CN111683907B - 尺度上稳定快速地蚀刻玻璃 - Google Patents
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- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 667
- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims description 30
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims abstract description 81
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 283
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 claims description 282
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 270
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 228
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 219
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 claims description 219
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 133
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 89
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 68
- 235000012245 magnesium oxide Nutrition 0.000 claims description 44
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims description 10
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 47
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 abstract description 35
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 31
- 238000007499 fusion processing Methods 0.000 abstract description 13
- 238000003280 down draw process Methods 0.000 abstract description 11
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 abstract description 4
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Inorganic materials [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 227
- IATRAKWUXMZMIY-UHFFFAOYSA-N strontium oxide Inorganic materials [O-2].[Sr+2] IATRAKWUXMZMIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 215
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 52
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 35
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 35
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 33
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 30
- 230000008569 process Effects 0.000 description 30
- 239000000047 product Substances 0.000 description 27
- 238000005056 compaction Methods 0.000 description 25
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 16
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 description 13
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000006025 fining agent Substances 0.000 description 11
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 11
- 238000010309 melting process Methods 0.000 description 11
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 11
- 239000005354 aluminosilicate glass Substances 0.000 description 10
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 10
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 10
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 9
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 9
- 238000004031 devitrification Methods 0.000 description 9
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 8
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910000287 alkaline earth metal oxide Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 8
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 8
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 7
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 6
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 239000011819 refractory material Substances 0.000 description 6
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 5
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 5
- 239000002585 base Substances 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 5
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 5
- -1 tin halides Chemical class 0.000 description 5
- 229910000323 aluminium silicate Inorganic materials 0.000 description 4
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 4
- 239000010433 feldspar Substances 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 238000003286 fusion draw glass process Methods 0.000 description 4
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 4
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 4
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 4
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 description 3
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XOJVVFBFDXDTEG-UHFFFAOYSA-N Norphytane Natural products CC(C)CCCC(C)CCCC(C)CCCC(C)C XOJVVFBFDXDTEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000006124 Pilkington process Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 238000004630 atomic force microscopy Methods 0.000 description 3
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 3
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005352 clarification Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000002823 nitrates Chemical class 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 3
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 3
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 3
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 2
- 229910021193 La 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000019738 Limestone Nutrition 0.000 description 2
- 235000006508 Nelumbo nucifera Nutrition 0.000 description 2
- 240000002853 Nelumbo nucifera Species 0.000 description 2
- 235000006510 Nelumbo pentapetala Nutrition 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052661 anorthite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 2
- AYJRCSIUFZENHW-UHFFFAOYSA-L barium carbonate Chemical compound [Ba+2].[O-]C([O-])=O AYJRCSIUFZENHW-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 229910052810 boron oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 2
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 230000002939 deleterious effect Effects 0.000 description 2
- GWWPLLOVYSCJIO-UHFFFAOYSA-N dialuminum;calcium;disilicate Chemical compound [Al+3].[Al+3].[Ca+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GWWPLLOVYSCJIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical compound O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010459 dolomite Substances 0.000 description 2
- 229910000514 dolomite Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000005816 glass manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000156 glass melt Substances 0.000 description 2
- 230000012010 growth Effects 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 2
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012804 iterative process Methods 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 239000006028 limestone Substances 0.000 description 2
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 2
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 235000010755 mineral Nutrition 0.000 description 2
- 239000011707 mineral Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000003345 natural gas Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 description 2
- 238000012797 qualification Methods 0.000 description 2
- 238000007670 refining Methods 0.000 description 2
- 239000003870 refractory metal Substances 0.000 description 2
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 2
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 2
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 2
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DHEQXMRUPNDRPG-UHFFFAOYSA-N strontium nitrate Chemical compound [Sr+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O DHEQXMRUPNDRPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 2
- NGCDGPPKVSZGRR-UHFFFAOYSA-J 1,4,6,9-tetraoxa-5-stannaspiro[4.4]nonane-2,3,7,8-tetrone Chemical compound [Sn+4].[O-]C(=O)C([O-])=O.[O-]C(=O)C([O-])=O NGCDGPPKVSZGRR-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 238000007088 Archimedes method Methods 0.000 description 1
- 229910015999 BaAl Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910015902 Bi 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical compound [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021532 Calcite Inorganic materials 0.000 description 1
- VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L Calcium carbonate Chemical compound [Ca+2].[O-]C([O-])=O VTYYLEPIZMXCLO-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 241000196324 Embryophyta Species 0.000 description 1
- CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N Fe2+ Chemical compound [Fe+2] CWYNVVGOOAEACU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910005191 Ga 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005793 GeO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 229910018068 Li 2 O Inorganic materials 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006406 SnO 2 At Inorganic materials 0.000 description 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000003570 air Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- 230000003698 anagen phase Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 1
- 239000000378 calcium silicate Substances 0.000 description 1
- 229910052918 calcium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- OYACROKNLOSFPA-UHFFFAOYSA-N calcium;dioxido(oxo)silane Chemical compound [Ca+2].[O-][Si]([O-])=O OYACROKNLOSFPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 229910001597 celsian Inorganic materials 0.000 description 1
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 239000007859 condensation product Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000006063 cullet Substances 0.000 description 1
