CN111736374B - 液晶面板制造装置 - Google Patents
液晶面板制造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN111736374B CN111736374B CN202010082522.6A CN202010082522A CN111736374B CN 111736374 B CN111736374 B CN 111736374B CN 202010082522 A CN202010082522 A CN 202010082522A CN 111736374 B CN111736374 B CN 111736374B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- liquid crystal
- discharge lamps
- panel
- processed
- shutter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims abstract description 51
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 4
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 3
- -1 cerium activated strontium aluminate Chemical class 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004645 aluminates Chemical class 0.000 description 2
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 2
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 2
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/38—Devices for influencing the colour or wavelength of the light
- H01J61/42—Devices for influencing the colour or wavelength of the light by transforming the wavelength of the light by luminescence
- H01J61/44—Devices characterised by the luminescent material
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/1336—Illuminating devices
- G02F1/133602—Direct backlight
- G02F1/133604—Direct backlight with lamps
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
- G02F1/13378—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation
- G02F1/133788—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation by light irradiation, e.g. linearly polarised light photo-polymerisation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
Abstract
本发明提供一种液晶面板制造装置。实施方式的灯模块包括多个放电灯。放电灯包括发光部、以及设置于发光部的两端的非发光部。放电灯对含有光反应性物质的被处理面板照射光。多个放电灯中，各放电灯的直径Dmm与在径向上相邻的放电灯间的间距d1mm具有1.1D≦d1≦10D的关系。本发明的课题是减少紫外线对被处理面板的照射不均。
Description
技术领域
本发明的实施方式涉及一种灯模块(lamp module)及液晶面板制造装置。
背景技术
近年来，有如下的液晶面板制造装置，其通过对封入有含光反应性物质的液晶体的被处理面板，同时施加电压以及照射紫外线，来控制液晶体所含的单体的取向状态。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本专利特开2011-146363号公报
专利文献2:日本专利特开2009-266574号公报
发明内容
发明所要解决的问题
