CN111834268A - 旋转无尘室容器的方法和夹持器总成 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种用于夹持无尘室容器的夹持器总成，包括：夹持器，其经调适以夹持无尘室容器；提升单元，包括用于提升该夹持器的第一马达；至少一缆线，其将该夹持器连接该提升单元，该至少一缆线是由该第一马达所驱动；第二马达，其用于该夹持器的至少一部分相对于该提升单元环绕垂直轴而旋转；该夹持器包括接合元件，该提升单元包括互补接合元件，互补接合元件经调适接合于接合元件以避免该夹持器相对于该提升单元环绕垂直轴而旋转；该夹持器包括上夹持器元件和下夹持器元件；该下夹持器元件经调适以支撑无尘室容器的顶部凸缘；该下夹持器元件包括穿过无尘室容器的上凸缘的开口，以及至少一个至少部分围绕该开口而形成的凹口。

Description

旋转无尘室容器的方法和夹持器总成
技术领域
本发明是关于一种用于旋转类似晶圆传送盒(FOUP)或晶圆出货盒(FOSB)或者倍缩光罩容器的无尘室容器的方法和夹持器。
背景技术
FOUP是前开式联合晶圆传送盒或前开式通用晶圆传送盒(Front OpeningUnified Pot)的缩写。这种FOUP是用来在晶圆厂中运输晶圆。半导体晶圆是以水平方式放置并且在FOUP中被垂直地堆叠。FOUP为本技术领域的人士所众知，从而无须在此进一步详细描述。
在用于制造半导体电路的晶圆厂中，FOUP可能需要以人工方式运送。为维持无尘室的状态，较佳地是以适当的运输系统来自动地传送FOUP。这种运输系统可配备有架空轨道，并于其上设置有助于拉抬FOUP的提升系统。此提升系统可包括马达，该者可驱动多个承桶，这些承桶缠绕有连接至实际夹持器的缆线。该夹持器可抓持FOUP以进行提升，并且可在FOUP降低到适当位置之后释放FOUP。
FOSB为一种前开式晶圆出货盒(Front Open Shipping Box)，是用于将晶圆自晶圆厂运输到无尘室以外的其他位置。倍缩光罩容器可容纳至少一个倍缩光罩。
然而，先前技艺的提升系统无法旋转无尘室容器。
发明内容
本发明是在于提供一种能够旋转无尘室容器的方法以及夹持器总成。
本发明可通过夹持器总成及其使用方法所达成。
本发明公开一种夹持器总成的使用方法，该夹持器总成的使用方法用于旋转无尘室容器，包括下列步骤：将夹持器降低至无尘室容器，其中该夹持器连接至至少一缆线。该方法进一步包括通过夹持器来抓夹该无尘室容器的步骤。该无尘室容器通过该至少一缆线，通过一第一马达，被提升到提升单元，其中该至少一缆线连接至该提升单元。该夹持器通过该夹持器的接合元件将该提升单元接合于该提升单元的互补接合元件。然后，该夹持器所夹持的无尘室容器进行旋转。
在一实施例中，该夹持器可包括上夹持器元件和下夹持器元件，其中该下夹持器元件是相对于该上夹持器元件而旋转。
另一实施例中，该提升单元可包括两个元件，其中一下提升单元元件是相对于一上提升单元元件而旋转。
由于夹持器接合于该提升单元，而此者连接至一头上运输系统、高架等等，因此能够将力矩自该夹持器传递至该提升装置，并且自该提升装置传送至该提升装置所接附的装置，像是高架或头上轨道系统。该力矩不可能在连接至该提升单元和该夹持器的多个条缆线上传递，以拉升及放低该夹持器和该无尘室容器。
本发明的优点在于可旋转无尘室容器，并且无尘室容器无须以人工方式旋转，或是通过连接至半导体制造设备或无尘室容器储存设备等等的个别旋转装置来旋转。
该无尘室容器可为FOUP、FOSB或是倍缩光罩容器。这些装置为本技术领域的人士所众知，从而无须在此进一步详细描述。
该方法进一步包括该夹持器接合于该提升单元的步骤，其中在放低该夹持器的步骤之前，该夹持器并未抓握无尘室容器。在此之后，旋转该夹持器的至少一部分。该夹持器中旋转的部分可为实际地抓握该无尘室容器的部分。这些步骤可确保将该夹持器定位在正确位置处以供抓取无尘室容器。
可在水平方向上移动该提升单元和该夹持器的过程中执行旋转受到该夹持器所夹持的无尘室容器的步骤。故而能够同时地改变无尘室容器的位置及方向。
在一实施例中，在降低夹持器的步骤中，下夹持器元件中的开口穿过该无尘室容器的顶部凸缘。该下夹持器元件是相对于该夹持器的上夹持器元件而旋转。该夹持器会被拉升，直到该顶部凸缘被该下夹持器元件内的凹口所容纳。含有顶部凸缘的无尘室容器可由该夹持器夹持，而无需任何钳夹装置等等。与该下夹持器元件内的开口相较，用于容纳该顶部凸缘的凹口可具有不同的指向。FOUP的尺寸以及该顶部凸缘的尺寸于SEMI E47.1-1106中加以定义。