- 230000001351 cycling effect Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- FSBVERYRVPGNGG-UHFFFAOYSA-N dimagnesium dioxido-bis[[oxido(oxo)silyl]oxy]silane hydrate Chemical compound O.[Mg+2].[Mg+2].[O-][Si](=O)O[Si]([O-])([O-])O[Si]([O-])=O FSBVERYRVPGNGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 239000005329 float glass Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000007496 glass forming Methods 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 231100001261 hazardous Toxicity 0.000 description 1
- 150000004677 hydrates Chemical class 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- BDAGIHXWWSANSR-NJFSPNSNSA-N hydroxyformaldehyde Chemical compound O[14CH]=O BDAGIHXWWSANSR-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- 230000003116 impacting effect Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000001095 inductively coupled plasma mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000002427 irreversible effect Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L magnesium carbonate Chemical compound [Mg+2].[O-]C([O-])=O ZLNQQNXFFQJAID-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000001095 magnesium carbonate Substances 0.000 description 1
- 229910000021 magnesium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L magnesium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Mg+2] VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000347 magnesium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 229910001862 magnesium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000391 magnesium silicate Substances 0.000 description 1
- 229910052919 magnesium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019792 magnesium silicate Nutrition 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001404 mediated effect Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000037230 mobility Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 235000021317 phosphate Nutrition 0.000 description 1
- 150000003013 phosphoric acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
- 238000000275 quality assurance Methods 0.000 description 1
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 1
- 229910001404 rare earth metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 238000007652 sheet-forming process Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003283 slot draw process Methods 0.000 description 1
- 238000002791 soaking Methods 0.000 description 1
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 241000894007 species Species 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 238000010561 standard procedure Methods 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 229910000018 strontium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004781 supercooling Methods 0.000 description 1
- 238000005382 thermal cycling Methods 0.000 description 1
- 150000003606 tin compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000314 transition metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000411 transmission spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000000196 viscometry Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010456 wollastonite Substances 0.000 description 1
- 229910052882 wollastonite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052845 zircon Inorganic materials 0.000 description 1
- GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N zirconium(iv) silicate Chemical compound [Zr+4].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
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- C03C3/04—Glass compositions containing silica
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Abstract
公开了基本无碱的玻璃,可以使用这些玻璃来生产平板显示设备(例如有源矩阵液晶显示器(AMLCD))的基板。这些玻璃具有高的退火温度及蚀刻速率。也公开了用于使用下拉过程(例如熔融过程)来生产基本无碱的玻璃的方法。也公开了包括玻璃片的消费性电子产品。
Description
相关申请案的交叉引用
本申请案依据专利法主张于2018年1月15日所提出的第62/617386号的美国临时专利申请案的优先权权益,这个申请案的整体内容于本文中以引用方式依附及并入本文中。
技术领域
本公开内容的实施例与显示器玻璃相关。更具体来说,本公开内容的实施例与用于有源矩阵液晶显示器的显示器玻璃相关。
背景技术
液晶显示器(例如有源矩阵液晶显示器件(AMLCD))的生产是复杂的,并且基板玻璃的性质是重要的。首要地,用于生产AMLCD设备的玻璃基板的实体尺度需要被严格地控制。下拉片材拉制过程且特别是都属于Dockerty的第3,338,696及3,682,609号的美国专利中所述的熔融过程,能够生产可用作基板的玻璃片,而不需要昂贵的后成形精加工操作(例如磨光及抛光)。不幸的是,熔融过程对玻璃性质施加了相当严格的限制条件,这些限制条件需要相对高的液相线黏度。
在液晶显示器领域中,基于多晶硅的薄膜晶体管(TFT)是优选的,因为它们能够更有效地输送电子。基于多晶硅的硅晶体管(p-Si)的特征在于具有比基于非晶硅基的晶体管(a-Si)的那些迁移率更高的迁移率。这允许制造更小及更快的晶体管,这最终生产更亮及更快的显示器。
基于p-Si的晶体管的一个问题是它们的制造需要比制造a-Si晶体管时所采用的那些过程温度更高的过程温度。相较于制造a-Si晶体管时所采用的350℃尖峰温度而言,这些温度的范围从450℃到600℃。在这些温度下,大多数AMLCD玻璃基板经历称为压实的过程。压实度(也称为热稳定性或尺度改变)是玻璃基板中由玻璃假定温度的改变引起的不可逆的尺度改变(缩小)。”假定温度”是用来指示玻璃的结构状态的概念。因为较高的”冻结”温度的结构,从高温快速冷却的玻璃据说具有更高的假定温度。更缓慢地冷却的玻璃或通过被保持在玻璃的退火点附近一段时间来退火的玻璃据说具有较低的假定温度。
有两种方法可以最小化玻璃中的压实度。第一种是对玻璃进行热预处理,以产生与玻璃在p-Si TFT制造过程期间将经历的假定温度类似的假定温度。这种方法有几处难点。首先,在p-Si TFT制造期间所采用的多个加热步骤在玻璃中产生了稍微不同的假定温度,这些假定温度不能通过这种预处理完全补偿。其次,玻璃的热稳定性变得与p-Si TFT制造的细节密切相关,这可以意味着对于不同的最终使用者有着不同的预处理。最后,预处理提高了处理成本及复杂性。
另一种方法是通过提高玻璃的黏度来减慢过程温度下的应变速率。这可以通过提高玻璃的黏度来实现。退火点表示与玻璃的固定黏度对应的温度,且因此退火点的提高等于固定温度下的黏度的提高。然而,这种方法的挑战是生产具有成本效益的高退火点玻璃。影响成本的主要因素是缺陷及资产寿命。在耦接到熔融拉制机的现代熔化器中,常常会遇到四种类型的缺陷:(1)气态夹杂物(气泡或起泡);(2)来自耐火材料或由无法正确熔化批料引起的固体夹杂物;(3)主要由铂组成的金属缺陷;及(4)由异形槽(isopipe)的任一端处的低液相线黏度或过度失透造成的失透产物。玻璃组成对熔化速率具有不成比例的影响,因此对玻璃形成气态或固态缺陷的倾向具有不成比例的影响,并且玻璃的氧化状态影响掺入铂缺陷的倾向。可以通过选择具有高液相线黏度的组成来最佳地管理成形心轴或异形槽上的玻璃的失透。
资产寿命主要是由熔化及成形系统的各种耐火及贵金属组件的磨损或变形速率所确定的。耐火材料、铂系统设计、及异形槽耐火材料的最新进展已提供了大大延长耦接到熔融拉制机的熔化器的有用操作寿命的潜力。其结果是,现代的熔融拉制熔化及成形平台的寿命限制组件是用来加热玻璃的电极。氧化锡电极随时间缓慢腐蚀,并且腐蚀速率是温度及玻璃组成两者的强函数。为了使资产寿命最大化,识别在保持上述缺陷限制属性的同时降低电极腐蚀速率的组成是合乎需要的。
只要玻璃的压实度低于阈值水平,确定玻璃作为基板的合适性的重要属性就是在制造TFT期间的基板的总节距(total pitch)的可变性或所述可变性的缺乏,所述可变性或其缺乏可以造成TFT的组件的错准且造成最终显示器中的不良像素。这种可变性极大部分是由以下项目所引起的:玻璃的压实度的变化、由在TFT制造期间沉积的膜所施加的应力下的玻璃的弹性扭曲的变化、及在TFT制造期间的那些相同应力的松弛的变化。具有高尺度稳定性的玻璃将具有降低的压实度可变性以及降低的应力松弛,并且具有高杨氏模量的玻璃将有助于减少由膜应力引起的扭曲。从而,具有高模量及高尺度稳定性两者的玻璃将使TFT过程期间的总节距可变性最小化,使其成为这些应用的有利基板。
虽然总节距可变性是将玻璃组成用作TFT背板的合适性的关键属性,但其他的属性也相当重要。在完成TFT的制造之后,面板制造商通过酸蚀刻使显示器变薄以降低最终显示器的厚度及重量。从而,在市售的酸成分中快速蚀刻的玻璃会允许更经济地使玻璃变薄。类似地,具有低密度的玻璃也会有助于合乎需要地降低最终显示器的重量。
压实的幅度取决于用来制作玻璃的过程及玻璃的黏滞弹性性质两者。在用于由玻璃生产片状产品的浮法过程中,玻璃片从熔体相对缓慢地冷却,且因此将相对低温的结构”冻结”到玻璃中。相反地,熔融过程使得玻璃片从熔体非常快速地淬火,并在相对高温的结构下冻结。其结果是,与通过熔融过程所生产的玻璃相比,通过浮法过程所生产的玻璃可以经受较少的压实,因为压实的驱动力是在压实期间由玻璃经历的假定温度与过程温度之间的差异。因此,最小化由下拉过程所生产的基于玻璃的基板中的压实水平会是合乎需要的。
此外,本领域需要在允许可靠的厚度降低以及其它有利的性质及特性的同时具有高模量和高尺度稳定性的玻璃组成。
发明内容
各种实施例涉及玻璃,所述玻璃具有:从约1重量ppm(ppm by weight)到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中的Na2O含量。在一或更多个实施例中,本文中描述了包括这类玻璃的玻璃片及包括这类玻璃片的消费性电子产品。这类玻璃可以依据下文所述的实施例。
本公开内容的一或更多个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:SiO2为68.5-72.0,Al2O3大于或等于约13.0,B2O3小于或等于约2.5,MgO为1.0-6.0,CaO为4.0-8.0,SrO小于或等于约4.5,BaO小于或等于约4.5,使得(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3小于或等于约1.6。玻璃的蚀刻指数大于或等于约23,退火点大于或等于约800℃,模量大于82GPa。
一或更多个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:SiO2为63.0-71.0,Al2O3为13.0-14.0,B2O3>0-3.0,MgO为0.9-9.0,CaO为5.25-6.5,SrO>0-6.0,BaO为1.0-9.0,所述玻璃基本无碱,且蚀刻指数>21μm/mm3。在一些实施例中,玻璃包括以下用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:SiO2为68.0-71.0,B2O3>0-2.0,MgO为3.5-5.0,SrO>0-2.0,BaO为2.5-4.5。
一或更多个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:SiO2为68.0-70.5,Al2O3为13.0-14.0,B2O3>0-3.0,MgO为0.9-9.0,CaO为5.25-11,SrO>0-6.0,BaO为1.0-9.0,其中所述玻璃基本无碱,且蚀刻指数>21μm/mm3。在一些实施例中,玻璃包括用摩尔百分比为单位的基于氧化物的以下成分:B2O3>0-2.0,MgO为3.5-5.0,CaO为5.25-10.0,SrO>0-2.0,BaO为2.5-4.5。
一或更多个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:SiO2为63.0-75.0,Al2O3为13.0-14.0,B2O3>0-2.8,MgO为0.9-9.0,CaO为5.25-11,SrO>0-6.0,BaO为1.0-9.0,其中所述玻璃基本无碱,且蚀刻指数>21μm/mm3。在一些实施例中,玻璃包括以下用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:SiO2为68.0-72.0,B2O3>0-2.0,MgO为3.5-5.0,CaO为5.25-10.0,SrO>0-2.0,BaO为2.5-4.5。
本公开内容的一或更多个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:SiO2为63.0-75.0,Al2O3为13.0-14.0,B2O3>0-3.0,MgO为0.9-9.0,CaO为5.25-11,SrO>0-6.0,BaO为3.0-5.4,其中所述玻璃基本无碱,且蚀刻指数>21μm/mm3。在一些实施例中,玻璃包括以下用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:SiO2为68.0-72.0,B2O3>0-2.0,MgO为3.5-5.0,CaO为5.25-10.0,SrO>0-2.0,BaO为2.5-4.5。
本公开内容的一或更多个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:SiO2为63.0-75.0,Al2O3为13.0-14.5,B2O3>0-2.0,MgO为0.9-9.0,CaO为5.0-6.5,SrO>0-6.0,BaO为1.0-9.0,所述玻璃基本无碱,(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3为1.1-1.6,且蚀刻指数>21μm/mm3。在一些实施例中,玻璃包括用摩尔百分比为单位的基于氧化物的以下成分:SiO2为68.0-72.0,MgO为3.5-5.0,CaO为5.25-6.5,SrO>0-2.0,BaO为2.5-4.5。
一或更多个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:SiO2为63.0-71.0,Al2O3为13.0-14.0,B2O3>0-2.0,MgO为0.9-9.0,CaO为5.25-6.5,SrO>0-6.0,BaO为1.0-9.0,其中所述玻璃基本无碱,且蚀刻指数>21μm/mm3。在一些实施例中,玻璃包括以下用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:SiO2为68.0-71.0,MgO为3.5-5.0,SrO>0-2.0,BaO为2.5-4.5。
一或更多个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:SiO2为63.0-71.0,Al2O3为13.0-14.0,B2O3>0-2.0,MgO为0.9-9.0,CaO为5.0-6.5,SrO>0-6.0,BaO为3.5-4.0,其中所述玻璃基本无碱,且蚀刻指数>21μm/mm3。在一些实施例中,玻璃包括用摩尔百分比为单位的基于氧化物的以下成分:SiO2为68.0-71.0,MgO为3.5-5.0,SrO>0-2.0。
一或更多个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:SiO2为63.0-71.0,Al2O3为13.0-14.0,B2O3>0-2.0,MgO为0.9-9.0,CaO为5.0-6.5,SrO>0-6.0,BaO为1.0-9.0,CaO与BaO的总和>8.6,其中所述玻璃基本无碱,且蚀刻指数>21μm/mm3。在一些实施例中,玻璃包括以下用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:SiO2为68.0-71.0,MgO为3.5-5.0,SrO>0-2.0,BaO为2.5-4.5。
