CN111693417A - 微粒检测装置 - Google Patents

Abstract

一种微粒检测装置，包含：基座，包含检测部件承载区、检测通道、光束通道及光陷阱区；检测部件，设置于检测部件承载区，并包含微处理器、微粒传感器及激光光器，激光器发射投射光源至光束通道及光陷阱区，微粒传感器设置在检测通道与光束通道正交位置；微型泵，承置于微型泵承载区，连通并传输该检测通道内的气体；以及驱动控制板。其中当微型泵、微粒传感器及激光器受微处理器控制而运作时，外部气体被导入检测通道中，并通过检测通道与光束通道正交位置，受投射光源所投射而产生光点至微粒传感器上进行悬浮微粒大小及浓度的检测。

Description

微粒检测装置

技术领域

本案关于一种微粒检测装置，尤指一种可组配于薄型可携式装置进行气体监测的微粒检测装置。

背景技术

悬浮微粒是指于气体中含有的固体颗粒或液滴，由于其粒径非常细微，容易通过鼻腔内的鼻毛进入人体的肺部，因而引起肺部的发炎、气喘或心血管的病变，若是其他污染物依附于悬浮微粒上，更会加重对于呼吸系统的危害。近年来，气体污染问题渐趋严重，尤其是细悬浮微粒(例如：PM2.5)的浓度数据常常过高，因此，气体悬浮微粒浓度的监测渐受重视，但由于气体会随风向、风量不定量的流动，而目前检测悬浮微粒的气体品质监测站大都为定点，所以根本无法确认当下周遭的悬浮微粒浓度，因此需要一个微型且方便携带的气体检测装置来供使用者无时无刻、随时随地的检测周遭的悬浮微粒浓度。

有鉴于此，要如何能够随时随地监测悬浮微粒的浓度，实为目前迫切需要解决的问题。

发明内容

本案的主要目的是提供一种微粒检测装置，利用在薄型基座的中区隔出检测通道及光束通道，以及配置定位检测部件的激光器及微粒传感器及微型泵在基座中，搭配微型泵在一直线气体流通路径的检测通道内传输气体，促使导入气体得以很平稳、平顺地通过检测通道与光束通道的正交位置，借以检测出气体中所含悬浮微粒的大小及浓度。更利用光陷阱区的光陷阱结构的抛物面结构，以及光陷阱结构接收激光器的投射光源的位置与光束通道保持大于3mm以上的光陷阱距离的设计，促使激光器的投射光源在光陷阱结构的抛物面结构上形成聚焦点，减少杂散光直接反射回光束通道的发生，达到更精准的微粒检测效益。更且，检测通道外部进气端又有防护膜封盖的设计，以使检测通道得以导气又具备防水防尘的功效，尽量不影响检测通道的检测精准度及使用寿命。如此本发明装置微粒检测装置非常适合应用组装于可携式电子装置及穿戴配件上，以形成移动式微粒检测装置，供使用者无时无刻、随时随地地监测周遭的悬浮微粒浓度。

本案的一广义实施态样为一种微粒检测装置，包含：一基座，内部区隔出一检测部件承载区、一微型泵承载区、一检测通道、一光束通道及光陷阱区，其中该检测通道及该光束通道为正交位置设置，且该光束通道为正交穿透该检测通道而连通该光陷阱区，以及该检测通道为一直线气体流通的路径，而微型泵承载区连通该检测通道；一检测部件，包含一微处理器、一微粒传感器及一激光器，该激光器定位设置于该基座的该检测部件承载区，以发射投射光源于该光束通道至该光陷阱区中，以及该微粒传感器设置在该检测通道与该光束通道正交位置，以检测该检测通道内所流通气体中所含悬浮微粒的大小及浓度；以及一微型泵，承置定位于该微型泵承载区，以连通传输该检测通道内气体；一驱动控制板，封盖于该基座的底部，且该驱动控制板上分别封装定位并电性连接该微处理器、该微粒传感器及该激光器，且该微粒传感器及该激光器受该微处理控制而驱动运作，以及该微型泵与该驱动控制板电性连接以受该微处理器控制而驱动运作；其中，该微型泵、该微粒传感器及该激光器受该微处理器控制而驱动运作时，促使该检测通道产生吸力而将外部气体导入该检测通道内，此时气体通过该检测通道与该光束通道正交位置，并受该激光光器的投射光源所投射，以产生光点至该微粒传感器上进行悬浮微粒大小及浓度的检测。

附图说明

图1所示为本案微粒检测装置的外观示意图。

图2所示为本案微粒检测装置的相关构件的分解结构示意图。

图3所示为本案微粒检测装置的基座结构示意图。

图4A所示为本案微粒检测装置的基座组配微型泵时的结构示意图。

图4B所示为本案微粒检测装置的检测时气体流动实施示意图。

图4C所示为本案微粒检测装置的检测时气体流动及光源投射实施示意图。图5所示为本案微粒检测装置的微型泵立体结构示意图。

图6A所示为本发明微型泵的正面方向视得分解结构示意图。

图6B所示为本发明微型泵的背面方向视得分解结构示意图。

图7A所示为本发明微型泵的剖面结构示意图。

图7B所示为本发明微型泵另一较佳实施例的剖面结构示意图。

图8所示为本发明微型泵的导电内引脚处局部放大示意图。

图9A至图9C所示为图7A中微型泵的实施作动示意图。

附图标记说明

1：基座

1a：第一表面

1b：第二表面

11：检测部件承载区

12：微型泵承载区

121：承置框槽

122：进气通口

123：排气口

13：检测通道

14：光束通道

15：光陷阱区

151：光陷阱结构

2：检测部件

21：微处理器

22：微粒传感器

23：激光器

3：微型泵

31：进气板

31a：进气孔

31b：汇流排孔

31c：汇流腔室

32：共振片

32a：中空孔

32b：可动部

32c：固定部

33：压电致动器

33a：悬浮板

331a：第一表面

332a：第二表面

33b：外框

331b：组配表面

332b：下表面

333b：导电接脚

33c：连接部

33d：压电元件

33e：间隙

33f：凸部

331f：凸部表面

34：绝缘片

35：导电片

351a：导电接脚

351b：导电内引脚

3511b：延伸部

3512b：分岔部

36：腔室空间

4：驱动控制板

5：外盖板件

5a：上盖板件

51a：进气入口

52a：排气出口

5b：下盖板件

51b：进气开口

52b：排气开口

6：防护膜

g：填充材

h：间距

θ：弯折角度

H：弯折高度

P：中间间隔距离

L：投射光源

W：光陷阱距离

具体实施方式

体现本案特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本案能够在不同的态样上具有各种的变化，其皆不脱离本案的范围，且其中的说明及图示在本质上当作说明之用，而非用以限制本案。

请参阅图1至图4C所示，本案提供一种微粒检测装置，包含一基座1、一检测部件2、一微型泵3、一驱动控制板4、一外盖板件5及一防护膜6。上述基座1具有一第一表面1a及一第二表面1b，第一表面1a及第二表面1b为相对设置的两个表面，内部区隔出一检测部件承载区11、一微型泵承载区12、一检测通道13、一光束通道14及光陷阱区15，其中检测通道13及光束通道14为正交的位置设置，且光束通道14正交穿透检测通道13而连通到光陷阱区15。驱动控制板4封盖于基座1的第二表面1b上，并使检测通道13被封盖构成一直线气体流通的路径。防护膜6封盖于检测通道13外部进气端，防护膜6为一防水、防尘且可供气体穿透的膜状结构，以使检测通道13得以导气又具备防水防尘的功效，以过滤外部空气所含较大颗粒的微粒，避免其进入检测通道13中造成污染。借此，只让较小悬浮微粒(例如：PM2.5)被导入检测通道13中进行检测，可尽量不影响检测通道13中的检测精准度及使用寿命。检测部件2封装定位于驱动控制板4上并与其电性连接，且设置于检测部件承载区11。微型泵3与驱动控制板4电性连接以受驱动运作(未图示)。微型泵承载区12底部设有一承置框槽121及一进气通口122，以及顶部一侧设置一排气口123连通外部。进气通口122连通于检测通道13与承置框槽121之间，使微型泵3承置定位于承置框槽121上。微型泵3可在受驱动运作时在与承置框槽121连通的检测通道13产生一吸力，该吸力可将检测通道13外部的气体导入检测通道13内，其后，再透过微型泵3的传输将该气体导入承置框槽121上方，复由排气口123排出于外部，俾完成气体检测的导引(如图4B箭头所指的路径导引)。又，光陷阱区15设有一光陷阱结构151，设置对应到光束通道14。光陷阱结构151为一抛物面结构，用以使光束通道14所发射的投射光源L在此抛物面结构上形成聚焦点，借以减少杂散光，且光陷阱结构151所接收的投射光源L的位置与光束通道14保持有一光陷阱距离W(如图4C所示)。须强调的是，此光陷阱距离W需大于3mm以上，因当光陷阱距离W小于3mm时，会导致投射在光陷阱结构151上的投射光源L于反射后，有过多的杂散光直接反射回光束通道14中，因而造成检测精度的失真。如此光陷阱结构151为一抛物面结构且光陷阱距离W需大于3mm以上的设计，有别已知光陷阱结构151采以45度倾角且未考虑光陷阱距离W知设计，可有效解决已知技术无法避免有过多杂散光直接反射回光束通道14中，进而影响检测精准度的问题。