但，为了制造高性能的液晶面板，要求提高照射性能来减少紫外线对被处理面板的照射不均。
本发明所要解决的问题是提供一种能够减少紫外线对被处理面板的照射不均的灯模块及液晶面板制造装置。
解决问题的技术手段
实施方式的灯模块包括多个放电灯。放电灯包括发光部、以及设置于发光部的两端的非发光部。放电灯对含有光反应性物质的被处理面板照射光。多个放电灯中，各放电灯的直径D[mm]与在径向相邻上的放电灯间的间距d1[mm]具有1.1D≦d1≦10D的关系。
发明的效果
依据本发明，能够减少紫外线对被处理面板的照射不均。
附图说明
图1是实施方式的液晶面板制造装置的侧视图。
图2是实施方式的放电灯的侧视图。
图3是示意性表示液晶面板的剖面图。
图4是实施方式的灯模块的示意图。
图5是表示将取向分布加以比较的结果的图。
图6是实施方式的液晶面板制造装置所包括的快门的平面图。
图7是可动部关闭的快门的平面图。
图8是快门的可动部关闭的液晶面板制造装置的侧视图。
符号的说明
1：放电灯
6：被处理面板
7、8：基板
9：液晶层
10：发光管
11：灯头
12：接点
13：非发光部
20：电极
30：荧光体
40：照射部
41：灯模块
42：点灯装置
43：反射板
44：顶板
50：平台部
51：平台
52：顶升销
60：快门
61：开口
62：固定部
63、64、65、66：可动片
67：可动部
68：驱动部
68a、68b、68c、68d：驱动单元
100：液晶面板制造装置
D：直径
d1：间距
L1：发光长度
L2：管长
L3：全长
X1、d2、Y1：尺寸
X、Y、Z：轴
具体实施方式
以下所说明的实施方式的灯模块41包括多个放电灯1。放电灯1包括发光部、以及设置于发光部的两端的非发光部13。放电灯1对含有光反应性物质的被处理面板6照射光。多个放电灯1中，各放电灯的直径D[mm]与在径向上相邻的放电灯1间的间距d1[mm]具有1.1D≦d1≦10D的关系。
另外，以下所说明的实施方式的多个放电灯1是以在径向上相邻的放电灯1的发光部彼此在20[mm]以上、120[mm]以下的范围内重叠的方式呈锯齿状排列。
另外，以下所说明的实施方式的液晶面板制造装置100包括灯模块41及快门60。快门60配置于多个放电灯1与被处理面板6之间。快门60包括可动部67，所述可动部67以1000[mm/s]以上的驱动速度来开关。
另外，以下所说明的实施方式的被处理面板6包括液晶层9、以及夹持液晶层9而相向的一对基板7、8，多个放电灯1对已施加电压的液晶层9照射紫外线。
以下，基于附图，对本发明的实施方式进行说明。此外，以下所示的各实施方式并不限定本发明所公开的技术。另外，以下所示的各实施方式及各变形例能够在不矛盾的范围内适当组合。另外，各实施方式的说明中，对同一构成赋予同一符号，省略后述的说明。
实施方式
首先，使用图1，对实施方式的液晶面板制造装置的概要进行说明。图1是实施方式的液晶面板制造装置的侧视图。
此外，为了使说明容易理解，图1中图示出三维正交座标系，其包含将铅垂向下设为正方向、且将铅垂向上设为负方向的Z轴。所述正交座标系有时在后述说明所使用的其他附图中也示出。
如图1所示，实施方式的液晶面板制造装置100包括照射部40、平台部50、及快门60。液晶面板制造装置100是对配置于平台部50的被处理面板6照射紫外线来制造液晶面板的装置。
照射部40包括：灯模块41、点灯装置42、及反射板43。灯模块41包括多个放电灯1。放电灯1是利用经由点灯装置42而由未图示的电源装置所供给的电力，来放射对被处理面板6的处理而言适合的波长的紫外线。此处，使用图2，对放电灯1的构成例进行说明。
图2是实施方式的放电灯的侧视图。如图2所示，实施方式的放电灯1包括：发光管10、一对灯头11、一对接点12、一对电极20、及荧光体30。一对电极20设置于发光管10的长度方向的两端部，且与销状的一对接点12分别连接，所述接点12位于支撑发光管10的一对灯头11的端部。
放电灯1例如为管径D＝15.5[mm]、发光长度L1＝1650[mm]、管长L2＝1700[mm]、全长L3＝1714.1[mm]的热阴极荧光灯。另外，放电灯1的照度设定值例如能够设为0.5[mW/cm2](313[nm])。发光管10是以石英(SiO2)为主成分的硬质玻璃，使通过经由接点12的通电而产生的光透过。发光管10为发光部的一例。另一方面，存在将配置于发光管10的两端的灯头11及接点12统称为非发光部13的情况。
另外，放电灯1含有例如包含锶(Sr)、镁(Mg)及钡(Ba)中的一种以上的铝酸盐以及作为激活剂的铈(Ce)来作为荧光体30。具体而言，例如可应用SrAl12O19：Ce(铈激活铝酸锶)或者(MgSrBa)Al11O19：Ce来作为荧光体30。荧光体30例如涂布于发光管10的内表面。另外，在发光管10的内部封入有例如包含氩(Ar)、氖(Ne)等稀有气体的惰性气体以及水银。
反射板43通过使由放电灯1所放射的紫外线，以朝向平台部50的方式反射，来提高照射效率。图1所示的例子中，反射板43仅配置于灯模块41的背面侧(Z轴负方向侧)，但并不限定于此，例如，也可配置于照射部40或平台部50的内部。