本公开内容的额外实施例涉及一种玻璃,所述玻璃具有:大于或等于约785℃的退火温度;小于或等于约2.65g/cc的密度;小于或1750℃的T(200P);小于或等于约1340℃的T(35kP);大于或等于约82GPa的杨氏模量;及大于或等于约21μm/mm3的蚀刻指数,如由以下公式所界定:-54.6147+(2.50004)*(Al2O3)+(1.3134)*(B2O3)+(1.84106)*(MgO)+(3.01223)*(CaO)+(3.7248)*(SrO)+(4.13149)*(BaO),其中所述玻璃是基本无碱的。在一些实施例中,玻璃具有以下项目中的一或更多者:大于或等于约800℃的退火温度;小于或等于约2.61g/cc的密度;小于或等于约1700℃的T(200P);小于或等于约1310℃的T(35kP);及/或大于或等于约21μm/mm3的蚀刻指数。在各种实施例中,玻璃包括以下项目中的一或更多者:SiO2在氧化物的基础上用摩尔百分比为单位是在68.1-72.3的范围中;Al2O3在氧化物的基础上用摩尔百分比为单位是在11.0-14.0的范围中;B2O3在氧化物的基础上用摩尔百分比为单位是在>0-3.0的范围中;MgO在氧化物的基础上用摩尔百分比为单位是在1.0-7.2的范围中;MgO在氧化物的基础上用摩尔百分比为单位是在3.1-5.8的范围中;CaO在氧化物的基础上用摩尔百分比为单位是在4.1-10.0的范围中;CaO在氧化物的基础上用摩尔百分比为单位是在4.5-7.4的范围中;SrO在氧化物的基础上用摩尔百分比为单位是在>0-4.2的范围中;SrO在氧化物的基础上用摩尔百分比为单位是在>0-2.0的范围中;BaO在氧化物的基础上用摩尔百分比为单位是在1.2-4.4的范围中;及/或BaO在氧化物的基础上用摩尔百分比为单位是在2.6-4.4的范围中。在一些实施例中,玻璃包括用摩尔百分比为单位的基于氧化物的以下成分:SiO2为68.0-72.0,B2O3为0.1-3.0,且CaO为5.0-6.5。在一或更多个实施例中,玻璃包括用摩尔百分比为单位的基于氧化物的以下成分:Al2O3为13.0-14.0,B2O3为0.1-3.0,且CaO为5.25-6.0。
本公开案的一些实施例涉及一种基本无碱的玻璃。所述玻璃包括用摩尔百分比为单位的基于氧化物的以下成分:SiO2为69.76-71.62,Al2O3为11.03-13.57,B2O3为0-2.99,MgO为3.15-5.84,CaO为4.55-7.35,SrO为0.2-1.99,BaO为2.61-4.41,且ZnO为0-1.0,其中(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3的比率是在约1.0到1.6的范围中,且MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)的比率是在约0.22到0.37的范围中。
本公开内容的一或更多个实施例涉及基本无碱的玻璃,所述玻璃包括用摩尔百分比为单位的基于氧化物的以下成分:SiO2为68.14-72.29,Al2O3为11.03-14.18,B2O3为0-2.99,MgO为1.09-7.2,CaO为4.12-9.97,SrO为0.2-4.15,BaO为1.26-4.41,且ZnO为0-1.0,其中(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3的比率是在约1.0到1.6的范围中,且MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)的比率是在约0.22到0.37的范围中。
本公开案的一些实施例涉及一种基本无碱的玻璃。所述玻璃的(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3的比率是在约1.0到1.6的范围中,MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)的比率是在约0.22到0.37的范围中,T(退火)>785,密度<2.65g/cc,T(200P)<1750℃,T(35kP)<1340℃,杨氏模量>82GPa,且蚀刻指数>21μm/mm3。
本公开内容的额外实施例涉及一种基本无碱的玻璃,其中(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3是在约1.0到1.6的范围中,MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)的比率是在约0.22到0.37的范围中,且蚀刻指数>21μm/mm3。
在一或更多个实施例中,一种基本无碱的玻璃的(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3是在1.0到1.6的范围中,MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)的比率是在约0.22到0.37的范围中,且液相线黏度>150kP。
本公开案的一些实施例涉及一种基本无碱的玻璃,其中(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3是在约1.0到约1.6的范围中,蚀刻指数大于或等于21μm/mm3,T(退火)>800℃,且杨氏模量>82GPa。
本公开内容的另外的实施例涉及基本无碱的铝硅酸盐玻璃制品。所述玻璃制品具有:大于或等于约795℃的退火温度;小于或等于约2.63g/cc的密度;小于或等于约1730℃的T(200P);小于或等于约1320℃的T(35kP);大于或等于约81.5GPa的杨氏模量;及大于或等于约23μm/mm3的蚀刻指数。
本公开内容的额外实施例涉及基本无碱的铝硅酸盐玻璃制品。这些制品具有:大于或等于约800℃的退火温度;小于或等于约2.61g/cc的密度;小于或1710℃的T(200P);小于或等于约1310℃的T(35kP);大于或等于约81.2GPa的杨氏模量;及大于或等于约23μm/mm3的蚀刻指数。
本公开内容的额外实施例涉及一种物体,所述物体包括由下拉片材制造过程所生产的玻璃。另外的实施例涉及由熔融过程或其变体所生产的玻璃。
附图说明
被合并在本说明书中且构成本说明书的一部分的附图绘示了下文所描述的几个实施例。
图1示出用来在熔融拉制过程中制作精确片材的成形心轴的示意表示;
图2示出沿着位置6截取的图1的成型心轴的横截面图;
图4A为合并本文中所公开的基于涂覆玻璃的制品中的任一者的示例性电子设备的平面图;
图4B是图4A的示例性电子设备的透视图;
图5是一个图表,示出在260ppm的Na2O浓度作为基准的情况下在450℃、550℃、及650℃下30分钟时的正规化应力松弛比率;
图6是一个图表,示出采用260ppm的Na2O作为参考且是550℃下的时间的函数的正规化应力松弛比率;及
图7是一个图表,示出在30分钟的循环内在500℃下的压实度与Na2O含量的关系。
具体实施方式
本文描述的是无碱玻璃及其制作方法,这些玻璃具有高退火点及高杨氏模量,允许玻璃在TFT的制造期间具有优异的尺度稳定性(即低压实度),从而降低TFT过程期间的可变性。具有高退火点的玻璃可以有助于防止在制造玻璃之后的热处理期间由于压实/缩小引起的面板扭曲。另外,本公开内容的一些实施例具有高蚀刻速率,允许背板的经济薄化,以及异常高的液相线黏度,从而降低或消除相对冷的成形心轴上的失透的可能性。示例性玻璃的组成的具体细节的结果是,示例性玻璃熔化到具有非常低水平的气态夹杂物的良好质量,并且对贵金属、耐火材料、及氧化锡电极材料的侵蚀最小。
在一个实施例中,基本无碱的玻璃可以具有高的退火点。在一些实施例中,退火点大于约785℃、790℃、795℃、或800℃。虽然不希望受到任何特定操作理论的束缚,但认为对于在低温多晶硅过程中用作背板基板的示例性玻璃而言,这类高退火点造成低松弛率—且因此造成相对少量的压实。
先前相信,通过降低含有低于260重量ppm(ppm by weight)(0.026重量百分比)的无碱玻璃中的Na2O含量将不会获得益处。依据一或更多个实施例,确定的是,将无碱玻璃中的Na2O含量降低到小于260ppm令人惊讶地且有利地影响了压实度,特别是低温循环中的压实度。
在具体的实施例中,玻璃包括了从约1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中的Na2O含量。在一或更多个实施例中,本文中描述了包括这类玻璃的玻璃片及包括这类玻璃片的消费性电子产品。
可以使用本公开内容的玻璃来生产具有优异的总节距可变性(TPV)的玻璃、玻璃制品(例如玻璃片及玻璃基板),所述优异的总节距可变性是由三个度量所测量的:(1)高温测试循环(HTTC)中的压实度小于40ppm;(2)低温测试循环(LTTC)中的压实度小于5.5ppm、小于1ppm、及小于0.5ppm;及(3)应力松弛率与应力松弛测试循环(SRTC)中所松弛的小于50%一致。通过满足所有三个准则,确保了玻璃基板或玻璃制品对于最高分辨率的TFT制造循环是可接受的。在具体的实施例中,将钠含量降低到低于260ppm影响了LTTC。
以下是这些测试循环的简要说明:
高温测试循环(HTTC)
试样是依据美国专利申请公开文件2017/0144918的图1中所示的热曲线在箱式炉中热处理的。首先,将炉子预热到略高于590℃。然后将五个试样(四个实验性,一个对照)的堆叠通过炉子前面的小狭缝投入炉子中。在将试样投入炉子中30分钟后,将试样从炉子中淬火出来到环境空气中。试样在590℃的尖峰温度下的总时间约为18分钟。出于本公开内容的目的,应将这个测试准测界定为高温测试循环或HTTC。
低温测试循环(LTTC)
由典型的TFT数组或CF基板热循环所造成的热压实幅度不足以作出可靠的质量保证测量。450℃/1小时的热循环用来实现更大的压实讯号,而允许识别性能的真实变化。在投入五个试样(四个实验及一个控制)的堆叠之前,将炉保持在略高于450℃。炉子需要大约7分钟的恢复时间才能达到目标保温温度。在达到设定点之后就将试样保持在450℃下达1小时,然后投出到室温。美国专利申请公开文件2017/0144918的图2中示出了示例热迹线。出于本公开内容的目的,应将这个测试准测界定为低温测试循环或LTTC。
应力松弛测试循环(SRTC)
将玻璃板的试样切割成10.00mm宽且长度大于宽度的梁。将玻璃的厚度保持在其形成时的厚度(在0.5mm与0.7mm之间)。通过以下步骤开始应力松弛实验:将玻璃试样装载到安置在电阻加热的电炉内部的两个刚性支撑件上,将S型热电偶安置为紧邻梁的中心,及调整推杆位置。两个刚性支撑件的跨度长度为88.90mm。推杆的下端在室温下高于玻璃的表面约5mm。炉子的温度被快速升高到650℃的最终实验温度(5到10分钟内),并在那里闲置达约5到5.5分钟,以实现安置在炉子内部的所有部件的热平衡。通过用2.54mm/min的速率降低推杆并监测测力计(LC)的讯号来继续实验。这样做是为了找到推杆与玻璃梁的接触点。一旦LC讯号达到0.1磅,它就触发将装载速率加速到10.16mm/min。当梁的中心偏转达到最终目标值(例如,2.54mm)时,停止装载,并且程序从应力控制模式切换到应变控制模式。在实验的其余部分期间应变保持恒定,而应力是可变的。从推杆与玻璃的第一次接触到达到2.54mm的最大应变的时间点的总时间约为12s。在已经收集了几小时的应变、应力、与时间数据的关系之后,实验结束。
现在提供具体实施例。一个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括了范围如下的用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:SiO2为68.5-72.0,Al2O3大于或等于约13.0,B2O3小于或等于约2.5,MgO为1.0-6.0,CaO为4.0-8.0,SrO小于或等于约4.5,BaO小于或等于约4.5,使得(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3小于或等于约1.6并且具有大于或等于约23的蚀刻指数,退火点大于或等于约800℃,Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中,及模量大于82GPa。
一个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括了范围如下的用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:SiO2为68.0-70.5,Al2O3为13.0-14.0,B2O3>0-3.0,MgO为0.9-9.0,CaO为5.25-11,SrO>0-6.0,BaO为1.0-9.0,玻璃基本无碱,Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中,及具有蚀刻指数>21μm/mm3。一个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括了范围如下的用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:SiO2为63.0-75.0,Al2O3为13.0-14.0,BaO3>0-2.8,MgO为0.9-9.0,CaO为5.25-11,SrO>0-6.0,BaO为1.0-9.0,玻璃基本无碱,Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中,及具有蚀刻指数>21μm/mm3。
一个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括了范围如下的用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:SiO2为63.0-75.0,Al2O3为13.0-14.0,B2O3>0-3.0,MgO为0.9-9.0,CaO为5.25-11,SrO>0-6.0,BaO为3.0-5.4,玻璃基本无碱,Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中,及具有蚀刻指数>21μm/mm3。
一个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括了范围如下的用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:SiO2为63.0-75.0,Al2O3为13.0-14.5,B2O3>0-2.0,MgO为0.9-9.0,CaO为5.0-6.5,SrO>0-6.0,BaO为1.0-9.0,玻璃基本无碱,Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中,(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3为1.1-1.6,且蚀刻指数>21μm/mm3。
一个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括了范围如下的用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:SiO2为63.0-71.0,Al2O3为13.0-14.0,B2O3>0-2.0,MgO为0.9-9.0,CaO为5.25-6.5,SrO>0-6.0,BaO为1.0-9.0,玻璃基本无碱,Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中,及具有蚀刻指数>21μm/mm3。
一个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括了范围如下的用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:SiO2为63.0-71.0,Al2O3为13.0-14.0,B2O3>0-2.0,MgO为0.9-9.0,CaO为5.0-6.5,SrO>0-6.0,BaO为3.5-4.0,玻璃基本无碱,Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中,及具有蚀刻指数>21μm/mm3。
一个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括了范围如下的用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:SiO2为63.0-71.0,Al2O3为13.0-14.0,B2O3>0-2.0,MgO为0.9-9.0,CaO为5.0-6.5,SrO>0-6.0,BaO为1.0-9.0,CaO与BaO的总和>8.6,玻璃基本无碱,Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中,及具有蚀刻指数>21μm/mm3。
一个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括:
退火温度大于或等于约785℃;
密度小于或等于约2.65g/cc;
T(200P)小于或等于约1750℃;
T(35kP)小于或等于约1340℃;
杨氏模量大于或等于约82GPa;及
蚀刻指数大于或等于约21μm/mm3,如以下公式所界定:
-54.6147+(2.50004)*(Al2O3)+(1.3134)*(B2O3)+(1.84106)*(MgO)+(3.01223)*(CaO)+(3.7248)*(SrO)+(4.13149)*(BaO),
其中玻璃基本无碱,且Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中。
一个实施例涉及一种基本无碱的玻璃,所述玻璃包括以下用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:SiO2为69.76-71.62,Al2O3为11.03-13.57,B2O3为0-2.99,MgO为3.15-5.84,CaO为4.55-7.35,SrO为0.2-1.99,BaO为2.61-4.41,及ZnO为0-1.0,其中(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3的比率在约1.0到1.6的范围中,Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中,及MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)的比率在约0.22到0.37的范围中。
一个实施例涉及一种基本无碱的玻璃,所述玻璃包括以下用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:SiO2为68.14-72.29,Al2O3为11.03-14.18,B2O3为0-2.99,MgO为1.09-7.2,CaO为4.12-9.97,SrO为0.2-4.15,BaO为1.26-4.41,及ZnO为0-1.0,其中(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3的比率在约1.0到1.6的范围中,Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中,及MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)的比率在约0.22到0.37的范围中。
一个实施例涉及基本无碱的玻璃,其中(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3在约1.0到1.6的范围中,MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)的比率在约0.22到0.37的范围中,T(退火)>785℃,密度<2.65g/cc,T(200P)<1750℃,T(350kP)<1340℃,杨氏模量>82GPa,Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中,及蚀刻指数>21μm/mm3。
一个实施例涉及基本无碱的玻璃,其中(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3在约1.0到1.6的范围中,MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)的比率在约0.22到0.37的范围中,Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中,及蚀刻指数>21μm/mm3。
一个实施例涉及基本无碱的玻璃,其中(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3在约1.0到1.6的范围中,MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)的比率在约0.22到0.37的范围中,Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中,及液相线黏度>150kP。
一个实施例涉及基本无碱的玻璃,其中(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3在约1.0到约1.6的范围中,蚀刻指数大于或等于21μm/mm3,T(退火)>800℃,Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中,及杨氏模量>82GPa。
一个实施例涉及基本无碱的铝硅酸盐玻璃制品,其中所述玻璃制品具有:
退火温度大于或等于约795℃;
密度小于或等于约2.63g/cc;
T(200P)小于或等于约1730℃;
T(35kP)小于或等于约1320℃;
杨氏模量大于或等于约81.5GPa;
Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中;及
蚀刻指数大于或等于约23μm/mm3。
