CN106773329B - 曝光系统及曝光方法 - Google Patents

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Abstract

本发明揭露一种曝光系统及曝光方法。曝光系统可对一物件进行一曝光工艺，并包括一移载装置及一光源装置。移载装置承载物件。光源装置可发出光线照射物件，并具有沿一第一方向并排配置的多个灯管组，该多个灯管组包含相邻的一第一灯管组与一第二灯管组，第一灯管组具有一第一灯管与一第二灯管，第一灯管与第二灯管分别沿与第一方向垂直的一第二方向延伸及拼接而具有一第一拼接处，第二灯管组具有一第三灯管与一第四灯管，第三灯管与第四灯管分别沿第二方向延伸及拼接而具有一第二拼接处，且第一拼接处与第二拼接处于第一方向上为错开设置。通过实施本发明，可令物件的曝光均齐度更低，藉此达到均匀化曝光的目的。

Description

曝光系统及曝光方法
技术领域
本发明关于一种曝光系统及曝光方法。
背景技术
随着科技的进步，平面显示装置已经广泛的被运用在各种领域，尤其是液晶显示装置，因具有体型轻薄、低功率消耗及无辐射等优越特性，已经渐渐地取代传统阴极射线管显示装置，而应用至许多种类的电子产品中，例如行动电话、可携式多媒体装置、笔记本电脑、液晶电视及液晶荧幕等等。
于曝光工艺中，例如目前液晶显示装置的制造业者在提升薄膜晶体管液晶显示装置(TFT LCD)的广视角技术(Multi-domain Vertical Alignment,MVA)上，是利用一聚合物稳定配向(或称聚合物持续配向，Polymer Sustained Alignment,PSA)的工艺技术来提升开口率与对比等光学性能。其中，PSA技术是在面板的液晶滴入(One Drop Filling,ODF)工艺中，混合一光反应性单体(monomer)后通电，并进行紫外光曝光照射，使液晶分子内的光反应性单体硬化，并使硬化后的单体依据薄膜晶体管基板上的一图案化透明导电层的图案进行排列，以通过此硬化单体来达到使液晶配向的目的。
一般业界常见的PSA曝光设备中，是使用固定光源与照度的紫外光，配合一反射板于一连续曝光时间下对固定距离面板的液晶层内的光反应单体持续照射，使其产生光聚合反应后而使液晶分子产生稳定配向而具有广视角的目的。不过，在进行大尺寸面板的曝光工艺时，由于面板的尺寸相当大，若曝光机使用长度太长的灯管，则会有灯管弯曲(bending)的问题，或是灯管内部涂层不均所造成的发光强度不均匀的现象，使得曝光的均匀度无法符合需求。
发明内容
本发明的目的为提供一种新颖的曝光系统及曝光方法。通过本发明的曝光系统及曝光方法，可达到均匀化曝光的目的。
为达上述目的，依据本发明的一种曝光系统，可对一物件进行一曝光工艺，并包括一移载装置以及一光源装置。移载装置承载物件。光源装置设置于移载装置上，并可发出光线照射物件，光源装置具有沿一第一方向并排配置的多个灯管组，该多个灯管组包含相邻的一第一灯管组与一第二灯管组，第一灯管组具有一第一灯管与一第二灯管，第一灯管与第二灯管分别沿与第一方向垂直的一第二方向延伸及拼接而具有一第一拼接处，第二灯管组具有一第三灯管与一第四灯管，第三灯管与第四灯管分别沿第二方向延伸及拼接而具有一第二拼接处，且第一拼接处与第二拼接处于第一方向上为错开设置。