请参阅图4A、图4B及图4C所示，上述检测部件2包含有一微处理器21、一微粒传感器22及一激光器23。其中微处理器21、微粒传感器22及激光器23封装于驱动控制板4上。激光器23对应设置于检测部件承载区11中，并能发射投射光源L于光束通道14中。微粒传感器22对应设置到检测通道13与光束通道14正交位置。如此微处理器21控制激光器23及微粒传感器22的驱动运作，使激光器23的投射光源L照射于光束通道14中，并通过检测通道13与光束通道14正交位置，以照射检测通道13中的通过气体中所含悬浮微粒(例如：PM2.5)，并能使被照射气体中所含悬浮微粒产生投射光点，以投射于微粒传感器22进行检测计算。微粒传感器22可以检测气体中所含悬浮微粒的大小及浓度，并输出检测信号，其中微粒传感器22为PM2.5传感器。微处理器21接收微粒传感器22所输出的检测信号进行分析，以输出检测数据。

再请参阅图1及图2所示，上述之外盖板件5包括有一上盖板件5a及一下盖板件5b。其中上盖板件5a覆盖基座1的第一表面1a，且对应到基座1的检测通道13外部进气端的位置上设有一进气入口51a，对应到微型泵承载区12的排气口123的位置上也具有一排气出口52a。而下盖板件5b覆盖基座1的第二表面1b，并与上盖板件5a相互嵌合以密封基座1，且对应到上盖板件5a的进气入口51a的区域设置一进气开口51b，对应到上盖板件5a的排气出口52a的区域设置一排气开口52b。如此微粒检测装置外部气体可以由进气开口51b、进气入口51a导入基座1的检测通道13中，而基座1的检测通道13中气体可由微型泵承载区12的排气口123位置排出，再经过排气出口52a、排气开口52b排出于微粒检测装置外部。

请参阅图2、图4A、图4B、图4C、图5、图6A、图6B及图7A所示，上述的微型泵3承载于基座1的微型泵承载区12的承置框槽121上，是由依序由下而上堆叠的一进气板31、一共振片32、一压电致动器33、一绝缘片34、一导电片35所组构而成。其中进气板31具有至少一进气孔31a、至少一汇流排孔31b及一汇流腔室31c。上述的进气孔31a与汇流排孔31b其数量相同，于本实施例中，进气孔31a与汇流排孔31b以数量4个作举例说明，并不以此为限。4个进气孔31a分别贯通4个汇流排孔31b，且4个汇流排孔31b汇流到汇流腔室31c。上述的共振片32可透过贴合方式组接于进气板31上，且共振片32上具有一中空孔32a、一可动部32b及一固定部32c。中空孔32a位于共振片32的中心处，并与进气板31的汇流腔室31c对应，而设置于中空孔32a的周围且与汇流腔室31c相对的区域为可动部32b，设置于共振片32的外周缘部分而贴固于进气板31上的区域则为固定部32c。上述的压电致动器33，包含有一悬浮板33a、一外框33b、至少一连接部33c、一压电元件33d、至少一间隙33e及一凸部33f。其中，悬浮板33a为一正方型悬浮板，具有第一表面331a及相对于第一表面331a的一第二表面332a。外框33b环绕设置于悬浮板33a的周缘，且外框33b具有一组配表面331b及一下表面332b。至少一连接部33c连接于悬浮板33a与外框33b之间，以提供弹性支撑悬浮板33a的支撑力。其中悬浮板33a的第一表面331a与外框33b的组配表面331b两者形成共平面，悬浮板33a的第二表面332a与外框33b的下表面332b两者形成共平面，而间隙33e为悬浮板33a、外框33b与连接部33c之间的空隙，用以供气体通过。此外，悬浮板33a的第一表面331a具有凸部33f。凸部33f于本实施例中是在凸部33f的周缘至悬浮板33a与连接部33c的连接处的区域实施蚀刻制程，使其下凹，来使悬浮板33a的凸部33f的凸部表面331f高于第一表面331a，以形成阶梯状结构。另外，外框33b环绕设置于悬浮板33a之外侧，且具有一向外凸设的导电接脚333b，用以供电性连接之用，但不以此为限。

