CN111679645B - 一种芯片封装键合物料清单的mes处理方法 - Google Patents

一种芯片封装键合物料清单的mes处理方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种芯片封装键合物料清单的MES处理方法,包括步骤:(1)建立产品物料清单,并同步到制造执行系统中;(2)根据产品物料清单按照产品工艺流程创建生产物料清单,包括主流程生产物料清单和子流程生产物料清单;(3)根据主流程生产物料清单和子流程生产物料清单,子母批次进行生产物料领用及各站点物料耗用的信息采集。本发明通过在MES系统中设定子母工艺的方法,直接根据产品物料清单BOM开立主流程生产物料清单BOM与子流程生产物料清单BOM,省去开立半成品产品物料清单BOM的过程,简化工程制作BOM的作业流程,提高作业效率。

Description

一种芯片封装键合物料清单的MES处理方法
技术领域
本发明涉及MES系统建模方法,尤其涉及一种芯片封装键合物料清单的MES处理方法。
背景技术
半导体封装技术伴随集成电路而生,其主要功能是电源分配、信号分配、散热和保护。随着芯片技术的发展,行业对高性能低损耗芯片的不断追求,芯片不断小型化。高密度硅通孔(TSV,ThroughSiliconVia)技术和Fan-Out扇出技术由于其灵活、高密度、适于三维集成,而成为目前先进封装的核心技术。
基于硅通孔的转接板集成技术作为先进系统集成技术,可实现多芯片高密度三维集成,但硅基转接板的成本高且电学性能差,使其市场化运用受限。作为一种可能替代硅基转接板的材料,玻璃通孔(TGV,ThroughGlassVia)技术因优良的高频电学特性、低成本、易于获取、生产工艺简单、机械稳定性强、应用领域广泛(高频领域、光电集成领域、MEMS封装领域)等众多优势,正在成为当前的研究热点。
实际生产过程中,若要利用TGV技术和Fan-Out扇出技术实现圆片级封装以提升封装效率,需涉及到一个关键工艺“键合”。“键合”一般是指将两片同质或异质半导体材料经表面清洗和活化处理,在一定条件下直接结合,通过范德华力、分子力甚至原子力使晶片键合成为一体的技术。而基于TGV技术的键合工艺,有别于传统的键合,其一般包含两种形式:一是将具有通孔的玻璃基板与普通玻璃载板通过粘结层结合在一起,称为“玻璃键合”;二是将芯片放置在已经做过“玻璃键合”的玻璃基板的通孔内,并在上面覆盖填充层,称为“芯片键合”。键合工艺是芯片封装制造中的关键工艺之一。
在芯片封装制造过程中,为管理物料使用与精确记录物料消耗,通常会在制造执行系统MES中建立物料清单(Bill of materials,BOM)。产品BOM中记载原物料清单、物料数量、损耗系数等信息,作为生产制造流程的依据或是公司内部沟通的文件。依企业需求目的的不同,BOM表可细分为设计用的工程BOM、生产用的制造BOM、接单用的销售BOM等。其中,工程BOM有时也被称作产品BOM,是工程部工程师在产品设计后生成的,侧重于反映产品的组成结构和制造层次,其建立与产品的结构密不可分。制造BOM也被称为生产BOM,其一般来源于产品BOM,但由于生产BOM是基于流程站点建立的,因此生产BOM的建立与工艺流程息息相关。
而基于TGV的芯片封装键合工艺,由于存在半成品玻璃片(或晶圆片),其与成品之间存在结构关系,因此其产品BOM的建立通常也需要按结构拆分。同时,半成品玻璃片(或晶圆片)均有各自的半成品加工流程,因此其生产BOM建立时也需要划分出半成品生产BOM。
以“玻璃键合”为例,在该业务中,在做键合前的两片玻璃有各自的生产流程,在键合后合并在一起走完剩下的加工流程。如图1所示,玻璃片1只需要经过“投料”工序即可到“玻璃键合”站点,玻璃片2则需先经过“投料→玻璃清洗→激光打孔→HF蚀刻”等工序才能到“玻璃键合”站点。
如图2所示,为管理这个产品的产品BOM,通常的做法是在系统中进行产品BOM分级管理:将“玻璃键合”前的玻璃片2视为半成品,针对半成品设置半成品BOM,此BOM中标明了玻璃片2在“投料→玻璃清洗→激光打孔→HF蚀刻”等工序生产时所使用的到的原物料清单;与此同时,在设置成品BOM时,将玻璃片2视为成品加工所需的物料之一,即将半成品挂在成品BOM下,半成品BOM作为二级BOM,隶属于一级BOM。通过此方式,可以精确采集到生产流程每一个站点的物料使用信息,从而实现品质追溯、物料防呆防错、生产过程控制等目的。
在现有BOM管理方案下,将键合BOM纳入MES系统进行管理时,需要根据产品结构进行BOM分级设置。其中,BOM建立与管理过程如下:
(1)根据产品结构,划分出产成品与半成品,作为两个独立的产品编码存于系统中。
(2)根据产成品工艺路线,建立产品BOM;根据半成品工艺路线,建立半成品产品BOM。半成品产品BOM中,登记了半成品生产加工过程中所使用到的原物料;产品BOM中,登记了产品生产加工过程中所使用的原物料,以及所使用的半成品。即,建立BOM分级管理,产品BOM为一级BOM,其下面下挂半成品产品BOM,即二级BOM。
(3)基于生产加工流程站点,将产品BOM以及半成品产品BOM,分别转换成生产BOM以及半成品生产BOM,便于指导生产,以及记录生产加工过程使用的物料。
(4)在键合站点,设定工艺要求收集键合物料批次,此时可以将半成品批次当做键合的物料,通过半成品上料,采集wafer批次和半成品批次,记录两者的数据关联。
IC封装是半导体产业链的下游环节,行业生产具有多品种、大批量、工序离散的生产特点,按照每天100个型号的品种数计算,若按上述BOM分级的方式管理产品BOM,则每天在系统中需要建立的BOM数为100个(100个一级BOM+100个二级BOM),按照每建立一个BOM5min的时间计算,则每天开完这200个BOM,需要花费1000min,即17H,按照每天8H小时的标准工时制,每天需要2-3个人才能完全开完这些产品BOM。由此可见,此种管理方式的系统操作工作量是很大的。与此同时,由于BOM建立时间影响,也会导致产品投料至生产线的时间变长,对投料效率也有着明显的影响。
发明内容