一个实施例涉及基本无碱的铝硅酸盐玻璃制品,其中所述玻璃制品具有:
退火温度大于或等于约800℃;
密度小于或等于约2.61g/cc;
T(200P)小于或等于约1710℃;
T(35kP)小于或等于约1310℃;
杨氏模量大于或等于约81.2GPa;
Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中;及
蚀刻指数大于或等于约23μm/mm3。
一个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括:
T(35kP)大于或等于约1270℃;
SnO2的浓度在约0.001摩尔百分比与0.5摩尔百分比之间,Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中,
及蚀刻指数大于或等于约21μm/mm3。
一个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括:
T(200P)大于或等于约1650℃;
SnO2的浓度在约0.001摩尔百分比与0.5摩尔百分比之间;
Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中;及
蚀刻指数大于或等于约21μm/mm3。
一个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括:
液相线温度大于或等于约1150℃;
SnO2的浓度在约0.001摩尔百分比与0.5摩尔百分比之间;
Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中;及
蚀刻指数大于或等于约21μm/mm3。
一个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括:
T(35kP)大于或等于约1270℃;
Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中;及
SnO2的浓度在约0.001摩尔百分比与0.5摩尔百分比之间。
一个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括:
T(200P)大于或等于约1650℃;
Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中;及
SnO2的浓度在约0.001摩尔百分比与0.5摩尔百分比之间。
一个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括:
退火温度大于或等于约785℃;
杨氏模量大于或等于约81GPa;
T(200P)小于或等于约1750℃;
T(35kP)小于或等于约1340℃;
Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中;及
通过原子力显微术所测量到的平均表面粗糙度小于0.5nm。
一个实施例涉及一种玻璃,其中(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3在约1.0到1.6的范围中,T(退火)>785℃,密度<2.7g/cc,T(200P)<1750℃,T(35kP)>1270℃,杨氏模量>81GPa,Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中。
一个实施例涉及一种玻璃片,所述玻璃片包括:SiO2、B2O3、及Al2O3、BaO、以及MgO、CaO、及SrO中的至少一种,其中RO/(B2O3+Al2O3)在0.5到1.1的范围中,Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中,及BaO/RO在0.22到1的范围中,其中RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)。
一个实施例涉及一种玻璃,其中(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3在约1.0到1.6的范围中,T(退火)>785℃,密度<2.7g/cc,T(200P)<1750℃,T(35kP)>1270℃,杨氏模量>81GPa,Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中。
一个实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括了范围如下的用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:SiO2为63.0-71.0,Al2O3为13.0-14.0,B2O3>0-3.0,MgO为0.9-9.0,CaO为5.25-6.5,SrO>0-6.0,BaO为1.0-9.0,玻璃基本无碱,Na2O含量在从1重量ppm到约259重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约255重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约250重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约245重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约240重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约235重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约230重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约225重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约220重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约215重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约210重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约205重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约200重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约195重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约190重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约185重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约180重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约175重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约170重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约165重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约160重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约155重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约150重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约145重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约140重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约135重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约130重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约125重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约120重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约115重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约110重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约105重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约100重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约95重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约90重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约85重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约80重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约75重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约70重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约65重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约60重量ppm的范围中、从约1重量ppm到约55重量ppm、或在从约1重量ppm到约50重量ppm的范围中,及具有蚀刻指数>21μm/mm3。
在另一个实施例中,在约35,000泊的黏度下的示例性玻璃的温度(T35k)小于或等于约1340℃、1335℃、1330℃、1325℃、1320℃、1315℃、1310℃、1300℃、或1290℃。在具体的实施例中,玻璃在约35,000泊的黏度下的温度(T35k)小于约1310℃。在其他的实施例中,示例性玻璃在约35,000泊的黏度下的温度(T35k)小于约1340℃、1335℃、1330℃、1325℃、1320℃、1315℃、1310℃、1300℃、或1290℃。在各种实施例中,玻璃制品的T35k在约1275℃到约1340℃的范围中,或在约1280℃到约1315℃的范围中。
玻璃的液相线温度(T液相线)是一种温度,在高于所述温度的情况下,没有晶相可以与玻璃平衡共存。在各种实施例中,玻璃制品的T液相线在约1180℃到约1290℃的范围中,或在约1190℃到约1280℃的范围中。在另一个实施例中,与玻璃的液相线温度对应的黏度大于或等于约150,000泊。在一些实施例中,与玻璃的液相线温度对应的黏度大于或等于约175,000泊、200,000泊、225,000泊、或250,000泊。
在另一个实施例中,示例性玻璃可以提供T35k–T液相线>0.25T35k–225℃。这确保了熔融过程的成形心轴上的最小失透倾向。
在一或更多个实施例中,基本无碱的玻璃包括了如下用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:
SiO2 60-80
Al2O3 5-20
B2O3 0-10
MgO 0-20
CaO 0-20
SrO 0-20
BaO 0-20
ZnO 0-20
其中Al2O3、MgO、CaO、SrO、BaO表示各氧化物成分的摩尔百分比。
在一些实施例中,基本无碱的玻璃包括了如下用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:
SiO2 65-75
Al2O3 10-15
B2O3 0-3.5
MgO 0-7.5
CaO 4-10
SrO 0-5
BaO 1-5
ZnO 0-5
其中
1.0≤(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3<2且0<MgO/(MgO+Ca+SrO+BaO)<0.5。
在某些实施例中,基本无碱的玻璃包括了如下用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:
SiO2 67-72
Al2O3 11-14
B2O3 0-3
MgO 3-6
CaO 4-8
SrO 0-2
BaO 2-5
ZnO 0-1
其中
1.0≤(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3<1.6且0.20<MgO/(MgO+Ca+SrO+BaO)<0.40。
在一个实施例中,玻璃包括化学澄清剂。这类澄清剂包括但不限于SnO2、As2O3、SB2O3、F、Cl、及Br,并且其中化学澄清剂的浓度被保持在0.5摩尔百分比的水平下或更少。在一些实施例中,化学澄清剂包括浓度小于或等于0.5摩尔百分比、0.45摩尔百分比、0.4摩尔百分比、0.35摩尔百分比、0.3摩尔百分比、或0.25摩尔百分比的SnO2、As2O3、SB2O3、F、Cl、或Br中的一或更多者。化学澄清剂也可以包括CeO2、Fe2O3、及过渡金属的其他氧化物(例如MnO2)。这些氧化物可以通过这些氧化物在玻璃中的最终价态下的可见光吸收来将颜色引入玻璃,且因此这些氧化物的浓度可以在0.2摩尔百分比的水平下或更低。在一或更多个实施例中,玻璃组成包括浓度小于或等于约0.2摩尔百分比、0.15摩尔百分比、0.1摩尔百分比、或0.05摩尔百分比的一或更多种过渡金属氧化物。在一些实施例中,玻璃组成包括SnO2、As2O3、SB2O3、F、Cl、及/或Br中的任一者或组合,所述成分在约0.01摩尔百分比到约0.4摩尔百分比的范围中。在具体的实施例中,玻璃组成包括Fe2O3、CeO2、及/或MnO2中的任一者或组合,所述成分在约0.005摩尔百分比到约0.2摩尔百分比的范围中。在一些实施例中,As2O3及SB2O3包括小于或等于0.005摩尔百分比的玻璃组成。
在一个实施例中,通过熔融过程来将示例性玻璃制造成片材。熔融拉制过程可以造成原始的、火焰抛光的玻璃表面,所述玻璃表面减少了高分辨率TFT背板及滤色片的表面介导的扭曲。图1是非限制性熔融拉制过程中的成形心轴或异形槽的示意图。图2是图1中的位置6附近的异形槽的示意横截面。玻璃从入口1被引入,沿着由堰壁9形成的流槽4的底部流到压缩端2。玻璃溢出异形槽的任一侧上的堰壁9(参照图2),且两道玻璃流在根部10处接合或融合。异形槽的任一端处的边缘导向器3用来冷却玻璃且在边缘处产生称为珠缘的较厚条带。珠缘被拉辊向下拉,因此允许在高黏度下进行片材成形。通过调整将片材拉离异形槽的速率,可能使用熔融拉制过程来在固定的熔化速率下产生范围非常广的厚度。
可以将下拉片材拉制过程且特别是第3,338,696及3,682,609号的美国专利(两者都属于Dockerty)中所描述的熔融过程(这些美国专利以引用方式并入)用在本文中。虽然不希望受到任何特定操作理论的束缚,但认为,熔融过程可以生产不需要抛光的玻璃基板。目前的玻璃基板抛光能够生产具有由原子力显微术所测量到的大于约0.5nm(Ra)的平均表面粗糙度的玻璃基板。由熔融过程所生产的玻璃基板具有由原子力显微术所测量到的小于0.5nm的平均表面粗糙度。基板也具有由光迟滞所测量到的小于或等于150psi的平均内部应力。当然,不应将附于本文的权利要求书如此限于熔融过程,因为本文中所述的实施例可同等适用于其他成形过程(例如但不限于浮法成形过程)。
在一个实施例中,使用熔融过程来将示例性玻璃制造成片材。虽然示例性玻璃与熔融过程兼容,但也可以通过不同的制造过程来将这些玻璃制造成片材或其他器皿。这类过程包括槽拉、浮法、轧制、及本领域中的技术人员所熟知的其他片材成形过程。
相对于这些用于产生玻璃片的替代方法,如上文所论述的熔融过程能够产生具有原始表面的非常薄、非常扁平、非常均均的片材。槽拉也可以造成原始的表面,但是由于孔口形状随时间改变、挥发性碎屑在孔口-玻璃交接处累积、及产生孔口以递送真正扁平的玻璃的挑战,槽拉的玻璃尺度均匀性及表面质量一般不如熔融拉制的玻璃。浮法过程能够递送非常大型、均匀的片材,但是由于一侧与浮浴接触,且另一侧暴露于来自浮浴的凝结产物,表面是显著受损的。这意味着,必须抛光浮法玻璃以供用在高性能显示应用中。
熔融过程可以涉及从高温快速冷却玻璃,而造成高的假定温度Tf:可以认为假定温度表示了玻璃的结构状态与在关注的温度下完全松弛时会假设的状态之间的差异。将具有玻璃转化温度Tg的玻璃再加热到过程温度Tp使得Tp<Tg≤Tf可以被玻璃的黏度影响。因为Tp<Tf,玻璃的结构状态在Tp下失去平衡,且玻璃将自发性地朝向在Tp下平衡的结构状态松弛。此松弛速率与在Tp下的玻璃的有效黏度成反比,使得高黏度造成了缓慢的松弛速率,且低黏度造成了快速的松弛速率。有效黏度相对于玻璃的假定温度反向地变化,使得低假定温度造成了高的黏度,而高假定温度造成了相对低的黏度。因此,Tp下的松弛速率直接与玻璃的假定温度成比例。在Tp下再加热玻璃时,引入高的假定温度的过程造成了相对高的松弛速率。
降低Tp下的松弛速率的一种手段是提高所述温度下的玻璃的黏度。玻璃的退火点表示玻璃的黏度为1013.2泊的温度。随着温度降低到低于退火点,过冷熔体的黏度提高。在低于Tg的固定温度下,具有较高退火点的玻璃具有比具有较低退火点的玻璃更高的黏度。因此,提高退火点可以提高Tp下的基板玻璃的黏度。一般而言,提高退火点所必需的组成改变也提高所有其他温度下的黏度。在一个非限制性实施例中,由熔融过程所制作的玻璃的假定温度与约1011-1012泊的黏度对应,所以熔融兼容的玻璃的退火点的提高一般也提高其假定温度。对于给定的玻璃,无论成形过程如何,较高的假定温度造成了低于Tg的温度下的较低黏度,因此提高的假定温度抵消了原本会通过提高退火点来获得的黏度提高。为了使Tp下的松弛速率有显著的改变,一般须要在退火点上作出相对大的改变。示例性玻璃的一个方面是,所述玻璃的退火点大于或等于约785℃、或790℃、或795℃、或800℃、或805℃、或810℃、或815℃、或在约796.1℃到约818.3℃的范围中。虽然不希望受到任何特定操作理论的束缚,但认为,这类高退火点在低温TFT处理(例如典型的低温多晶硅快速热退火循环)期间造成了可接受地低的热松弛速率。
除了其对假定温度的影响之外,提高退火点也提高了整个熔化和成形系统的温度,特别是异形槽上的温度。例如,Eagle玻璃和LotusTM玻璃(纽约州康宁市的康宁公司)具有差异达约50℃的退火点,且将这些玻璃递送到异形槽的温度的差异也达约50℃。在延长的时间段内保持高于约1310℃时,形成异形槽的锆石耐火材料显示了热蠕变,这可以通过异形槽本身的重量加上异形槽上的玻璃的重量来加速。示例性玻璃的第二方面是,这些玻璃的递送温度小于或等于约1350℃、或1345℃、或1340℃、或1335℃、或1330℃、或1325℃、或1320℃、或1315℃、或1310℃。这类递送温度可以容许延长制造活动而不需要替换异形槽或延长异形槽替换之间的时间。
相对于具有较低退火点的玻璃,在具有低于1350℃及低于1310℃的高退火点及递送温度的玻璃的制造试验中已经发现,玻璃在异形槽的根部且特别是边缘导向器上显示出较大的失透倾向。异形槽上的温度分布的仔细测量显示,相对于中心根部的温度,边缘导向器的温度远低于预期,并且被认为是由辐射热损失引起的。边缘导向器一般被维持在低于中心根部温度的温度下,以确保玻璃在所述玻璃离开根部时是够黏滞的以使边缘导向器之间的片材处于张力之下,因此维持了扁平的形状。因为边缘导向器被定位在异形槽的任一端处,边缘导向器是难以加热的,且因此根部中心与边缘导向器之间的温差的差异可以达到50℃或更大。
虽然不希望受到理论的束缚,但认为,可以就为温度的函数的玻璃辐射热损失的角度而言了解增加的失透倾向。熔融基本上是等温过程,所以玻璃在特定的黏度下离开入口且在高得多的黏度下离开根部,但黏度的实际值并不强烈取决于玻璃的本体或过程的温度。因此,具有较高退火点的玻璃一般需要比具有较低退火点的玻璃高得多的异形槽温度,以只是匹配递送及离开黏度。举个例子,图3示出与1140℃及1200℃(大约分别是Eagle玻璃及LotusTM玻璃在异形槽的根部(图2中的10)处的温度)对应的黑体频谱。在约2.5μm处的垂直线大约与红外线截止的开始(近红外线中的区域,通过所述区域,硼硅酸盐玻璃中的光吸收非常陡峭地升高到高的、几乎恒定的值)对应。在比截止波长短的波长下,玻璃明显对于300与400nm之间的波长(UV截止)透明。在约300nm与约2.5μm之间,相较于1140℃的黑体,1200℃的黑体具有较大的绝对能量及其总能量的较大比例。因为玻璃在此波长范围内完全是明显透明的,来自1200℃下的玻璃的辐射热损失比1140℃下的玻璃大得多。
再次地,虽然不希望受到任何特定操作理论的束缚,但认为,因为辐射热损失随着温度提高,且因为高退火点玻璃一般是在高于较低退火点的玻璃的温度下形成的,中心根部与边缘导向器之间的温差一般随着玻璃的退火点提高。这可能与玻璃在异形槽或边缘导向器上形成失透产物的倾向有直接的关系。
