CN111793800A - 基材表面氧化物处理装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种基材表面氧化物处理装置,包括壳体和第一氧化物处理组,其中,壳体具有作业腔;第一氧化物处理组与壳体连接,并与作业腔连通,其中,壳体的设置有第一氧化物处理组的位置处所在的平面与水平面具有夹角地设置,且第一氧化物处理组的轴线与水平面具有夹角地设置,以使第一氧化物处理组的第一喷射端形成第一击打角度,其中,第一喷射端用于向基材的第一表面喷射砂浆混合液,以去除第一表面的氧化皮。本发明解决了现有技术中的基材表面氧化物处理装置的结构不合理,无法确保基材表面氧化物处理装置的氧化物处理组能够有效地松动基材表面的氧化皮,从而降低了基材表面氧化物处理装置的表面氧化皮处理可靠性的问题。
Description
技术领域
本发明涉及基材表面处理设备技术领域,具体而言,涉及一种基材表面氧化物处理装置。
背景技术
现有技术中,基材表面氧化物处理装置的结构不合理,无法确保基材表面氧化物处理装置的氧化物处理组能够有效地松动基材表面的氧化皮,从而降低了基材表面氧化物处理装置的表面氧化皮处理可靠性。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种基材表面氧化物处理装置,以解决现有技术中的基材表面氧化物处理装置的结构不合理,无法确保基材表面氧化物处理装置的氧化物处理组能够有效地松动基材表面的氧化皮,从而降低了基材表面氧化物处理装置的表面氧化皮处理可靠性的问题。
为了实现上述目的,本发明提供了一种基材表面氧化物处理装置,包括壳体和第一氧化物处理组,其中,壳体具有作业腔;第一氧化物处理组与壳体连接,并与作业腔连通,其中,壳体的设置有第一氧化物处理组的位置处所在的平面与水平面具有夹角地设置,且第一氧化物处理组的轴线与水平面具有夹角地设置,以使第一氧化物处理组的第一喷射端形成第一击打角度,其中,第一喷射端用于向基材的第一表面喷射砂浆混合液,以去除第一表面的氧化皮。
进一步地,第一氧化物处理组的轴线与水平面之间的夹角为a,其中,a满足:10°≤a≤30°。
进一步地,基材表面氧化物处理装置还包括第二氧化物处理组,第二氧化物处理组与壳体连接,并与作业腔连通,其中,壳体的设置有第二氧化物处理组的位置处所在的平面为水平面,第二氧化物处理组与第一氧化物处理组相对设置,第二氧化物处理组的轴线与水平面具有夹角地设置,以使第二氧化物处理组的第二喷射端形成第二击打角度,其中,第二喷射端用于向基材的与第一表面相对的第二表面喷射砂浆混合液,以去除第二表面的氧化皮。
进一步地,基材表面氧化物处理装置还包括第二氧化物处理组,第二氧化物处理组设置在壳体上,并与作业腔连通,其中,壳体的设置有第二氧化物处理组的位置处所在的平面与水平面具有夹角地设置,第二氧化物处理组与第一氧化物处理组相对设置,第二氧化物处理组的轴线与水平面具有夹角地设置,以使第二氧化物处理组的第二喷射端形成第二击打角度,其中,第二喷射端用于向基材的与第一表面相对的第二表面喷射砂浆混合液,以去除第二表面的氧化皮。
进一步地,第二氧化物处理组的轴线与水平面之间的夹角为b,其中,b满足:10°≤b≤30°。
进一步地,第一喷射端和/或第二喷射端的喷射范围沿基材的宽度方向可调节地设置。
进一步地,第一氧化物处理组包括第一处理单元和第二处理单元,第一处理单元和第二处理单元沿壳体的宽度方向相间隔地设置,壳体的设置有第一处理单元的位置处所在的平面,与壳体的设置有第二处理单元的位置处所在的平面具有夹角地设置;其中,第一处理单元包括第一涡轮机,第一涡轮机沿第一方向转动,第二处理单元包括第二涡轮机,第二涡轮机沿与第一方向相反的第二方向转动。
进一步地,第一处理单元和第二处理单元沿基材的移动方向相交错地设置。
进一步地,第二氧化物处理组包括第三处理单元和第四处理单元,第三处理单元和第四处理单元沿壳体的宽度方向相间隔地设置;其中,第三处理单元包括第三涡轮机,第三涡轮机沿第三方向转动,第四处理单元包括第四涡轮机,第四涡轮机沿与第三方向相反的第四方向转动。