发明目的:针对以上问题,本发明提出一种芯片封装键合物料清单的MES处理方法,通过在MES系统中设定子母工艺的方法,直接根据产品BOM开立主流程生产BOM与子流程生产BOM,省去开立半成品产品BOM的过程。
技术方案:为实现本发明的目的,本发明所采用的技术方案是:一种芯片封装键合物料清单的MES处理方法,包括步骤:
(1)建立产品物料清单,并同步到制造执行系统中;
(2)根据产品物料清单按照产品工艺流程创建生产物料清单,包括主流程生产物料清单和子流程生产物料清单;
(3)根据主流程生产物料清单和子流程生产物料清单,子母批次进行生产物料领用及各站点物料耗用的信息采集;进行生产物料领用时,物料与生产物料清单保持一致;进行物料耗用统计时,子母批次物料耗用均纳入记录。
进一步地,所述步骤(1)具体包括:
(1.1)在企业资源管理计划中建立产品物料清单;
(1.2)将产品物料清单从企业资源管理计划中同步至制造执行系统中。
进一步地,所述步骤(2)具体包括:
(2.1)选取产品工艺流程,包括主流程和键合子流程;
(2.2)根据产品物料清单,创建主流程生产物料清单和键合子流程生产物料清单;
(2.3)选取物料使用的工序以及站点;
(2.4)导入或手动维护物料清单;
(2.5)保存主流程生产物料清单和子流程生产物料清单。
进一步地,所述步骤(3)具体包括:
(3.1)子母生产批次流转,在“键合”站点汇合,进行后续生产;
(3.2)母批次根据主流程进行生产过数,并根据主流程生产物料清单在各站点进行生产物料领用与耗用采集;
(3.3)子批次根据子流程进行生产过数,并根据子流程生产物料清单在各站点进行生产物料领用与耗用采集。
进一步地,所述步骤(1)中,产品物料清单包含物料类别、物料编码、物料名称、物料型号、物料单耗、计量单位、损耗系数。
进一步地,所述步骤(2)中,生产物料清单包括物料使用的工序和站点。
有益效果:本发明通过在MES系统中设定子母工艺的方法,直接根据产品BOM开立主流程生产BOM与子流程生产BOM,省去开立半成品产品BOM的过程,简化工程制作BOM的作业流程,提高作业效率。
附图说明
图1是玻璃键合加工流程图;
图2是现有技术芯片封装键合物料清单的的MES处理方法示意图;
图3是本发明所述的芯片封装键合物料清单的的MES处理方法原理图;
图4是本发明所述的芯片封装键合物料清单的的MES处理方法详细流程图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明的技术方案作进一步的说明。
如图3所示,本发明所述的芯片封装键合物料清单的MES处理方法,通过在制造执行系统(MES)中设定子母工艺的方法,在设定子母批的生产物料清单(BOM)时,子批的生产物料清单直接来源于母批的产品物料清单,省去了开立半成品产品物料清单的管理,简化工程制作物料清单的作业流程,降低管理复杂度,提高作业效率。
本发明提供的物料清单管理方法,不仅适用于基于TGV技术的芯片封装键合工艺,而且可以使用于任何含有子母结构的生产物料清单管理。
如图4所示,本发明所述的芯片封装键合物料清单的MES处理方法,包含如下具体步骤:
(1)建立产品物料清单BOM,并同步到制造执行系统MES中;
(1.1)工程师在企业资源管理计划ERP中建立产品物料清单BOM;
产品物料清单BOM中,登记了产品生产加工过程中所使用的原物料。产品BOM中主要包含物料类别、物料编码、物料名称、物料型号、物料单耗、计量单位、损耗系数等。
(1.2)将产品物料清单BOM从企业资源管理计划ERP中同步至制造执行系统MES中。
(2)创建生产物料清单BOM,包括主流程生产物料清单和子流程生产物料清单;
(2.1)创建工艺流程,包括主流程和键合子流程;
在MES系统工艺管理模块,选中流程站点并划线连接,创建并命名工艺流程。
主流程:通过工艺流程创建出主流程,命名后保存。
键合子流程:通过工艺流程创建出键合子流程,命名后保存。
(2.2)选取产品工艺流程;
根据产品编码,在系统内匹配预定义的且处于生效状态的工艺流程,主流程为必选项。与此同时,若产品表中,“创建分支流程批次”的选项被勾选上,则键合子流程也为必选项。每个产品有且只能有一个处于生效状态的主流程/子流程。
(2.3)根据对应产品工艺流程,创建生产物料清单BOM;
生产BOM基于产品BOM建立,在产品BOM基础上,生产BOM中增加了物料所使用的工序及站点。且由于键合工艺存在分支子流程,因此主流程和子流程的站点将生产BOM一分为二,主流程生产BOM及子流程生产BOM。
以产品编码为索引,找出产品对应的工艺流程,选取对应的工艺流程,开始创建生产物料清单BOM。便于指导生产,以及记录生产加工过程使用的物料。
主流程生产物料清单:根据主流程创建当前产品对应的主流程生产物料清单,来源于主流程的产品物料清单。
键合子流程生产物料清单:根据键合子流程创建当前产品对应的键合子流程生产物料清单,子流程的生产物料清单直接来源于主流程的产品物料清单。
(2.4)选取物料使用的工序以及站点;
(2.5)导入或手动维护物料清单,物料清单可以使用手动添加或者Excel模板导入的方式进行维护。
当BOM发生变更时,由具有系统操作权限的人,使用手动修改或者Excel模板导入覆盖的方式进行BOM物料清单的更改(一般发生在BOM中所列物料库存不足时,需要进行物料替代的BOM变更)。
(2.6)保存主流程生产BOM或子流程生产BOM;
主流程生产BOM:基于主流程创建的BOM。
子流程生产BOM:基于键合子流程创建的BOM。
(3)根据主流程生产物料清单和子流程生产物料清单,子母批次进行生产物料领用及各站点物料耗用的信息采集。
(3.1)根据产品工艺流程创建生产批次,包括母批次和子批次,字母生产批次流转。子批次与母批次并行生产,子批次至“键合”站点后,与母批次键合为一体,进行后续生产。
(3.2)母批次根据主流程进行生产过数,并根据主流程生产BOM在各站点进行生产物料领用与耗用采集;
(3.3)子批次根据子流程进行生产过数,并根据子流程生产BOM在各站点进行生产物料领用与耗用采集。
生产物料领用及耗用时,其物料需与生产BOM中所列物料保持一致。进行订单的物料耗用统计分析时,子批次与母批次物料耗用记录均需纳入计算。

Claims (6)

1.一种芯片封装键合物料清单的MES处理方法,其特征在于,包括步骤:
(1)建立产品物料清单,并同步到制造执行系统中;
(2)根据产品物料清单按照产品工艺流程创建生产物料清单,包括主流程生产物料清单和子流程生产物料清单;具体包括:
(2.1)选取产品工艺流程,包括主流程和键合子流程;
(2.2)根据产品物料清单,创建主流程生产物料清单和键合子流程生产物料清单;
(2.3)选取物料使用的工序以及站点;
(2.4)导入或手动维护物料清单;
(2.5)保存主流程生产物料清单和子流程生产物料清单;
(3)根据主流程生产物料清单和子流程生产物料清单,子母批次进行生产物料领用及各站点物料耗用的信息采集。
2.根据权利要求1所述的芯片封装键合物料清单的MES处理方法,其特征在于,所述步骤(1)具体包括:
(1.1)在ERP中建立产品物料清单;
(1.2)将产品物料清单从ERP中同步至制造执行系统中。
3.根据权利要求1所述的芯片封装键合物料清单的MES处理方法,其特征在于,所述步骤(3)具体包括:
(3.1)子母生产批次流转,在“键合”站点汇合,进行后续生产;
(3.2)母批次根据主流程进行生产过数,并根据主流程生产物料清单在各站点进行生产物料领用与耗用采集;
(3.3)子批次根据子流程进行生产过数,并根据子流程生产物料清单在各站点进行生产物料领用与耗用采集。
4.根据权利要求1所述的芯片封装键合物料清单的MES处理方法,其特征在于,所述步骤(1)中,产品物料清单包含物料类别、物料编码、物料名称、物料型号、物料单耗、计量单位、损耗系数。
5.根据权利要求1所述的芯片封装键合物料清单的MES处理方法,其特征在于,所述步骤(2)中,生产物料清单包括物料使用的工序和站点。
6.根据权利要求1所述的芯片封装键合物料清单的MES处理方法,其特征在于,所述步骤(3)中,进行生产物料领用时,物料与生产物料清单保持一致;进行物料耗用统计时,子母批次物料耗用均纳入记录。
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