玻璃的液相线温度被界定为若将玻璃无限期保持在一定温度,晶相仍会出现的最高温度。液相线黏度是液相线温度下的玻璃的黏度。为了完全避免异形槽上的失透,让液相线黏度高到足以确保在液相线温度或接近液相线温度下玻璃不再位于异形槽耐火材料或边缘导向器材料上可以是有帮助的。
实际上,很少无碱玻璃具有所需数值的液相黏度。适用于非晶硅应用的基板玻璃(例如Eagle玻璃)的经验指示,可以将边缘导向器连续保持在低于某些无碱玻璃的液相线温度高达60℃的温度下。虽然据了解,具有较高退火点的玻璃会需要较高的成形温度,但是没有预料到边缘导向器相对于中心根部温度会温度低得如此多。用于追踪这个效应的有用度量是递送到异形槽上的递送温度与玻璃的液相线温度(T液相线)之间的差异。在熔融过程中,递送约35,000泊(T35k)下的玻璃一般是合乎需要的。对于特定的递送温度而言,使得T35k–T液相线尽可能地大可以是有用的,但对于非晶硅基板(例如Eagle玻璃)而言发现到,若T35k–T液相线约为80℃或更多则可以进行延长的制造活动。随着温度提高,T35k–T液相线也必须提高,使得对于1300℃附近的T35k而言,让T35k–T液相线等于或大于约100℃可以是有帮助的。T35k–T液相线的最小有用值大约与从约1200℃到约1320℃的温度线性地变化,且可以依据等式(1)来表示。
最小T35k–T液相线=0.25T35k–225(1)
其中所有温度用℃为单位。因此,示例性玻璃的一或更多个实施例具有T35k–T液相线>0.25T35k–225℃。
此外,成形过程可能需要具有高液相线黏度的玻璃。这是必要的,以避免与玻璃交界的界面处的失透产物及最小化最终玻璃中的可见失透产物。因此,对于与熔融兼容的特定片材尺寸及厚度的给定玻璃而言,调整过程以便制造较宽的片材或较厚的片材的操作一般在异形槽的任一端处造成了较低的温度。一些实施例具有较高的液相线黏度以提供通过熔融过程进行制造的较大弹性。在一些实施例中,液相线黏度大于或等于约150kP。
在液相线黏度与熔融过程中的后续失透倾向之间的关系的测试中,发明人已惊讶地发现,相较于具有较低退火点的典型AMLCD基板组成的情况,高的递送温度(例如示例性玻璃的那些递送温度)对于长期生产而言一般需要较高的液相线黏度。虽然不希望受到理论束缚,但认为这是由随着温度提高而加速的晶体生长速率引起的。熔融基本上是一种等黏性过程,所以相较于较低粘度的玻璃,可以通过在较高的温度下熔融来形成在某个固定温度下较黏的玻璃。虽然可以在较低温度下的玻璃中长时间维持某种程度的过冷却(冷却到低于液相线温度),但晶体生长速率随着温度提高,且因此相较于较不黏的玻璃,较黏的玻璃在较短的时间段中长出了等效的、不可接受的失透产物量。取决于形成的位置,失透产物可以损害成形稳定性并在将可见的缺陷引入到最终的玻璃中。
为了通过熔融过程来形成,玻璃组成的一或更多个实施例的液相线黏度大于或等于约150,000泊、或175,000泊、或200,000泊。令人惊讶的结果是,在整个示例性玻璃的范围内,可能获得够低的液相线温度及够高的黏度,使得玻璃的液相线黏度相较于其他的组成而言异常地高。
在本文中所述的玻璃组成中,SiO2充当基础的玻璃形成物。在某些实施例中,SiO2的浓度可以大于60摩尔百分比,以将适于平板显示器玻璃(例如AMLCD玻璃)的密度及化学耐久性、及允许通过下拉过程(例如熔融过程)来形成玻璃的液相线温度(液相线黏度)提供给玻璃。就上限的角度,一般而言,SiO2浓度可以小于或等于约80摩尔百分比,以允许使用常规的、高容积的熔化技术(例如耐火熔化器中的焦耳熔化)来熔化批料。随着SiO2浓度提高,200泊温度(熔化温度)一般升高。在各种应用中,SiO2浓度被调整为使得玻璃组成的熔化温度小于或等于1,750℃。在某些实施例中,SiO2浓度是在约63.0摩尔百分比到约75.0摩尔百分比的范围中、或在约63.0摩尔百分比到约71.0摩尔百分比的范围中、或在约65.0摩尔百分比到约73摩尔百分比的范围中、或在约67摩尔百分比到72摩尔百分比的范围中、或在约68.0到72.0摩尔百分比的范围中、或在约68.0摩尔百分比到约71.0摩尔百分比的范围中、或在约68.0摩尔百分比到约70.5摩尔百分比的范围中、或在约68.1摩尔百分比到约72.3摩尔百分比的范围中、或在约68.5到约72.0摩尔百分比的范围中、或在约68.95摩尔百分比到约71.12摩尔百分比的范围中、或在约69.7到约71.7摩尔百分比的范围中。
Al2O3是用来制作本文中所述的玻璃的另一种玻璃形成物。大于或等于10摩尔百分比的Al2O3浓度将低的液相线温度及高的黏度提供给玻璃,造成高的液相线黏度。至少10摩尔百分比的Al2O3的使用也改善了玻璃的退火点及模量。为了使比率(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3大于或等于1.0,Al2O3浓度可以低于约15摩尔百分比。在一些实施例中,Al2O3浓度是在约11.0到14.0摩尔百分比的范围中、或在约11.0到约13.6摩尔百分比的范围中、或在约13.0摩尔百分比到约14.5摩尔百分比的范围中、或在约13.0摩尔百分比到约14.0摩尔百分比的范围中、或在约13.0摩尔百分比到约14.18摩尔百分比的范围中。在一些实施例中,在将(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3的比率维持为大于或等于约1.0的同时,Al2O3浓度大于或等于约9.5摩尔百分比、10.0摩尔百分比、10.5摩尔百分比、11.0摩尔百分比、11.5摩尔百分比、12.0摩尔百分比、12.5摩尔百分比、或13.0摩尔百分比。
本公开案的一些实施例的模量大于约81GPa、或81.5GPa、或82GPa、或82.5GPa、或83GPa、或83.5GPa、或84GPa、或84.5GPa、或85GPa。在各种实施例中,铝硅酸盐玻璃制品的杨氏模量是在约81GPa到约88GPa的范围中、或在约81.5GPa到约85GPa的范围中、或在约82GPa到约84.5GPa的范围中。
铝硅酸盐玻璃制品的一些实施例的密度小于约2.7g/cc、或2.65g/cc、或2.61g/cc、或2.6g/cc、或2.55g/cc。在各种实施例中,密度是在约2.55g/cc到约2.65g/cc的范围中、或在约2.57g/cc到约2.626g/cc的范围中。
B2O3是协助熔化并降低熔化温度的玻璃形成物及助熔剂两者。它对液相线温度及黏度都有影响。增加B2O3可以用来提高玻璃的液相线黏度。为了实现这些效果,一或更多个实施例的玻璃组成可以具有等于或大于0.1摩尔百分比的B2O3浓度。如上文针对SiO2所论述,玻璃耐久性对于LCD应用来说是非常重要的。可以在一定程度上通过提高碱土金属氧化物的浓度控制耐久性,且可以通过提高B2O3含量来显著降低耐久性。退火点随着B2O3增加而降低,所以相对于非晶硅基板中的B2O3含量的典型浓度将B2O3含量保持较低可以是有帮助的。因此,在一些实施例中,玻璃组成的B2O3浓度是在约0.0到3.0摩尔百分比的范围中、或大于0到约3.0摩尔百分比、或约0.0到约2.8摩尔百分比、或大于0到约2.8摩尔百分比、或约0.0到约2.5摩尔百分比、或大于0到约2.5摩尔百分比、或在约0.0到约2.0摩尔百分比的范围中、或大于0到约2.0摩尔百分比、或在约0.1摩尔百分比到约3.0摩尔百分比的范围中、或在约0.75摩尔百分比到约2.13摩尔百分比的范围中。
可以成对地选择Al2O3及B2O3浓度,以提高退火点、提高模量、改善耐久性、降低密度、及降低热膨胀系数(CTE),同时维持玻璃的熔化及成形性质。
例如,B2O3的增加及Al2O3的对应减少可以有助于获得较低的密度及CTE,而Al2O3的增加及B2O3的对应减少可以有助于提高退火点、模量、及耐久性,条件是Al2O3的增加并不将(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3比率降低到低于1.0。对于低于1.0的(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3比率而言,可能由于氧化硅原料的后期熔化而难以或不可能从玻璃除去气态夹杂物。并且,在(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3≤1.05时,莫来石(铝硅酸盐晶体)可以呈现为液相。一旦莫来石呈现为液相,液相线的组成敏感度就提高相当大,且莫来石失透产物非常快速地生长且一旦累积就非常难以去除。因此,在一些实施例中,玻璃组成的(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3≥1.0(或大于或等于约1.0)。在各种实施例中,玻璃的(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3≥1.05(或大于或等于约1.05)、或在约1到约1.17的范围中。
在一或更多个实施例中,用在AMLCD应用中的玻璃的热膨胀系数(CTE)(22-300℃)是在约28x10-7/℃到约42x10-7/℃的范围中、在约30x10-7/℃到约40x10-7/℃的范围中、或在约32x10-7/℃到约38x10-7/℃的范围中。
除了玻璃形成物(SiO2、Al2O3、及B2O3)以外,本文中所述的玻璃也包括碱土金属氧化物。在一个实施例中,至少三种碱土金属氧化物是玻璃组成的一部分,例如MgO、CaO、及BaO、及可选的SrO。碱土金属氧化物将对熔化、澄清、成形、及最终用途是重要的各种性质提供给玻璃。因此,为了改善这些方面的玻璃性能,在一个实施例中,(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3比率大于或等于约1.0。随着此比例提高,黏度相较于液相线温度倾向于更强烈地提高,且因此越来越难获得合适地高的T35k–T液相线值。因此,在另一个实施例中,比率(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3小于或等于约2。在一些实施例中,(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3比率是在约1到约1.2的范围中、或在约1到约1.16的范围中、或在约1.1到约1.6的范围中。在详细的实施例中,(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3比率小于约1.7、或1.6、或1.5。
对于本公开内容的某些实施例而言,可以将碱土金属氧化物当作实际上单一组成的成分。这是因为它们对黏弹性质、液相线温度、及液相关系的影响相较于它们对玻璃形成氧化物SiO2、Al2O3、及B2O3的影响而言在质量上彼此更为类似。然而,碱土金属氧化物CaO、SrO、及BaO可以形成长石矿物,特别是钙长石(CaAl2Si2O8)及钡长石(BaAl2Si2O8)及这些长石的含锶固溶体,但MgO并不很大程度地加入到这些晶体中。因此,当长石晶体已经是液相时,追加MgO可以用来相对于晶体使液体稳定且因此降低液相线温度。同时,黏度曲线一般变得更陡峭,降低了熔化温度同时对低温黏度有很小的影响或没有影响。
发明人已经发现,添加少量的MgO可以通过降低熔化温度而有益于熔化、通过降低液相线温度及增加液相线黏度而有益于成形,同时保留了高的退火点且因此保留了低的压实度。在各种实施例中,玻璃组成包括在约0.9摩尔百分比到约9摩尔百分比的范围中、或在约1.0摩尔百分比到约7.2摩尔百分比的范围中、或在约1.0摩尔百分比到约6.0摩尔百分比的范围中、或在约2.1摩尔百分比到约5.68摩尔百分比的范围中、或在约3.1摩尔百分比到约5.9摩尔百分比的范围中、或在约3.5摩尔百分比到约5.0摩尔百分比的量的MgO。
发明人已惊讶地发现,具有合适地高的T35k–T液相线值、及合适地高的MgO比其他碱土金属的比率值(MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO))的玻璃落在相对窄的范围内。如上所述,添加MgO可以使长石矿物不稳定,且因此使液体稳定且降低液相线温度。然而,一旦MgO达到某个水平,就可以使莫来石(Al6Si2O13)稳定,因此提高了液相线温度及降低了液相线黏度。并且,较高的MgO浓度倾向于降低液体的黏度,且因此即使通过添加MgO使液相线黏度保持不变,最终的情况将是液相线黏度将降低。因此,在另一个实施例中,0.20≤MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)≤0.40,或在一些实施例中,0.22≤MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)≤0.37。在这些范围内,可以相对于玻璃形成物及其他的碱土金属氧化物改变MgO以在兼容地获得其他所需性质的情况下使T35k–T液相线的值最大化。
虽然不希望受到任何特定操作理论的束缚,但认为,存在于玻璃组成中的氧化钙可以产生低的液相线温度(高的液相线黏度)、高的退火点及模量、及最合乎平板应用(具体而言是AMLCD应用)的需要的范围中的CTE。它也有利于化学耐久性,并且与其他碱土金属氧化物相比,它作为批料是相对便宜的。然而,在高浓度下,CaO提高了密度及CTE。并且,在够低的SiO2浓度下,CaO可以使钙长石稳定,因此降低了液相线黏度。因此,在一或更多个实施例中,CaO浓度可以大于或等于4摩尔百分比(或4.0mol%)。在各种实施方案中,玻璃组成的CaO浓度是在约4.0摩尔百分比到约8.0摩尔百分比的范围中、或在约4.1摩尔百分比到约10摩尔百分比(或10.0摩尔百分比)的范围中、或在约4.12摩尔百分比到约7.45摩尔百分比的范围中、或在约4.5摩尔百分比到约7.4摩尔百分比的范围中、或在约5.0摩尔百分比到约6.5摩尔百分比的范围中、或在约5.25摩尔百分比到约11摩尔百分比(或11.0摩尔百分比)的范围中、或在约5.25摩尔百分比到约10摩尔百分比(或10.0摩尔百分比)的范围中、或约5.25摩尔百分比到约6.5摩尔百分比的范围中、或在约5.25摩尔百分比到约6.0摩尔百分比的范围中。
SrO及BaO都可以有助于低的液相线温度(高的液相线黏度),且因此,本文中所述的玻璃将一般含有这些氧化物中的至少两种。然而,这些氧化物的选择及浓度被选择为避免提高CTE及密度及降低模量及退火点。可以平衡SrO与BaO的相对比例,以便获得物理性质与液相线黏度的合适组合,使得可以通过下拉过程来形成玻璃。在各种实施例中,玻璃的SrO是在约0到约6.0摩尔百分比的范围中、或大于0到约6.0摩尔百分比、或约0到约4.5摩尔百分比、4.2摩尔百分比、或2.0摩尔百分比、或大于0到约4.5摩尔百分比、4.2摩尔百分比、或2.0摩尔百分比、或在约0.45摩尔百分比到约4.15摩尔百分比的范围中。在一些实施例中,SrO的最小量约为0.02摩尔百分比。在一或更多个实施例中,玻璃的BaO是在0到约4.5摩尔百分比的范围中、或大于0到约4.5摩尔百分比、或约1.0到约9.0摩尔百分比、或约1.2摩尔百分比到约4.4摩尔百分比、或约2.42摩尔百分比到约4.3摩尔百分比、或约2.5摩尔百分比到约4.5摩尔百分比、或约2.6摩尔百分比到约4.4摩尔百分比、或约3.0摩尔百分比到约5.4摩尔百分比、或约3.5摩尔百分比到约4.0摩尔百分比。
总结本公开内容的玻璃的中心成分的效果/角色,SiO2是基础的玻璃形成物。Al2O3及B2O3也是玻璃形成物且可以被成对地选择,其中例如B2O3的增加及Al2O3的对应减少被用来获得较低的密度及CTE,而Al2O3的增加及B2O3的对应减少被用于提高退火点、模量、及耐久性,条件是Al2O3的增加不会将RO/Al2O3比率降低到低于约1.0,其中RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)。若所述比率太低,则可熔度受损,亦即熔化温度变得太高。可以使用B2O3来降低熔化温度,但高水平的B2O3减损了退火点。
除了可熔度及退火点的考虑之外,对于AMLCD应用而言,玻璃的CTE应与硅的CTE相容。为了实现这类CTE值,示例性玻璃可以控制玻璃的RO含量。对于给定的Al2O3含量,控制RO含量与控制RO/Al2O3比率对应。实际上,若RO/Al2O3比率低于约1.6,则产生了具有合适CTE的玻璃。
除了这些考虑之外,玻璃优选地可通过下拉过程(例如熔融过程)形成,这意味着玻璃的液相线黏度需要是相对高的。在这方面,个别的碱土金属扮演着重要的角色,因为它们可以使原本会形成的晶相不稳定。BaO及SrO在控制液相线黏度方面特别有效,且至少为此目的而被包括在示例性玻璃中。如下文呈现的示例中所说明的,碱土金属的各种组合将产生具有高液相线黏度的玻璃,其中满足RO/Al2O3比率限制条件的全部的碱土金属需要实现低的熔化温度、高的退火点、及合适的CTE。在一些实施例中,液相线黏度大于或等于约150kP。
除了上述成分外,本文中所述的玻璃组成可以包括各种其他氧化物以调整玻璃的各种物理、熔化、澄清、及成形属性。这类其他氧化物的示例包括但不限于TiO2、MnO、Fe2O3、ZnO、Nb2O5、MoO3、Ta2O5、WO3、Y2O3、La2O3、及CeO2、以及其他稀土元素氧化物及磷酸盐。在一个实施例中,这些氧化物中的每一者的量可以小于或等于2.0摩尔百分比,且它们的总结合浓度可以小于或等于5.0摩尔百分比。在一些实施例中,玻璃组成的ZnO量是在约0到约1.5摩尔百分比的范围中、或约0到约1.0摩尔百分比。本文所述的玻璃组成也可以包括各种与批料相关联及/或通过用来生产玻璃的熔化、澄清、及/或成形配备引入到玻璃中的污染物,特别是Fe2O2及ZrO2。玻璃也可以由于使用氧化锡电极进行焦耳熔化而包含SnO2及/或通过含锡材料(例如SnO2、SnO、SnCO3、SnC2O2等等)的配料操作而包含SnO2。
玻璃组成一般是无碱的;然而,玻璃可以包含一些碱污染物。在AMLCD应用的情况下,将碱含量保持低于0.1摩尔百分比是合乎需要的,以避免通过将来自玻璃的碱离子扩散到薄膜晶体管(TFT)的硅中而对TFT的性能有负面影响。如本文中所使用的,”无碱玻璃”是具有小于或等于0.1摩尔百分比的总碱浓度的玻璃,其中总碱浓度是Na2O、K2O、及Li2O浓度的总和。在一个实施例中,总碱浓度小于或等于0.1摩尔百分比。
如上文所论述,大于或等于1.0的(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3比率改善了澄清操作(亦即从熔化的批料除去气态夹杂物)。这种改善允许使用对环境更友善的澄清机组。例如,在氧化物的基础上,本文中所述的玻璃组成可以具有以下组成特性中的一或更多者或全部:(i)As2O3浓度最多0.05摩尔百分比;(ii)SB2O3浓度最多0.05摩尔百分比;(iii)SnO2浓度最多0.25摩尔百分比。
As2O3是AMLCD玻璃的有效高温澄清剂,且在本文中所述的一些实施例中,因为As2O3的优异澄清性质,As2O3被用于澄清。然而,As2O3是有毒的,且在玻璃制造过程期间需要特殊处置。因此,在某些实施例中,是在不使用大量As2O3的情况下执行澄清,亦即成品玻璃具有最多0.05摩尔百分比的As2O3。在一个实施例中,并不特意将As2O3用于澄清玻璃。在这类情况下,由于存在于批料及/或用来熔化批料的配备中的污染物,成品玻璃将一般具有最多0.005摩尔百分比的As2O3。
虽然毒性不如As2O3,但SB2O3也有毒且需要特殊处置。此外,与使用As2O3或SnO2作为澄清剂的玻璃相比,SB2O3提高了密度、提高了CTE、且降低了退火点。因此,在某些实施例中,是在不使用大量SB2O3的情况下执行澄清,亦即成品玻璃具有最多0.05摩尔百分比的SB2O3。在另一个实施例中,并不特意将SB2O3用于澄清玻璃。在这类情况下,由于存在于批料及/或用来熔化批料的配备中的污染物,成品玻璃将一般具有最多0.005摩尔百分比的SB2O3。
与As2O3和SB2O3澄清相比,锡澄清(亦即,SnO2澄清)较不有效,但SnO2是没有已知有害性质的普遍存在的材料。并且,多年来,通过将氧化锡电极用在AMLCD玻璃的批料的焦耳熔化中,SnO2一直是这类玻璃的成分。AMLCD玻璃中的SnO2的存在还未在将这些玻璃用于制造液晶显示器时造成任何已知的不利影响。然而,高浓度的SnO2并不是优选的,因为这可以造成在AMLCD玻璃中形成晶体缺陷。在一个实施例中,成品玻璃中的SnO2的浓度小于或等于0.25摩尔百分比。
可以依需要单独使用或与其他澄清技术结合使用锡澄清操作。例如,可以将锡澄清操作与卤化物澄清操作(例如溴澄清操作)结合在一起。其他可能的组合包括但不限于锡澄清操作加上硫酸盐、硫化物、氧化铈、机械鼓泡、及/或真空澄清操作。预期可以单独使用这些其他澄清技术。在某些实施例中,将(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3比率及个别的碱土金属的浓度维持在上文所论述的范围内使得澄清过程更容易执行且更有效。
可以使用本领域中习知的各种技术来制造本文中所述的玻璃。在一个实施例中,玻璃是使用下拉过程(举例而言,例如熔融下拉过程)来制作的。在一个实施例中,本文中所述的是一种用于通过下拉过程来生产无碱玻璃片的方法,所述方法包括以下步骤:选择、熔化、及澄清批料,使得构成片材的玻璃包括SiO2、Al2O3、B2O3、MgO、CaO、及BaO,且包括基于氧化物的以下成分:(i)(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3比率大于或等于1.0;(ii)MgO含量大于或等于3.0摩尔百分比;(iii)CaO含量大于或等于4.0摩尔百分比;及(iv)BaO含量大于或等于1.0摩尔百分比,其中:(a)澄清操作是在不使用大量的砷的情况下(且可选地是在不使用大量的锑的情况下)执行的;及(B)由熔化及澄清的批料通过下拉过程生产的50块连序的玻璃片的群体具有小于0.10单位气态夹杂物/立方公分的平均气态夹杂物水平,其中所述群体中的每个片材具有至少500立方公分的体积。
第5,785,726号的美国专利(Dorfeld等人)、第6,128,924号的美国专利(Bange等人)、第5,824,127号的美国专利(Bange等人)、及第7,628,038及7,628,039号的美国专利(De Angelis等人)公开了用于制造无砷玻璃的过程。第7,696,113号的美国专利(Ellison)公开用于使用铁及锡来制造无砷及无锑的玻璃以最小化气态夹杂物的过程。
依据一个实施例,由熔化及澄清的批料通过下拉过程生产的50块连序的玻璃片的群体具有小于0.05单位气态夹杂物/立方公分的平均气态夹杂物水平,其中所述群体中的每个片材具有至少500立方公分的体积。
玻璃组成的蚀刻速率是可以多快从玻璃除去材料的一种量度,并且已经发现快速的蚀刻速率为面板制造商提供了价值。发明人已经识别了”蚀刻指数」,所述蚀刻指数允许我们估算玻璃组成在商业相关的蚀刻过程(例如但不限于浸泡在30℃下的10%HF/5%HCl溶液中十分钟)中的蚀刻速率。这个蚀刻指数由等式(2)界定:
蚀刻指数=-54.6147+(2.50004)*(Al2O3)+(1.3134)*(B2O3)+(1.84106)*(MgO)+(3.01223)*(CaO)+(3.7248)*(SrO)+(4.13149)*(BaO) (2)
其中氧化物用摩尔百分比为单位。在一些实施例中,蚀刻指数大于或等于约21。在各种实施例中,蚀刻指数大于或等于约21.5、22、22.5、23、23.5、24、24.5、25、25.5、26、26.5、27、27.5、28、28.5、29、29.5、30、30.5、或31。
本公开内容的一些实施例涉及一种玻璃组成,所述玻璃组成包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:
SiO2 68.5-72.0
Al2O3≥13.0
B2O3≤2.5
MgO 1.0-6.0
CaO 4.0-8.0
SrO≤4.5
BaO≤4.5
其中
1.0≤(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3≤1.6,
蚀刻指数≥21;
退火点≥800℃;及
模量>82GPa。
本公开内容的一或更多个实施例涉及一种基本无碱的玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:
SiO2 63.0-71.0
Al2O3 13.0-14.0
B2O3>0-3.0
MgO 0.9-9.0
CaO 5.25-6.5
SrO>0-6.0
BaO 1.0-9.0。
本公开内容的一些实施例涉及一种基本无碱的玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:
SiO2 68.0-71.0
Al2O3 13.0-14.0
B2O3>0-2.0
MgO 3.5-5.0
CaO 5.25-6.5
SrO>0-2.0
BaO 2.5-4.5。
本公开内容的一些实施例涉及一种基本无碱的玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:
SiO2 68.0-70.5
Al2O3 13.0-14.0
B2O3>0-3.0
MgO 0.9-9.0
CaO 5.25-11
SrO>0-6.0
BaO 1.0-9.0。
本公开内容的一些实施例涉及一种基本无碱的玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:
SiO2 68.0-70.5
Al2O3 13.0-14.0
B2O3>0-2.0
MgO 3.5-5.0
CaO 5.25-10.0
SrO>0-2.0
BaO 2.5-4.5。
本公开内容的一些实施例涉及一种基本无碱的玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:
SiO2 63.0-75.0
Al2O3 13.0-14.0
B2O3>0-2.8
MgO 0.9-9.0
CaO 5.25-11
SrO>0-6.0
BaO 1.0-9.0。
本公开内容的一些实施例涉及一种基本无碱的玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:
SiO2 68.0-72.0
Al2O3 13.0-14.0
B2O3>0-2.0
MgO 3.5-5.0
CaO 5.25-10.0
SrO>0-2.0
BaO 2.5-4.5。
本公开内容的一些实施例涉及一种基本无碱的玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:
SiO2 63.0-75.0
Al2O3 13.0-14.0
B2O3>0-3.0
MgO 0.9-9.0
CaO 5.25-11
SrO>0-6.0
BaO 3.0-5.4。
本公开内容的一些实施例涉及一种基本无碱的玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:
SiO2 68.0-72.0
Al2O3 13.0-14.0
B2O3>0-2.0
MgO 3.5-5.0
CaO 5.25-10.0
SrO>0-2.0
BaO 2.5-4.5。
本公开内容的一些实施例涉及一种基本无碱的玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:
SiO2 63.0-75.0
Al2O3 13.0-14.5
B2O3>0-2.0
MgO 0.9-9.0
CaO 5.0-6.5
SrO>0-6.0
BaO 1.0-9.0,
(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3为1.1-1.6。
本公开内容的一些实施例涉及一种基本无碱的玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:
SiO2 68.0-72.0
Al2O3 13.0-14.5
B2O3>0-2.0
MgO 3.5-5.0
CaO 5.25-6.5
SrO>0-2.0
BaO 2.5-4.5。
本公开内容的一些实施例涉及一种基本无碱的玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:
SiO2 63.0-71.0
Al2O3 13.0-14.0
B2O3>0-2.0
MgO 0.9-9.0
CaO 5.25-6.5
SrO>0-6.0
BaO 1.0-9.0。
本公开内容的一些实施例涉及一种基本无碱的玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:
SiO2 68.0-71.0
Al2O3 13.0-14.0
B2O3>0-2.0
MgO 3.5-5.0
CaO 5.25-6.5
SrO>0-2.0
BaO 2.5-4.5。
本公开内容的一些实施例涉及一种基本无碱的玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:
SiO2 63.0-71.0
Al2O3 13.0-14.0
B2O3>0-2.0
MgO 0.9-9.0
CaO 5.0-6.5
SrO>0-6.0
BaO 3.5-4.0。
本公开内容的一些实施例涉及一种基本无碱的玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:
SiO2 68.0-71.0
Al2O3 13.0-14.0
B2O3>0-2.0
MgO 3.5-5.0
CaO 5.0-6.5
SrO>0-2.0
BaO 3.5-4.0。
本公开内容的一些实施例涉及一种基本无碱的玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:
SiO2 63.0-71.0
Al2O3 13.0-14.0
B2O3>0-2.0
MgO 0.9-9.0
CaO 5.0-6.5
SrO>0-6.0
BaO 1.0-9.0,
其中CaO与BaO的总和>8.6。
本公开内容的一些实施例涉及一种玻璃,所述玻璃包括在用摩尔百分比为单位的以下范围中的基于氧化物的成分:
SiO2 68.0-71.0
Al2O3 13.0-14.0
B2O3>0-2.0
MgO 3.5-5.0
CaO 5.0-6.5
SrO>0-2.0
BaO 2.5-4.5。
本公开内容的一或更多个实施例涉及基本无碱的玻璃,所述玻璃具有:大于或等于约785℃的退火温度;小于或等于约2.65g/cc的密度;小于或等于1750℃的T(200P);小于或等于约1340℃的T(35kP);大于或等于约82GPa的杨氏模量;及在10%HF/HCl中大于或等于约17.3μm/mm3的蚀刻指数。在一个详细的实施例中,玻璃具有:大于或等于约800℃的退火温度;小于或等于约2.61g/cc的密度;小于或等于约1700℃的T(200P);小于或等于约1310℃的T(35kP);及大于或等于约18.5μm/mm3的蚀刻指数。在一些实施例中,玻璃制品的T(200P)小于或等于约1740℃、或1730℃、或1720℃、或1710℃、或1700℃、或1690℃、1680℃、1670℃、1660℃、或1650℃。在一或更多个实施例中,玻璃制品的T(200P)是在约1640℃到约1705℃的范围中、或在约1646℃到约1702℃的范围中、或在约1650℃到约1700℃的范围中。
本公开内容的一或更多个实施例涉及基本无碱的玻璃,所述玻璃具有以下项目中的一或更多者:大于或等于约785℃的退火温度;小于或等于约2.65g/cc的密度;小于或等于1750℃的T(200P);小于或等于约1340℃的T(35kP);大于或等于约82GPa的杨氏模量;或在10%HF/HCl中大于或等于约17.3μm/mm3的蚀刻指数。在一些实施例中,玻璃具有以下项目中的一或更多者:大于或等于约800℃的退火温度;小于或等于约2.61g/cc的密度;小于或等于约1700℃的T(200P);小于或等于约1310℃的T(35kP);或大于或等于约18.5μm/mm3的蚀刻指数。
本公开内容的一或更多个实施例涉及基本无碱的玻璃,所述玻璃包括用摩尔百分比为单位的基于氧化物的以下成分:
SiO2 69.76-71.62
Al2O3 11.03-13.57
B2O3 0-2.99
MgO 3.15-5.84
CaO 4.55-7.35
SrO 0.2-1.99
BaO 2.61-4.41
ZnO 0-1.0,
其中所述玻璃的(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3的比率在约1.0到1.6的范围中,且MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)的比率在约0.22到0.37的范围中,在各种实施例中,玻璃具有以下项目中的一或更多者:T(退火)>785℃;密度<2.65g/cc;T(200P)<1750℃;T(35kP)<1340℃;杨氏模量>82GPa;或蚀刻指数>21。
本公开内容的一些实施例涉及基本无碱的玻璃,所述玻璃包括用摩尔百分比为单位的基于氧化物的以下成分:
SiO2 68.14-72.29
Al2O3 11.03-14.18
B2O3 0-2.99
MgO 1.09-7.2
CaO 4.12-9.97
SrO 0.2-4.15
BaO 1.26-4.41
ZnO 0-1.0,
其中(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3的比率在约1.0到1.6的范围中,且MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)的比率在约0.22到0.37的范围中。在各种实施例中,玻璃具有以下项目中的一或更多者:T(退火)>785℃;密度<2.65g/cc;T(200P)<1750℃;T(35kP)<1340℃;杨氏模量>82GPa;或蚀刻指数>21μm/mm3。
本公开案的一或更多个实施例涉及基本无碱的玻璃,其中(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3是在1.0到1.6的范围中,MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)的比率是在约0.22到0.37的范围中。在一些实施例中,玻璃具有以下项目中的一或更多者:T(退火)>785℃;密度<2.65g/cc;T(200P)<1750℃;T(35kP)<1340℃;杨氏模量>82GPa;或蚀刻指数>21μm/mm3。在各种实施例中,玻璃包括以下用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分中的一或更多者:SiO2是在68.14-72.29的范围中;Al2O3是在11.03-14.18的范围中;B2O3是在0-2.99的范围中;MgO是在1.09-7.2的范围中;CaO是在4.12-9.97的范围中;SrO是在0.2-4.15的范围中;BaO是在1.26-4.41的范围中;及/或ZnO是在0-1.0的范围中。
一些实施例涉及基本无碱的玻璃,其中(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3是在1.0到1.6的范围中,MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)的比率是在约0.22到0.37的范围中,且所述玻璃的液相线黏度>150kP。在各种实施例中,玻璃包括以下用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分中的一或更多者:SiO2是在68.14-72.29的范围中;Al2O3是在11.03-14.18的范围中;B2O3是在0-2.99的范围中;MgO是在1.09-7.2的范围中;CaO是在4.12-9.97的范围中;SrO是在0.2-4.15的范围中;BaO是在1.26-4.41的范围中;及/或ZnO是在0-1.0的范围中。
一或更多个实施例涉及基本无碱的玻璃,其中(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3是在约1.0到约1.6的范围中,且所述玻璃具有:蚀刻指数大于或等于23μm/mm3,T(退火)>800℃,且杨氏模量>82GPa。在各种实施例中,玻璃包括以下用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分中的一或更多者:SiO2是在68.14-72.29的范围中;Al2O3是在11.03-14.18的范围中;B2O3是在0-2.99的范围中;MgO是在1.09-7.2的范围中;CaO是在4.12-9.97的范围中;SrO是在0.2-4.15的范围中;BaO是在1.26-4.41的范围中;及/或ZnO是在0-1.0的范围中。
本公开案的一些实施例涉及铝硅酸盐玻璃制品,所述玻璃制品是基本无碱的,其中所述玻璃制品具有:大于或等于约795℃的退火温度;小于或等于约2.63g/cc的密度;小于或等1730℃的T(200P);小于或等于约1320℃的T(35kP);大于或等于约81.5GPa的杨氏模量;及大于或等于约23μm/mm3的蚀刻指数。在各种实施例中,铝硅酸盐玻璃制品包括以下项目中的一或更多者:SiO2是在68.5-72摩尔百分比的范围中;Al2O3大于或等于13摩尔百分比;B2O3是在0-2.5摩尔百分比的范围中;MgO是在1-6摩尔百分比的范围中;CaO是在4-8摩尔百分比的范围中;SrO是在0-4.5摩尔百分比的范围中;BaO是在0-4.5摩尔百分比的范围中;及/或(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3的比率是在1-1.6的范围中。
本公开案的一些实施例涉及一种铝硅酸盐玻璃制品,所述玻璃制品是基本无碱的,其中所述玻璃制品具有:大于或等于约800℃的退火温度;小于或等于约2.61g/cc的密度;小于或等1710℃的T(200P);小于或等于约1310℃的T(35kP);大于或等于约81.2GPa的杨氏模量;及大于或等于约23μm/mm3的蚀刻指数。在各种实施例中,铝硅酸盐玻璃制品包括以下项目中的一或更多者:SiO2是在68.5-72摩尔百分比的范围中;Al2O3大于或等于13摩尔百分比;B2O3是在0-2.5摩尔百分比的范围中;MgO是在1-6摩尔百分比的范围中;CaO是在4-8摩尔百分比的范围中;SrO是在0-4.5摩尔百分比的范围中;BaO是在0-4.5摩尔百分比的范围中;及/或(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3的比率是在1-1.6的范围中。
将理解到,各种公开的实施例可以涉及连同所述特定实施例一起描述的特定特征、构件、或步骤。亦将理解到,虽然是与一个特定实施例关联来描述,但可将特定的特征、构件或步骤用各种未说明的组合或排列与替代性实施例互换或结合。
也要了解到,如本文中所使用的,用语”所述」、”一(a)」、或”一(an)”指的是”至少一个」,且不应限于”只有一个」,除非明确地相反指示。
在本文中可将范围表示为从”约”一个特定值及/或到”约”另一个特定值。当表示这类范围时,示例包括了从所述一个特定值及/或到另一个特定值。类似地,当通过使用先行词”约”将值表示为近似值时,将了解到,所述特定值形成了另一个方面。将进一步了解到,范围中的各者的端点都是相对于另一端点有意义的(significant)且与另一端点独立。
如本文中所使用的用语”基本」、”基本上」、及其变化要叙述的是,所述特征等于或几乎等于一个值或描述。并且,”基本类似”要用来指示两个值是相等或几乎相等的。在一些实施例中,”基本类似”可以指示在彼此约10%内的值,例如在彼此约5%内的值,或在彼此约2%内的值。
除非另有明确表明,绝不要将本文中所阐述的任何方法解读为其步骤需要用特定的顺序执行。因此,若方法权利要求实际上并不记载其步骤要遵循的顺序,或在权利要求或说明书中并未另有具体表明要将步骤限于特定的顺序,则绝不要推断任何特定的顺序。
虽然可以使用传统短语”包括”来公开特定实施例的各种特征、构件、或步骤,但要了解到,替代性的实施例(包括可以使用传统短语”由...组成”或”基本由...组成”来描述的那些实施例)是被隐含的。因此,例如,一个装置的包括A+B+C的隐含替代性实施例包括了装置是由A+B+C组成的实施例及装置基本由A+B+C组成的实施例。
本领域中的技术人员将理解到,可以在不脱离本公开内容的精神及范围的情况下对本公开内容作出各种更改及变化。因为本领域中的技术人员可以想到并入本公开内容的精神及本质的公开的实施例的更改、组合、子组合、及变化,应将本公开内容视为包括随附权利要求书及其等效物的范围内的一切内容。
示例
下文阐述了以下示例以说明依据所公开的目标的方法及结果。这些示例并不是要包括本文中所公开的目标的所有实施例,而是要说明代表性的方法及结果。这些示例并不是要排除本公开内容中本领域中的技术人员理解的等效物及变化。
已经努力确保针对数字(例如量、温度等等)的准确性,但是应该考虑一些误差及偏差。除非另有指示,否则温度是用℃为单位或是处于环境温度,而压力是处于大气压或接近大气压。组成本身是在氧化物的基础上用摩尔百分比给定的,且已正规化到100%。存在着反应条件(例如成分浓度、温度、压力、及可以用来使从所述的过程获得的产物纯度及良率优化的其他反应范围及条件)的许多变化及组合。将只需要合理及例行的实验来使这类过程条件优化。
表格1中所阐述的玻璃性质是依据玻璃领域中的常规技术来确定的。因此,在25-300℃的温度范围内的线性热膨胀系数(CTE)是用x 10-7/℃的单位来表示,而退火点是用℃的单位来表示。这些是由纤维伸长技术(分别是ASTM参考文献E228-85及C336)确定的。用克/cm3为单位的密度是通过阿基米得法(ASTM C693)来测量的。用℃为单位的熔化温度(被界定为玻璃熔体展示200泊的黏度的温度)是采用符合高温黏度数据的富尔彻等式(Fulcher equation)来计算的,所述高温黏度数据是通过旋转圆筒黏度测定法(ASTMC965-81)来测量的。
玻璃的用℃为单位的的液相线温度是使用ASTM C829-81的标准梯度船液相线法来测量的。这涉及以下步骤:将碎玻璃颗粒安置在铂船中;将船安置在具有梯度温度区域的炉子中;将船在适当的温度区域中加热达24小时;及通过显微镜检查来确定晶体出现在玻璃的内部中的最高温度。更详细来说,是将玻璃试样一体地从Pt船移除,且使用偏光显微镜来检查以识别已经形成在Pt及空气接口上及试样内部中的晶体的位置及本质。因为炉子的梯度是众所周知的,可以在5-10℃内很好地估算温度与位置的关系。在试样的内部部分中观察到晶体的温度被用来表示玻璃的液相线(在对应的测试时期内)。测试有时候是用较长的时间实现的(例如72小时)以观察较缓慢的生长阶段。用泊为单位的液相线黏度是从液相线温度及富尔彻等式的系数确定的。
用GPa为单位的杨氏模量值是使用ASTM E1875-00e1中所阐述的通用类型的共振超声波谱仪技术来确定的。
表格1中示出了示例性玻璃。从表格1中可以见到,示例性玻璃具有使得玻璃适用于显示器应用(例如AMLCD基板应用)且更具体来说是适用于低温多晶硅及氧化物薄膜晶体管应用的密度、退火点、及杨氏模量值。虽然未示于表格1中,但玻璃具有与从市售AMLCD基板获得的耐久性类似的在酸及碱介质中的耐久性,且因此适用于AMLCD应用。通过上述的准则,示例性玻璃可以使用下拉技术来形成且特别是与熔融过程兼容。
表格1的示例性玻璃是使用市售的砂作为氧化硅来源来备制的,所述砂被研磨为使得90重量百分比通过标准的U.S.100网筛。氧化铝是氧化铝来源,方解石是MgO的来源,石灰石是CaO的来源,碳酸锶、硝酸锶、或其混合物是SrO的来源,碳酸钡是BaO的来源,而氧化锡(IV)是SnO2的来源。原料被充分混合、装载到悬挂在通过碳化硅辉光棒来加热的炉子中的铂容器中、在1600与1650℃之间的温度下熔化及搅拌达数小时以确保均匀性、及递送通过铂容器的基部处的孔口。生成的玻璃饼在退火点处或附近退火,且接着经受各种实验方法以确定物理、黏滞、及液相线属性。
这些方法不是唯一的,且可以使用本领域中的技术人员众所周知的标准方法来备制表格1的玻璃。这类方法包括连续熔化过程,例如会在连续熔化过程中执行的过程,其中连续熔化过程中所使用的熔化器是通过气体、通过电力、或上述项目的组合来加热的。
适于生产示例性玻璃的原料包括:市售的砂,作为SiO2的来源;氧化铝、氢氧化铝、水合形式的氧化铝、及各种铝硅酸盐、硝酸盐、及卤化物,作为Al2O3的来源;硼酸、无水硼酸、及氧化硼,作为B2O3的来源;方镁石、白云石(也是CaO的来源)、氧化镁、碳酸镁、氢氧化镁、及各种形式的硅酸镁、铝硅酸盐、硝酸盐、及卤化物,作为MgO的来源;石灰石、文石、白云石(也是MgO的来源)、硅灰石、及各种形式的硅酸钙、铝硅酸盐、硝酸盐、及卤化物,作为CaO的来源;及锶及钡的氧化物、碳酸盐、硝酸盐、及卤化物。若需要化学澄清剂,则可以将锡添加为SnO2、添加为与另一主要玻璃成分(例如CaSnO3)混合的氧化物、或在氧化条件下添加为SnO、草酸锡、卤化锡、或本领域中的技术人员习知的其他锡化合物。
表格1中的玻璃含有SnO2作为澄清剂,但也可以采用其他的化学澄清剂来获得具有足够质量的玻璃以用于TFT基板应用。例如,示例性玻璃可以采用As2O3、SB2O3、CeO2、Fe2O3、及卤化物中的任一者或组合作为有意的添加物以促进澄清,且可以将这些中的任一者与示例中所示的SnO2化学澄清剂结合使用。当然,As2O3及SB2O3一般被认为是有害的材料,受到例如可能在玻璃制造的过程中或在TFT面板的处理中产生的废物流方面的控制。因此,将As2O3及SB2O3的浓度个别地或结合地限制在不高于0.005摩尔百分比是合乎需要的。
除了有意掺入示例性玻璃的元素以外,通过原料中的低水平的污染物、通过制造过程中的耐火材料及贵金属的高温侵蚀、或通过有意地用低水平引入以微调最终玻璃的属性,周期表中几乎所有的稳定元素都以某个水平存在于玻璃中。例如,可以通过与富含锆的耐火材料交互作用将锆引入作为污染物。举另外一个例子,可以通过与贵金属交互作用引入铂及铑。举另外一个例子,可以引入铁作为原料中的杂质,或有意地添加铁以增强对气态夹杂物的控制。举另外一个例子,可以引入锰以控制颜色或增强对气态夹杂物的控制。举另外一个例子,对于Li2O、Na2O、及K2O的结合浓度而言,碱可以用高达约0.1摩尔百分比的水平存在作为杂质成分。
氢不可避免地用羟基阴离子(OH-)的形式存在,并且可以通过标准红外线光谱法确定其存在。溶解的羟基离子显著地且非线性地影响了示例性玻璃的退火点,且因此为了获得所需的退火点,可能必须调整主要氧化物成分的浓度以便进行补偿。可以通过选择原料或选择熔化系统在某种程度上控制羟基离子浓度。例如,硼酸是羟基的主要来源,且用氧化硼替换硼酸可以是控制最终玻璃中的羟基浓度的有用手段。相同的推理适用于包括羟基离子、水合物、或包括物理吸附或化学吸附水分子的化合物的其他潜在原料。若在熔化过程中使用燃烧器,则也可以通过来自天然气及相关碳氢化合物的燃烧的燃烧产物引入羟基离子,且因此将熔化时所使用的能量从燃烧器转移到电极以进行补偿可以是合乎需要的。或者,我们可以替代地采用调整主要氧化物成分的迭代过程以便补偿溶解的羟基离子的有害影响。
硫通常存在于天然气中,且同样是许多碳酸盐、硝酸盐、卤化物、及氧化物原料中的杂质成分。以SO2的形式,硫可以是气态夹杂物的麻烦来源。可以通过控制原料中的硫含量,及通过将低水平的相对还原的多价阳离子掺入玻璃基质中,来在很大的程度上管理形成富含SO2的缺陷的倾向。虽然不希望受到理论束缚,但富含SO2的气态夹杂物似乎主要是通过玻璃中溶解的硫酸盐(SO4=)的还原引起的。示例性玻璃的升高的钡浓度似乎增加了早期熔化阶段中的玻璃中的硫滞留,但是如上所述,需要钡来获得低的液相线温度且因此获得高的T35k-T液相线及高的液相线黏度。有意将原料中的硫含量控制在低水平是减少玻璃中溶解的硫(可能是硫酸盐)的有用手段。详细而言,硫优选地在批料中小于200重量ppm,且更优选地在批料中小于100重量ppm。
也可以使用还原的多价体来控制示例性玻璃形成SO2气泡的倾向。虽然不希望受到理论束缚,但这些元素表现为抑制硫酸盐还原的电动势的潜在电子供体。硫酸盐还原可以用半反应来表示,例如:
SO4=→SO2+O2+2e-
其中e-表示电子。半反应的”平衡常数”是:
K平衡=[SO2][O2][e-]2/[SO4 =]
其中括号表示化学活性。理想上,我们会想要强制反应以便由SO2、O2、及2e-产生硫酸盐。添加硝酸盐、过氧化物、或其他富含氧的原料可能有帮助,但也可能在早期熔化阶段抵消硫酸盐还原,这可能抵消了起初添加它们的益处。SO2在大多数的玻璃中具有非常低的溶解度,且因此添加到玻璃熔化过程中是不切实际的。可以通过还原的多价体来”添加”电子。例如,二价铁(Fe2+)的适当电子供给半反应被表示为:
2Fe2+→2Fe3++2e-
电子的此种”活性”可以迫使硫酸盐还原反应向左进行,而稳定了玻璃中的SO4=。合适的还原多价体包括但不限于Fe2+、Mn2+、Sn2+、Sb3+、As3+、V3+、Ti3+、及本领域的技术人员熟悉的其他多价体。在每种情况下,可能重要的是使这类成分的浓度最小化,以便避免对玻璃的颜色有有害的影响,或在As及Sb的情况下避免用高到足以使得最终使用者的过程中的废物管理复杂化的水平添加这类成分。
除了示例性玻璃的主要氧化物成分以及上述的次要或杂质组成物之外,卤化物可以以各种水平存在作为通过原料的选择引入的污染物或作为用来消除玻璃中的气态夹杂物的有意成分。作为澄清剂,可以用约0.4摩尔百分比或更低的水平掺入卤化物,然而尽量使用较低的量以避免废气处置配备的腐蚀一般是合乎需要的。在一些实施例中,个别的卤化元素的浓度对于每种个别的卤化物来说低于约200重量ppm,或对于所有卤化元素的总和来说低于约800重量ppm。
除了这些主要的氧化物成分、次要成分、及杂质成分、多价体、及卤化物澄清剂之外,掺入低浓度的其他无色氧化物成分以实现所需的物理、光学、或黏弹质可以是有用的。这类氧化物包括但不限于TiO2、ZrO2、HfO2、Nb2O5、Ta2O5、MoO3、WO3、ZnO、In2O3、Ga2O3、Bi2O3、GeO2、PbO、SeO3、TeO2、Y2O3、La2O3、Gd2O3、及本领域的技术人员熟知的其他氧化物。通过调整示例性玻璃的主要氧化物成分的相对比例的迭代过程,可以将这类无色氧化物添加到高达约2摩尔百分比的水平,而对退火点、T35k-T液相线、或液相线黏度没有不可接受的影响。
在一或更多个实施例中,提供了相对于现有组成展现降低的低温应力松弛及压实度的玻璃及玻璃制品,且具有低的温度应力松弛及压实度的玻璃将允许在利用玻璃制品的电子设备的生产期间用改善的总节距变化生产用于电子设备(例如显示设备,例如平板计算机或手机)的玻璃制品。总节距是在用来在玻璃片上制造电子设备的处理期间在单个玻璃片内移动的距离特征。变化是相对于多个玻璃片之间的可预测移动的偏差。因此,”总节距变化”是玻璃片上的显示组件在加热期间移动的距离。显示组件在加热期间移动的距离应与处理电子设备以制造显示器的期间的背板晶体管一致,否则将必须丢弃整个玻璃片。玻璃片上的较小的总节距变化造成更好地维持节距变化因素。由不可接受的高总节距变化引起的不可预测移动造成了由玻璃片制作的部件的良率损失。若可以预测玻璃片在处理期间由总节距变化引起的偏移的量,则可以在利用由本文中所述的玻璃制作的玻璃片的电子设备的制造过程中计入每个新的玻璃基板的移动。较低的总节距变化造成较高分辨率的显示器、较亮的显示器、及较低的功率消耗。对于显示设备的玻璃面板的制造商而言,这由于较高的分辨率及较低的功率消耗而造成了改善的产品,由于较高的良率及较佳的蚀刻性能而造成了较低的制造成本。依据一或更多个实施例,这类玻璃在用玻璃片的形式于制造显示设备(例如手机及平板计算机)时,将能够在低温及高温的过程下都维持显示性能及质量。
依据一或更多个实施例,可以使用本文中所公开的玻璃来生产玻璃片形式的玻璃制品,这些玻璃片的厚度是在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中,且可以将这些玻璃片合并到另一制品中,例如具有显示器的制品(或显示制品)(例如消费性电子产品,包括手机、平板计算机、计算机、导航系统等等)、建筑制品、运输制品(例如汽车、火车、飞机、航海器等等)、电器制品、或需要某种透明度、抗刮性、抗磨性、或上述项目的组合的任何制品。图4A及4B中示出了并入本文中所公开的基于涂覆玻璃的制品中的任一者的示例性制品。具体而言,图4A及4B示出了消费性电子设备1900,所述消费性电子设备包括:外壳1902,具有正面1904、后表面1906、及侧表面1908;电组件(未示出),至少部分地在外壳内部或全部在外壳内,且包括至少控制器、存储器、及在外壳的正面处或附近的显示器1910;及覆盖基板1912,在外壳的正面处或上方,使其在显示器上方。在一些实施例中,覆盖基板1912可以包括本文中所公开的基于涂覆玻璃的制品中的任一者。
本公开案的一或更多个实施例提供了:玻璃、玻璃制品(例如玻璃片),具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度;液晶显示设备,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片;及消费性电子产品,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片,所述玻璃或玻璃片包括:在0.5到1.1、0.6到1.1、0.7到1.1、0.8到1.1、0.5到1.05、0.6到1.05、0.7到1.05、0.8到1.05、0.5到1、0.6到1、0.7到1、或0.8到1的范围中的RO/(B2O3+Al2O3),其中RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)。这类玻璃、玻璃制品(例如玻璃片)、包括这类玻璃片的液晶设备、及包括这类玻璃片的消费性电子产品提供了更高分辨率的显示器及更亮的显示器。
本公开案的一或更多个实施例提供了:玻璃、玻璃制品(例如玻璃片),具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度;液晶显示设备,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片;及消费性电子产品,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片,所述玻璃或玻璃片包括:SiO2、B2O3、及Al2O3、BaO、及MgO、CaO、及SrO中的至少一者,且BaO/RO是在0.22到1、0.23到1、0.25到1、0.26到1、0.22到0.9、0.23到0.9、0.25到0.9、0.26到0.9、0.22到0.8、0.23到0.8、0.25到0.8、0.26到0.8、0.22到0.7、0.23到0.7、0.25到0.7、0.26到0.7、0.22到0.6、0.23到0.6、0.25到0.6、0.26到0.6、0.22到0.5、0.23到0.5、0.25到0.5、或0.26到0.5的范围中,其中RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)。这类玻璃、玻璃制品(例如玻璃片)、包括这类玻璃片的液晶设备、及包括这类玻璃片的消费性电子产品提供了更高分辨率的显示器及更亮的显示器。
本公开案的一或更多个实施例提供了:玻璃、玻璃制品(例如玻璃片),具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度;液晶显示设备,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片;及消费性电子产品,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片,所述玻璃或玻璃片包括:SiO2、B2O3、及Al2O3、BaO、及MgO、CaO、及SrO中的至少一者,且RO/(B2O3+Al2O3)是在0.5到1.1、0.6到1.1、0.7到1.1、0.8到1.1、0.5到1.05、0.6到1.05、0.7到1.05、0.8到1.05、0.5到1、0.6到1、0.7到1、或0.8到1的范围中,其中RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)及BaO/RO是在0.22到1、0.23到1、0.25到1、0.26到1、0.22到0.9、0.23到0.9、0.25到0.9、0.26到0.9、0.22到0.8、0.23到0.8、0.25到0.8、0.26到0.8、0.22到0.7、0.23到0.7、0.25到0.7、0.26到0.7、0.22到0.6、0.23到0.6、0.25到0.6、0.26到0.6、0.22到0.5、0.23到0.5、0.25到0.5、或0.26到0.5的范围中,其中RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)。这类玻璃、玻璃制品(例如玻璃片)、包括这类玻璃片的液晶设备、及包括这类玻璃片的消费性电子产品提供了更高分辨率的显示器及更亮的显示器。
本公开案的一或更多个实施例提供了:玻璃、玻璃制品(例如玻璃片),具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度;液晶显示设备,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片;及消费性电子产品,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片,所述玻璃或玻璃片包括:SiO2、B2O3、及Al2O3、BaO、及MgO、CaO、及SrO中的至少一者,且杨氏模量/密度(GPa/(g/cm3))是在31到38、32到38、33到38、31到37、32到37、33到37、31到36、32到36、33到36、31到35、32到35、或33到35的范围中。这类玻璃、玻璃制品(例如玻璃片)、包括这类玻璃片的液晶设备、及包括这类玻璃片的消费性电子产品提供了更高分辨率的显示器及更亮的显示器。
本公开案的一或更多个实施例提供了:玻璃、玻璃制品(例如玻璃片),具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度;液晶显示设备,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片;及消费性电子产品,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片,所述玻璃或玻璃片包括:SiO2、B2O3、及Al2O3、BaO、及MgO、CaO、及SrO中的至少一者,且RO/(B2O3+Al2O3)是在0.5到1.1、0.6到1.1、0.7到1.1、0.8到1.1、0.5到1.05、0.6到1.05、0.7到1.05、0.8到1.05、0.5到1、0.6到1、0.7到1、或0.8到1的范围中,其中RO=(MgO+CaO+SrO+BaO),且杨氏模量/密度(GPa/(g/cm3))是在31到38、32到38、33到38、31到37、32到37、33到37、31到36、32到36、33到36、31到35、32到35、或33到35的范围中。这类玻璃、玻璃制品(例如玻璃片)、包括这类玻璃片的液晶设备、及包括这类玻璃片的消费性电子产品提供了更高分辨率的显示器及更亮的显示器。
本公开案的一或更多个实施例提供了:玻璃、玻璃制品(例如玻璃片),具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度;液晶显示设备,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片;及消费性电子产品,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片,所述玻璃或玻璃片包括:SiO2、B2O3、及Al2O3、BaO、及MgO、CaO、及SrO中的至少一者,且BaO/RO是在0.22到1、0.23到1、0.25到1、0.26到1、0.22到0.9、0.23到0.9、0.25到0.9、0.26到0.9、0.22到0.8、0.23到0.8、0.25到0.8、0.26到0.8、0.22到0.7、0.23到0.7、0.25到0.7、0.26到0.7、0.22到0.6、0.23到0.6、0.25到0.6、0.26到0.6、0.22到0.5、0.23到0.5、0.25到0.5、或0.26到0.5的范围中,其中RO=(MgO+CaO+SrO+BaO),且杨氏模量/密度(GPa/(g/cm3))是在31到38、32到38、33到38、31到37、32到37、33到37、31到36、32到36、33到36、31到35、32到35、或33到35的范围中。这类玻璃、玻璃制品(例如玻璃片)、包括这类玻璃片的液晶设备、及包括这类玻璃片的消费性电子产品提供了更高分辨率的显示器及更亮的显示器。
本公开案的一或更多个实施例提供了:玻璃、玻璃制品(例如玻璃片),具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度;液晶显示设备,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片;及消费性电子产品,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片,所述玻璃或玻璃片包括:SiO2、B2O3、及Al2O3、BaO、及MgO、CaO、及SrO中的至少一者,且杨氏模量/密度(GPa/(g/cm3))是在31到38、32到38、33到38、31到37、32到37、33到37、31到36、32到36、33到36、31到35、32到35、或33到35的范围中;RO/(B2O3+Al2O3)是在0.5到1.1、0.6到1.1、0.7到1.1、0.8到1.1、0.5到1.05、0.6到1.05、0.7到1.05、0.8到1.05、0.5到1、0.6到1、0.7到1、或0.8到1的范围中,其中RO=(MgO+CaO+SrO+BaO),且BaO/RO是在0.22到1、0.23到1、0.25到1、0.26到1、0.22到0.9、0.23到0.9、0.25到0.9、0.26到0.9、0.22到0.8、0.23到0.8、0.25到0.8、0.26到0.8、0.22到0.7、0.23到0.7、0.25到0.7、0.26到0.7、0.22到0.6、0.23到0.6、0.25到0.6、0.26到0.6、0.22到0.5、0.23到0.5、0.25到0.5、或0.26到0.5的范围中,其中RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)。这类玻璃、玻璃制品(例如玻璃片)、包括这类玻璃片的液晶设备、及包括这类玻璃片的消费性电子产品提供了更高分辨率的显示器及更亮的显示器。
本公开案的一或更多个实施例提供了:玻璃、玻璃制品(例如玻璃片),具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度;液晶显示设备,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片;及消费性电子产品,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片,所述玻璃或玻璃片包括:SiO2、B2O3、及Al2O3、BaO、及MgO、CaO、及SrO中的至少一者,且RO/(B2O3+Al2O3)是在0.5到1.1、0.6到1.1、0.7到1.1、0.8到1.1、0.5到1.05、0.6到1.05、0.7到1.05、0.8到1.05、0.5到1、0.6到1、0.7到1、或0.8到1的范围中,其中RO=(MgO+CaO+SrO+BaO),且退火点小于790℃、小于795℃、小于800℃、或小于805℃。这类玻璃、玻璃制品(例如玻璃片)、包括这类玻璃片的液晶设备、及包括这类玻璃片的消费性电子产品提供了更高分辨率的显示器及更亮的显示器。
本公开案的一或更多个实施例提供了:玻璃、玻璃制品(例如玻璃片),具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度;液晶显示设备,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片;及消费性电子产品,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片,所述玻璃或玻璃片包括:SiO2、B2O3、及Al2O3、BaO、及MgO、CaO、及SrO中的至少一者,且BaO/RO是在0.22到1、0.23到1、0.25到1、0.26到1、0.22到0.9、0.23到0.9、0.25到0.9、0.26到0.9、0.22到0.8、0.23到0.8、0.25到0.8、0.26到0.8、0.22到0.7、0.23到0.7、0.25到0.7、0.26到0.7、0.22到0.6、0.23到0.6、0.25到0.6、0.26到0.6、0.22到0.5、0.23到0.5、0.25到0.5、或0.26到0.5的范围中,其中RO=(MgO+CaO+SrO+BaO);且退火点小于790℃、小于795℃、小于800℃、或小于805℃。这类玻璃、玻璃制品(例如玻璃片)、包括这类玻璃片的液晶设备、及包括这类玻璃片的消费性电子产品提供了更高分辨率的显示器及更亮的显示器。
本公开案的一或更多个实施例提供了:玻璃、玻璃制品(例如玻璃片),具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度;液晶显示设备,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片;及消费性电子产品,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片,所述玻璃或玻璃片包括:SiO2、B2O3、及Al2O3、BaO、及MgO、CaO、及SrO中的至少一者,且RO/(B2O3+Al2O3)是在0.5到1.1、0.6到1.1、0.7到1.1、0.8到1.1、0.5到1.05、0.6到1.05、0.7到1.05、0.8到1.05、0.5到1、0.6到1、0.7到1、或0.8到1的范围中,其中RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)及BaO/RO是在0.22到1、0.23到1、0.25到1、0.26到1、0.22到0.9、0.23到0.9、0.25到0.9、0.26到0.9、0.22到0.8、0.23到0.8、0.25到0.8、0.26到0.8、0.22到0.7、0.23到0.7、0.25到0.7、0.26到0.7、0.22到0.6、0.23到0.6、0.25到0.6、0.26到0.6、0.22到0.5、0.23到0.5、0.25到0.5、或0.26到0.5的范围中,其中RO=(MgO+CaO+SrO+BaO),且退火点小于790℃、小于795℃、小于800℃、或小于805℃。这类玻璃、玻璃制品(例如玻璃片)、包括这类玻璃片的液晶设备、及包括这类玻璃片的消费性电子产品提供了更高分辨率的显示器及更亮的显示器。
本公开案的一或更多个实施例提供了:玻璃、玻璃制品(例如玻璃片),具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度;液晶显示设备,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片;及消费性电子产品,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片,所述玻璃或玻璃片包括:SiO2、B2O3、及Al2O3、BaO、及MgO、CaO、及SrO中的至少一者,且杨氏模量/密度(GPa/(g/cm3))是在31到38、32到38、33到38、31到37、32到37、33到37、31到36、32到36、33到36、31到35、32到35、或33到35的范围中,且退火点小于790℃、小于795℃、小于800℃、或小于805℃。这类玻璃、玻璃制品(例如玻璃片)、包括这类玻璃片的液晶设备、及包括这类玻璃片的消费性电子产品提供了更高分辨率的显示器及更亮的显示器。
本公开案的一或更多个实施例提供了:玻璃、玻璃制品(例如玻璃片),具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度;液晶显示设备,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片;及消费性电子产品,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片,所述玻璃或玻璃片包括:SiO2、B2O3、及Al2O3、BaO、及MgO、CaO、及SrO中的至少一者,且BaO/RO是在0.22到1、0.23到1、0.25到1、0.26到1、0.22到0.9、0.23到0.9、0.25到0.9、0.26到0.9、0.22到0.8、0.23到0.8、0.25到0.8、0.26到0.8、0.22到0.7、0.23到0.7、0.25到0.7、0.26到0.7、0.22到0.6、0.23到0.6、0.25到0.6、0.26到0.6、0.22到0.5、0.23到0.5、0.25到0.5、或0.26到0.5的范围中,其中RO=(MgO+CaO+SrO+BaO),且杨氏模量/密度(GPa/(g/cm3))是在31到38、32到38、33到38、31到37、32到37、33到37、31到36、32到36、33到36、31到35、32到35、或33到35的范围中,且退火点小于790℃、小于795℃、小于800℃、或小于805℃。这类玻璃、玻璃制品(例如玻璃片)、包括这类玻璃片的液晶设备、及包括这类玻璃片的消费性电子产品提供了更高分辨率的显示器及更亮的显示器。
本公开案的一或更多个实施例提供了:玻璃、玻璃制品(例如玻璃片),具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度;液晶显示设备,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片;及消费性电子产品,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片,所述玻璃或玻璃片包括:SiO2、B2O3、及Al2O3、BaO、及MgO、CaO、及SrO中的至少一者,且RO/(B2O3+Al2O3)是在0.5到1.1、0.6到1.1、0.7到1.1、0.8到1.1、0.5到1.05、0.6到1.05、0.7到1.05、0.8到1.05、0.5到1、0.6到1、0.7到1、或0.8到1的范围中,其中RO=(MgO+CaO+SrO+BaO),且杨氏模量/密度(GPa/(g/cm3))是在31到38、32到38、33到38、31到37、32到37、33到37、31到36、32到36、33到36、31到35、32到35、或33到35的范围中,且退火点小于790℃、小于795℃、小于800℃、或小于805℃。这类玻璃、玻璃制品(例如玻璃片)、包括这类玻璃片的液晶设备、及包括这类玻璃片的消费性电子产品提供了更高分辨率的显示器及更亮的显示器。
本公开案的一或更多个实施例提供了:玻璃、玻璃制品(例如玻璃片),具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度;液晶显示设备,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片;及消费性电子产品,包括具有在0.1mm到3mm、或0.1到2mm、或0.1到1.5mm的范围中的厚度的玻璃片,所述玻璃或玻璃片包括:SiO2、B2O3、及Al2O3、BaO、及MgO、CaO、及SrO中的至少一者,且杨氏模量/密度(GPa/(g/cm3))是在31到38、32到38、33到38、31到37、32到37、33到37、31到36、32到36、33到36、31到35、32到35、或33到35的范围中;RO/(B2O3+Al2O3)是在0.5到1.1、0.6到1.1、0.7到1.1、0.8到1.1、0.5到1.05、0.6到1.05、0.7到1.05、0.8到1.05、0.5到1、0.6到1、0.7到1、或0.8到1的范围中,其中RO=(MgO+CaO+SrO+BaO),且BaO/RO是在0.22到1、0.23到1、0.25到1、0.26到1、0.22到0.9、0.23到0.9、0.25到0.9、0.26到0.9、0.22到0.8、0.23到0.8、0.25到0.8、0.26到0.8、0.22到0.7、0.23到0.7、0.25到0.7、0.26到0.7、0.22到0.6、0.23到0.6、0.25到0.6、0.26到0.6、0.22到0.5、0.23到0.5、0.25到0.5、或0.26到0.5的范围中,其中RO=(MgO+CaO+SrO+BaO),且退火点小于790℃、小于795℃、小于800℃、或小于805℃。这类玻璃、玻璃制品(例如玻璃片)、包括这类玻璃片的液晶设备、及包括这类玻璃片的消费性电子产品提供了更高分辨率的显示器及更亮的显示器。
表格1示出了玻璃的示例(试样1-189),其中T(退火)>795℃,杨氏模量>81.5;且蚀刻指数>23,密度<2.63,T(200P)<1730℃;且T(35kP)<1320℃。表格2示出了接近表格1的参数的玻璃的额外示例(试样190-426)。
表格1
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格1(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
表格2(续)
*RO=(MgO+CaO+SrO+BaO)
示例382
进行了一项研究以确定Na2O含量对应力松弛的效应。Na2O范围从260重量ppm到980重量ppm的玻璃试样被收集用于进一步的测试。Na2O含量是通过电感耦合电浆质谱法来测量的。对于图5-7来说,Na2O含量的资料被正规化到260ppm作为基准。图5是一个图表,示出在260ppm的Na2O浓度作为基准的情况下在450℃、550℃、及650℃下30分钟时的正规化应力松弛比率。较高的Na2O在较低的温度下将应力松弛提高得更多。图6是一个图表,示出采用260ppm的Na2O作为参考且是550℃下的时间的函数的正规化应力松弛比率。较高的Na2O相较于在较长的时间下而言在较短的时间下将应力松弛提高得较多。
图7是一个图表,示出在30分钟的循环内在500℃下的压实度与Na2O含量的关系。较高的Na2O显著地提高了压实度,特别是在低温循环下。
示例383
如示例382中地分析具有Na2O是在从1重量ppm到259重量ppm的范围中的较低钠含量的试样。较低的Na2O含量对压实度(特别是在低温循环(LTTC)中)的效应被观察到是与示例382一致的。
Claims (13)
1.一种玻璃,包括范围如下的用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:SiO2为68.5-72.0,Al2O3大于或等于13.0,B2O3小于或等于2.5,MgO为1.0-6.0,CaO为4.0-8.0,SrO小于或等于4.5,BaO小于或等于4.5,使得(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3小于或等于1.6,且所述玻璃具有大于或等于23的蚀刻指数,大于或等于800℃的退火点,所述玻璃基本无碱,Na2O含量在1重量ppm(ppm by weight)到100重量ppm的范围中,及所述玻璃具有大于82GPa的模量,其中所述玻璃不含P2O5。
2.一种玻璃,包括范围如下的用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:SiO2为63.0-75.0,Al2O3为13.0-14.0,B2O3>0-2.8,MgO为0.9-9.0,CaO为5.25-11,SrO>0-6.0,BaO为1.0-9.0,所述玻璃基本无碱,在1重量ppm到100重量ppm的范围中的Na2O含量,且具有>21μm/mm3的蚀刻指数,其中所述玻璃不含P2O5。
3.根据权利要求2所述的玻璃,其中所述玻璃包括用摩尔百分比为单位的基于氧化物的以下成分:SiO2为68.0-71.0,B2O3>0-2.0,MgO为3.5-5.0,SrO>0-2.0,BaO为2.5-4.5。
4.根据权利要求2所述的玻璃,其中所述玻璃包括用摩尔百分比为单位的基于氧化物的以下成分:SiO2为68.0-72.0,B2O3>0-2.0,MgO为3.5-5.0,CaO为5.25-10.0,SrO>0-2.0,BaO为2.5-4.5。
5.一种玻璃,包括范围如下的用摩尔百分比为单位的基于氧化物的成分:SiO2为63.0-75.0,Al2O3为13.0-14.5,B2O3>0-2.0,MgO为0.9-9.0,CaO为5.0-6.5,SrO>0-6.0,BaO为1.0-9.0,所述玻璃基本无碱,在1重量ppm到100重量ppm的范围中的Na2O含量,且具有为1.1-1.6的(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3及>21μm/mm3的蚀刻指数,其中所述玻璃不含P2O5。
6.根据权利要求5所述的玻璃,其中所述玻璃包括用摩尔百分比为单位的基于氧化物的以下成分:SiO2为68.0-72.0,MgO为3.5-5.0,CaO为5.25-6.5,SrO>0-2.0,BaO为2.5-4.5。
7.一种基本上不含碱的玻璃,其中(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3在1.0至1.6的范围内,MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)的比在0.22和0.37之间的范围内,T(退火)>785℃,密度<2.65g/cc,T(200P)<1750℃,T(350kP)<1340℃,杨氏模量>82GPa,Na2O含量范围在1重量ppm至100重量ppm之间,且蚀刻指数>21μm/mm3,其中所述玻璃不含P2O5,其中T(退火)是退火温度,并且T(200P)和T(350kP)分别表示玻璃的粘度为200P和350kP时的温度。
8.根据权利要求7所述的玻璃,其中所述玻璃包括液相线粘度>150kP。
9.一种基本无碱的玻璃,其中(MgO+CaO+SrO+BaO)/Al2O3在1.0至1.6的范围内,蚀刻指数大于或等于21μm/mm3,T(退火)>800℃,Na2O含量在1重量ppm至100重量ppm的范围内,并且杨氏模量>82GPa,其中所述玻璃不含P2O5,并且T(退火)是退火温度。
10.一种玻璃,包括:
T( 35kp) 大于或等于1270℃;
SnO2的浓度为在0.001mol%至0.5mol%之间;
Na2O含量在1重量ppm至100重量ppm的范围内,
并且蚀刻指数大于或等于21μm/mm3,
其中所述玻璃基本无碱和不含P2O5,
其中T(35kp)表示玻璃的粘度为35kP时的温度,
其中所述蚀刻指数由以下方程式定义:
-54.6147+(2.50004)*(Al2O3)+(1.3134)*(B2O3)+(l.84106)*(MgO)+(3.01223)*(CaO)+(3.7248)*(SrO)+(4.13149)*(BaO)。
11.根据权利要求10所述的玻璃,其中,所述玻璃包括大于或等于1650℃的T(200P),其中T(200P)表示玻璃的粘度为200P时的温度。
12.根据权利要求10所述的玻璃,其中,所述玻璃的液相线温度大于1150℃。
13.根据权利要求10所述的玻璃,其中,所述玻璃还包括大于或等于约82GPa的杨氏模量。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201862617386P | 2018-01-15 | 2018-01-15 | |
US62/617,386 | 2018-01-15 | ||
PCT/US2019/013597 WO2019140427A1 (en) | 2018-01-15 | 2019-01-15 | Dimensionally stable fast etching glasses |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN111683907A CN111683907A (zh) | 2020-09-18 |
CN111683907B true CN111683907B (zh) | 2022-08-26 |
Family
ID=65324582
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201980011711.XA Active CN111683907B (zh) | 2018-01-15 | 2019-01-15 | 尺度上稳定快速地蚀刻玻璃 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11352288B2 (zh) |
EP (2) | EP4242179B1 (zh) |
JP (2) | JP7474697B2 (zh) |
KR (2) | KR20240060711A (zh) |
CN (1) | CN111683907B (zh) |
TW (1) | TWI809029B (zh) |
WO (1) | WO2019140427A1 (zh) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR102673755B1 (ko) | 2018-06-19 | 2024-06-11 | 코닝 인코포레이티드 | 고 변형점 및 고 영률 유리 |
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JP6812796B2 (ja) | 2014-10-23 | 2021-01-13 | Agc株式会社 | 無アルカリガラス |
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WO2016194693A1 (ja) | 2015-06-02 | 2016-12-08 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス |
KR102403524B1 (ko) | 2016-08-23 | 2022-05-31 | 에이지씨 가부시키가이샤 | 무알칼리 유리 |
-
2019
- 2019-01-14 TW TW108101329A patent/TWI809029B/zh active
- 2019-01-15 EP EP23188196.2A patent/EP4242179B1/en active Active
- 2019-01-15 KR KR1020247013696A patent/KR20240060711A/ko not_active Application Discontinuation
- 2019-01-15 WO PCT/US2019/013597 patent/WO2019140427A1/en unknown
- 2019-01-15 JP JP2020538967A patent/JP7474697B2/ja active Active
- 2019-01-15 EP EP19703835.9A patent/EP3740459B1/en active Active
- 2019-01-15 KR KR1020207023326A patent/KR20200104910A/ko not_active Application Discontinuation
- 2019-01-15 CN CN201980011711.XA patent/CN111683907B/zh active Active
- 2019-01-15 US US16/962,162 patent/US11352288B2/en active Active
-
2024
- 2024-01-25 JP JP2024009439A patent/JP2024050689A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107108334A (zh) * | 2014-10-31 | 2017-08-29 | 康宁股份有限公司 | 对玻璃进行尺寸稳定的快速蚀刻 |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20200399166A1 (en) | 2020-12-24 |
JP2021510668A (ja) | 2021-04-30 |
EP3740459A1 (en) | 2020-11-25 |
EP4242179B1 (en) | 2024-09-11 |
EP3740459B1 (en) | 2023-09-06 |
TW201934509A (zh) | 2019-09-01 |
KR20240060711A (ko) | 2024-05-08 |
US11352288B2 (en) | 2022-06-07 |
JP7474697B2 (ja) | 2024-04-25 |
EP4242179A3 (en) | 2023-10-25 |
WO2019140427A1 (en) | 2019-07-18 |
KR20200104910A (ko) | 2020-09-04 |
EP4242179A2 (en) | 2023-09-13 |
TWI809029B (zh) | 2023-07-21 |
CN111683907A (zh) | 2020-09-18 |
JP2024050689A (ja) | 2024-04-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |