CN111782493A - 用于mes的建模数据验证的建模辅助系统和方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于MES的建模数据验证的建模辅助系统，包括：数据导入模块，用于将需要验证的所有待校验表单的数据整合在一起并形成整合数据；数据校验模块，用于对整合数据进行校验，当校验错误时形成对应的错误信息；数据导出模块，用于将校验过的数据以及对应的错误信息输出。本发明还公开了一种用于MES的建模数据验证的建模辅助方法。本发明能对建模数据进行自动以及全面的校验，能提高校验速度和数据正确性，提高工作效率。
Description
技术领域
本发明涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种用于MES的建模数据验证的建模辅助系统。本发明还涉及一种用于MES的建模数据验证的建模辅助方法。
背景技术
在半导体集成电路制造工厂的生产线上，通常是采用制造执行系统(Manufacturing Execution System，MES)进行工艺流程控制。当生产的产品不同时，工艺流程也会不同。不同的产品，需要在MES中建立对应的工艺流程模型，在实际生产过程中，产品的实际工艺流程会通过所建立的模型进行控制。故当生产线上要上新产品时或者需要对已经存在的产品工艺流程进行修改时，则需要进行相应的建模。
在建模过程中，首先需要进行工艺流程的表单导入，表单中包括了工艺流程中的各种数据。目前工厂中新建一条完整的工艺流程需要18张表单，在数据导入前基本记录(Basic Record，BR)工程师需要进行大量的数据校验，由于数据是通过EXCEL进行导入，所以对数据的校验必须特别严格，由于建模系统对部分数据暂时无法验证，以至于必须通过人为检查数据的准确性，这样往往导致花费很多的人力，尤其随着生产的扩大和工程部门相关工艺流程数据处理需求的增加，更加会影响到整个团队的工作效率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种用于MES的建模数据验证的建模辅助系统，能对建模数据进行自动以及全面的校验，能提高校验速度和数据正确性，提高工作效率。为此，本发明还提供一种用于MES的建模数据验证的建模辅助方法。
为解决上述技术问题，本发明提供的用于MES的建模数据验证的建模辅助系统包括：
数据导入模块，用于将需要验证的所有待校验表单的数据整合在一起并形成整合数据。
数据校验模块，用于对所述整合数据进行校验，当校验错误时形成对应的错误信息。
数据导出模块，用于将校验过的数据以及对应的所述错误信息输出。
进一步的改进是，还包括：数据模板选择模块，用于选择数据模板。
数据模板验证模块，用于验证所述数据模板，当所述数据模板验证错误时结束数据验证，当所述数据模板验证正确时显示所述整合数据并将所述整合数据输入到所述数据校验模块进行校验。
进一步的改进是，还包括：文件拆分模块，用于在所述数据校验模块校验成功时，对校验过的所述整合数据进行拆分并形成拆分表单，校验成功时没有所述错误信息。
进一步的改进是，校验成功时，所述数据导出模块导出所述拆分表单，所述拆分表单用于导入到建模系统进行建模。
进一步的改进是，当存在所述错误信息时，所述数据导出模块导出所述整合数据和所述错误信息并供工程师进行修改。
进一步的改进是，需要验证的所有待校验表单为一个工艺流程对应的所有表单。
进一步的改进是，所述数据导入模块通过EXCEL导入所述待校验表单的数据。
进一步的改进是，所述拆分表单的数据通过EXCEL导入到建模系统。
进一步的改进是，所述数据校验模块的校验内容包括所有BR作业规范和手动检查数据的流程。
为解决上述技术问题，本发明提供的用于MES的建模数据验证的建模辅助方法包括如下步骤：
步骤一、将需要验证的所有待校验表单的数据进行导入并整合在一起并形成整合数据。
步骤二、对所述整合数据进行校验，当校验错误时形成对应的错误信息。
步骤三、将校验过的数据以及对应的所述错误信息输出。
进一步的改进是，在步骤一之前还包括步骤：选择数据模板。
在步骤一完成后以及步骤二之前还包括步骤：验证所述数据模板，当所述数据模板验证错误时结束数据验证，当所述数据模板验证正确时显示所述整合数据并转到步骤二进行校验。
进一步的改进是，当步骤二的校验结果为校验成功时，对校验过的所述整合数据进行拆分并形成拆分表单，校验成功时没有所述错误信息。
进一步的改进是，当校验成功时，步骤三中输出所述拆分表单，所述拆分表单用于导入到建模系统进行建模。
进一步的改进是，当步骤二的校验结果中存在所述错误信息时，所述数据导出模块导出所述整合数据和所述错误信息并供工程师进行修改。
进一步的改进是，需要验证的所有待校验表单为一个工艺流程对应的所有表单。
进一步的改进是，步骤一中通过EXCEL导入所述待校验表单的数据。
进一步的改进是，所述拆分表单的数据通过EXCEL导入到建模系统。
进一步的改进是，步骤二的校验内容包括所有BR作业规范和手动检查数据的流程。
和现有技术中是通过手动对各表单的数据进行一个一个校验相比，本发明通过需要验证的所有待校验表单的数据都整合在一起并形成整合数据，然后在对整合数据进行校验，能实现自动校验，且当整合数据中存在错误时能一次性列出所有错误信息，所以本发明能对建模数据进行自动以及全面的校验，能提高校验速度和数据正确性，提高工作效率。
本发明还能在当校验正确时，对整合数据进行拆分并形成拆分表单即建模所需要的表单，拆分表单能直接用于建模；同时，当校验错误时，由于一次性列出了所有错误信息，故这样工程师能根据错误信息对错误数据进行一次性修改，修改后再重新进行检验通常能校验正确，所以本发明最后能提高整个建模速率，也能降低BR作业风险。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明：
图1是本发明实施例用于MES的建模数据验证的建模辅助方法的流程图。
具体实施方式
本发明实施例用于MES的建模数据验证的建模辅助系统包括：
数据导入模块，用于将需要验证的所有待校验表单的数据整合在一起并形成整合数据。
本发明实施例中，需要验证的所有待校验表单为一个工艺流程对应的所有表单。
所述数据导入模块通过EXCEL导入所述待校验表单的数据。
数据校验模块，用于对所述整合数据进行校验，当校验错误时形成对应的错误信息。
本发明实施例中，所述数据校验模块的校验内容包括所有BR作业规范和手动检查数据的流程。
数据导出模块，用于将校验过的数据以及对应的所述错误信息输出。
本发明实施例中，还包括：数据模板选择模块，用于选择数据模板。
数据模板验证模块，用于验证所述数据模板，当所述数据模板验证错误时结束数据验证，当所述数据模板验证正确时显示所述整合数据并将所述整合数据输入到所述数据校验模块进行校验。
本发明实施例中，还包括：文件拆分模块，用于在所述数据校验模块校验成功时，对校验过的所述整合数据进行拆分并形成拆分表单，校验成功时没有所述错误信息。
校验成功时，所述数据导出模块导出所述拆分表单，所述拆分表单用于导入到建模系统进行建模。
当存在所述错误信息时，所述数据导出模块导出所述整合数据和所述错误信息并供工程师进行修改。所述拆分表单的数据通过EXCEL导入到建模系统。
和现有技术中是通过手动对各表单的数据进行一个一个校验相比，本发明实施例通过需要验证的所有待校验表单的数据都整合在一起并形成整合数据，然后在对整合数据进行校验，能实现自动校验，且当整合数据中存在错误时能一次性列出所有错误信息，所以本发明实施例能对建模数据进行自动以及全面的校验，能提高校验速度和数据正确性，提高工作效率。
本发明实施例还能在当校验正确时，对整合数据进行拆分并形成拆分表单即建模所需要的表单，拆分表单能直接用于建模；同时，当校验错误时，由于一次性列出了所有错误信息，故这样工程师能根据错误信息对错误数据进行一次性修改，修改后再重新进行检验通常能校验正确，所以本发明实施例最后能提高整个建模速率，也能降低BR作业风险。
如图1所示，是本发明实施例用于MES的建模数据验证的建模辅助方法的流程图；本发明实施例用于MES的建模数据验证的建模辅助方法包括如下步骤：
步骤一、将需要验证的所有待校验表单的数据进行导入并整合在一起并形成整合数据。步骤一对应于图1中的标记102对应的数据导入。
本发明实施例方法中，需要验证的所有待校验表单为一个工艺流程对应的所有表单。
步骤一中通过EXCEL导入所述待校验表单的数据。
步骤二、对所述整合数据进行校验，当校验错误时形成对应的错误信息。步骤二对应于图1中的标记106对应的数据校验。
本发明实施例方法中，步骤二的校验内容包括所有BR作业规范和手动检查数据的流程。
步骤三、将校验过的数据以及对应的所述错误信息输出。步骤三对应于图1中的标记109对应的数据导出。
本发明实施例方法中，在步骤一之前还包括步骤：选择数据模板，如图1中的标记101对应的步骤所示。
在步骤一完成后以及步骤二之前还包括步骤：验证所述数据模板，如图1中的标记103对应的步骤所示。
当所述数据模板验证错误时即标记103对应的步骤判断结果为否时，会进行标记105对应的报错提示之后进行标记110对应的结束数据验证。
当所述数据模板验证正确时即标记103对应的步骤判断结果为是时，显示所述整合数据即进行标记104对应的数据显示，并并转到步骤二进行校验。
本发明实施例方法中，当步骤二的校验结果为校验成功时即标记106对应的步骤判断结果为是时，对校验过的所述整合数据进行拆分并形成拆分表单即进行标记107的文件拆分，校验成功时没有所述错误信息。
当校验成功时，步骤三中输出所述拆分表单，所述拆分表单用于导入到建模系统进行建模。所述拆分表单的数据通过EXCEL导入到建模系统。
当步骤二的校验结果中存在所述错误信息时即标记106对应的步骤判断结果为否时，通常会进行如标记108对应的错误信息显示，之后转到标记109对应的数据导出步骤，所述数据导出模块导出所述整合数据和所述错误信息并供工程师进行修改。工程师修改之后，会重复步骤二和三对修改后的所述整合数据进行处理。在其他实施例中，也能当步骤二的校验结果中存在所述错误信息时也进行所述整合数据的拆分，但是这时工程师进行数据修改后，需要从步骤一开始重复。
以上通过具体实施例对本发明进行了详细的说明，但这些并非构成对本发明的限制。在不脱离本发明原理的情况下，本领域的技术人员还可做出许多变形和改进，这些也应视为本发明的保护范围。
Claims (18)
1.一种用于MES的建模数据验证的建模辅助系统，其特征在于，包括：
数据导入模块，用于将需要验证的所有待校验表单的数据整合在一起并形成整合数据；
数据校验模块，用于对所述整合数据进行校验，当校验错误时形成对应的错误信息；
数据导出模块，用于将校验过的数据以及对应的所述错误信息输出。
2.如权利要求1所述的用于MES的建模数据验证的建模辅助系统，其特征在于，还包括：数据模板选择模块，用于选择数据模板；
数据模板验证模块，用于验证所述数据模板，当所述数据模板验证错误时结束数据验证，当所述数据模板验证正确时显示所述整合数据并将所述整合数据输入到所述数据校验模块进行校验。
3.如权利要求1所述的用于MES的建模数据验证的建模辅助系统，其特征在于，还包括：文件拆分模块，用于在所述数据校验模块校验成功时，对校验过的所述整合数据进行拆分并形成拆分表单，校验成功时没有所述错误信息。
4.如权利要求3所述的用于MES的建模数据验证的建模辅助系统，其特征在于：校验成功时，所述数据导出模块导出所述拆分表单，所述拆分表单用于导入到建模系统进行建模。
5.如权利要求1所述的用于MES的建模数据验证的建模辅助系统，其特征在于：当存在所述错误信息时，所述数据导出模块导出所述整合数据和所述错误信息并供工程师进行修改。
6.如权利要求1所述的用于MES的建模数据验证的建模辅助系统，其特征在于：需要验证的所有待校验表单为一个工艺流程对应的所有表单。
7.如权利要求6所述的用于MES的建模数据验证的建模辅助系统，其特征在于：所述数据导入模块通过EXCEL导入所述待校验表单的数据。
8.如权利要求4所述的用于MES的建模数据验证的建模辅助系统，其特征在于：所述拆分表单的数据通过EXCEL导入到建模系统。
9.如权利要求1所述的用于MES的建模数据验证的建模辅助系统，其特征在于：所述数据校验模块的校验内容包括所有BR作业规范和手动检查数据的流程。
10.一种用于MES的建模数据验证的建模辅助方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤一、将需要验证的所有待校验表单的数据进行导入并整合在一起并形成整合数据；
步骤二、对所述整合数据进行校验，当校验错误时形成对应的错误信息；
步骤三、将校验过的数据以及对应的所述错误信息输出。
11.如权利要求10所述的用于MES的建模数据验证的建模辅助方法，其特征在于：
在步骤一之前还包括步骤：选择数据模板；
在步骤一完成后以及步骤二之前还包括步骤：验证所述数据模板，当所述数据模板验证错误时结束数据验证，当所述数据模板验证正确时显示所述整合数据并转到步骤二进行校验。
12.如权利要求10所述的用于MES的建模数据验证的建模辅助方法，其特征在于：
当步骤二的校验结果为校验成功时，对校验过的所述整合数据进行拆分并形成拆分表单，校验成功时没有所述错误信息。
13.如权利要求12所述的用于MES的建模数据验证的建模辅助方法，其特征在于：当校验成功时，步骤三中输出所述拆分表单，所述拆分表单用于导入到建模系统进行建模。
14.如权利要求10所述的用于MES的建模数据验证的建模辅助方法，其特征在于：当步骤二的校验结果中存在所述错误信息时，所述数据导出模块导出所述整合数据和所述错误信息并供工程师进行修改。
15.如权利要求10所述的用于MES的建模数据验证的建模辅助方法，其特征在于：需要验证的所有待校验表单为一个工艺流程对应的所有表单。
16.如权利要求15所述的用于MES的建模数据验证的建模辅助方法，其特征在于：步骤一中通过EXCEL导入所述待校验表单的数据。
17.如权利要求13所述的用于MES的建模数据验证的建模辅助方法，其特征在于：所述拆分表单的数据通过EXCEL导入到建模系统。
18.如权利要求10所述的用于MES的建模数据验证的建模辅助方法，其特征在于：步骤二的校验内容包括所有BR作业规范和手动检查数据的流程。
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