CN111735519A - 质量流量转换系数确定方法及装置 - Google Patents

Abstract

本公开的实施例提供一种质量流量转换系数确定方法及装置。该方法包括：在第一气缸与第一流量计之间的管路中的原气体排空以及第二气缸与第二流量计之间的管路中的原气体排空之后，在第一气缸内的第一气体和第二气缸内的第二气体同步排出的过程中，获取第一流量计测量的第一气缸排出的第一气体的流量和第二流量计测量的第二气缸排出的第二气体的流量；根据第一气体的流量、第二气体的流量和预设的第一气体的质量流量转换系数，确定第二气体的质量流量转换系数。本公开的实施例的方法，气体流量测量装置结构简单，不易混入气体杂质，提供了质量流量转换系数确定的便捷度和准确度。

Description

质量流量转换系数确定方法及装置

技术领域

本公开的实施例涉及工业测量领域，尤其涉及一种质量流量转换系数确定方法及装置。

背景技术

在混合气体灌充时，需要通过质量流量控制装置来控制混合气体中各类气体的流量，实现各类气体按照固定比例进行混合。质量流量控制装置出厂时一般用氮气(N2)进行标定，除氮气以外的气体，在混合时需要按照该气体的质量流量转换系数进行流量换算。

在确定气体的质量流量转换系数时，通常通过泵压缩气体，将压缩后的气体经过多个检定管路组，通过检定管路组中的差压式流量计对气体的流量和压力进行反复测量，再经过数据分析得到质量流量转换系数。

上述方式中，测量装置复杂，且通过泵压缩气体容易混入杂质，质量流量转换系数的确定方式的准确度还有待提高。

发明内容

本公开的实施例提供一种质量流量转换系数确定方法及装置，用以解决质量流量转换系数确定方法中测量装置复杂，且容易引入杂质导致质量流量转换系数准确度不高的问题。

第一方面，本公开的实施例提供一种质量流量转换系数确定方法，包括：

在第一气缸与第一流量计之间的管路中的原气体排空以及第二气缸与第二流量计之间的管路中的原气体排空之后，在所述第一气缸内的第一气体和所述第二气缸内的第二气体同步排出的过程中，获取第一流量计测量的所述第一气缸排出的所述第一气体的流量和所述第二流量计测量的所述第二气缸排出的所述第二气体的流量；

根据所述第一气体的流量、所述第二气体的流量和预设的所述第一气体的质量流量转换系数，确定所述第二气体的质量流量转换系数。

在一种可能的实现方式中，所述第一气缸、所述第一流量计和第三气缸三通连接，所述第二气缸、所述第二流量计和第四气缸三通连接，所述第一流量计与所述第一气缸和所述第三气缸连接的一侧管路、所述第二流量计与所述第二气缸和所述第四气缸连接的一侧管路、所述第三气缸与所述第一气缸连接的一侧管路、以及所述第四气缸与所述第二气缸连接的一侧管路上设有阀门。

在一种可能的实现方式中，所述第三气缸内的气体为所述第一气体，所述第四气缸内的气体为所述第二气体；

所述第一气缸与第一流量计之间的管路中的原气体排空以及第二气缸与第二流量计之间的管路中的原气体排空，包括：当所有所述阀门开启时，所述第三气缸内的第一气体向所述第一气缸和第一流量计排出，以排空所述第一气缸、所述第三气缸和所述第一流量计之间管路中的原气体，以及所述第四气缸内的第二气体向所述第二气缸和所述第二流量计排出，以排空所述第二气缸、所述第四气缸和所述第二流量计之间管路中的原气体；

所述第一气缸内的第一气体和所述第二气缸内的第二气体同步排出之前，还包括：当所述第一流量计连接的一侧管路上的阀门和所述第二流量计连接的一侧管路上的阀门关闭，并且所述第三气缸连接的一侧管路上的阀门和所述第四气缸连接的一侧管路上的阀门开启时，所述第一气缸和所述第二气缸同步运动，以向所述第一气缸充入来自所述第三气缸的第一气体和向所述第二气缸充入来自所述第四气缸的第二气体；

所述第一气缸内的第一气体和所述第二气缸内的第二气体同步排出，包括：当所述第三气缸连接的一侧管路上的阀门和所述第四气缸连接的一侧管路上的阀门关闭，所述第一流量计连接的一侧管路上的阀门和所述第二流量计连接的一侧管路上的阀门开启时，所述第一气缸内的第一气体向所述第一流量计以及所述第二气缸内的第二气体向所述第二流量计同步排出。

在一种可能的实现方式中，所述第四气缸连接的一侧管路上的阀门和所述第三气缸连接的一侧管路上的阀门在关闭之前，所述第三气缸运动和所述第四气缸运动，直至所述第三气缸的气体压力数值与所述第四气缸的气体压力数值相等时停止运动。

在一种可能的实现方式中，所述方法还包括：

更新所述第一气缸和所述第二气缸的同步排出气体的速度，以得到不同的所述同步排出气体的速度下的所述第二气体的质量流量转换系数；

对不同的所述同步排出气体的速度下的所述第二气体的质量流量转换系数进行拟合，通过最小二乘法确定所述第二气体的质量流量转换系数的拟合方程。

第二方面，本公开的实施例提供一种质量流量转换系数确定设备，所述设备包括：第一气缸、第二气缸、第一流量计、第二流量计和质量流量转换系数确定装置；

所述第一气缸用于排出第一气体，所述第二气缸用于排出第二气体，所述第一流量计用于测量所述第一气缸排出的第一气体的流量，所述第二流量计用于测量所述第二气缸排出的第二气体的流量，所述第一气缸内的第一气体和所述第二气缸内的第二气体同步排出；

质量流量转换系数确定装置，用于在第一气缸与第一流量计之间的管路中的原气体排空以及第二气缸与第二流量计之间的管路中的原气体排空之后，在所述第一气缸内的第一气体和所述第二气缸内的第二气体同步排出的过程中，获取所述第一流量计测量的第一气体的流量和所述第二流量计测量的第二气体的流量，根据所述第一气体的流量、所述第二气体的流量和预设的所述第一气体的质量流量转换系数，确定所述第二气体的质量流量转换系数。

在一种可能的实现方式中，所述第一气缸、所述第一流量计和第三气缸三通连接，所述第二气缸、所述第二流量计和第四气缸三通连接，所述第一流量计与所述第一气缸和所述第三气缸连接的一侧管路、所述第二流量计与所述第二气缸和所述第四气缸连接的一侧管路、所述第三气缸与所述第一气缸连接的一侧管路、以及所述第四气缸与所述第二气缸连接的一侧管路上设有阀门。