进一步地,第二氧化物处理组包括第三处理单元和第四处理单元,第三处理单元和第四处理单元沿壳体的宽度方向相间隔地设置,壳体的设置有第三处理单元的位置处所在的平面,与壳体的设置有第四处理单元的位置处所在的平面具有夹角地设置;其中,第三处理单元包括第三涡轮机,第三涡轮机沿第三方向转动,第四处理单元包括第四涡轮机,第四涡轮机沿与第三方向相反的第四方向转动。
进一步地,第一氧化物处理组为多组,多组第一氧化物处理组沿基材的移动方向相间隔地设置,第二氧化物处理组为多组,多组第二氧化物处理组与多组第一氧化物处理组一一对应地设置。
进一步地,第一氧化物处理组设置在壳体的底部,且第一氧化物处理组为倒置设置。
应用本发明的技术方案,通过优化基材表面氧化物处理装置的第一氧化物处理组的设置方式,使得第一氧化物处理组的轴线与水平面呈角度地设置,这样,确保第一氧化物处理组的第一喷射端能够获取第一击打角度,也就是说,使得第一喷射端获取最佳击打角度,从而保证第一喷射端喷射出的砂浆混合液能够精准地击打基材的第一表面上的氧化皮,进而松动基材的第一表面上的氧化皮,确保基材的第一表面上的氧化皮的脱落可靠性,大大提升了第一喷射端的击打可靠性,有利于提升基材表面氧化物处理装置的氧化皮处理可靠性。
附图说明
构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
图1示出了根据本发明的一种可选实施例的基材表面氧化物处理装置的主视结构示意图;
图2示出了图1中的基材表面氧化物处理装置的俯视结构示意图;
图3示出了图1中的基材表面氧化物处理装置的第二氧化物处理组的第三处理单元的结构示意图;
图4示出了图3中的第三处理单元的另一视角的结构示意图;
图5示出了图1中的第二氧化物处理组的第四处理单元的结构示意图;
图6示出了图1中的第一氧化物处理组的第一处理单元的结构示意图;
图7示出了图6中的第一处理单元的另一视角的结构示意图;
图8示出了图1中的第一氧化物处理组的第二处理单元的结构示意图;
图9示出了图8中的第二处理单元的另一个视角的结构示意图;
图10示出了图3中的第三处理单元的第三涡轮机的剖视结构示意图;
图11示出了根据本发明的一种可选实施例的基材表面氧化物处理装置的壳体的底部视角的结构示意图;
图12示出了图11中的基材表面氧化物处理装置的壳体的顶部视角的结构示意图。
其中,上述附图包括以下附图标记:
10、壳体;30、第一氧化物处理组;31、第一处理单元;211、第三涡轮结构;2111、第三容纳腔;212、第三驱动部;213、第三击打叶片;32、第二处理单元;23、第二喷射端;20、第二氧化物处理组;21、第三处理单元;22、第四处理单元;40、排水蒸汽装置;11、第一安装孔;12、第二安装孔;13、第三安装孔;14、第四安装孔。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的,决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
为了解决现有技术中的基材表面氧化物处理装置的结构不合理,无法确保基材表面氧化物处理装置的氧化物处理组能够有效地松动基材表面的氧化皮,从而降低了基材表面氧化物处理装置的表面氧化皮处理可靠性的问题,本发明提供了一种基材表面氧化物处理装置。
如图1所示,基材表面氧化物处理装置包括壳体10和第一氧化物处理组30,其中,壳体10具有作业腔,第一氧化物处理组30与壳体10连接,并与作业腔连通,其中,壳体10的设置有第一氧化物处理组30的位置处所在的平面与水平面具有夹角地设置,且第一氧化物处理组30的轴线与水平面具有夹角地设置,以使第一氧化物处理组30的第一喷射端形成第一击打角度,其中,第一喷射端用于向基材的第一表面喷射砂浆混合液,以去除第一表面的氧化皮。
通过优化基材表面氧化物处理装置的第一氧化物处理组30的设置方式,使得第一氧化物处理组30的轴线与水平面具有夹角地设置,这样,确保第一氧化物处理组30的第一喷射端能够形成第一击打角度,也就是说,使得第一喷射端获取最佳击打角度,从而保证第一喷射端喷射出的砂浆混合液能够精准地击打基材的第一表面上的氧化皮,进而松动基材的第一表面上的氧化皮,确保基材的第一表面上的氧化皮的脱落可靠性,大大提升了第一喷射端的击打可靠性,有利于提升基材表面氧化物处理装置的氧化皮处理可靠性。
如图1和图2所示,图中E方向是指基材的运动方向。
