CN111732227A - 一种半导体含氟废水处理系统及工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明是一种半导体含氟废水处理系统及工艺,其结构包括通过管道依次连接的含氟废水集水池、含氟废水调节池、一级反应池、一级混凝池、一级絮凝池、一级沉淀池、二级反应池、二级絮凝池、二级沉淀池和放流池;含氟废水集水池和含氟废水调节池之间管道、含氟废水调节池和一级反应池之间管道都分别设有水泵。本发明的优点:采用钙盐沉淀法,处理效率高,废水中氟离子的去除率可达90%以上,运行效果良好,相比石灰沉淀法,氯化钙易溶于水,产生的污泥量较少,且不存在石灰残渣的处置问题,运输、保管和存放都较方便。可满足半导体企业对厂区环境的高要求,更为清洁、有效。采用二级除氟工艺,可确保最终排放废水氟的浓度达到10mg/L以下。
Description
技术领域
本发明涉及的是一种半导体含氟废水处理系统及工艺,属于水处理设备技术领域。
背景技术
随着半导体工艺技术的迅速发展和生产量的增加,半导体厂排出的含氟废水量急剧地增加。为了防止半导体含氟废水直接排放对环境生态的污染和破坏,必须设法降低废水中的含氟浓度。
半导体含氟废水主要污染指标为pH、F和SS。现有技术的半导体含氟废水处理系统有的采用石灰沉淀法,其处理成本较低,但是处理效果较差,产生的污泥量较多,还涉及石灰残渣的处置问题,且无法满足半导体企业对厂区环境的高要求。
发明内容
本发明提出的是一种半导体含氟废水处理系统及工艺,其目的旨在克服现有技术存在的上述缺陷,通过设置酸碱调整、除氟、去除SS等流程,实现有效改善处理效果,满足半导体企业对厂区环境的高要求。
本发明的技术解决方案:半导体含氟废水处理系统,其结构包括通过管道依次连接的含氟废水集水池、含氟废水调节池、一级反应池、一级混凝池、一级絮凝池、一级沉淀池、二级反应池、二级絮凝池、二级沉淀池和放流池;含氟废水集水池和含氟废水调节池之间管道、含氟废水调节池和一级反应池之间管道都分别设有水泵。
优选的,所述的一级反应池连接第一NaOH加药箱、第一H2SO4加药箱和第一CaCl2加药箱,一级混凝池连接第二CaCl2加药箱,一级絮凝池连接第一PAM加药箱,二级反应池连接第二NaOH加药箱、第二H2SO4加药箱和第一PAC加药箱,二级絮凝池连接第二PAM加药箱。
优选的,所述的含氟废水调节池内安装搅拌装置。
优选的,所述的放流池设有在线氟离子检测仪。
半导体含氟废水处理系统的处理工艺,包括以下工艺步骤:
1)半导体含氟废水经管道收集后泵入含氟废水调节池;
2)含氟废水调节池中废水经提升泵进入一级除氟反应系统处理,在一级除氟反应系统中,废水首先进入一级反应池,在反应池内投加质量分数40%400mg/L的NaOH、质量分数30%200mg/L的H2SO调整pH值,并投质量分数20%8262.4mg/L的CaCl2作为除氟药剂,反应时间20min;
3)一级反应池出水进入一级混凝池,继续投加质量分数20%8262.4mg/L的CaCl2,反应时间20min;
4)一级混凝池出水进入一级絮凝池中,投加质量分数0.1%2.6g/L的PAM作为絮凝剂,待其反应20min,使絮体长大、更容易沉淀;
5)一级絮凝池中出水进入一级沉淀池中,进行泥水分离,上清液进入下一级处理系统,污泥则排入污泥池中待进一步脱水处理;
6)经一级除氟反应后,出水进入第二级除氟反应系统,首先进入二级反应池反应,投加质量分数40%163.3mg/L的NaOH、质量分数30%200mg/L的H2SO4调整pH值,并投加质量分数20%300mg/L的PAC进行反应,反应时间20min;
7)二级反应池出水进入二级絮凝池,投加质量分数0.1%2.6g/L的絮凝剂PAM,反应时间20min;
8)最后二级絮凝池出水进入二级沉淀池中进行泥水分离后,清水进入放流池中,放流池废水为达标废水,最后进入最终清水池和计量渠,排入市政污水管网。
本发明的优点:结构和处理工艺设计合理,采用钙盐沉淀法,处理效率高,废水中氟离子的去除率可达90%以上,运行效果良好,相比石灰沉淀法,氯化钙易溶于水,产生的污泥量较少,且不存在石灰残渣的处置问题,运输、保管和存放都较方便。可满足半导体企业对厂区环境的高要求,更为清洁、有效。采用二级除氟工艺,可确保最终排放废水氟的浓度达到10mg/L以下。
附图说明
图1是本发明半导体含氟废水处理系统的结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