在一实施例中，该方法可包括下列步骤，即在降低该夹持器的步骤中，将耦接于该上夹持器部分的定心元件插入到该无尘室容器的顶部凸缘内的开口内。该定心元件可为可移动的，例如可沿垂直方向移动。该方法决定该定心元件是否相对于该上夹持器元件移动一预定距离。一旦该定心元件接触到该顶部凸缘内的开口，并且继续放低该夹持器，该定心元件就不会相对于世界座标系统显著地移动，而是相对于该夹持器而相反于该夹持器的降低方向移动。如果该定心元件已相对于该夹持器移动该预定距离，则该下夹持器元件会相对于该夹持器的上夹持器元件旋转。
下夹持器元件相对于该夹持器的上夹持器元件旋转，直到形成于该下夹持器元件的上部上的凹口是对准于该无尘室容器的上部凸缘为止。然后，提升该夹持器，将无尘室容器的顶部凸缘装纳在形成于该下夹持器元件的上部的凹口内。由此，可避免钳夹装置和其他的活动部件。故而增加该夹持器的预期寿命和可靠性。
在无尘室容器被该夹持器夹持后，将无尘室容器朝向该提升单元的方向拉升。
本发明亦公开一种用于夹持无尘室容器的夹持器总成，该夹持器总成包括夹持器和提升单元。至少一条缆线是连接到该夹持器和该提升单元。该夹持器包括接合元件，并且该提升单元包括互补接合元件，此等互补接合元件经调适以接合于这些接合元件以避免该夹持器相对于该提升单元旋转。该夹持器总成可包括一第一马达，此者用以相对于提升单元来旋转该夹持器的至少一局部。
由于该夹持器接合于该提升单元，因此可将由该夹持器所抓取的无尘室容器旋转所产生的力矩自该夹持器传递到该提升单元并且传递到架设于该提升单元的任何装置，例如头上轨道系统、高架等等。
在一实施例中，该夹持器可形成为两个部分，并且该第一马达可令依水平方式彼此上下地排置的夹持器部分的其中一者相对于其他的夹持器部分绕着垂直轴而旋转。
在另一实施例中，该夹持器可形成为两个部分，并且该第一马达可令依水平方式彼此上下地排置的提升单元部分的其中一者相对于该提升单元的其他部分绕着垂直轴而旋转。
该无尘室容器可为FOUP、FOSB或是倍缩光罩容器。这些装置为本技术领域的人士所众知，从而无须在此进一步详细描述。
在一实施例中，该夹持器包括上夹持器元件和下夹持器元件。该下夹持器元件经调适以支撑无尘室容器的顶部凸缘。该下夹持器元件包括可穿过无尘室容器的上凸缘的开口，以及至少一个至少部分地围绕该开口而形成的凹口以供容纳该无尘室容器的上凸缘。该凹口可形成于该下夹持器元件的上方局部内。该至少一凹口可为形成以使得其对应于无尘室容器的顶部凸缘的形状。多个凹口可为部分地围绕于该开口所排置。该至少一凹口可解释为具有与无尘室容器的顶部凸缘的下方局部互补形状的凹口，其中该凹口是被该开口所中断。
在一实施例中，该下夹持器元件中的开口基本上为矩形。多个凹口个别地包括大致为三角形的形状。具有大致为三角形形状的各个凹口相对于该开口的对称轴所对称地排置，并且是排置在该开口的边缘处。三角形可为对称性，其中斜边排置在开口处，并且两个直边是相对于该斜边而形成45°角。矩形开口和/或大致三角形的凹口可包括圆化的边缘。
夹持器会被放低，直到该下夹持器元件内的开口穿过无尘室容器的顶部凸缘的下方局部。然后，该下夹持器元件旋转45°，并且再次提举夹持器。由此，该无尘室容器的顶部凸缘的下部会被这些凹口所容纳。
该夹持器可包括可移动地附接于该上夹持器元件的定心元件，其中一运动感测器可检测该定心元件的运动。该运动感测器可为光学感测器，例如光电栅栏。当夹持器下降到无尘室容器时，该定心元件会被插入到无尘室容器的顶部凸缘的开口内。夹持器会继续降低。借此，该定心元件可决定该下夹持器元件相对于该顶部凸缘的底部的位置。
一旦控制器通过该定心元件相对于该上夹持器元件的运动来决定该下夹持器元件已通过该顶部凸缘的底部之后，控制器即指示该第一马达停止降低该夹持器，并且指示该第二电动机以令该下夹持器元件相对于该上夹持器元件旋转例如45°。在此之后，该控制器即指示该第一马达提起夹持器。由此，无尘室容器的顶部凸缘的下部会被形成于该下夹持器元件的上方局部内的至少一凹口所容纳。
该提升单元包括第一马达，该第一马达连接至少一承桶以供缠绕于至少一条缆线。
在一实施例中，该夹持设置耦接于该控制器，其中该控制器经调适以执行前述方法的步骤。该控制器可为该提升单元的一部分，或者可为该无尘室容器运输系统等等的一部分。
附图说明
图1显示用于夹持FOUP的夹持器总成的截面略图；
图2显示下夹持器元件的透视图。
附图标记说明
100:夹持器总成
102:带动柱