平台部50包括平台51、以及顶升销(lift pin)52。平台51对载置于既定位置的被处理面板6施加电压。平台51例如能够使用放热性高的铝。另外，平台尺寸并无特别限制，例如可以是3000[mm](X轴方向)×3400[mm]的平台51。另外，若在平台51的表面涂布氟树脂，则可在面板交换后迅速地去除静电，能够高效地制造液晶面板。
顶升销52是使所载置的被处理面板6升降的升降机，主要用于被处理面板6的搬入搬出。具体而言，顶升销52接收从未图示的搬入搬出口搬入至平台部50的被处理面板6。另外，顶升销52使载置于平台51上的紫外线照射后的被处理面板6浮起，交给未图示的搬送机器人。
如上所述，实施方式的放电灯1能够通过放射对被处理面板6的处理而言适当的波长的紫外线，来高效地制造液晶面板。此处，使用图3，对被处理面板6进行说明。
图3是示意性表示液晶面板的剖面图。图3所示的被处理面板6包括一对基板7、8，以及设置于基板7与基板8之间的液晶层9。
基板7是例如透过红色、绿色、蓝色的光的彩色滤光片(未图示)配置于基材上，且由保护膜来覆盖彩色滤光片而成的彩色滤光片基板。基板8是以夹持液晶层9而与基板7相向的方式设置的相向基板，多个电极配置为阵列状。
液晶层9包含液晶组合物以及作为光反应性物质的聚合性单体。液晶层9通过吸收由放电灯1放射的具有特定波长的紫外线，而使聚合性单体聚合，通过平台51上的电压施加来控制取向的液晶组合物稳定化。
其次，对实施方式的灯模块41的多个放电灯1的配置进行说明。图4是实施方式的灯模块的示意图。
如图4所示，多个放电灯1分别安装于设置在顶板44的灯座(socket)(未图示)，是以放电灯1的长度方向沿着快门60的开关方向即X轴方向的方式分别平行地配置。此外，顶板44也可兼为反射板43(参照图1)。灯座是与使放电灯1点亮的点灯装置42(参照图1)电性连接，通过自点灯装置42经由灯座而对放电灯1供给电力，放电灯1点亮。通过放电灯1的点亮，而向载置于平台51上的被处理面板6照射紫外线。
另外，多个放电灯1是以在径向(Y轴方向)上相邻的放电灯1间的间距d1[mm]成为等间隔的方式来分别配置。具体而言，以相对于各放电灯1的直径D[mm](参照图2)而具有1.1D≦d1≦10D的关系的方式来配置。通过将间距d1[mm]规定于所述范围，能够遍及载置于平台51上的被处理面板6的整体来减少紫外线的照射不均，能够制造高性能的液晶面板。
另一方面，若间距d1[mm]超过10D，则由灯模块41照射的紫外线的均匀度下降。另外，若间距d1[mm]超过10D，则在每单位面积所配置的放电灯1的数量减少，因此无法满足既定的照度。因此，难以制造高性能的液晶面板。另外，若间距d1[mm]小于1.1D，则在径向上相邻的放电灯1的发光部(发光管10)或者非发光部13与灯座(未图示)干扰的可能性高，并不现实。
另外，灯模块41是以在径向上相邻的放电灯1的作为发光部的发光管10彼此仅重叠既定尺寸d2[mm]的方式呈锯齿状排列。尺寸d2[mm]对灯模块41的长边方向(X轴方向)的均匀度造成影响。具体而言，以图4所示的尺寸d2[mm]成为例如20[mm]以上、120[mm]以下的范围的方式来排列，由此能够减少紫外线对被处理面板6的照射不均，能够制造高性能的液晶面板。若尺寸d2[mm]小于20[mm]，则在重叠的部分的附近，照度相对下降，均匀度下降。另外，若尺寸d2[mm]超过120[mm]，则在重叠的部分的附近，照度相对增大，均匀度下降。关于此方面，使用图5所示的例子进行说明。
图5是表示将取向分布加以比较的结果的图。图5所示的例子中，将包括管径D＝15.5[mm]、发光长度L1＝1650[mm]的发光管10的多个放电灯1，以间距d1＝19[mm]、尺寸d2＝130、60、10[mm]来重叠而呈锯齿状排列，分别制作灯模块41，将取向分布加以比较。
另外，图5中，横轴的“测定点[mm]”是将图4所记载的尺寸d2的与X轴方向平行的中心规定为0[mm]，且将沿着灯轴方向而离开300[mm]的部位分别规定为300[mm]、900[mm]。另外，纵轴的所谓“313nm相对照度”，是如图4所记载，将对由于多个放电灯1的排列不同而引起的照度分布无影响的部位，具体而言为X＝+450[mm]、-450[mm]的照度值作为基准而加以标准化的值。照度值是利用照度计：UV-M03A(奥珂(ORC)制作所制造)、传感器：UV-SN31(奥珂(ORC)制作所制造)来测定的值。此外，X＝+450[mm]、-450[mm]的点的照度值虽相同，但在X＝+450[mm]与X＝-450[mm]的点的照度值不同的情况下，以将各自的照度值加以统计的平均值为基准而标准化。
如图5所示，在尺寸d2＝60[mm]的情况下，紫外线对被处理面板6的照射不均少，能够制造高性能的液晶面板。另一方面，在尺寸d2[mm]＝10[mm]的情况下，在测定点＝-300[mm]～300[mm]附近，照度相对下降，均匀度下降。另外，在尺寸d2[mm]＝130[mm]的情况下，在测定点＝-400[mm]～400[mm]附近，照度相对增大，均匀度下降。