上述的共振片32与压电致动器33是透过一填充材g相互堆叠组接，以在共振片32与压电致动器33之间构成一腔室空间36。而填充材g可为一导电胶，但不以此为限，是用以使共振片32与压电致动器33之间具有一间距h，亦即使共振片32与压电致动器33的悬浮板33a上的凸部33f的凸部表面331f之间维持间距h的深度，进而可导引气流更迅速地流动，且因悬浮板33a的凸部33f与共振片32保持适当距离，使彼此接触干涉减少，促使噪音产生被降低。

于另一些实施例中，如图7B所示，上述的共振片32与压电致动器33是透过一填充材g相互堆叠组接，以在共振片32与压电致动器33之间构成一腔室空间36，另外，更借由对悬浮板33a实施一冲压成形制程，使其向下凹陷而形成腔室空间36，且其下陷距离可由冲压成形于悬浮板33a与外框33b之间的至少一连接部33c所调整。借此，悬浮板33a的第一表面331a与外框33b的组配表面331b两者形成非共平面，亦即悬浮板33a的第一表面331a将低于外框33b的组配表面331b，且悬浮板33a的第二表面332a低于外框33b的下表面332b。其中，悬浮板33a上的凸部33f的凸部表面331f亦可选择性地低于外框33b的组配表面331b。又，压电元件33d贴附于悬浮板33a的第二表面332a，与凸部33f相对设置。压电元件33d被施加驱动电压后，由于压电效应而产生形变，进而带动悬浮板33a振动。利用于外框33b的组配表面331b上涂布少量填充材g，以热压方式使压电致动器33贴合于共振片32的固定部32c，主要是使得压电致动器33得以与共振片32组配结合。而由于悬浮板33a的第一表面331a与共振片32之间形成之间距h会影响微型泵3的传输效果，故维持一固定的间距h，对于微型泵3提供稳定的传输效率十分重要。因此，本案对微型泵3的悬浮板33a使用冲压方式，使其向下凹陷，让悬浮板33a的第一表面331a与外框33b的组配表面331b两者为非共平面，亦即悬浮板33a的第一表面331a将低于外框33b的组配表面331b，且悬浮板33a的第二表面332a低于外框33b的下表面332b，使得压电致动器33的悬浮板33a凹陷形成一空间而得与共振片32保持一可调整之间距h。透过上述方式使压电致动器33的悬浮板33a凹陷构成一间距h的结构改良，如此一来，所需的间距h得以直接透过调整压电致动器33的悬浮板33a成形凹陷距离来完成，有效地简化了调整间距h的结构设计，同时也达成简化制程、缩短制程时间等优点。

请参阅图5及图8所示，上述的绝缘片34及导电片35皆为框型的薄型片体，依序堆叠结合于压电致动器33上。于本实施例中，绝缘片34贴附于压电致动器33之外框33b的下表面332b，而导电片35堆叠结合于绝缘片34上。且其形态大致上对应于压电致动器33之外框33b的形态。于一些实施例中，绝缘片34即由可绝缘的材质所构成，例如：塑胶，但不以此为限，以进行绝缘之用；于另一些实施例中，导电片35即由可导电的材质所构成，例如：金属，但不以此为限，以进行电性导通之用。于本实施例中，导电片35上亦可设置一导电接脚351a，以进行电性导通之用。而压电致动器33的压电元件33d的两驱动电极，已知所使用的方式不外乎使用一条导电线，利用焊接方式将其固定在压电元件33d上以达到导出电极的电性连接作用，但因要将压电元件33d上的电极导出需要使用治具将其固定，且依照不同工序要有不同对位，故该多个已知电极的设计大大造成组装上的复杂程度。为解决此问题，本发明利用导电片35提供一导电内引脚351b作为压电元件33d的两驱动电极的其中之一电极，以克服上述电极以导线导出的方式进行电性连接的缺陷。导电内引脚351b由导电片35一体冲压制出，且导电内引脚351b可在导电片35框架的任一边上向内延伸出一导电位置，且可为任意形状，用于外部连接电极使用。此导电内引脚351b在导电片35框架的任一边上向内构成具有弯折角度θ及弯折高度H的一延伸部3511b，而延伸部3511b更具有一分岔部3512b。分岔部3512b与导电片35框架保持该弯折高度H，此弯折高度H最佳高度为与压电元件33d的厚度保持贴合的高度，以达到良好接触效果。于本实施例中，分岔部3512b中间间隔距离P透过熔融合金、导电胶、导电墨水、导电树酯等介质与压电元件33d的表面结合固定，以达到更好接着效果。