200:提升单元
202:壳体
208:缆线
204:第一马达
206:承桶
208:缆线
210:控制器
212:光源
214:光电检测器
216:销针
300:夹持器
302:上夹持器元件
304:第二马达
306:小齿轮
312:光源
314:光电检测器
316:内锥体
318:定心元件
320:引导元件
322:下夹持器元件
324: 凸缘
326:凸缘
328:凹口
330:锥形部分
332:开口
400:FOUP
402:顶部凸缘
404:支柱。
具体实施方式
现将参照于说明书附图以进一步详细说明本发明。然这些附图并未依循比例而制。为描述及说明本发明，在此运用即如上、下等等的几何关系，然不应被认为是具有限制性。本发明针对于FOUP所示范性地说明。然本发明亦可运用于具有顶部凸缘的FOSB或倍缩光罩容器。
FOUP(Front Opening Unified Pot)是前开式联合晶圆传送盒或前开式通用晶圆传送盒的缩写。FOUP在半导体产业的晶圆厂中应用于运输晶圆。多个晶片可彼此堆叠地排置在FOUP内。
图1显示一根据本发明的夹持器总成100的截面侧视图。根据本发明的夹持器总成100与一带动柱102相结合，主要包括一提升单元200以及一通过缆线208所连接的夹持器300。至少一第一马达204驱动缠绕该缆线208的承桶206。该缆线208可支撑该夹持器300并亦传递动力以及资信。
该夹持器300可通过该至少一第一马达204的旋转来放低和提升。如果该至少一第一马达204将该夹持器300提升至与该提升单元200并置的上部位置，则该销针216可移动地支撑在该夹持器300上。该提升单元200的壳体202接合到形成在该夹持器300上，特别是在夹持器300的壳体的顶部处的内锥体316。通过该销针216接合于该内锥体316内，可减少绕于垂直轴旋转的自由度，亦即无效化，因为该提升单元200包括多个销针216（未予图示），其等接合于形成在该夹持器300的壳体顶部处的多个内锥体316的个别内锥体316内（未予图示）。该销针216通过该内锥体316而在垂直方向上移动，直到其通过光源212和光电检测器214为止，其中至少该光电检测器214是连接于一控制器210。倘若该销针216通过该光源212和该光电检测器214，则该控制器210会检测到该销针216已接合于该内锥体316中。一旦所有销针216皆接合于个别的内锥体316之后，即可开始将FOUP 400的旋转连接到该夹持器300。
FOUP 400包括支柱404所支撑的凸缘402。
该夹持器包括上夹持器元件302和下夹持器元件322，其中在该上夹持器元件302中设置有内锥体316，而该下夹持器元件322包括凹口328，且该FOUP 400的凸缘402的下部设置于其内。
附接到该上夹持器元件302的第二马达304通过小齿轮306通过与构成在该凸缘324、326内的齿条啮合来驱动该下夹持器元件322绕于垂直轴旋转。
一定心元件318耦接于该上夹持器元件302并且在引导元件320中被引导。该定心元件318包括一锥形部分330，其经调适以被引入至该FOUP400的顶部凸缘402内的开口332中。如果该夹持器300被该第一马达204放低，并且该定心元件318接合于该FOUP400凸缘402中的开口332，则该定心元件318会相对于该上夹持器元件302而移动，直到其穿过光源312及该光电检测器314为止。
现另参考图2以进一步详细说明该下夹持器元件322以及拾起FOUP 400和旋转FOUP 400的程序。
该下夹持器元件322包括具有圆化边缘的大致为正方形的开口332。该开口332至少略微大于该FOUP 400的顶部凸缘402。该下夹持器元件322被该提升单元200放低以拾取FOUP400。该控制器控制该第二马达304以使得该开口332对齐于该FOUP 400的顶部凸缘402。
该夹持器300被放低，直到该下夹持器元件322内的开口332通过该FOUP400的顶部凸缘402。在降低该夹持器300过程中，该定心元件318会接合于该FOUP400的顶部凸缘402中的开口332，并且令该定心元件318相对于该上夹持器元件302而朝向该光源312与该光电检测器314移动。一旦控制器210检测到该定心元件318挡住自该光源312发射至该光电检测器314的光，该控制器210即假定该下夹持器元件322通过该FOUP 400的顶部凸缘402。