需要说明的是,在本申请中,第一氧化物处理组30的轴线与水平面具有夹角地设置,其中第一氧化物处理组30的轴线是指第一氧化物处理组30中的电机的轴线。
如图1所示,第一氧化物处理组30的轴线与水平面之间的夹角为a,其中,a满足:10°≤a≤30°。这样,通过优化第一氧化物处理组30的轴线与水平面之间的夹角a,避免因第一氧化物处理组30的轴线与水平面之间的夹角a过小或者过大而导致第一氧化物处理组30的第一喷射端无法形成第一击打角度,确保第一氧化物处理组30的第一喷射端喷射的砂浆混合液能够达到第一击打角度,从而保证砂浆混合液的击打可靠性。
如图1所示,基材表面氧化物处理装置还包括第二氧化物处理组20,第二氧化物处理组20与壳体10连接,并与作业腔连通,其中,壳体10的设置有第二氧化物处理组20的位置处所在的平面为水平面,第二氧化物处理组20与第一氧化物处理组30相对设置,第二氧化物处理组20的轴线与水平面具有夹角地设置,以使第二氧化物处理组20的第二喷射端23形成第二击打角度,其中,第二喷射端23用于向基材的与第一表面相对的第二表面喷射砂浆混合液,以去除第二表面的氧化皮。这样,确保第二氧化物处理组20和第一氧化物处理组30能够共同作业,以将基材第一表面和第二表面的氧化皮同时清除,有利于提升基材表面氧化物处理装置的氧化皮的去除效率;此外,第二氧化物处理组20作用在基材的第二表面上,同时第一氧化物处理组30作用在基材的第一表面上,确保基材的受力平衡。
可选地,在本申请的一个未图示的实施例中,基材表面氧化物处理装置还包括第二氧化物处理组20,第二氧化物处理组20设置在壳体10上,并与作业腔连通,其中,壳体10的设置有第二氧化物处理组20的位置处所在的平面与水平面具有夹角地设置,第二氧化物处理组20与第一氧化物处理组30相对设置,第二氧化物处理组20的轴线与水平面具有夹角地设置,以使第二氧化物处理组20的第二喷射端23形成第二击打角度,其中,第二喷射端23用于向基材的与第一表面相对的第二表面喷射砂浆混合液,以去除第二表面的氧化皮。
需要说明的是,在本申请中,第二氧化物处理组20的轴线与水平面具有夹角地设置,其中第二氧化物处理组20的轴线是指第二氧化物处理组20中的电机的轴线。
如图1所示,第二氧化物处理组20的轴线与水平面之间的夹角为b,其中,b满足:10°≤b≤30°。这样,通过优化第二氧化物处理组20的轴线与水平面之间的夹角b,避免因第二氧化物处理组20的轴线与水平面之间的夹角b过小或者过大而导致第二氧化物处理组20的第二喷射端23无法形成第二击打角度,确保第二氧化物处理组20的第二喷射端23喷射的砂浆混合液能够达到第二击打角度,从而保证砂浆混合液的击打可靠性。
需要说明的是,在本申请中,第一喷射端和/或第二喷射端23的喷射范围沿基材的宽度方向可调节地设置。这样,确保本申请提供的基材表面氧化物处理装置能够对不同宽度尺寸的基材进行表面氧化皮的去除作业,有利于提升基材表面氧化物处理装置的通用性。
需要说明的是,在本申请中,如图2至图9所示,第一方向为A方向,第二方向为B方向,第三方向为C方向,第四方向为D方向。
如图1和图2所示,第一氧化物处理组30包括第一处理单元31和第二处理单元32,第一处理单元31和第二处理单元32沿壳体10的宽度方向相间隔地设置,壳体10的设置有第一处理单元31的位置处所在的平面,与壳体10的设置有第二处理单元32的位置处所在的平面具有夹角地设置;其中,第一处理单元31包括第一涡轮机,第一涡轮机沿第一方向转动,第二处理单元32包括第二涡轮机,第二涡轮机沿与第一方向相反的第二方向转动。这样,确保沿壳体10的宽度方向相间隔设置的第一处理单元31上的第一涡轮机和第二处理单元32上的第二涡轮机的转动方向相反,从而保证沿壳体10的宽度方向相间隔设置的两个第一喷射端能够从不同的方向击打基材的第一表面上的氧化皮,有利于提升基材的第一表面上的氧化皮的脱落可靠性。
如图1和图2所示,第一处理单元31和第二处理单元32沿基材的移动方向相交错地设置。这样,确保第一处理单元31上的第一喷射端和第二处理单元32上的第一喷射端能够在基材的移动方向上相错开,避免第一处理单元31上的第一喷射端喷射的砂浆混合液与第二处理单元32上的第一喷射端喷射的砂浆混合液造成干涉而严重影响第一氧化物处理组30的氧化皮的去除可靠性;此外,通过将第一处理单元31和第二处理单元32沿基材的移动方向相交错地设置,还有利于提升第一氧化物处理组30的去除氧化皮的效率。