请继续参阅图9A至图9C，该多个图为图7A所示的微型泵3的作动示意图。请先参阅图9A，压电致动器33的压电元件33d被施加驱动电压后，产生形变带动悬浮板33a向上位移，同时共振片32受到共振原理影响而被同步向上位移，此时连带增加了腔室空间36的容积提升，于是腔室空间36内形成了负压，微型泵3外部气体便经由进气孔31a被汲取，经过汇流排孔31b而进入汇流腔室31c内，再经过中空孔32a进入腔室空间36内。请再参阅图9B，当压电元件33d带动悬浮板33a向下位移，压缩腔室空间36，迫使腔室空间36内的气体通过间隙33e向上传输，达到传输气体的效果，同时共振片32同样因与悬浮板33a共振而向下位移，同步促使汇流腔室31c内的气体往腔室空间36移动，使共振片32的可动部32b向下位移，让气体暂时无法经由进气孔31a汲取。最后请参阅图9C，当悬浮板33a再被向上带动，而悬浮板33a恢复不作动时保持的水平位置时，此时共振片32的可动部32b也同时被带动而向上位移，共振片32将使压缩腔室空间36内的气体向间隙33e移动，并且提升汇流腔室31c内的容积，让气体能够持续地通过进气孔31a、汇流排孔31b再汇聚于汇流腔室31c内。如此透过不断地重复上述图9A至图9C的作动，使微型泵3能够连续将气体自进气孔31a进入，再由间隙33e向上传输，以不断地汲取气体，即构成微型泵3的传输气体运作。

由上述说明可知，本案所提供一种微粒检测装置在具体实施中，微型泵3承载于基座1的微型泵承载区12的承置框槽121上，使进气板31的进气孔31a封闭于承置框槽121内，与进气通口122连通，当微型泵3、微粒传感器22以及激光光器23受微处理器21控制而运作，微型泵3促使在承置框槽121连通的检测通道13产生一吸力，将检测通道13外部气体导入检测通道13内，且由于检测通道13为一直线气体流通的路径，如此导入气体得以很平稳、平顺地流通于检测通道13内，并通过检测通道13与光束通道14正交位置，受激光光器23的投射光源L照射而投射光点至微粒传感器22上，微粒传感器22即可检测气体中所含悬浮微粒大的小及浓度。而光束通道14所发射的投射光源L经过检测通道13并最终投射到光陷阱区15的光陷阱结构151上，且借由光陷阱结构151的抛物面结构上形成聚焦点，以减少杂散光，更且，光陷阱结构151所接收的投射光源L的位置与光束通道14保持有一光陷阱距离W，该光陷阱距离W为大于3mm以上，可避免有过多杂散光直接反射回光束通道14中影响检测精准度的失真问题，达到更精准的微粒检测效益。检测通道13外部进气端具有防护膜6封盖的设计，使检测通道13得以导气又具备有防水防尘的功效，以避免外部空气所含较大颗粒的微粒进入检测通道13中造成污染，借此，只让较小悬浮微粒(例如：PM2.5)被导入检测通道13中进行检测，可尽量不影响检测通道13的检测精准度及使用寿命。如此本案所提供微粒检测装置可应用组装于可携式电子装置上，以形成移动式微粒检测装置。其中可携式装置为一手机、一平板电脑、一穿戴式装置及一笔记型电脑的其中之一。或者本案所提供微粒检测装置可应用组装于穿戴配件上，以形成移动式微粒检测装置，其中该穿戴配件为一吊饰、一钮扣、一眼镜及一手表的其中之一。

综上所述，本案所提供的微粒检测装置，利用在薄型基座的中区隔出检测通道及光束通道，以及配置定位检测部件的激光器及微粒传感器及微型泵在基座中，搭配微型泵在一直线气体流通路径的检测通道内传输气体，促使导入气体得以很平稳、平顺地通过检测通道与光束通道的正交位置，借以检测出气体中所含悬浮微粒的大小及浓度。更利用光陷阱区的光陷阱结构的抛物面结构，以及光陷阱结构接收激光器的投射光源的位置与光束通道保持大于3mm以上的光陷阱距离的设计，促使激光光器投射光源在光陷阱结构的抛物面结构上形成聚焦点，减少杂散光直接反射回光束通道的发生，达到更精准的微粒检测效益。更且，检测通道外部进气端又有防护膜封盖的设计，以使检测通道得以导气又具备防水防尘的功效，尽量不影响检测通道的检测精准度及使用寿命。如此本发明装置微粒检测装置非常适合应用组装于可携式电子装置及穿戴配件上，以形成移动式微粒检测装置，供使用者无时无刻、随时随地地监测周遭的悬浮微粒浓度，极具产业利用性及进步性。

Claims (20)

1.一种微粒检测装置，其特征在于，包含：

一基座，内部区隔出一检测部件承载区、一微型泵承载区、一检测通道、一光束通道及一光陷阱区，其中该检测通道及该光束通道为正交位置设置，且该光束通道为正交穿透该检测通道而连通该光陷阱区，以及该检测通道为一直线气体流通的路径，而该微型泵承载区连通该检测通道；

一检测部件，包含一微处理器、一微粒传感器及一激光器，该激光器定位设置于该基座的该检测部件承载区，以发射一投射光源于该光束通道至该光陷阱区中，以及该微粒传感器设置在该检测通道与该光束通道正交位置，以检测该检测通道内所流通气体中所含悬浮微粒的大小及浓度；以及

一微型泵，承置定位于该微型泵承载区，以连通并传输该检测通道内的气体；

一驱动控制板，封盖于该基座的底部，且该驱动控制板上分别封装定位并电性连接该微处理器、该微粒传感器及该激光器，且该微粒传感器及该激光器受该微处理控制而受驱动运作，以及该微型泵与该驱动控制板电性连接以受该微处理器控制而受驱动运作；

其中，该微型泵、该微粒传感器及该激光器受该微处理器控制而被驱动运作，促使该检测通道产生吸力而将外部气体导入该检测通道内，此时气体通过该检测通道与该光束通道的正交位置，并受该激光器的该投射光源所投射，以产生光点至该微粒传感器上进行悬浮微粒大小及浓度的检测。

2.如权利要求1所述的微粒检测装置，其特征在于，该微粒传感器为PM2.5传感器。

3.如权利要求1所述的微粒检测装置，其特征在于，进一步包含有一防护膜，封盖于该检测通道的外部进气端，该防护膜为一防水、防尘且可供气体穿透的膜状结构。

4.如权利要求1所述的微粒检测装置，其特征在于，该微粒传感器检测气体中所含悬浮微粒的大小及浓度并输出检测信号，而该微处理器接收该微粒传感器所输出该检测信号进行分析，并输出该检测数据。

5.如权利要求1所述的微粒检测装置，其特征在于，该光陷阱区设有一光陷阱结构，设置对应到该光束通道，使该激光器所发射的该投射光源由该光陷阱结构接收，以减少杂散光直接反射回该光束通道中。

6.如权利要求5所述的微粒检测装置，其特征在于，该光陷阱结构为一抛物面结构。

7.如权利要求5所述的微粒检测装置，其特征在于，该光陷阱结构所接收的该投射光源的位置与该光束通道保持一光陷阱距离。

8.如权利要求7所述的微粒检测装置，其特征在于，该光陷阱距离大于3mm。

9.如权利要求1所述的微粒检测装置，其特征在于，该基座的该微型泵承载区底部设有一承置框槽及一进气通口，以及顶部一侧设置一排气口，以连通外部，该进气通口连通于该检测通道与该承置框槽之间，该微型泵承置定位于该承置框槽上并受驱动运作，促使在与该承置框槽连通的该检测通道产生吸力，将该检测通道外部的气体导入该检测通道内，再透过该微型泵的传输将气体导入该承置框槽上方，复由该排气口排出于外部，完成气体检测的气流导引。

10.如权利要求9所述的微粒检测装置，其特征在于，该基座具有一第一表面及一第二表面，而该驱动控制板封盖于该基座的该第二表面。

11.如权利要求10所述的微粒检测装置，其特征在于，进一步包含有一外盖板件，该外盖板件包括有一上盖板件及一下盖板件，其中该上盖板件覆盖该基座的该第一表面，且对应到该基座的该检测通道外部进气端的位置上设有一进气入口，对应到该微型泵承载区的该排气口的位置上也具有一排气出口，而该下盖板件覆盖该基座的该第二表面，并与该上盖板件相互嵌合以密封该基座，且对应到该上盖板件的该进气入口的区域设置一进气开口，对应到该上盖板件的该排气出口的区域设置一排气开口，外部气体由该进气开口、该进气入口导入该基座的该检测通道中，而该基座的该检测通道中的气体由该微型泵承载区的该排气口位置排出，再经过该排气出口、该排气开口排出于外部。

12.如权利要求1所述的微粒检测装置，其特征在于，该微型泵包含：

一进气板，具有至少一进气孔、至少一汇流排孔及一汇流腔室，其中至少一该进气孔供导入气体，至少一该进气孔对应至少一该汇流排孔，至少一该汇流排孔对应连通该汇流腔室，且引导进入至少一该进气孔的气体汇流至该汇流腔室内；

一共振片，贴合组接于该进气板，具有一中空孔、一可动部及一固定部，该中空孔位于该共振片中心处，并与该进气板的该汇流腔室相对应；

一压电致动器，透过一填充材组接结合于该共振片上，构成一腔室空间于该压电致动器与该共振片之间，该压电致动器包含有一悬浮板、一外框、至少一连接部、一压电元件、至少一间隙，至少一该连接部连接于该悬浮板及该外框之间并提供弹性支撑，至少一该间隙设置于该悬浮板及该外框之间并供气体流通，而该压电元件贴合于该悬浮板；

一绝缘片，结合于该压电致动器的一侧；以及

一导电片，与该绝缘片相结合，具有一体冲压制出的一导电内引脚，由该导电片框架的任一边上向内延伸出一导电位置，供以与该压电元件的表面接触并定位连接；

其中，当该压电致动器受驱动时，气体由该进气板的至少一该进气孔导入，经至少一该汇流排孔汇集至该汇流腔室，再流经该共振片的该中空孔导入该腔室空间内，再经该压电致动器共振作用传输气体。

13.如权利要求12所述的微粒检测装置，其特征在于，该导电内引脚在该导电片框架任一边上向内构成具有一弯折角度及一弯折高度的一延伸部，该延伸部具有一分岔部，该分岔部与该导电片外框保持该弯折高度的高度，且该弯折高度是等于与该压电元件的厚度保持贴合的高度，使该分岔部贴附于该压电元件的表面，透过一介质让该分岔部与该压电元件结合固定。

14.如权利要求12所述的微粒检测装置，其特征在于，该压电致动器的该悬浮板包括有一第一表面及一第二表面，该第二表面相对该第一表面，且该压电元件贴合于该悬浮板的该第二表面上，该压电致动器的该外框具有一组配表面及一下表面。

15.如权利要求14所述的微粒检测装置，其特征在于，该悬浮板的该第一表面与该外框的该组配表面两者形成共平面。

16.如权利要求14所述的微粒检测装置，其特征在于，至少一该连接部冲压成形于该悬浮板与该外框之间，并使该悬浮板的该第一表面与该外框的该组配表面形成为非共平面，且使该悬浮板的该第一表面与该共振板的一间距得以利用至少一该连接部冲压成形来调整。

17.如权利要求12所述的微粒检测装置，其特征在于，该共振片的该可动部设置于该中空孔的周围，且与该汇流腔室相对的区域。

18.如权利要求12所述的微粒检测装置，其特征在于，该共振片的该固定部设置于该共振片之外周缘部分，且贴固于该进气板上。

19.如权利要求12所述的微粒检测装置，其特征在于，该填充材为一导电胶。

20.如权利要求12所述的微粒检测装置，其特征在于，该外框设有一导电接脚，且该导电片也设有一导电接脚，供以进行电性导通之用。

Images