在一种可能的实现方式中，所述第三气缸内的气体为所述第一气体，所述第四气缸内的气体为所述第二气体；

所述第一气缸与第一流量计之间的管路中的原气体排空以及第二气缸与第二流量计之间的管路中的原气体排空，包括：当所有所述阀门开启时，所述第三气缸内的第一气体向所述第一气缸和第一流量计排出，以排空所述第一气缸、所述第三气缸和所述第一流量计之间管路中的原气体，以及所述第四气缸内的第二气体向所述第二气缸和所述第二流量计排出，以排空所述第二气缸、所述第四气缸和所述第二流量计之间管路中的原气体；

所述第一气缸内的第一气体和所述第二气缸内的第二气体同步排出之前，还包括：当所述第一流量计连接的一侧管路上的阀门和所述第二流量计连接的一侧管路上的阀门关闭，并且所述第三气缸连接的一侧管路上的阀门和所述第四气缸连接的一侧管路上的阀门开启时，所述第一气缸和所述第二气缸同步运动，以向所述第一气缸充入来自所述第三气缸的第一气体和向所述第二气缸充入来自所述第四气缸的第二气体；

所述第一气缸内的第一气体和所述第二气缸内的第二气体同步排出，包括：当所述第三气缸连接的一侧管路上的阀门和所述第四气缸连接的一侧管路上的阀门关闭，所述第一流量计连接的一侧管路上的阀门和所述第二流量计连接的一侧管路上的阀门开启时，所述第一气缸内的第一气体向所述第一流量计以及所述第二气缸内的第二气体向所述第二流量计同步排出。

在一种可能的实现方式中，所述第四气缸连接的一侧管路上的阀门和所述第三气缸连接的一侧管路上的阀门在关闭之前，所述第三气缸运动和所述第四气缸运动，直至所述第三气缸的气体压力数值与所述第四气缸的气体压力数值相等时停止运动。

在一种可能的实现方式中，所述第三气缸与所述第一气缸连接的一侧管路上设有压力传感器，以及所述第四气缸与所述第二气缸连接的一侧管路上设有压力传感器。

在一种可能的实现方式中，所述设备还包括：用于带动所述第一气缸和所述第二气缸同步运动的第一步进电机、用于带动所述第三气缸运动的第二步进电机和用于带动所述第四气缸运动的第三步进电机。

在一种可能的实现方式中，所述质量流量转换系数确定装置还用于：

更新所述第一气缸和所述第二气缸的同步排出气体的速度，以得到不同的所述同步排出气体的速度下的所述第二气体的质量流量转换系数；

对不同的所述同步排出气体的速度下的所述第二气体的质量流量转换系数进行拟合，通过最小二乘法确定所述第二气体的质量流量转换系数的拟合方程。

第三方面，本公开的实施例提供一种质量流量转换系数确定装置，包括：

获取模块，用于在第一气缸与第一流量计之间的管路中的原气体排空以及第二气缸与第二流量计之间的管路中的原气体排空之后，在所述第一气缸内的第一气体和所述第二气缸内的第二气体同步排出的过程中，获取第一流量计测量的所述第一气缸排出的所述第一气体的流量和所述第二流量计测量的所述第二气缸排出的所述第二气体的流量；

处理模块，用于根据所述第一气体的流量、所述第二气体的流量和预设的所述第一气体的质量流量转换系数，确定所述第二气体的质量流量转换系数。

第四方面，本公开的实施例提供一种质量流量转换系数确定设备，包括：存储器和处理器；

所述存储器用于存储程序指令；

所述处理器用于调用存储器中的程序指令执行如第一方面或者第一方面的各可能的实现方式所述的方法。

第五方面，本公开的实施例提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被执行时，实现如第一方面或者第一方面的各可能的实现方式所述的方法。

第六方面，本公开的实施例提供了一种包含指令的程序产品，所述程序产品包括计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如第一方面或者第一方面各可能的实现方式所述的方法。

本公开的实施例提供的质量流量转换系数确定方法及装置，在第一气缸与第一流量计之间的管路中的原气体排空以及第二气缸与第二流量计之间的管路中的原气体排空之后，在第一气缸内的第一气体和第二气缸内的第二气体同步排出的过程中，获取第一流量计测量的第一气缸排出的第一气体的流量和第二流量计测量的第二气缸排出的第二气体的流量，根据第一气体的流量、第二气体的流量和预设的第一气体的质量流量转换系数，确定第二气体的质量流量转换系数。因此，通过第一气缸与第一流量计之间的管路中的原气体排空以及第二气缸与第二流量计之间的管路中的原气体排空，避免在测量第一气体和第二气体的流量时混入其它气体杂质，而且通过第一气缸、第二气缸、第一计流器和第二计流器构成测量装置，有效地降低了装置结构的复杂度，进而提高了质量流量转换系数确定的效率和准确度。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。

图1为本公开的一实施例提供的质量流量转换系数确定设备的结构示意图；

图2为本公开的另一实施例提供的质量流量转换系数确定设备的结构示意图；.

图3为本公开的一实施例提供的质量流量转换系数确定方法的流程示意图；

图4为本公开的另一实施例提供的质量流量转换系数确定方法的流程示意图；

图5为本公开的一实施例提供的质量流量转换系数确定装置的结构示意图；

图6为本公开的一实施例提供的质量流量转换系数确定设备的结构示意图；

图7是本公开的一实施例提供的质量流量转换系数确定设备的框图；

图8为本公开的一实施例提供的质量流量转换系数确定装置的框图。

附图标记说明：

11、第一气缸；12、第二气缸；13、第三气缸；14、第四气缸；21、第一流量计；22、第二流量计；31、质量流量转换系数确定装置；41、阀门；51、压力传感器；61、第一气缸的活塞杆；62、第二气缸的活塞杆；63、第三气缸的活塞杆；64、第四气缸的活塞杆；71、第一推杆；72、第二推杆；73、第三推杆；81、第一步进电机；82、第二步进电机；83、第三步进电机；91、气体流量测量装置。

通过上述附图，已示出本公开明确的实施例，后文中将有更详细的描述。这些附图和文字描述并不是为了通过任何方式限制本公开构思的范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本公开的概念。

具体实施方式

这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本公开相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本公开的一些方面相一致的装置和方法的例子。

在混合气体灌充时，通常需要使用质量流量控制装置，来控制混合气体中各类气体的流量按照固定比例进行混合。质量流量控制装置出厂时，一般用氮气进行标定，除氮气以外的气体，在混合时需要按照自身的质量流量转换系数进行流量换算。