为达上述目的，依据本发明的一种曝光方法，是通过一曝光系统对一物件进行曝光工艺，曝光系统具有一移载装置及一光源装置，移载装置承载物件，光源装置设置于移载装置上，并可发出光线照射物件，曝光方法包括以下步骤：使光源装置与物件相对移动，其中光源装置具有沿一第一方向并排配置的多个灯管组，该多个灯管组包含相邻的一第一灯管组与一第二灯管组，第一灯管组具有一第一灯管与一第二灯管，第一灯管与第二灯管分别沿与第一方向垂直的一第二方向延伸及拼接而具有一第一拼接处，第二灯管组具有一第三灯管与一第四灯管，第三灯管与第四灯管分别沿第二方向延伸及拼接而具有一第二拼接处，且第一拼接处与第二拼接处于第一方向上为错开设置；以及由该多个灯管组发射光线照射物件。
在一实施例中，第一灯管具有一第一端，第三灯管具有与第一端同侧的一第二端，第一端沿第一方向上的一延伸线与第二端沿第一方向上的另一延伸线之间的最短距离介于光源装置任一支灯管沿第二方向长度的百分之二与百分之五十之间。
在一实施例中，第一灯管与第二灯管沿第二方向的长度不相同。
在一实施例中，该多个灯管组沿第二方向上具有相对的一第一侧边与一第二侧边，第一侧边与第二侧边为不齐平。
在一实施例中，于分别与第一方向及第二方向垂直的一第三方向上，该多个灯管组完全覆盖物件。
在一实施例中，该多个灯管组更包含与第一灯管组不相邻的一第三灯管组，第三灯管组具有一第五灯管与一第六灯管，第五灯管与第六灯管分别沿第二方向延伸及拼接而具有一第三拼接处，第三拼接处位于第一拼接处沿第一方向的延伸线上，且第一拼接处与第三拼接处之间具有至少一个灯管组。
在一实施例中，物件是组立液晶面板或是具有配向膜层的透光基板。
在一实施例中，于使光源装置与物件相对移动的步骤中，是使该多个灯管组与物件沿第一方向产生相对移动，或使该多个灯管组与物件沿第二方向产生相对移动，或使该多个灯管组与物件产生相对旋转移动。
在一实施例中，该多个灯管组发射光线而具有一照射范围，且于使光源装置与物件相对移动的步骤中，物件位于照射范围内。
承上所述，因本发明的曝光系统及曝光方法中，由于光源装置所具有的多个灯管组是分别由多支长条型灯管拼接而成，因此，两支灯管的拼接处对应的位置的照度相对较低。因而本发明利用光源装置的相邻灯管组的两拼接处于一方向上为错开设置，再配合光源装置与物件之间的相对移动，使在相同积光量的情况下，相较于已知技术而言，物件的曝光均齐度越低，藉此达到均匀化曝光的目的。
附图说明
图1A为本发明较佳实施例的一种曝光系统对一物件进行曝光工艺的示意图。
图1B为图1A的曝光系统的俯视示意图。
图2A为一种显示面板的剖视示意图。
图2B为另一种显示面板的剖视示意图。
图3为本发明较佳实施例的一种曝光方法的流程步骤图。
图4A至图4E分别为配合图3的流程步骤的曝光系统的动作示意图。
具体实施方式
以下将参照相关图式，说明依本发明较佳实施例的曝光系统及曝光方法，其中相同的元件将以相同的参照符号加以说明。
请参照图1A及图1B所示，其中，图1A为本发明较佳实施例的一种曝光系统1对一物件2进行曝光工艺的示意图，而图1B为图1A的曝光系统1的俯视示意图。于此，图1A未显示曝光系统1的移载装置11，而图1B为图1A的曝光系统1沿一第三方向D3的俯视示意图。
曝光系统1可对一物件2进行一曝光工艺，并包括一移载装置11及一光源装置12。其中，物件2可为具有配向膜层的透光基板或是一组立液晶面板(assembly liquidcrystal cell)，或是其他需利用曝光机(光源装置12)进行曝光工艺的面板、基板或物件。
若物件2为具有配向膜层的透光基板时，则光源装置12的灯管所发出的紫外光为偏振光线，偏振光可使基板上的配向膜层(材料例如为聚亚酰胺，polyimide,PI)的分子结构发生不均匀性的光聚合、异构化或裂解反应，诱使配向膜层表面上的化学键结构产生特殊的方向性，以进一步诱导液晶分子可顺向排列而达到光配向的目的。
若物件2为组立液晶面板时，则曝光系统1可对组立液晶面板进行的曝光工艺，可使混合于组立液晶面板的液晶中，或混合于配向膜层内，或混合于液晶中及配向膜层内的光反应单体聚合成可控制液晶排列的高分子配向层。其中，所谓的“组立液晶面板”是指已完成上、下基板及液晶层的填充及组装，但未进行切割而成为单一显示面板产品的面板。其中，一个组立液晶面板内可包含一个显示面板(包含一组上、下基板及一个液晶层)，或包含多组显示面板(包含多组上、下基板及多个液晶层，各上、下基板与一液晶层可组成一显示面板，但未经切割工艺)，本发明并不加以限定组立液晶面板内含有的显示面板的数量。
请先参照图2A及图2B所示，以说明一个显示面板3、3a的结构。于此，图2A及图2B是显示一个切割完成的显示面板3、3a的结构，并非显示一个组立液晶面板的结构(组立液晶面板可包含一个显示面板3、3a或多个显示面板3、3a)。
如图2A所示，本实施例的显示面板3具有一第一基板31、一第二基板32及一液晶层33(液晶分子未显示)，液晶层33夹置于第一基板31与第二基板32之间。其中，第一基板31可为一薄膜晶体管基板，而第二基板32可为一彩色滤光基板，不过，在其它的实施例中，彩色滤光基板上的一黑色矩阵层(black matrix)及一彩色滤光层(材料例如为有机光刻胶材料)也可分别设置于薄膜晶体管基板上，使第一基板31成为一BOA(BM on array)基板，或成为一COA(color filter on array)基板。
第一基板31及第二基板32分别包含一高分子薄膜层311、321及一透光基板312、322。高分子薄膜层311、321的材料例如但不限于为聚亚酰胺(polyimide,PI)。其中，高分子薄膜层311设置于面向第二基板32的透光基板312的一侧，而高分子薄膜层321设置于面向第一基板31的透光基板322的一侧。另外，显示面板3更具有一光反应单体材料(monomer，图未显示)，于此，光反应单体材料可混合于液晶层33内，或混合于该等高分子薄膜层311、321内，或混合于液晶层33及该等高分子薄膜层311、321内，本发明并不限定。另外，第一基板31更包含一第一透明导电层313，而第二基板32更包含一第二透明导电层323。第一透明导电层313或第二透明导电层323的材料例如可为铟锡氧化物(indium-tin oxide,ITO)、铟锌氧化物(indium-zinc oxide,IZO)、铝锌氧化物(aluminum-zinc oxide,AZO)、镓锌氧化物(GZO)或锌氧化物(zinc oxide,ZnO)，并不加以限定。其中，第一透明导电层313设置于透光基板312及高分子薄膜层311之间，而第二透明导电层323设置于透光基板322及高分子薄膜层321之间。此外，显示面板3更可具有一密封材料(如密封胶)34，密封材料34设置于第一基板31与第二基板32的周缘，并与第一基板31及第二基板32形成一密闭空间，而液晶层33是设置于密闭空间内。
特别一提的是，在本实施例中，第一透明导电层313为一图案化透明导电层，第二透明导电层323为一非图案化透明导电层，不过，在其它的实施态样中，第二透明导电层323亦可为一图案化透明导电层。另外，本实施例的密封材料34是设置于高分子薄膜层311、第一透明导电层313及高分子薄膜层321、第二透明导电层323之间而与高分子薄膜层311、321直接接触，不过，在图2B的实施态样中，显示面板3a的高分子薄膜层311、第一透明导电层313及高分子薄膜层321、第二透明导电层323可位于密封材料34、第一基板31及第二基板32所形成的密闭空间内，使得密封材料34设置于透光基板312与透光基板322之间而与透光基板312与透光基板322直接接触。此外，显示面板3(或3a)的结构只是举例，并不可用以限制本发明。
请再参照图1A及图1B所示，在本实施例中，物件2是以一组立液晶面板为例。其中，曝光系统1并非限定只对一个物件2(组立液晶面板)进行曝光工艺，当然，曝光系统1也可通过一交换装置(图未显示)进行面板的交换，以对更多物件2进行曝光工艺。交换装置可例如包含一机械手臂，并可夹持物件2而将物件2装载及卸载(load/unload)。换言之，交换装置可对物件2进行装载及卸载工作。于此，装载例如是以机械手臂夹持一尚未进行曝光工艺的物件2置放于移载装置11上，而卸载是指夹持已完成曝光工艺的物件2离开移载装置11。另外，当物件2装载完成后，曝光系统1可对物件2(组立液晶面板)进行对位、扎针及通电(可先通电再曝光，或一边通电一边曝光均可)等工作。其中，通电的目的是使(组立液晶面板)的显示面板3的第一透明导电层313与第二透明导电层323之间产生一电场，使液晶层33内的液晶依据第一基板31的第一透明导电层313的图案(即slit pattern)进行排列后，于曝光工艺中使光反应性单体聚合形成高分子配向层，进而达到使液晶配向的目的，藉此提升显示面板的开口率与对比等光学性能。
当交换装置夹持物件2而将物件2装载于移载装置11上，移载装置11可移动及承载物件2，使物件2移至光源装置12的照射范围内。其中，移载装置11可例如但不限于包含一线性电机、一导轨、一机械手臂，或包含一气浮式(Air floating)移动装置。于此，移载装置11是以机械式移动装置(具有载台、移动轨道等设备)为例。
光源装置12设置于移载装置11上，并可发出光线(例如但不限于为紫外光)照射物件2。光源装置12具有一灯箱124及多个灯管组，该多个灯管组沿一第一方向D1并排配置于灯箱124内。于此，如图1B所示，沿与第一方向D1垂直的一第二方向D2延伸的整列的多支灯管称为一灯管组(可二支或二支以上的灯管为一组)，而且，由于物件2的尺寸沿第一方向D1的尺寸大于一支灯管的长度，故本实施例的该多个灯管组中的每一灯管组均沿第二方向D2延伸，且均为多支长条型灯管沿第二方向D2拼接而成。其中，为了清楚显示该多个灯管组的排列，图1B的灯箱124是以虚线表示。
在本实施例中，该多个灯管组沿第二方向D2上具有相对的一第一侧边S1与一第二侧边S2，第一侧边S1与第二侧边S2为不齐平。具体而言，由于本实施例的该多个灯管组是采用多个灯管拼接的方式设置于灯箱124内，且于第二方向D2上，位于相对的第一侧边S1与第二侧边S2上的该多个灯管组的边缘成交错状排列，使得第一侧边S1与第二侧边S2为不齐平的形状(侧边不形成直线状，而是不规则排列)。
另外，该多个灯管组包含相邻的一第一灯管组121与一第二灯管组122。在本实施例中，第一灯管组121例如位于该多个灯管组的中间区域，并具有一第一灯管1211与一第二灯管1212，而第二灯管组122与第一灯管组121相邻，并具有一第三灯管1221与一第四灯管1222。其中，第一灯管1211与第二灯管1212沿第二方向D2的长度可相同或不相同，且第三灯管1221与第四灯管1222沿第二方向D2的长度可相同或不相同。本实施例是以第一灯管1211与第二灯管1212沿第二方向D2的长度不相同，且第三灯管1221与第四灯管1222沿第二方向D2的长度亦不相同为例。
第一灯管1211与第二灯管1212分别沿第二方向D2延伸及拼接而具有一第一拼接处P1，而第三灯管1221与第四灯管1222亦分别沿第二方向D2延伸及拼接而具有一第二拼接处P2，且第一拼接处P1与第二拼接处P2于第一方向D1上为错开设置。换言之，本实施例的两相邻的灯管组，例如第一灯管组121与第二灯管组122的两拼接处P1、P2不会同在第一方向D1的同一延伸线L上，而是错开排列。另外，第一灯管1211具有一第一端E1，第三灯管1221具有与第一端E1同侧的一第二端E2，且第一端E1沿第一方向D1上的一延伸线L1与第二端E2沿第一方向D1上的另一延伸线L2之间的最短距离d介于光源装置12任一支灯管沿第二方向D2长度的百分之二与百分之五十之间(2％的灯管长度≦最短距离d≦50％的灯管长度)。
此外，本实施例的光源装置12更包含一第三灯管组123，且第三灯管组123与第一灯管组121不相邻。其中，第三灯管组123具有一第五灯管1231与一第六灯管1232，第五灯管1231与第六灯管1232同样分别沿第二方向D2延伸及拼接而具有一第三拼接处P3，且第三拼接处P3与第一拼接处P1(或第二拼接处P2)不相邻，但是，第三拼接处P3位于第一拼接处P1沿第一方向D1的延伸线上，且第一拼接处P1与第三拼接处P3之间具有至少一个灯管组。换言之，第一拼接处P1沿第一方向D1的延伸线上相隔至少一个灯管组，具有由第三灯管组123的第五灯管1231与第六灯管1232所构成的第三拼接处P3。在本实施例的光源装置12中，第一拼接处P1沿第一方向D1的延伸线上相隔6个灯管组(称为pattern 7)，具有由第三灯管组123的第五灯管1231与第六灯管1232所构成的第三拼接处P3。具体来说，在本实施例中，第一个灯管组的拼接处在沿第二方向D2上间隔了6个灯管组后，第7个灯管组的拼接处才会与第一个灯管组的拼接处同在第一方向D1的延伸线上。不过，在不同的实施例中，第一拼接处P1与第三拼接处P3之间也可具有不同数量的灯管组(例如4组，称为pattern 5，或其他数量)，本发明并不限定。
另外，请参照图3并配合图4A至图4E所示，以说明本发明较佳实施例的一种曝光方法。其中，图3为本发明较佳实施例的一种曝光方法的流程步骤图，而图4A至图4E分别为配合图3的流程步骤的曝光系统1的动作示意图。为了清楚说明，图4A至图4E中只显示曝光系统1的光源装置12的该多个灯管组与物件2。
本发明的曝光方法是通过曝光系统1对物件2进行曝光工艺，曝光系统1具有移载装置11及光源装置12，移载装置11承载物件2，而光源装置12设置于移载装置11上，并可发出光线照射物件2。如图3所示，本发明的曝光方法包括以下步骤S01及步骤S02。
步骤S01为：使光源装置12与物件相对移动，其中光源装置12具有沿第一方向D1并排配置的多个灯管组，该多个灯管组包含相邻的第一灯管组121与第二灯管组122，第一灯管组121具有第一灯管1211与第二灯管1212，第一灯管1211与第二灯管1212分别沿与第一方向D1垂直的第二方向D2延伸及拼接而具有第一拼接处P1，第二灯管组122具有第三灯管与第四灯管，第三灯管与第四灯管分别沿第二方向延伸及拼接而具有第二拼接处，且第一拼接处与第二拼接处于第一方向上为错开设置。另外，步骤S02为：由该多个灯管组发射光线照射物件2。
在使光源装置12与物件2相对移动的步骤S01中，是使光源装置12与物件2沿第一方向D1产生相对移动。在本实施例中，如图4A及图4B所示，是使光源装置12的该多个灯管组以上、下来回的方式，即光源装置12于第一方向D1上与物件2产生相对移动，但并不以此为限，在不同的实施例中，也可光源装置12不动，但物件2沿第一方向D1上、下移动(物件2的移动可通过移载装置11或其他装置来完成)，或者光源装置12与物件2两者同时移动，以产生沿第一方向D1上的相对移动，并不限制。
在另一实施例中，如图4C及图4D所示，也可使光源装置12与物件2沿第二方向D2(左、右)产生相对移动。不过，由于在图4A、图4B的第一方向D1上的相对移动中，光源装置12与物件2的相对移动范围较大，故曝光系统1的空间利用率较佳(可占有较小的空间)。此外，在又一实施例中，如图4E所示，也可使光源装置12与物件2之间产生相对旋转移动，于此，是光源装置12相对物件2旋转，本发明并不限制移动或转动方式。
要特别注意的是，不论是哪种移动或旋转方式，光源装置12的该多个灯管发射光线于第一方向D1与第二方面D2所构成的平面上具有一照射范围，且于上述的相对移动的步骤中，物件2都必须位于照射范围内。以图4A及图4B为例，于分别与第一方向D1及第二方向D2垂直的第三方向D3上，该多个灯管组与物件2相对移动时，该多个灯管组须完全覆盖在物件2上。换言之，于俯视方向上(即第三方向D3上)，该多个灯管组或物件2于移动或转动过程中，任何一支灯管都不可超出物件2而使部分的物件2没有照射到光线(物件2需位于照射范围内)。
此外，在一实施例中，在光源装置12与物件2沿第三方向D3的距离为38mm时，若光源装置12与物件2不相对移动，则物件2的曝光均齐度为±25.9％；若光源装置12与物件2沿第一方向D1上相对移动时，则在相同积光量的情况下，物件2的曝光均齐度可达±11.1％(曝光均齐度±百分比越低，表示曝光均匀度越好)。在另一实施例中，在光源装置12与物件2沿第三方向D3的距离为900mm时，若光源装置12与物件2不相对移动，则物件2的曝光均齐度为±8.6％；若光源装置12与物件2沿第一方向D1上相对移动时，则在相同积光量的情况下，物件2的曝光均齐度可达±1.8％。
此外，在又一实施例中，在光源装置12与物件2沿第三方向D3的距离为38mm时，若光源装置12与物件2沿第一方向D1上相对移动时，以上述pattern 5的光源装置照射物件2时，物件2的曝光均齐度为±16％，不过，若以上述pattern 7的光源装置12照射物件2时(相同积光量)，曝光均齐度可达±11％，表示于光源装置12的该多个灯管组中，位于沿第一方向D1的延伸线上的两不相邻的灯管组的两拼接处，若两者之间间隔越多的灯管组，则物件2的曝光均齐度越低，表示曝光越均匀。
承上，由于曝光系统1的光源装置12所具有的多个灯管组是分别由多支长条型灯管拼接而成，因此两支灯管的拼接处对应的位置的照度相对较低，若以已知固定光源及固定照度的光线对固定距离的物件2进行照射的话，会使物件2的曝光均匀度不佳，无法符合需求。本实施例是利用光源装置12的相邻灯管组121、122的两拼接处P1、P2于第一方向D1上为错开设置，配合光源装置12与物件2之间的相对移动，使在相同积光量的情况下，物件2的曝光均齐度越低，藉此达到均匀化曝光的目的。
综上所述，因而本发明利用光源装置的相邻灯管组的两拼接处于一方向上为错开设置，再配合光源装置与物件之间的相对移动，使在相同积光量的情况下，相较于已知技术而言，物件的曝光均齐度越低，藉此达到均匀化曝光的目的。
以上所述仅为举例性，而非为限制性者。任何未脱离本发明的精神与范畴，而对其进行的等效修改或变更，均应包含于权利要求中。

Claims (10)

1.一种曝光系统，用于对一物件进行一曝光工艺，其特征在于，该曝光系统包括：
移载装置，承载该物件；以及
一光源装置，设置于该移载装置上，并发出光线照射该物件，该光源装置具有沿一第一方向并排配置的多个灯管组，该多个灯管组包含依序相邻设置的一第一灯管组、一第二灯管组与另一灯管组，该第二灯管介于该另一灯管组与该第一灯管组之间，该第一灯管组具有一第一灯管与一第二灯管，该第一灯管与该第二灯管分别沿与该第一方向垂直的一第二方向延伸及拼接而具有一第一拼接处，该第二灯管组具有一第三灯管与一第四灯管，该第三灯管与该第四灯管分别沿该第二方向延伸及拼接而具有一第二拼接处；
其中，于该第一方向上，该第一拼接处、该第二拼接处与该另一灯管组的拼接处彼此互相错开设置。
2.如权利要求1所述的曝光系统，其特征在于，该第一灯管具有一第一端，该第三灯管具有与该第一端同侧的一第二端，该第一端沿该第一方向上的一延伸线与该第二端沿该第一方向上的另一延伸线之间的最短距离大于或等于该光源装置任一支灯管沿该第二方向长度的百分之二，且小于或等于该光源装置任一支灯管沿该第二方向长度的百分之五十。
3.如权利要求1所述的曝光系统，其特征在于，该第一灯管与该第二灯管沿该第二方向的长度不相同。
4.如权利要求1所述的曝光系统，其特征在于，该多个灯管组沿该第二方向上具有相对的一第一侧边与一第二侧边，该第一侧边与该第二侧边为不齐平。
5.如权利要求1所述的曝光系统，其特征在于，于分别与该第一方向及该第二方向垂直的一第三方向上，该多个灯管组完全覆盖该物件。
6.如权利要求1所述的曝光系统，其特征在于，该多个灯管组更包含与该第一灯管组不相邻的一第三灯管组，该第三灯管组具有一第五灯管与一第六灯管，该第五灯管与该第六灯管分别沿该第二方向延伸及拼接而具有一第三拼接处，该第三拼接处位于该第一拼接处沿该第一方向的延伸线上，且该第一拼接处与该第三拼接处之间具有至少一个灯管组。
7.如权利要求1所述的曝光系统，其特征在于，该物件是组立液晶面板或是具有配向膜层的透光基板。
8.一种曝光方法，是通过一曝光系统对一物件进行曝光工艺，其特征在于，该曝光系统具有一移载装置及一光源装置，该移载装置承载该物件，该光源装置设置于该移载装置上，并发出光线照射该物件，该曝光方法包括以下步骤：
使该光源装置与该物件相对移动，其中该光源装置具有沿一第一方向并排配置的多个灯管组，该多个灯管组包含依序相邻设置的一第一灯管组、一第二灯管组与另一灯管组，该第二灯管介于该另一灯管组与该第一灯管组之间，该第一灯管组具有一第一灯管与一第二灯管，该第一灯管与该第二灯管分别沿与该第一方向垂直的一第二方向延伸及拼接而具有一第一拼接处，该第二灯管组具有一第三灯管与一第四灯管，该第三灯管与该第四灯管分别沿该第二方向延伸及拼接而具有一第二拼接处，其中于该第一方向上，该第一拼接处、该第二拼接处与该另一灯管组的拼接处彼此互相错开设置；以及
由该多个灯管组发射光线照射该物件。
9.如权利要求8所述的曝光方法，其特征在于，于使该光源装置与该物件相对移动的步骤中，是使该多个灯管组与该物件沿该第一方向产生相对移动，或使该多个灯管组与该物件沿该第二方向产生相对移动，或使该多个灯管组与该物件产生相对旋转移动。
10.如权利要求8所述的曝光方法，其特征在于，该多个灯管组发射光线而具有一照射范围，且于使该光源装置与该物件相对移动的步骤中，该物件位于该照射范围内。
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