如图1所示,半导体含氟废水处理系统,其结构包括通过管道依次连接的含氟废水集水池、含氟废水调节池、一级反应池、一级混凝池、一级絮凝池、一级沉淀池、二级反应池、二级絮凝池、二级沉淀池和放流池;含氟废水集水池和含氟废水调节池之间管道、含氟废水调节池和一级反应池之间管道都分别设有水泵。
所述的一级反应池连接第一NaOH加药箱、第一H2SO4加药箱和第一CaCl2加药箱,一级混凝池连接第二CaCl2加药箱,一级絮凝池连接第一PAM加药箱,二级反应池连接第二NaOH加药箱、第二H2SO4加药箱和第一PAC加药箱(聚合氯化铝加药箱),二级絮凝池连接第二PAM加药箱。
所述的含氟废水调节池内安装搅拌装置。
所述的放流池设有在线氟离子检测仪。
含氟废水的主要污染物为氟,本发明采用二级化学除氟,即向废水中投加除氟药剂:CaCl2,使氟离子与药剂发生化学反应,生成沉淀物,从而得到去除。
发生的化学反应如下:
Ca2++2F-→CaF2↓
一种半导体含氟废水处理工艺,包括以下工艺步骤:
1)半导体含氟废水经管道收集后泵入含氟废水调节池;
2)含氟废水调节池中废水经提升泵进入一级除氟反应系统处理,在一级除氟反应系统中,废水首先进入一级反应池,在反应池内投加质量分数40%400mg/L的NaOH、质量分数30%200mg/L的H2SO调整pH值,并投质量分数20%8262.4mg/L的CaCl2作为除氟药剂,反应时间20min;
3)一级反应池出水进入一级混凝池,继续投加质量分数20%8262.4mg/L的CaCl2,反应时间20min;
4)一级混凝池出水进入一级絮凝池中,投加质量分数0.1%2.6g/L的PAM作为絮凝剂,待其反应20min,使絮体长大、更容易沉淀;
5)一级絮凝池中出水进入一级沉淀池中,进行泥水分离,上清液进入下一级处理系统,污泥则排入污泥池中待进一步脱水处理;
6)经一级除氟反应后,出水进入第二级除氟反应系统,首先进入二级反应池反应,投加质量分数40%163.3mg/L的NaOH、质量分数30%200mg/L的H2SO4调整pH值,并投加质量分数20%300mg/L的PAC进行反应,反应时间20min;
7)二级反应池出水进入二级絮凝池,投加质量分数0.1%2.6g/L的絮凝剂PAM,反应时间20min;
8)最后二级絮凝池出水进入二级沉淀池中进行泥水分离后,清水进入放流池(含氟废水清水池)中,放流池废水为达标废水,最后进入最终清水池和计量渠,排入市政污水管网。
含氟废水的钙盐沉淀法现已很成熟,处理效率高,废水中氟离子的去除率一般在90%以上,运行效果良好。较之石灰沉淀法,氯化钙沉淀法虽然处理成本相对较高,但氯化钙易溶于水,产生的污泥量(与石灰法比较)较少,且不存在石灰残渣的处置问题,运输、保管和存放都较方便。由于半导体企业对厂区环境要求较高,使用氯化钙沉淀法更为清洁、有效。
实践表明,采用CaCl2反应后,进一步投加PAC(聚合氯化铝),进行混凝反应,可使废水中细小颗粒物相互吸附、结合成大的颗粒物,更容易沉淀。采用二级除氟工艺,可确保最终排放废水氟的浓度达到10mg/L以下。
本项目中根据现有技术优选配备自动pH检测和加药系统,并在最后的含氟废水清水池中安装在线氟离子检测仪,可以实时检测废水处理效果,一旦发现异常,可及时发现设备故障、调整废水处理加药量、运行参数等。
实施例1
广东省某厂原水水质:
流量2100m3/d,
pH:2~10,
NH3-N:15mg/L,
T-N:20mg/L,
COD:120mg/L,
F-:800mg/L,
SS:1000mg/L,
H2O2:10mg/L。
处理系统配置:
2套含氟废水集水池:直径3200mm,高3000mm,容积20m3,材质FRP;
2套含氟废水集水泵:40m3/h×25m×5.5KW;
2套含氟废水调节池:尺寸5000×18000×6000mm,容积495m3,材质RC/FRPL;
2套含氟废水调节泵:35m3/h×20m×4.0KW,材质ETFE;
1套一级反应池包括:
pH调整槽:尺寸2200×1800×2700mm,容积8m3,材质CS/FRPL,配备搅拌机:107rpm/1.5KW,材质CS/FRPL,
反应槽:尺寸2200×1800×2700mm,容积8m3,材质CS/FRPL,配备搅拌机:107rpm/1.5KW,材质CS/FRPL;
1套一级混凝池:尺寸2200×1800×2700mm,容积8m3,材质CS/FRPL,配备搅拌机:107rpm/1.5KW,材质CS/FRPL;
