所述的热电偶温度检测切换器(100)，其特征在于，所述封闭件(16)包括夹层(162)以及设置于所述夹层(162)两侧的保护层(161)，所述夹层(162)包括导磁板，用于将所述热电偶温度检测切换器(100)固定在安装面上。

8.根据权利要求6所述的热电偶温度检测切换器(100)，其特征在于，所述封闭件(16)靠近所述壳体(1)的一面的边沿设置有卡设件(163)，所述开口(15)的边沿设置有卡设部(151)，所述卡设件(163)插入所述卡设部(151)以实现所述壳体(1)与所述封闭件(16)的拆卸式连接。

9.根据权利要求1所述的热电偶温度检测切换器(100)，其特征在于，所述第二插接件(3)还包括握持部(32)，所述握持部(32)的一端为楔形，另一端与所述插接部(31)一体成型；所述插接部(31)的截面积大于所述握持部(32)的截面积。

10.一种热电偶温度检测系统，其特征在于，包括温度表、石英套管和上述权利要求1-9任一项所述的热电偶温度检测切换器(100)；

所述温度表与所述热电偶温度检测切换器(100)的插头(21)电性连接；

所述石英套管内的每个热电偶与所述热电偶温度检测切换器(100)的其中一个第二插接件(3)的插接部(31)电性连接。

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