在确定气体的质量流量转换系数时，通常先通过泵压缩在气罐中，气罐中的压缩气体进入多个检定管路组，在检定管路中包括多个管路，每个管路上设有差压式流量计，通过这些差压式流量计对气体的流量和压力进行反复测量，再对测量到的数据进行分析，得到质量流量转换系数。

可见，确定气体的质量流量转换系数的方式存在的不足之处包括：1、测量装置复杂；2、泵中存在油气，泵中的原气体不易排出，导致待测气体在压缩时容易混入杂质。因此，测量装置的结构、以及确定质量流量转换系数的准确度和效率还有待改善。

本公开提供的质量流量转换系数确定方法，在第一气缸与第一流量计之间的管路中的原气体排空以及第二气缸与第二流量计之间的管路中的原气体排空后，在第一气缸内的第一气体和第二气缸内的第二气体同步排出的过程中，获取第一流量计测量得到的第一气缸排出的第一气体的流量和第二流量计测量到的第二气缸排出的第二气体的流量，根据第一气体的流量、第二气体的流量和预设的第一气体的质量流量转换系数，确定第二气体的质量流量转换系数。因此，无需通过泵对气体进行压缩，且在测量前排空了管路中的原气体，解决了测量时容易混入杂质的问题；通过第一气缸、第一流量计、第二气缸、第二流量计结合的方式进行气体流量测量，测量装置结构简单。

下面以具体地实施例对本公开的实施例的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。下面这几个具体的实施例可以相互结合，对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例中不再赘述。下面将结合附图，对本公开的实施例的实施例进行描述。

图1为本公开的一实施例提供的质量流量转换系数确定设备的结构示意图。如图1所示，质量流量转换系数确定设备包括：第一气缸11、第二气缸12、第一流量计21、第二流量计22和质量流量转换系数确定装置31。其中：

第一气缸11用于排出第一气体，第二气缸12用于排出第二气体，第一流量计21用于测量第一气缸11排出的第一气体的流量，第二流量计22用于测量第二气缸12排出的第二气体的流量，第一气缸11内的第一气体和第二气缸12内的第二气体同步排出。

质量流量转换系数确定装置31，用于获取第一流量计21测量的第一气体的流量和第二流量计22测量的第二气体的流量，根据第一气体的流量、第二气体的流量和预设的第一气体的质量流量转换系数，确定第二气体的质量流量转换系数。

具体的，第一气缸11与第一流量计21通过管路连接，第一气缸11的活塞向第一气缸11的出气口运动时，第一气缸11内的第一气体通过与管路向第一流量计21排出，第一流量计21可测量第一气缸11排出的第一气体的流量；第二气缸12与第二流量计22通过管路连接，第二气缸12的活塞向第二气缸12的出气口运动时，第二气缸12内的第二气体通过与管路向第二流量计22排出，第二流量计22可测量第二气缸12排出的第二气体的流量。

具体的，第一气缸11内的第一气体和第二气缸12内的第二气体同步排出，是指第一气体11内的第一气体和第二气缸12内的第二气体的排出时间和排出速度相同。因此，通过第一气缸11内的第一气体和第二气缸12内的第二气体同步排出，确保第一气体和第二气体的排出速度和排出时间的一致性，提高第一气体的流量和第二气体的流量的测量准确度。

具体的，在质量流量转换系数确定装置31确定第二气体的质量流量转换系数之前，排空第一气缸11与第一流量计21之间的管路中的原气体，以及排空第二气缸12与第二流量计22之间的管路中的原气体，以避免测量过程中第一气体和第二气体中混入管路中的原气体，导致第一流量计21测量到的第一气体的流量和第二流量计22测量到的第二气体的流量不准确。

具体的，在第一气缸11与第一流量计21之间的管路中的原气体排空，以及第二气缸12与第二流量计22之间的管路中的原气体排空之后，第一气缸11内的第一气体和第二气缸12内的第二气体同步排出。在第一气缸11内的第一气体和第二气缸12内的第二气体同步排出的过程中，第一流量计21测量第一气缸11排出的第一气体的流量，第二流量计22测量第二气体12排出的第二气体的流量。

具体的，在第一气缸11内的第一气体和第二气缸12内的第二气体同步排出的过程中，质量流量转换系数确定装置31获取第一流量计21测量到的第一气体的流量和第二流量计22测量到的第二气体的流量，根据第一流量计21测量到的第一气体的流量和第二流量计22测量到的第二气体的流量，得到第一气体与第二气体的流量比值，根据该流量比值和预设的第一气体的质量流量转换系数，计算第二气体的质量流量转换系数。因此，依据质量流量转换系数已知的第一气体，确定第二气体的质量流量转换系数，有效降低了质量流量转换系数确定的计算复杂度。

在一个可行的实施方式中，第一气缸11的规格与第二气缸12的规格一致，从而确保第一气缸11排出的第一气体和第二气缸12排出的第二气体的气体体积一致，提高第一气体的流量和第二气体的流量的测量准确度。

在一个可行的实施方式中，第一流量计21和第二流量计22采用的测量方式为感热式测量，感热式测量不会因气体温度、压力变化而影响测量结果的测量方式，从而提高第一气体的流量和第二气体的流量的测量准确度。

上述质量流量转换系数确定设备，包括第一气缸11、第二气缸12、第一流量计21、第二流量计22和质量流量转换系数确定装置21，结构简单，且气密性强、气体杂质易排出，提高了质量流量转换系数确定的效率和准确度。

图2为本公开的另一实施例提供的质量流量转换系数确定设备的结构示意图。如图2所示，质量流量转换系数确定设备包括：第一气缸11、第二气缸12、第三气缸13、第四气缸14、第一流量计21、第二流量计22、质量流量转换系数确定装置31和阀门41。其中：

第一气缸11、第一流量计21和第三气缸13三通连接，第二气缸12、第二流量计22和第四气缸14三通连接，第一流量计21与第一气缸11和第三气缸13连接的一侧管路、第二流量计22与第二气缸12和第四气缸14连接的一侧管路、第三气缸13与第一气缸11连接的一侧管路、以及第四气缸14与第二气缸12连接的一侧管路上设有阀门41，阀门41用于控制管路中气体的流通。

第一气缸11用于排出第一气体，第二气缸12用于排出第二气体，第一流量计21用于测量第一气缸11排出的第一气体的流量，第二流量计22用于测量第二气缸12排出的第二气体的流量，第一气缸11内的第一气体和第二气缸12内的第二气体同步排出。第三气缸13内的气体为第一气体，第三气缸13用于为第一气缸11提供第一气体，第四气缸14内的气体为第二气体，第四气缸14用于为第二气体12提供第二气体。