需要说明的是,在本申请中,第二氧化物处理组20包括第三处理单元21和第四处理单元22,第三处理单元21和第四处理单元22沿壳体10的宽度方向相间隔地设置;其中,第三处理单元21包括第三涡轮机,第三涡轮机沿第三方向转动,第四处理单元22包括第四涡轮机,第四涡轮机沿与第三方向相反的第四方向转动。
需要说明的是,在本申请的一个未图示的实施例中,第二氧化物处理组20包括:第三处理单元21和第四处理单元22,第三处理单元21和第四处理单元22沿壳体10的宽度方向相间隔地设置,壳体10的设置有第三处理单元21的位置处所在的平面,与壳体10的设置有第四处理单元22的位置处所在的平面具有夹角地设置;其中,第三处理单元21包括第三涡轮机,第三涡轮机沿第三方向转动,第四处理单元22包括第四涡轮机,第四涡轮机沿与第三方向相反的第四方向转动。
如图10所示,第三涡轮机包括第三涡轮结构211、第三驱动部212和第三击打叶片213,其中,第三涡轮结构211具有第三容纳腔2111;第三驱动部212与第三涡轮结构211驱动连接,以驱动第三涡轮结构211沿第一预设方向转动;第三击打叶片213为多个,多个第三击打叶片213绕第三涡轮结构211的周向相间隔地设置,相邻的两个第三击打叶片213之间形成第一过流通道,第一过流通道和第三容纳腔2111相连通;其中,第一喷射端伸入第三容纳腔2111内设置,第一喷射端喷射的砂浆混合液流经第一过流通道,第三驱动部212带动第三涡轮结构211转动,以使砂浆混合液击打在基材的第一表面上。这样,确保第三击打叶片213能够为第一喷射端喷射的砂浆混合液提供较大的动能,从而保证砂浆混合液击打在基材的第一表面上并松动第一表面上的氧化皮,确保第一处理单元31的氧化皮的去除可靠性。
如图1所示,第二氧化物处理组20包括第三处理单元21和第四处理单元22,第三处理单元21和第四处理单元22沿壳体10的宽度方向相间隔地设置;其中,第三处理单元21包括第三涡轮机,第三涡轮机沿第三方向转动,第四处理单元22包括第四涡轮机,第四涡轮机沿与第三方向相反的第四方向转动。这样,确保沿壳体10的宽度方向相间隔设置的第三处理单元21上的第三涡轮机和第四处理单元22上的第四涡轮机的转动方向相反,从而保证沿壳体10的宽度方向相间隔设置的两个第二喷射端23能够从不同的方向击打基材的第二表面上的氧化皮,有利于提升基材的第二表面上的氧化皮的脱落可靠性。
需要说明的是,在本申请中,第二涡轮机、第一涡轮机和第四涡轮机的内部结构与第三涡轮机的内部结构相同,此处不再赘述,相差之处在于各涡轮机的转动方向不同。
可选地,第一氧化物处理组30为多组,多组第一氧化物处理组30沿基材的移动方向相间隔地设置,第二氧化物处理组20为多组,多组第二氧化物处理组20与多组第一氧化物处理组30一一对应地设置。这样,有利于提升基材表面氧化物处理装置的表面氧化皮的去除效率同时,还能够确保基材表面氧化物处理装置的表面氧化皮的去除可靠性。
需要说明的是,在本申请中,为了确保第一氧化物处理组30的轴线与水平面之间的夹角能够达到预设角度,如图1所示,第一氧化物处理组30设置在壳体10的底部,且第一氧化物处理组30为倒置设置。
需要说明的是,在上述的第一氧化物处理组30为倒置设置是指相对于第二氧化物处理组20而言,第二氧化物处理组20是正放安装,也就是说,第二氧化物处理组20的顶部朝上设置,第二氧化物处理组20的底部朝下设置,而第一氧化物处理组30的顶部朝下设置,第一氧化物处理组30的底部朝上设置。
如图11所示,本申请的壳体10的底部视角的结构示意图,该图中,图示中的第一安装孔11用于安装第一处理单元31,第二安装孔12用于安装第二处理单元32,且壳体10的具有第一安装孔11的位置所在的平面,与壳体10的具有第二安装孔12的位置所在的平面呈钝角的设置。
如图12所示,本申请的壳体10的顶部视角的结构示意图,该图中,图示中的第三安装孔13用于安装第三处理单元21,第四安装孔14用于安装第四处理单元22,且壳体10的具有地三安装孔的位置所在的平面,与壳体10的具有第四安装孔14的位置所在的平面呈钝角的设置。
需要说明的是,在本申请中,考虑到基材表面氧化物处理装置在进行氧化皮处理作业过程中会产生蒸汽,为了及时抽走蒸汽,基材表面氧化物处理装置还包括排水蒸汽装置40,排水蒸汽装置40用于及时抽走基材表面氧化物处理装置内产生的蒸汽。
需要注意的是,这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式,而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的,除非上下文另外明确指出,否则单数形式也意图包括复数形式,此外,还应当理解的是,当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时,其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
除非另外具体说明,否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。同时,应当明白,为了便于描述,附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论,但在适当情况下,所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中,任何具体值应被解释为仅仅是示例性的,而不是作为限制。因此,示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
为了便于描述,在这里可以使用空间相对术语,如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等,用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是,空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如,如果附图中的器件被倒置,则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而,示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位),并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。
需要注意的是,这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式,而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的,除非上下文另外明确指出,否则单数形式也意图包括复数形式,此外,还应当理解的是,当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时,其指明存在特征、步骤、工作、器件、组件和/或它们的组合。
需要说明的是,本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象,而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换,以便这里描述的本申请的实施方式能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (12)
1.一种基材表面氧化物处理装置,其特征在于,包括:
壳体(10),所述壳体(10)具有作业腔;
第一氧化物处理组(30),所述第一氧化物处理组(30)与所述壳体(10)连接并与所述作业腔连通,其中,所述壳体(10)的设置有所述第一氧化物处理组(30)的位置处所在的平面与水平面具有夹角地设置,且所述第一氧化物处理组(30)的轴线与水平面具有夹角地设置,以使所述第一氧化物处理组(30)的第一喷射端形成第一击打角度,其中,所述第一喷射端用于向基材的第一表面喷射砂浆混合液,以去除所述第一表面的氧化皮。
2.根据权利要求1所述的基材表面氧化物处理装置,其特征在于,所述第一氧化物处理组(30)的轴线与所述水平面之间的夹角为a,其中,a满足:10°≤a≤30°。
3.根据权利要求1所述的基材表面氧化物处理装置,其特征在于,所述基材表面氧化物处理装置还包括:
第二氧化物处理组(20),所述第二氧化物处理组(20)与所述壳体(10)连接,并与所述作业腔连通,其中,所述壳体(10)的设置有所述第二氧化物处理组(20)的位置处所在的平面为水平面,所述第二氧化物处理组(20)与所述第一氧化物处理组(30)相对设置,所述第二氧化物处理组(20)的轴线与水平面具有夹角地设置,以使所述第二氧化物处理组(20)的第二喷射端(23)形成第二击打角度,其中,所述第二喷射端(23)用于向所述基材的与所述第一表面相对的第二表面喷射砂浆混合液,以去除所述第二表面的氧化皮。
4.根据权利要求1所述的基材表面氧化物处理装置,其特征在于,所述基材表面氧化物处理装置还包括:
第二氧化物处理组(20),所述第二氧化物处理组(20)设置在所述壳体(10)上,并与所述作业腔连通,其中,所述壳体(10)的设置有所述第二氧化物处理组(20)的位置处所在的平面与水平面具有夹角地设置,所述第二氧化物处理组(20)与所述第一氧化物处理组(30)相对设置,所述第二氧化物处理组(20)的轴线与水平面具有夹角地设置,以使所述第二氧化物处理组(20)的第二喷射端(23)形成第二击打角度,其中,所述第二喷射端(23)用于向所述基材的与所述第一表面相对的第二表面喷射砂浆混合液,以去除所述第二表面的氧化皮。
5.根据权利要求3或4所述的基材表面氧化物处理装置,其特征在于,所述第二氧化物处理组(20)的轴线与所述水平面之间的夹角为b,其中,b满足:10°≤b≤30°。
6.根据权利要求5所述的基材表面氧化物处理装置,其特征在于,所述第一喷射端和/或所述第二喷射端(23)的喷射范围沿所述基材的宽度方向可调节地设置。
7.根据权利要求6所述的基材表面氧化物处理装置,其特征在于,所述第一氧化物处理组(30)包括:
第一处理单元(31)和第二处理单元(32),所述第一处理单元(31)和所述第二处理单元(32)沿所述壳体(10)的宽度方向相间隔地设置,所述壳体(10)的设置有所述第一处理单元(31)的位置处所在的平面,与所述壳体(10)的设置有所述第二处理单元(32)的位置处所在的平面具有夹角地设置;
其中,所述第一处理单元(31)包括第一涡轮机,所述第一涡轮机沿第一方向转动,所述第二处理单元(32)包括第二涡轮机,所述第二涡轮机沿与所述第一方向相反的第二方向转动。
8.根据权利要求7所述的基材表面氧化物处理装置,其特征在于,所述第一处理单元(31)和所述第二处理单元(32)沿所述基材的移动方向相交错地设置。
9.根据权利要求3所述的基材表面氧化物处理装置,其特征在于,所述第二氧化物处理组(20)包括:
第三处理单元(21)和第四处理单元(22),第三处理单元(21)和第四处理单元(22)沿所述壳体(10)的宽度方向相间隔地设置;
其中,所述第三处理单元(21)包括第三涡轮机,所述第三涡轮机沿第三方向转动,所述第四处理单元(22)包括第四涡轮机,所述第四涡轮机沿与所述第三方向相反的第四方向转动。
10.根据权利要求4所述的基材表面氧化物处理装置,其特征在于,所述第二氧化物处理组(20)包括:
第三处理单元(21)和第四处理单元(22),第三处理单元(21)和第四处理单元(22)沿所述壳体(10)的宽度方向相间隔地设置,所述壳体(10)的设置有所述第三处理单元(21)的位置处所在的平面,与所述壳体(10)的设置有所述第四处理单元(22)的位置处所在的平面具有夹角地设置;
其中,所述第三处理单元(21)包括第三涡轮机,所述第三涡轮机沿第三方向转动,所述第四处理单元(22)包括第四涡轮机,所述第四涡轮机沿与所述第三方向相反的第四方向转动。
11.根据权利要求9或10中任一项所述的基材表面氧化物处理装置,其特征在于,所述第一氧化物处理组(30)为多组,多组所述第一氧化物处理组(30)沿所述基材的移动方向相间隔地设置,所述第二氧化物处理组(20)为多组,多组所述第二氧化物处理组(20)与多组所述第一氧化物处理组(30)一一对应地设置。
12.根据权利要求4所述的基材表面氧化物处理装置,其特征在于,所述第一氧化物处理组(30)设置在所述壳体(10)的底部,且所述第一氧化物处理组(30)为倒置设置。
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