回到图1，对液晶面板制造装置100进一步加以说明。快门60配置于照射部40与平台部50之间，对搬入至平台部50的被处理面板6，控制从照射部40照射的紫外线的照射时间或时序。此处，使用图6～图8，对快门60进一步加以说明。
图6是实施方式的液晶面板制造装置所包括的快门的平面图。图7是可动部关闭的快门的平面图。图8是快门的可动部关闭的液晶面板制造装置的侧视图。
如图6、图7所示，快门60包括：固定部62、可动部67、及驱动部68。从照射部40照射的紫外线经由开口61而朝向平台部50照射。开口61通过可动部67打开而形成于快门60的中央。开口61被设计为：能对将可动部67的开关方向即X轴方向的尺寸X1[mm]、固定部62所延伸存在的Y轴方向的尺寸Y1[mm]设为最大的被处理面板6，均等地照射从照射部40所放射的紫外线。具体而言，液晶面板制造装置100可对尺寸X1＝2970[mm]、尺寸Y1＝3370[mm]的被处理面板6进行加工。
如图7、图8所示，可动部67包括可动片63～可动片66。另外，驱动部68分别包括对可动片63～可动片66的开关加以控制的一对驱动单元68a～驱动单元68d。驱动单元68a～驱动单元68d例如还可包括线性马达(linear motor)以及其他的直线运动马达。当通过未图示的快门控制部，可动部67进行开→关的运行时，驱动单元68a、驱动单元68b使可动片63、可动片64在X轴正方向侧分别移动，驱动单元68c、驱动单元68d使可动片65、可动片66在X轴负方向侧分别移动。另外，当可动部67进行关→开的运行时，驱动单元68a、驱动单元68b使可动片63、可动片64在X轴负方向侧分别移动，驱动单元68c、驱动单元68d使可动片65、可动片66在X轴正方向侧分别移动。此外，驱动部68还可包括将旋转马达的驱动转换为直线运动的直线运动机构。
如上所述，快门60对于搬入至平台部50的被处理面板6，控制由照射部40照射的紫外线的照射时间或时序。具体而言，如图8所示，在顶升销52上升的状态下搬入至平台部50后，通过顶升销52的下降而载置于平台51上的被处理面板6开始施加既定的电压后，从照射部40向被处理面板6实施紫外线照射。
即，从照射部40向被处理面板6的紫外线照射能够通过控制由驱动部68所带来的可动部67的驱动速度，减少可动部67的关→开、开→关的状态过渡所需要的时间来实现。具体而言，液晶面板制造装置100若以快门60的可动部67以例如1000[mm/s]以上、进而1000[mm/s]以上且2000[mm/s]以下的驱动速度进行开关的方式来控制驱动部68，则紫外线对被处理面板6的照射不均减少。此处，所谓“驱动速度”，是通过将基于可动部67进行关→开、开→关的状态过渡所需要的驱动时间分别算出的驱动速度，加以平均来算出。此外，可动部67维持“开”或“关”的状态的时间不包含于驱动时间。
表1是表示可动部的驱动速度与面板性能的关系的图。表1中，将使可动部67的驱动速度在500[mm/s]～3000[mm/s]之间变更时的被处理面板6的状态，与快门耐久性并列示出。表1中，“○”、“△”、“×”是以○＞△＞×的顺序来分别表示被处理面板6的状态或者快门60的耐久性良好。
表1
如表1所示，若可动部67的驱动速度为1000[mm/s]以上，则例如图6所示的被处理面板6获得遍及可动部67的驱动方向即X轴方向的整体而良好的液晶面板。另一方面，若可动部67的驱动速度小于1000[mm/s](500[mm/s]、700[mm/s])，则在可动部67的驱动方向产生照射不均，存在无法获得所需品质的液晶面板的情况。
此外，可动部67的驱动速度有时对快门60的耐久性造成影响。如表1所示，虽在可动部67的驱动速度为2000[mm/s]以下的情况下，未确认到对快门60的耐久性的影响，但若可动部67的驱动速度超过2000[mm/s](2500[mm/s]、3000[mm/s])，则在快门60的驱动部68或可动部67容易产生经时劣化。
如上所述，实施方式的灯模块41包括多个放电灯1。放电灯1包括发光部、以及设置于发光部的两端的非发光部13。放电灯1对含有光反应性物质的被处理面板6照射光。多个放电灯1中，各放电灯的直径D[mm]与在径向上相邻的放电灯1间的间距d1[mm]具有1.1D≦d1≦10D的关系。因此，能够减少紫外线对被处理面板6的照射不均。
另外，实施方式的多个放电灯1是以在径向上相邻的放电灯1的发光部彼此在20[mm]以上、120[mm]以下的范围内重叠的方式呈锯齿状排列。因此，能够进而减少紫外线对被处理面板6的照射不均。
另外，实施方式的液晶面板制造装置100包括灯模块41及快门60。快门60配置于多个放电灯1与被处理面板6之间。快门60包括以1000[mm/s]以上的驱动速度来开关的可动部67。因此，能够减少紫外线对被处理面板6的照射不均。