质量流量转换系数确定装置31，用于在第一气缸11与第一流量计21之间的管路中的原气体排空以及第二气缸12与第二流量计22之间的管路中的原气体排空之后，在第一气缸11内的第一气体和第二气缸12内的第二气体同步排出的过程中，获取第一流量计21测量的第一气体的流量和第二流量计22测量的第二气体的流量，根据第一气体的流量、第二气体的流量和预设的第一气体的质量流量转换系数，确定第二气体的质量流量转换系数。

具体的，质量流量转换系数的确定过程可拆分为两个阶段进行，一是准备阶段，二是测量阶段，准备阶段完成后进入测量阶段。其中：

在准备阶段，排空第一气缸11、第三气缸13和第一流量计21之间的管路中的原气体，排空第二气缸12、第四气缸14和第二流量计22之间的管路中的原气体，向第一气缸11充入第一气体，并向第二气缸12充入第二气体。

在测试阶段，第一气缸11和第二气缸12同步运动，使得第一气缸11内的第一气体与第二气体12内的第二气体同步排出，并通过第一流量计21测量第一气缸11排出的第一气体的流量，通过第二流量计22测量第二气缸12排出的第一气体的流量。再由质量流量转换系数确定装置31获取第一流量计21测量的第一气体的流量和第二流量计22测量的第二气体的流量，根据第一流量计21测量的第一气体的流量、第二流量计22测量的第二气体的流量和预设的第一气体的质量流量转换系数，确定第二气体的质量流量转换系数。

具体的，准备阶段的描述如下：

首先，第三气缸13可从预设的装有第一气体的气瓶中抽取第一气体，第四气缸14可从预设的装有第二气体的气瓶中抽取第二气体。

在一个可行的实施方式中，第三气缸13和第四气缸14可拆卸。第三气缸13和第四气缸14处于拆卸状态时，可通过第三气缸13从外界的气瓶中抽取第一气体，以及通过第四气缸14从外界的气瓶中抽取第二气体。之后，将第三气缸13和第四气缸14与相应的三通管路连通。因此，能够通过可拆卸的第三气缸12和第四气缸14，及时且便捷地为质量流量转换系数确定设备补充第一气体和第二气体。进一步的，第三气缸13通过快插接头与三通管路连接，第四气缸14通过快插接头与三通管路连接，快插接头在不连通时自封，从而在第三气缸13和第四气缸14处于拆卸状态时，确保第三气缸13和第四气缸14的气密性。

接着，所有阀门41开启，第三气缸13内的第一气体沿三通管路向第一气缸11和第一流量计21排出，以排空第一气缸11、第三气缸13和第一流量计21之间的管路中的原气体，第四气缸14内的第二气体沿三通管路向第二气缸12和第二流量计22排出，以排空第二气缸12、第四气缸14和第二流量计22之间的管路中的原气体，从而避免在测量过程中排向第一流量计21的第一气体和排向第二流量计22的第二气体混入气体杂质。

最后，第一流量计21连接的一侧管路上的阀门41和第二流量计22连接的一侧管路上的阀门41关闭，第三气缸13连接的一侧管路上的阀门41和第四气缸14连接的一侧管路上的阀门41开启，第一气缸11和第二气缸12同步运动，以向第一气缸11充入来自第三气缸13的第一气体和向第二气缸12充入来自第四气缸14的第二气体。在整个准备阶段完成后，所有阀门41关闭。

在一个可行的实施方式中，在第三气缸13内的第一气体沿三通管路向第一气缸11和第一流量计21排出、第四气缸14内的第二气体沿三通管路向第二气缸12和第二流量计22排出的过程中，第一气缸11连接的一侧管路和第二气缸12连接的一侧管路中可能残留有原气体。因此，在向第一气缸11充入来自第三气缸13的第一气体和向第二气缸12充入来自第四气缸14的第二气体之后，第三气缸13连接的一侧管路上的阀门41和第四气缸14连接的一侧管路上的阀门41关闭，第一流量计21连接的一侧管路上的阀门41和第二流量计22连接的一侧管路上的阀门41开启，第一气缸11内的第一气体和第二气缸12内的第二气体同步排出，以排空第一气缸11连接的一侧管路和第二气缸12连接的一侧管路中的原气体，提高第一气体和第二气体的流量测量准确度。

在一个可行的实施方式中，可重复执行预设次数的上述第三气缸13内的第一气体沿三通管路向第一气缸11和第一流量计21排出、第四气缸14内的第二气体沿三通管路向第二气缸12和第二流量计22排出、向第一气缸11充入来自第三气缸13的第一气体、向第二气缸12充入来自第四气缸14的第二气体、第一气缸11内的第一气体和第二气缸12内的第二气体同步排出的过程，以充分排空三通管路中的原气体。

在一个可行的实施方式中，在向第一气缸11充入来自第三气缸13的第一气体和向第二气缸12充入来自第四气缸14的第二气体之后，例如第一气缸11充满第一气体和第二气缸12充满第二气体，此时，第一流量计21连接的一侧管路上的阀门41和第二流量计22连接的一侧管路上的阀门41关闭，第三气缸13连接的一侧管路上的阀门41和第四气缸14连接的一侧管路上的阀门41开启，第三气缸13运动和第四气缸14运动，直至第三气缸13的气体压力数值与第四气缸14的气体压力数值相等时停止排出。由于第一气缸11的气体压力数值与第三气缸13的气体压力数值相等，第二气缸12的气体压力数值与第四气缸14的气体压力数值相等，因此，第一气缸11的气体压力数值与第二气缸12的气体压力数值相等，从而通过确保第一气缸11和第二气缸12的气体压力数值的一致性，提高第一气体的流量和第二气体的流量的测量准确度。

进一步的，第三气缸13运动和第四气缸14运动，直至第三气缸13的气体压力数值与第四气缸14的气体压力数值相等、且该气体压力数值为大气压力数值时停止排出，从而通过确保第一气缸11的气体压力数值和第二气缸12的气体压力数值与大气压力数值的一致性，提高第一气体的流量和第二气体的流量的测量准确度。

在一个可行的实施方式中，第三气缸13与第一气缸11连接的一侧管路上设有压力传感器，以及第四气缸14与第二气缸12连接的一侧管路上设有压力传感器，因此可通过压力传感器检测第一气缸11、第二气缸12、第三气缸和第四气缸14的气体压力数值，提高气体压力数值测量的效率和准确度。

在一个可行的实施方式中，第一气缸11、第二气缸12、第三气缸13、第四气缸14、第一流量计21、第二流量计22、阀门41以及各三通管路处于预设的恒温环境中，从而提高质量流量转换系数的准确度。

在一个可行的实施方式中，质量流量转换系数确定设备还包括：温度控制调节装置。在进入测试阶段时，通过温度控制调节装置将质量流量转换系数确定设备所在环境的温度调节至预设的恒定温度，使得第一气缸11、第二气缸12、第三气缸13、第四气缸14、第一流量计21、第二流量计22、阀门41以及各三通管路处于恒温环境中。

在一个可行的实施方式中，质量流量转换系数确定设备还包括：用于带动第一气缸11和第二气缸12同步运动的第一步进电机、用于带动第三气缸13运动的第二步进电机和用于带动第四气缸14运动的第三步进电机，从而提高第一气缸11、第二气缸12、第三气缸13和第四气缸14运动的控制效果。

具体的，测量阶段的描述如下：

第三气缸13连接的一侧管路上的阀门41和第四气缸14连接的一侧管路上的阀门41关闭，第一流量计11连接的一侧管路上和第二流量计12连接的一侧管路上的阀门41开启。第一气缸11内的第一气体向第一流量计21和第二气缸12内的第二气体向第二流量计22同步排出。质量流量转换系数确定装置31获取第一流量计21测量到的第一气体的流量和第二流量计22测量到的第二气体的流量，根据第一流量计21测量到的第一气体的流量和第二流量计22测量到的第二气体的流量，得到第一气体与第二气体的流量比值，根据该流量比值和预设的第一气体的质量流量转换系数，计算第二气体的质量流量转换系数。因此，依据质量流量转换系数已知的第一气体，确定第二气体的质量流量转换系数，有效降低了质量流量转换系数确定的计算复杂度。

在一个可行的实施方式中，第一气体和第二气体的流量比值的计算公式可表示为：K＝Q2/Q1。其中，K表示第一气体和第二气体的流量比值，Q1表示第一流量计21测量到的第一气体的流量，Q2表示第二流量计22测量到的第二气体的流量。其中，K也可以认为是第二气体相当于第一气体的质量流量转换系数。在得到流量比值K后，可将K乘以第一气体的质量流量转换系数，得到第二气体的质量流量转换系数。因此，可以看出，本公开提供的质量流量转换系数确定设备在确定质量流量转换系数时，计算量小，效率高。

作为示例的，在一个出厂标定氮气的质量流量转换系数为1的质量流量控制装置中，如果灌充第二气体时质量流量控制装置的显示流量为1L/min，则第二气体的流量为第二气体的质量流量转换系数乘以1L/min。

在一个可行的实施方式中，第一气缸11的规格与第二气缸12的规格一致，从而确保第一气缸11排出的第一气体和第二气缸12排出的第二气体的气体体积一致，提高第一气体的流量和第二气体的流量的测量准确度。

在一个可行的实施方式中，在第一气缸11与第二气缸12的规格一致且第一气缸11和第二气缸12同步运动的情况下，通过上述质量流量转换系数确定设备，可得到第一气缸11排出气体的实际流量和第二气缸12排出气体的实际流量，实际流量的计算公式可为：

Q3＝S×v，Q3表示实际流量，S为第一气缸11和第二气缸12的内径面积，v为第一气缸11和第二气缸同步排出气体的速度。

其中，实际流量为不考虑气体种类的体积流量，即在第一气缸11与第二气缸12的规格一致且第一气缸和第二气缸同步运动的情况下，第一气缸11排出的第一气体的实际流量和第二气体的实际流量相同。与实际流量相比，第一流量计11测量的第一气体的流量和第二流量计12测量到的第二气体的流量为考虑了气体种类的体积流量，因此，在在第一气缸11与第二气缸12的规格一致且第一气缸11和第二气缸12同步运动的情况下，第一流量计11测量到的第一气体的流量和第二流量计12测量到的第一气体的流量不同。

具体的，可通过更新第一气缸11和第二气缸12的同步排出气体的速度，来更新第一气体和第二气体的实际流量Q3，进而计算得到不同实际流量下第一计流器21测量到的第一气体的流量和第二流量计22测量到的第二气体的流量的比值，也即不同的同步排出气体的速度下第二气体的质量流量转换系数。对不同的同步排出气体的速度下第二气体的质量流量转换系数进行拟合，得到第二气体的质量流量转换系数的拟合方程，通过该拟合方程可以得到不同实际流量下的第二气体的质量流量转换系数。该拟合方程可用于质量流量控制器中，以确定不同实际流量下应充入的第二气体的流量。

进一步的，在对不同的同步排出气体的速度下第二气体的质量流量转换系数进行拟合的过程中，可先以不同速度下的实际流量为横坐标，以第二气体的质量流量转换系数为纵坐标，对不同的同步排出气体的速度下第二气体的质量流量转换系数进行统计。如果统计得到第二气体的质量流量转换系数的分布为一条直线，则将第二气体的质量流量转换系数的分布拟合为一个直线函数，再通过最小二乘法对直线函数进行求解，得到相应的拟合方程；如果统计得到第二气体的质量流量转换系数的分布为一条曲线，则将第二气体的质量流量转换系数的分布拟合为一个曲线函数，再通过最小二乘法对曲线函数进行求解，得到相应的拟合方程。

在一个可行的实施方式中，可通过控制第一气缸11和第二气缸12同步排出气体的速度，得到多个实际流量、以及每个实际流量下第二气体的质量流量转换系数，第i个实际流量可表示为

第i个实际流量下第二气体的质量流量转换系数可表示为f(x_i)。在通过最小二乘法求解拟合方程时，如果统计得到第二气体的质量流量转换系数的分布为一条直线，则将第二气体的质量流量转换系数的分布拟合为一个直线函数，直线函数可表示为：

其中，k和b为需要通过最小二乘法求解的参数，x为直线函数的变量。

计算该直线函数的均方误差，计算公式可表示为：

其中，y_i＝f(x_i)，n为第一气缸11和第二气缸12同步排出气体的速度的更新次数。

通过求导计算该均方误差的极小值，可得到：

进而得到线性方程如下：

将该线性方程组转换为矩阵方程：

若D不为零，则线性方程组有解：

进而得到：

由求解出的k和b，得到相应的拟合方程。因此，质量流程转换系数确定装置通过上述过程求解到质量流程转换系数的拟合方程，计算量较小，提高了质量流程转换系数确定的准确度和效率。

如果统计得到第二气体的质量流量转换系数的分布为一条曲线，则将第二气体的质量流量转换系数的分布拟合为一个曲线函数，也即二次函数：

其中，a、b、c为需要通过最小二乘法求解的参数。

计算该曲线函数的均方误差，计算公式可表示为：

通过求导计算该均方误差的极小值，可得到

进而得到线性方程组：

将该线性方程组转换为矩阵方程：

其中，

若D₁不为零，则线性方程组有解：

进而得到：

由求解出的a、b、c，得到相应的拟合方程。因此，质量流程转换系数确定装置通过上述过程求解到质量流程转换系数的拟合方程，计算量较小，提高了质量流程转换系数确定的准确度和效率。

上述质量流量转换系数确定设备，包括第一气缸11、第二气缸12、第三气缸13、第四气缸14、第一流量计21、第二流量计22和质量流量转换系数确定装置21，结构简单，且气密性强、气体杂质易排出，提高了质量流量转换系数确定的效率和准确度。

图3为本公开的一实施例提供的质量流量转换系数确定方法的流程示意图。如图3所示，该方法包括：

S301、在第一气缸与第一流量计之间的管路中的原气体排空以及第二气缸与第二流量计之间的管路中的原气体排空之后，在第一气缸内的第一气体和第二气缸内的第二气体同步排出的过程中，获取第一流量计测量的第一气缸排出的第一气体的流量和第二流量计测量的第二气缸排出的第二气体的流量。

S302、根据第一气体的流量、第二气体的流量和预设的第一气体的质量流量转换系数，确定第二气体的质量流量转换系数。

在一个可行的实施方式中，第一气缸、第一流量计和第三气缸三通连接，第二气缸、第二流量计和第四气缸三通连接，第一流量计与第一气缸和第三气缸连接的一侧管路、第二流量计与第二气缸和第四气缸连接的一侧管路、第三气缸与第一气缸连接的一侧管路、以及第四气缸与第二气缸连接的一侧管路上设有阀门。

在一个可行的实施方式中，第三气缸内的气体为第一气体，第四气缸内的气体为第二气体；

第一气缸与第一流量计之间的管路中的原气体排空以及第二气缸与第二流量计之间的管路中的原气体排空，包括：当所有阀门开启时，第三气缸内的第一气体向第一气缸和第一流量计排出，以排空第一气缸、第三气缸和第一流量计之间管路中的原气体，以及第四气缸内的第二气体向第二气缸和第二流量计排出，以排空第二气缸、第四气缸和第二流量计之间管路中的原气体；

第一气缸内的第一气体和第二气缸内的第二气体同步排出之前，还包括：当第一流量计连接的一侧管路上的阀门和第二流量计连接的一侧管路上的阀门关闭，并且第三气缸连接的一侧管路上的阀门和第四气缸连接的一侧管路上的阀门开启时，第一气缸和第二气缸同步运动，以向第一气缸充入来自第三气缸的第一气体和向第二气缸充入来自第四气缸的第二气体；

第一气缸内的第一气体和第二气缸内的第二气体同步排出，包括：当第三气缸连接的一侧管路上的阀门和第四气缸连接的一侧管路上的阀门关闭，第一流量计连接的一侧管路上的阀门和第二流量计连接的一侧管路上的阀门开启时，第一气缸内的第一气体向第一流量计以及第二气缸内的第二气体向第二流量计同步排出。

在一个可行的实施方式中，其特征在于，第四气缸连接的一侧管路上的阀门和第三气缸连接的一侧管路上的阀门在关闭之前，第三气缸运动和第四气缸运动，直至第三气缸的气体压力数值与第四气缸的气体压力数值相等时停止运动。

图4为本公开的另一实施例提供的质量流量转换系数确定方法的流程示意图。如图4所示，该方法包括：

S401、在第一气缸与第一流量计之间的管路中的原气体排空以及第二气缸与第二流量计之间的管路中的原气体排空之后，在第一气缸内的第一气体和第二气缸内的第二气体同步排出的过程中，获取第一流量计测量的第一气缸排出的第一气体的流量和第二流量计测量的第二气缸排出的第二气体的流量。

S402、根据第一气体的流量、第二气体的流量和预设的第一气体的质量流量转换系数，确定第二气体的质量流量转换系数。

S403、更新第一气缸和第二气缸的同步排出气体的速度。

S404、确定同步排出气体的速度的更新次数是否等于预设的次数阈值。

如果同步排出气体的速度的更新次数等于预设的次数阈值，则执行S405，否则，执行S401。

S405、对不同的同步排出气体的速度下的第二气体的质量流量转换系数进行拟合，通过最小二乘法确定第二气体的质量流量转换系数的拟合方程。

图3、图4所示方法实施例，可参照图1、图2所示的质量流量转换系数确定设备的详细描述，其实现原理和技术效果类似，在此不再赘述。

图5为本公开的一实施例提供的质量流量转换系数确定装置的结构示意图，如图5所示，该装置包括：

获取模块501，用于在第一气缸与第一流量计之间的管路中的原气体排空以及第二气缸与第二流量计之间的管路中的原气体排空之后，在第一气缸内的第一气体和第二气缸内的第二气体同步排出的过程中，获取第一流量计测量的第一气缸排出的第一气体的流量和第二流量计测量的第二气缸排出的第二气体的流量；

处理模块502，用于根据第一气体的流量、第二气体的流量和预设的第一气体的质量流量转换系数，确定第二气体的质量流量转换系数。

在一个可行的实施方式中，第一气缸、第一流量计和第三气缸三通连接，第二气缸、第二流量计和第四气缸三通连接，第一流量计与第一气缸和第三气缸连接的一侧管路、第二流量计与第二气缸和第四气缸连接的一侧管路、第三气缸与第一气缸连接的一侧管路、以及第四气缸与第二气缸连接的一侧管路上设有阀门。

在一个可行的实施方式中，第三气缸内的气体为第一气体，第四气缸内的气体为第二气体；

第一气缸与第一流量计之间的管路中的原气体排空以及第二气缸与第二流量计之间的管路中的原气体排空，包括：当所有阀门开启时，第三气缸内的第一气体向第一气缸和第一流量计排出，以排空第一气缸、第三气缸和第一流量计之间管路中的原气体，以及第四气缸内的第二气体向第二气缸和第二流量计排出，以排空第二气缸、第四气缸和第二流量计之间管路中的原气体；

第一气缸内的第一气体和第二气缸内的第二气体同步排出之前，还包括：当第一流量计连接的一侧管路上的阀门和第二流量计连接的一侧管路上的阀门关闭，并且第三气缸连接的一侧管路上的阀门和第四气缸连接的一侧管路上的阀门开启时，第一气缸和第二气缸同步运动，以向第一气缸充入来自第三气缸的第一气体和向第二气缸充入来自第四气缸的第二气体；

第一气缸内的第一气体和第二气缸内的第二气体同步排出，包括：当第三气缸连接的一侧管路上的阀门和第四气缸连接的一侧管路上的阀门关闭，第一流量计连接的一侧管路上的阀门和第二流量计连接的一侧管路上的阀门开启时，第一气缸内的第一气体向第一流量计以及第二气缸内的第二气体向第二流量计同步排出。

在一个可行的实施方式中，其特征在于，第四气缸连接的一侧管路上的阀门和第三气缸连接的一侧管路上的阀门在关闭之前，第三气缸运动和第四气缸运动，直至第三气缸的气体压力数值与第四气缸的气体压力数值相等时停止运动。

在一个可行的实施方式中，其特征在于，处理模块502还用于：

更新第一气缸和第二气缸的同步排出气体的速度，以得到不同的同步排出气体的速度下的第二气体的质量流量转换系数；

对不同的同步排出气体的速度下的第二气体的质量流量转换系数进行拟合，通过最小二乘法确定第二气体的质量流量转换系数的拟合方程。

上述质量流量转换系数确定装置，可参照图1、图2所示的质量流量转换系数确定设备的详细描述，其实现原理和技术效果类似，在此不再赘述

图6为本公开的一实施例提供的质量流量转换系数确定设备的结构示意图，其特征在于，该设备包括：处理器601和存储器602。存储器601用于存储计算机执行指令，处理器602执行计算机程序时实现如上述任一实施例的方法。

上述的处理器601可以是通用处理器，包括中央处理器CPU、网络处理器(networkprocessor，NP)等；还可以是数字信号处理器DSP、专用集成电路ASIC、现场可编程门阵列FPGA或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件。上述存储器602可能包含随机存取存储器(random access memory，RAM)，也可能还包括非易失性存储器(non-volatile memory)，例如至少一个磁盘存储器。

本公开的一实施例还提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质中存储有指令，当其在计算机上运行时，使得计算机执行如上述任一实施例的方法。

本公开的一实施例还提供一种程序产品，所述程序产品包括计算机程序，所述计算机程序存储在存储介质中，至少一个处理器可以从所述存储介质中读取所述计算机程序，所述至少一个处理器执行所述计算机程序时可实现上述任一实施例的方法。

图7是本公开的一实施例提供的质量流量转换系数确定设备的框图，该设备包括：质量流量转换系数确定装置31和气体流量测量装置91，其中，气体流量测量装置91包括第一气缸11、第二气缸12、第三气缸13、第四气缸14、第一流量计21、第二流量计22、阀门41、压力检测器51、第一推杆71、第二推杆72、第三推杆73、第一步进电机81、第二步进电机82、第三步进电机83。

如图7所示，第一气缸11、第三气缸13和第一流量计21三通连接，第二气缸12、第四气缸14和第二流量计22三通连接。第一流量计21与第一气缸11和第三气缸13连接的一侧管路上、第一流量计22与第二气缸12和第四气缸14连接的一侧管路上、第三气缸13与第一气缸11连接的一侧管路上、第四气缸14与第二气缸12连接的一侧管路上分布设有阀门41，第三气缸13与第一气缸11连接的一侧管路上、第四气缸14与第二气缸12连接的一侧管路上分布设有压力检测器51。

如图7所述，第一步进电机81通过第一推杆71分别连接第一气缸11的活塞杆61和第二气缸12的活塞杆62，第二步进电机82通过第二推杆72连接第三气缸13的活塞杆63，第三步进电机83通过第三推杆73连接第四气缸14的活塞杆64。

如图7所述，质量流量转换系数确定装置31分别与第一流量计21、第二流量计22连接。

图7所示的质量流量转换系数确定设备，可参照图2所示的质量流量转换系数确定设备的详细描述，其实现原理和技术效果类似，在此不再赘述。

图8为本公开的一实施例提供的质量流量转换系数确定装置的框图800，例如，装置800可以被提供为一服务器或者一计算机。参照图8，装置800包括处理组件801，其进一步包括一个或多个处理器，以及由存储器802所代表的存储器资源，用于存储可由处理组件801的执行的指令，例如应用程序。存储器802中存储的应用程序可以包括一个或一个以上的每一个对应于一组指令的模块。此外，处理组件801被配置为执行指令，以执行上述任一实施例的方法。

装置800还可以包括一个电源组件803被配置为执行装置800的电源管理，一个有线或无线网络接口804被配置为将装置800连接到网络，和一个输入输出(I/O)接口805。装置800可以操作基于存储在存储器802的操作系统，例如Windows ServerTM，Mac OS XTM，UnixTM,LinuxTM，FreeBSDTM或类似。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其它实施方案。本公开的实施例旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由下面的权利要求书指出。

应当理解的是，本公开并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本公开的范围仅由所附的权利要求书来限制。

Claims (15)

1.一种质量流量转换系数确定方法，其特征在于，所述方法包括：

在第一气缸与第一流量计之间的管路中的原气体排空以及第二气缸与第二流量计之间的管路中的原气体排空之后，在所述第一气缸内的第一气体和所述第二气缸内的第二气体同步排出的过程中，获取第一流量计测量的所述第一气缸排出的所述第一气体的流量和所述第二流量计测量的所述第二气缸排出的所述第二气体的流量；

根据所述第一气体的流量、所述第二气体的流量和预设的所述第一气体的质量流量转换系数，确定所述第二气体的质量流量转换系数。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一气缸、所述第一流量计和第三气缸三通连接，所述第二气缸、所述第二流量计和第四气缸三通连接，所述第一流量计与所述第一气缸和所述第三气缸连接的一侧管路、所述第二流量计与所述第二气缸和所述第四气缸连接的一侧管路、所述第三气缸与所述第一气缸连接的一侧管路、以及所述第四气缸与所述第二气缸连接的一侧管路上设有阀门。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述第三气缸内的气体为所述第一气体，所述第四气缸内的气体为所述第二气体；

所述第一气缸与第一流量计之间的管路中的原气体排空以及第二气缸与第二流量计之间的管路中的原气体排空，包括：当所有所述阀门开启时，所述第三气缸内的第一气体向所述第一气缸和第一流量计排出，以排空所述第一气缸、所述第三气缸和所述第一流量计之间管路中的原气体，以及所述第四气缸内的第二气体向所述第二气缸和所述第二流量计排出，以排空所述第二气缸、所述第四气缸和所述第二流量计之间管路中的原气体；

所述第一气缸内的第一气体和所述第二气缸内的第二气体同步排出之前，还包括：当所述第一流量计连接的一侧管路上的阀门和所述第二流量计连接的一侧管路上的阀门关闭，并且所述第三气缸连接的一侧管路上的阀门和所述第四气缸连接的一侧管路上的阀门开启时，所述第一气缸和所述第二气缸同步运动，以向所述第一气缸充入来自所述第三气缸的第一气体和向所述第二气缸充入来自所述第四气缸的第二气体；

所述第一气缸内的第一气体和所述第二气缸内的第二气体同步排出，包括：当所述第三气缸连接的一侧管路上的阀门和所述第四气缸连接的一侧管路上的阀门关闭，所述第一流量计连接的一侧管路上的阀门和所述第二流量计连接的一侧管路上的阀门开启时，所述第一气缸内的第一气体向所述第一流量计以及所述第二气缸内的第二气体向所述第二流量计同步排出。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第四气缸连接的一侧管路上的阀门和所述第三气缸连接的一侧管路上的阀门在关闭之前，所述第三气缸运动和所述第四气缸运动，直至所述第三气缸的气体压力数值与所述第四气缸的气体压力数值相等时停止运动。

5.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

更新所述第一气缸和所述第二气缸的同步排出气体的速度，以得到不同的所述同步排出气体的速度下的所述第二气体的质量流量转换系数；

对不同的所述同步排出气体的速度下的所述第二气体的质量流量转换系数进行拟合，通过最小二乘法确定所述第二气体的质量流量转换系数的拟合方程。

6.一种质量流量转换系数确定设备，其特征在于，所述设备包括：第一气缸、第二气缸、第一流量计、第二流量计和质量流量转换系数确定装置；

所述第一气缸用于排出第一气体，所述第二气缸用于排出第二气体，所述第一流量计用于测量所述第一气缸排出的第一气体的流量，所述第二流量计用于测量所述第二气缸排出的第二气体的流量，所述第一气缸内的第一气体和所述第二气缸内的第二气体同步排出；

质量流量转换系数确定装置，用于在第一气缸与第一流量计之间的管路中的原气体排空以及第二气缸与第二流量计之间的管路中的原气体排空之后，在所述第一气缸内的第一气体和所述第二气缸内的第二气体同步排出的过程中，获取所述第一流量计测量的第一气体的流量和所述第二流量计测量的第二气体的流量，根据所述第一气体的流量、所述第二气体的流量和预设的所述第一气体的质量流量转换系数，确定所述第二气体的质量流量转换系数。

7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述第一气缸、所述第一流量计和第三气缸三通连接，所述第二气缸、所述第二流量计和第四气缸三通连接，所述第一流量计与所述第一气缸和所述第三气缸连接的一侧管路、所述第二流量计与所述第二气缸和所述第四气缸连接的一侧管路、所述第三气缸与所述第一气缸连接的一侧管路、以及所述第四气缸与所述第二气缸连接的一侧管路上设有阀门。

8.根据权利要求7所述的设备，其特征在于，所述第三气缸内的气体为所述第一气体，所述第四气缸内的气体为所述第二气体；

所述第一气缸与第一流量计之间的管路中的原气体排空以及第二气缸与第二流量计之间的管路中的原气体排空，包括：当所有所述阀门开启时，所述第三气缸内的第一气体向所述第一气缸和第一流量计排出，以排空所述第一气缸、所述第三气缸和所述第一流量计之间管路中的原气体，以及所述第四气缸内的第二气体向所述第二气缸和所述第二流量计排出，以排空所述第二气缸、所述第四气缸和所述第二流量计之间管路中的原气体；

所述第一气缸内的第一气体和所述第二气缸内的第二气体同步排出之前，还包括：当所述第一流量计连接的一侧管路上的阀门和所述第二流量计连接的一侧管路上的阀门关闭，并且所述第三气缸连接的一侧管路上的阀门和所述第四气缸连接的一侧管路上的阀门开启时，所述第一气缸和所述第二气缸同步运动，以向所述第一气缸充入来自所述第三气缸的第一气体和向所述第二气缸充入来自所述第四气缸的第二气体；

所述第一气缸内的第一气体和所述第二气缸内的第二气体同步排出，包括：当所述第三气缸连接的一侧管路上的阀门和所述第四气缸连接的一侧管路上的阀门关闭，所述第一流量计连接的一侧管路上的阀门和所述第二流量计连接的一侧管路上的阀门开启时，所述第一气缸内的第一气体向所述第一流量计以及所述第二气缸内的第二气体向所述第二流量计同步排出。

9.根据权利要求8所述的设备，其特征在于，所述第四气缸连接的一侧管路上的阀门和所述第三气缸连接的一侧管路上的阀门在关闭之前，所述第三气缸运动和所述第四气缸运动，直至所述第三气缸的气体压力数值与所述第四气缸的气体压力数值相等时停止运动。

10.根据权利要求9所述的设备，其特征在于，所述第三气缸与所述第一气缸连接的一侧管路上设有压力传感器，以及所述第四气缸与所述第二气缸连接的一侧管路上设有压力传感器。

11.根据权利要求9所述的设备，其特征在于，所述设备还包括：用于带动所述第一气缸和所述第二气缸同步运动的第一步进电机、用于带动所述第三气缸运动的第二步进电机和用于带动所述第四气缸运动的第三步进电机。

12.根据权利要求6-11任一项所述的设备，其特征在于，所述质量流量转换系数确定装置还用于：

更新所述第一气缸和所述第二气缸的同步排出气体的速度，以得到不同的所述同步排出气体的速度下的所述第二气体的质量流量转换系数；

对不同的所述同步排出气体的速度下的所述第二气体的质量流量转换系数进行拟合，通过最小二乘法确定所述第二气体的质量流量转换系数的拟合方程。

13.一种质量流量转换系数确定装置，其特征在于，所述装置包括：

获取模块，用于在第一气缸与第一流量计之间的管路中的原气体排空以及第二气缸与第二流量计之间的管路中的原气体排空之后，在所述第一气缸内的第一气体和所述第二气缸内的第二气体同步排出的过程中，获取第一流量计测量的所述第一气缸排出的所述第一气体的流量和所述第二流量计测量的所述第二气缸排出的所述第二气体的流量；

处理模块，用于根据所述第一气体的流量、所述第二气体的流量和预设的所述第一气体的质量流量转换系数，确定所述第二气体的质量流量转换系数。

14.一种质量流量转换系数确定设备，其特征在于，所述设备包括：存储器和处理器；

所述存储器用于存储程序指令；

所述处理器用于调用所述存储器中的程序指令执行如权利要求1-5任一项所述的方法。

15.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序；所述计算机程序被执行时，实现如权利要求1-5任一项所述的方法。

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