在此之后，该控制器210指示该第二马达304以使得该下夹持器元件322绕于垂直轴而旋转45°。因此，形成在该下夹持器元件322中的凹口328会对准于该FOUP 400的顶部凸缘402。沿着该开口332的轮廓上构成有四个凹口328，其中各个三角形凹口328是相对于该开口的对称轴线而对称地设置，其等为垂直于该开口332的边缘（而非拐角）。该凹口328的斜边相邻于该开口332的个别边缘。而该凹口328的各个直边相对于该斜边包括一45°角。换言之，这些四个凹口328可被解释为对应于该FOUP的顶部凸缘402的尺寸的凹口，而其中该凹口相对于该开口332旋转45°，并且其中该开口332使该凹口328不连续。
一旦该凹口328与该FOUP 400的顶部凸缘402对准后，该控制器210即指示该至少一第一马达204提起该夹持器300，直到每个销针216接合于该内锥体316中。然后指示该第二马达机304旋转该下夹持器元件322，直到该FOUP 400包括所要的指向为止。
本发明的优点在于，能够旋转仅由缆线所支撑的夹持器300，并且可通过头上轨道系统（未予图示）、高架（未予图示）等等将用于旋转FOUP 400的力矩导引至用以支撑该提升单元200的支撑元件100。
此外，本发明的优点在于，可在不使用机械钳夹的情况下夹握FOUP的顶部凸缘402，从而减少磨损并且延长夹持器300的使用寿命。
显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

Claims (15)

1.一种旋转无尘室容器的方法，其特征在于，包括下列步骤：
将一夹持器降低到一无尘室容器，其中该夹持器连接至少一缆线；
该夹持器夹住该无尘室容器；
该至少一缆线将该无尘室容器提升到一提升单元，其中该至少一缆线亦连接于该提升单元；
将该夹持器的接合元件接合于该提升单元的互补接合元件，以便将该夹持器接合于该提升单元；以及
该夹持器使得所夹持的该无尘室容器绕于垂直轴而旋转。
2.如权利要求1所述的旋转无尘室容器的方法，其特征在于，该无尘室容器为下列其中任意一个：
一晶圆传送盒；
一晶圆出货盒；
一倍缩光罩容器。
3.如权利要求1所述的旋转无尘室容器的方法，其特征在于，在降低该夹持器的步骤之前，进一步包括下列步骤：
使得该夹持器接合于该提升单元，其中该夹持器并未夹持无尘室容器；以及
旋转该夹持器的至少一部分。
4.如权利要求1所述的旋转无尘室容器的方法，其特征在于，在该夹持器和该提升单元沿水平方向移动的过程中，执行被该夹持器所夹持的该无尘室容器旋转的步骤。
5.如权利要求1所述的旋转无尘室容器的方法，其特征在于，进一步包括下列步骤：
在降低该夹持器的步骤中，该夹持器的下夹持器元件中的开口穿过该无尘室容器的顶部凸缘；
相对于该夹持器的上夹持器元件而旋转该下夹持器元件；以及
拉升该夹持器，直到该顶部凸缘被该下夹持器元件内的凹口所容纳为止。
6.如权利要求1所述的旋转无尘室容器的方法，其特征在于，进一步包括下列步骤：
在降低该夹持器的步骤中，将耦接于该夹持器的上夹持器部分的定心元件插入到一晶圆传送盒的顶部凸缘中的开口内；
决定该定心元件是否相对于该夹持器移动一预定距离；以及
若该定心元件已相对于该夹持器移动该预定距离，则相对于该夹持器的上夹持器元件绕于垂直轴旋转一下夹持器元件。
7.如权利要求6所述的旋转无尘室容器的方法，其特征在于，该下夹持器元件相对于该夹持器的上夹持器元件而旋转的步骤包括下列步骤：
该下夹持器元件相对于该夹持器的上夹持器元件旋转，直到该下夹持器元件的上部上的凹口是对准于该无尘室容器的上部凸缘为止。
8.一种经调适以夹持无尘室容器的夹持器总成，其特征在于，包括：
一夹持器，该夹持器经调适以夹持无尘室容器；
一提升单元，该提升单元包括用于提升及降低该夹持器的一第一马达；
至少一缆线，该至少一缆线将该夹持器连接于该提升单元，其中该至少一缆线是由该第一马达所驱动；
一第二马达，该第二马达用于驱动该夹持器的至少一部分相对于该提升单元环绕垂直轴而旋转；
其中，该夹持器包括一接合元件，并且该提升单元包括一互补接合元件，该互补接合元件经调适用于接合于该接合元件，以便避免该夹持器相对于该提升单元环绕垂直轴而旋转。
9.如权利要求8所述的夹持器总成，其特征在于，该无尘室容器为下列其中任意一个：
一晶圆传送盒；
一晶圆出货盒；
一倍缩光罩容器。
10.如权利要求8所述的夹持器总成，其特征在于，
该夹持器包括一上夹持器元件和一下夹持器元件；
该下夹持器元件经调适用于支撑该无尘室容器的顶部凸缘；以及
该下夹持器元件包括能够穿过该无尘室容器的上凸缘的开口，以及
至少一个部分地围绕该开口而形成的凹口，用于容纳该无尘室容器的上凸缘。
11.如权利要求10所述的夹持器总成，其特征在于：
该下夹持器元件中的开口为矩形；以及
多个具有呈三角形形状的凹口，相对于该开口的边缘交叉的对称轴所对称地排置，其中各个凹口是排置在该开口的边缘处。
12.如权利要求11所述的夹持器总成，其特征在于，该各个凹口的斜边为排设在该开口处，并且各个直边是与该斜边构成45°角；或者，
该矩形开口和/或三角形的凹口包括圆化的边缘。
13.如权利要求10所述的夹持器总成，其特征在于，该夹持器包括能够移动地附接于该上夹持器元件的定心元件，其中一运动感测器能够检测该定心元件的运动。
14.如权利要求8所述的夹持器总成，其特征在于，该提升单元包括第一马达，其连接到经调适以缠绕至少一缆线的至少一承桶。
15.如权利要求8所述的夹持器总成，其特征在于，该夹持器总成与一控制器相耦接，该控制器执行以下步骤:
将一夹持器降低到一无尘室容器，其中该夹持器连接到至少一缆线；
该夹持器夹住该无尘室容器；
该至少一缆线将该无尘室容器提升到一提升单元，其中该至少一缆线亦连接于该提升单元；
将该夹持器的接合元件接合于该提升单元的互补接合元件，以便将该夹持器接合于该提升单元；以及
该夹持器以令所夹持的该无尘室容器绕于垂直轴而旋转。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2020095570A1 (ja) * 2018-11-06 2020-05-14 村田機械株式会社 天井搬送車

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3501193A (en) * 1968-02-07 1970-03-17 States Steamship Co System for engaging cargo containers
US3888536A (en) * 1974-01-29 1975-06-10 Us Army Automatic {13 {0 self contained {13 {0 light weight spreader bar
US6481558B1 (en) * 1998-12-18 2002-11-19 Asyst Technologies, Inc. Integrated load port-conveyor transfer system
FR2826897A1 (fr) * 2001-07-04 2003-01-10 Hpe Mecanisme de chargement et de dechargement de boites renfermant des plaquettes de microelectronique pour le transfert de l'equipement a un chariot de transport, et inversement
JP2003142547A (ja) * 2001-08-24 2003-05-16 Hirata Corp ワーク搬送装置
JP3981885B2 (ja) * 2003-05-20 2007-09-26 株式会社ダイフク 搬送装置
US20110245964A1 (en) * 2010-04-06 2011-10-06 Sullivan Robert P Self Aligning Automated Material Handling System
US9852934B2 (en) * 2014-02-14 2017-12-26 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Semiconductor wafer transportation
EP3134917B1 (de) * 2014-04-23 2021-07-21 Schiller Automatisierungstechnik GmbH Verbessertes reinraumshuttle
DE102017206652A1 (de) * 2017-04-20 2018-10-25 Kuka Deutschland Gmbh Robotergreifer zum Handhaben von Objekten, insbesondere Behältern

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