1套一级絮凝池:尺寸2200×1800×2700mm,容积8m3,材质CS/FRPL,配备搅拌机:65rpm/0.55KW,材质SUS304;
1套一级沉淀池:尺寸6000×5400×4000mm,材质CS/FRPL,配备污泥泵:10m3/h×15m×1.5KW,材质SUS304;
1套二级反应池:尺寸2200×1800×2700mm,容积8m3,材质CS/FRPL,配备搅拌机:107rpm/1.5KW,材质CS/FRPL;
1套二级絮凝池:尺寸2200×1800×2700mm,容积8m3,材质CS/FRPL,配备搅拌机:65rpm/0.55KW,材质SUS304;
1套二级沉淀池:尺寸8000×5400×4000mm,材质CS/FRPL,配备污泥泵:50m3/h×15m×1.5KW,材质SUS304。
处理后水质(总排口)(符合广东省地方标准《水污染物排放限值》(DB44/26-2001)第二时段三级标准,并满足更为严格的企业内控指标):
pH值:6~9(排放标准限值6~9);
CODcr:100mg/L(排放标准限值500mg/L);
BOD5:20mg/L(排放标准限值300mg/L);
F-:10mg/L(排放标准限值20mg/L);
TP:4.5mg/L(无排放标准限值);
NH3-N:30mg/L(无排放标准限值);
总氮:35mg/L(无排放标准限值);
SS:100mg/L(排放标准限值400mg/L);
动植物油:20mg/L(排放标准限值100mg/L)。
以上所述各部件均为现有技术,本领域技术人员可使用任意可实现其对应功能的型号和现有设计。
以上所述的仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。
Claims (5)
1.半导体含氟废水处理系统,其特征包括通过管道依次连接的含氟废水集水池、含氟废水调节池、一级反应池、一级混凝池、一级絮凝池、一级沉淀池、二级反应池、二级絮凝池、二级沉淀池和放流池;含氟废水集水池和含氟废水调节池之间管道、含氟废水调节池和一级反应池之间管道都分别设有水泵。
2.如权利要求1所述的半导体含氟废水处理系统,其特征是所述的一级反应池连接第一NaOH加药箱、第一H2SO4加药箱和第一CaCl2加药箱,一级混凝池连接第二CaCl2加药箱,一级絮凝池连接第一PAM加药箱,二级反应池连接第二NaOH加药箱、第二H2SO4加药箱和第一PAC加药箱,二级絮凝池连接第二PAM加药箱。
3.如权利要求2所述的半导体含氟废水处理系统,其特征是所述的含氟废水调节池内安装搅拌装置。
4.如权利要求3所述的半导体含氟废水处理系统,其特征是所述的放流池设有在线氟离子检测仪。
5.如权利要求1-4任一项所述的半导体含氟废水处理系统的处理工艺,其特征是包括以下工艺步骤:
1)半导体含氟废水经管道收集后泵入含氟废水调节池;
2)含氟废水调节池中废水经提升泵进入一级除氟反应系统处理,在一级除氟反应系统中,废水首先进入一级反应池,在反应池内投加质量分数40%400mg/L的NaOH、质量分数30%200mg/L的H2SO调整pH值,并投质量分数20%8262.4mg/L的CaCl2作为除氟药剂,反应时间20min;
3)一级反应池出水进入一级混凝池,继续投加质量分数20%8262.4mg/L的CaCl2,反应时间20min;
4)一级混凝池出水进入一级絮凝池中,投加质量分数0.1%2.6g/L的PAM作为絮凝剂,待其反应20min,使絮体长大、更容易沉淀;
5)一级絮凝池中出水进入一级沉淀池中,进行泥水分离,上清液进入下一级处理系统,污泥则排入污泥池中待进一步脱水处理;
6)经一级除氟反应后,出水进入第二级除氟反应系统,首先进入二级反应池反应,投加质量分数40%163.3mg/L的NaOH、质量分数30%200mg/L的H2SO4调整pH值,并投加质量分数20%300mg/L的PAC进行反应,反应时间20min;
7)二级反应池出水进入二级絮凝池,投加质量分数0.1%2.6g/L的絮凝剂PAM,反应时间20min;
8)最后二级絮凝池出水进入二级沉淀池中进行泥水分离后,清水进入放流池中,放流池废水为达标废水,最后进入最终清水池和计量渠,排入市政污水管网。
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20201002 |
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