此外，所述实施方式中，虽已说明放电灯1含有包含锶(Sr)、镁(Mg)及钡(Ba)中的一种以上的铝酸盐来作为荧光体30，但并不限定于此，也可应用例如LaPO4：Ce(铈激活磷酸镧)来作为荧光体30。另外，也可代替热阴极荧光灯而使用金属卤化物灯来作为放电灯1。
另外，所述实施方式中，虽已说明快门60的可动部67沿着X轴方向而开关，但并不限定于此，也可沿着Y轴方向而开关。
虽已对本发明的实施方式加以说明，但实施方式是作为例子而提出，并非想要限定发明的范围。实施方式能够以其他的多种方式来实施，能够在不脱离发明的要旨的范围内进行各种省略、置换、变更。实施方式或其变形包含于发明的范围或要旨中，同样包含于专利申请范围所记载的发明及其均等的范围内。
Claims (3)
1.一种液晶面板制造装置，其中包括：
多个放电灯，所述多个放电灯包括发光部、以及设置于所述发光部的两端的非发光部，且对含有光反应性物质的被处理面板照射光；以及
快门，配置于所述多个放电灯与所述被处理面板之间；
所述多个放电灯中，各放电灯的直径D与在径向上相邻的放电灯间的间距d1具有1.1D≦d1≦10D的关系，直径D与间距d1的单位为mm；
所述快门包括可动部，所述可动部以1000mm/s以上的驱动速度来开关；
所述可动部包括多个第一可动片以及多个第二可动片；
当所述快门自开状态向关状态运行时，所述多个第一可动片在第一方向移动，所述多个第二可动片在和所述第一方向相反的第二方向移动；
当所述快门自关状态向开状态运行时，所述多个第一可动片在所述第二方向移动，所述多个第二可动片在所述第一方向移动。
2.根据权利要求1所述的液晶面板制造装置，其中，
所述多个放电灯是以在径向上相邻的放电灯的发光部彼此在20mm以上、120mm以下的范围内重叠的方式呈锯齿状排列。
3.根据权利要求1或2所述的液晶面板制造装置，其中，
所述被处理面板包括液晶层、以及夹持所述液晶层而相向的一对基板；并且
所述多个放电灯对已施加电压的所述液晶层照射紫外线。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019-056647 | 2019-03-25 | ||
| JP2019056647A JP7188221B2 (ja) | 2019-03-25 | 2019-03-25 | 液晶パネル製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN111736374A CN111736374A (zh) | 2020-10-02 |
| CN111736374B true CN111736374B (zh) | 2024-01-05 |
Family
ID=72643069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202010082522.6A Active CN111736374B (zh) | 2019-03-25 | 2020-02-07 | 液晶面板制造装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7188221B2 (zh) |
| KR (1) | KR20200115050A (zh) |
| CN (1) | CN111736374B (zh) |
| TW (1) | TWI816977B (zh) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007220660A (ja) * | 2006-01-17 | 2007-08-30 | Matsushita Electric Works Ltd | 放電灯点灯装置並びに照明器具 |
| WO2010097992A1 (ja) * | 2009-02-26 | 2010-09-02 | シャープ株式会社 | 光照射装置、光照射方法およびこれらを用いて製造された液晶表示パネル |
| JP2016072087A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 東芝ライテック株式会社 | 紫外線照射装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009266574A (ja) | 2008-04-24 | 2009-11-12 | Harison Toshiba Lighting Corp | 紫外線放電ランプ |
| JP5370299B2 (ja) | 2009-12-16 | 2013-12-18 | ウシオ電機株式会社 | 蛍光ランプ |
| JP5857863B2 (ja) | 2011-09-22 | 2016-02-10 | 東芝ライテック株式会社 | 紫外線照射装置 |
| JP6488950B2 (ja) * | 2015-08-28 | 2019-03-27 | 東芝ライテック株式会社 | 液晶パネルの製造装置 |
| CN106773329B (zh) | 2015-11-25 | 2020-02-07 | 群创光电股份有限公司 | 曝光系统及曝光方法 |
-
2019
- 2019-03-25 JP JP2019056647A patent/JP7188221B2/ja active Active
-
2020
- 2020-01-03 KR KR1020200000653A patent/KR20200115050A/ko unknown
- 2020-02-07 CN CN202010082522.6A patent/CN111736374B/zh active Active
- 2020-02-14 TW TW109104796A patent/TWI816977B/zh active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007220660A (ja) * | 2006-01-17 | 2007-08-30 | Matsushita Electric Works Ltd | 放電灯点灯装置並びに照明器具 |
| WO2010097992A1 (ja) * | 2009-02-26 | 2010-09-02 | シャープ株式会社 | 光照射装置、光照射方法およびこれらを用いて製造された液晶表示パネル |
| JP2016072087A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | 東芝ライテック株式会社 | 紫外線照射装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWI816977B (zh) | 2023-10-01 |
| JP7188221B2 (ja) | 2022-12-13 |
| JP2020160136A (ja) | 2020-10-01 |
| TW202036126A (zh) | 2020-10-01 |
| CN111736374A (zh) | 2020-10-02 |
| KR20200115050A (ko) | 2020-10-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100866665B1 (ko) | 액정 패널 제조 장치 및 액정 패널의 제조 방법 | |
| JP5180439B2 (ja) | 紫外光照射装置及び照射方法、基板製造装置及び基板製造方法 | |
| TWI712088B (zh) | 熱處理裝置 | |
| CN1220771A (zh) | 背景照明用的平面荧光灯和带有这种平面荧光灯的液晶显示装置 | |
| CN1621920A (zh) | 平面荧光灯和使用平面荧光灯的后照明装置 | |
| JP4437641B2 (ja) | 熱処理装置 | |
| CN106773549A (zh) | 一种高均匀性led平行光紫外曝光机光源系统 | |
| KR100379873B1 (ko) | 막질개량방법 | |
| JP2003197555A (ja) | 閃光放射装置および光加熱装置 | |
| WO2009125718A1 (ja) | 液晶表示装置の製造方法及びその製造装置 | |
| JP2007005588A (ja) | 紫外線照射装置および光照射方法 | |
| TW201126234A (en) | Manufacturing device for liquid crystal display panel | |
| CN111736374B (zh) | 液晶面板制造装置 | |
| CN206848690U (zh) | 一种高均匀性led平行光曝光机光源系统 | |
| TW201742121A (zh) | 熱處理裝置 | |
| KR101408531B1 (ko) | 광원 장치 및 광 조사 장치 | |
| TWI470667B (zh) | Fluorescent light | |
| CN102121677B (zh) | 荧光灯 | |
| TW202036656A (zh) | 放電燈及液晶面板製造裝置 | |
| JP6220501B2 (ja) | 熱処理装置 | |
| JP4207488B2 (ja) | 光加熱装置 | |
| WO2019181046A1 (ja) | 熱処理装置および熱処理方法 | |
| JP2000234872A (ja) | 熱処理装置 | |
| KR100408999B1 (ko) | 급속열처리 공정을 이용한 평면 디스플레이 패널의 제조방법 | |
| JP7300365B2 (ja) | 熱処理装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |