CN111678314A - 一种晶圆高效率甩干的甩干机设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种晶圆高效率甩干的甩干机设备，包括：机架，所述机架包括基座、第一放置座，所述第一放置座固定在基座上表面，所述第一放置座固定在基座上表面，第一放置座正下方的基座设有动力装置槽；甩干室，所述甩干室包括下甩干室和上盖，所述下甩干室安装在第一放置座，下甩干室上具有废液出口，下甩干室内部具有甩干装置，所述甩干装置，所述上盖连接用于上盖打开或闭合的提升装置；动力装置，所述动力装置放置在动力装置槽内，动力装置连接甩干装置。

Description

一种晶圆高效率甩干的甩干机设备

技术领域

本发明涉及晶圆甩设备领域，具体是一种晶圆高效率甩干的甩干机设备。

背景技术

现在社会的发展迅速，智能电子产品在人们生活中的使用时越来越多，智能电子产品的智能芯片是核心产品，需求量巨大。

芯片是由晶圆进行加工后得到的，晶圆的加工流程中需要首先要进行表面清洗，清洗过后的晶圆需要进行干燥后在进行下一次的加工，现有的晶圆干燥方式需要长时间，工作效率低，不利于晶圆的快速加工。

为此本发明提供一种晶圆高效率甩干的甩干机设备。

发明内容

本发明为解决现有技术的问题，提供了一种晶圆高效率甩干的甩干机设备，包括：

机架，所述机架包括基座、第一放置座，所述第一放置座固定在基座上表面，所述第一放置座固定在基座上表面，第一放置座正下方的基座设有动力装置槽；

甩干室，所述甩干室包括下甩干室和上盖，所述下甩干室安装在第一放置座，下甩干室上具有废液出口，下甩干室内部具有甩干装置，所述甩干装置，所述上盖连接用于上盖打开或闭合的提升装置；

动力装置，所述动力装置放置在动力装置槽内，动力装置连接甩干装置。

在上述方案的基础上并且作为上述方案的优选方案：所述提升装置包括固定在基座上表面的放置块、横梁、提升旋转气缸，所述放置块具有气缸放置槽，所述提升旋转气缸底座安装在气缸放置槽底部，提升旋转气缸顶端固连横梁。

在上述方案的基础上并且作为上述方案的优选方案：所述放置块的顶端固定有支撑座，所述支撑座用于对横梁进行支撑。

在上述方案的基础上并且作为上述方案的优选方案：所述横梁上固定有配重块，用于保持横梁的稳定性。

在上述方案的基础上并且作为上述方案的优选方案：还包括吹气装置，所述吹气装置包括安装在基座上的氮气泵、气管、喷头，所述喷头安装在上盖的下表面，所述气管一端连接氮气泵，另一端连接喷头。

在上述方案的基础上并且作为上述方案的优选方案：所述甩干装置包括旋转轴、放置架、连接座，所述连接座固定在下甩干室内底部，所述旋转轴的底端依次穿过连接座、下甩干室底部连接动力装置，所述放置架固连转轴的外表面，连接座内设有配合旋转轴的第一轴承。

在上述方案的基础上并且作为上述方案的优选方案：所述动力装置包括电机、变速箱，所述变速箱的输入端连接电机，所述变速箱的输出端连接旋转轴。

在上述方案的基础上并且作为上述方案的优选方案：所述放置架具有若干放置空间、夹紧装置，放置空间内放置有晶圆放置盒，所述晶圆放置盒内有晶圆放置空间，晶圆放置盒顶端具有铁块，晶圆放置盒侧面具有卡槽。

在上述方案的基础上并且作为上述方案的优选方案：所述锁紧装置包括锁紧电磁铁、固定在锁紧电磁铁两侧的伸缩杆、安装在伸缩杆端部的限位板，限位板与锁紧电磁铁之间设有连接弹簧。

本发明相比现有技术突出且有益的技术效果是：

1、提升旋转气缸将横梁进行提升旋转有利于下一步的操作。

2、喷头将氮气喷出，利用气流加速晶圆干燥的时间。

3、晶圆放置盒顶部的铁块有利于具有电磁铁的机械手将晶圆放置盒取出，便于进行下一步的操作。

4、锁紧装置能够在进行晶圆甩干的过程中，保证晶圆放置盒在放置空间内保持稳定的状态，在甩干完成后，锁紧电磁铁吸引限制板脱离卡槽，使得具有电磁铁的机械手能够取出晶圆放置盒。

本发明利用喷头喷出氮气加速了气体的流动，增加晶圆甩干的效率，同时也能够使得下甩干室内的废液能够完全的流出甩干室。锁紧装置避免晶圆放置盒在放置空间的出现晃动，提高晶圆加工的良品率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明正视图示意图；

图2是本发明下甩干室部分剖视图示意图；

图3是本实用下甩干室俯视图示意图；

图4是本发明晶圆放置盒示意图；

图5是本发明上盖和喷头示意图；

图6是本发明锁紧装置示意图。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部实施例。基于已给出的实施例，本领域普通技术人员在未做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。

下面结合实施例及附图，对本发明的技术方案作进一步的阐述。

如图1-6所示，本发明一种晶圆高效率甩干的甩干机设备，包括：

机架，所述机架包括基座11、第一放置座12，所述第一放置座12固定在基座11上表面，所述第一放置座12固定在基座11上表面，第一放置座13正下方的基座11设有动力装置槽13；

甩干室，所述甩干室包括下甩干室21和上盖22，所述下甩干室21安装在第一放置座12，下甩干室21上具有废液出口211，下甩干室21内部具有甩干装置，所述甩干装置，所述上盖22连接用于上盖打开或闭合的提升装置；值得一说的是，下甩干室顶端具有连接槽212，上盖下表面具有与连接槽相对应的连接环221。

动力装置，所述动力装置放置在动力装置槽13内，动力装置连接甩干装置。

具体地，所述提升装置包括固定在基座11上表面的放置块31、横梁32、提升旋转气缸33，所述放置块31具有气缸放置槽34，所述提升旋转气缸33底座安装在气缸放置槽34底部，提升旋转气缸33顶端固连横梁32。提升装置能够将横梁进行上下移动，横梁带动上盖进行上下移动，且提升旋转气缸能够将横梁进行提升的同时进行旋转，有利于甩干后的晶圆取出或未甩干的晶圆进行放置。

优选地，所述放置块的顶端固定有支撑座311，所述支撑座311用于对横梁32进行支撑；所述横梁32上固定有配重块321，用于保持横梁32的稳定性。横梁的配重块避免了横梁出现左右重量不均匀出现的不稳定，有利于实际的生产。支撑座能够对于下落的横梁进行限定且具有支撑作用。

进一步地，还包括吹气装置，所述吹气装置包括安装在基座11上的氮气泵41、气管42、喷头43，所述喷头43安装在上盖22的下表面，所述气管42一端连接氮气泵41，另一端连接喷头43。喷头将氮气喷出，利用气流加速晶圆干燥的时间，提高了生产的效率。

详细地，所述甩干装置包括旋转轴51、放置架52、连接座53，所述连接座53固定在下甩干室21内底部，所述旋转轴51的底端依次穿过连接座53、下甩干室21底部连接动力装置，所述放置架52固连转轴51的外表面，连接座53内设有配合旋转轴51的第一轴承54。所述动力装置包括电机61、变速箱62，所述变速箱62的输入端连接电机61，所述变速箱62的输出端连接旋转轴51。

进一步地，所述放置架52具有若干放置空间521、夹紧装置，放置空间521内放置有晶圆放置盒523，所述晶圆放置盒523内有晶圆放置空间5231，晶圆放置盒523顶端具有铁块5232，晶圆放置盒523侧面具有卡槽5233。

具体地，所述锁紧装置522包括锁紧电磁铁5221、固定在锁紧电磁铁5221两侧的伸缩杆5222、安装在伸缩杆5222端部的限位板5223，限位板5223与锁紧电磁铁5221之间设有连接弹簧5224。需要说明的是，锁紧装置在晶圆放置盒的两侧分别设有一个，同时晶圆放置盒两侧分别设有卡槽。

需要说明的是，本发明具有控制装置，提升旋转气缸连接控制装置，氮气泵连接控制装置，锁紧电磁铁连接控制装置，电机连接控制装置。本发明的控制装置不是本发明的改进点，再此未做展开说明。

值得一说的是，本发明的晶圆放置盒的侧壁为镂空结构，有利于旋转过程中的废液流出，同时便于快速流动的氮气进入，加快晶圆甩干，放置架同时采用镂空设计。

工作原理，首先控制装置发出指令，提升旋转气缸将横梁上升旋转，上盖与下甩干室，控制装置发出指令，外界的机械手臂将没有甩干的晶圆放置盒移动到放置空间内，控制装置发出指令，锁紧装置的锁紧电磁铁断电，限位板在弹簧的弹力作用下进入卡槽内，晶圆放置盒两侧被锁紧装置固定，控制装置发出指令，提升旋转气缸旋转下降，恢复到初始状态，上盖与下甩干室闭合，控制装置发出指令，电机开始转动，电机带动旋转轴开始转动，晶圆上的废液开始脱落，最后喷头将氮气喷向晶圆放置盒，加入气体流动，降低甩干时间，且能够将废液吹落到下甩干室底部，便于流出。

甩干完成后，控制装置发出指令，提升旋转气缸将横梁上升旋转，上盖与下甩干室，控制装置发出指令，锁紧装置的锁紧电磁铁通电，限制板离开卡槽，此时控制装置发出指令，具有通电电磁铁的机械手吸引晶圆放置盒上的铁块，将江源放置盒取出，一次甩干完成，，控制装置发出指令，外界的机械手臂将没有甩干的晶圆放置盒移动到放置空间内，进行下一组晶圆甩干，循环进行。

本发明的优点：

本发明利用喷头喷出氮气加速了气体的流动，增加晶圆甩干的效率，同时也能够使得下甩干室内的废液能够完全的流出甩干室。锁紧装置避免晶圆放置盒在放置空间的出现晃动，提高晶圆加工的良品率。

以上详细描述了本发明的较佳具体实施例。应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本发明的构思做出诸多修改和变化。因此，凡本技术领域中技术人员依本发明的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。

Claims (9)

1.一种晶圆高效率甩干的甩干机设备，其特征在于，包括：

机架，所述机架包括基座(11)、第一放置座(12)，所述第一放置座(12)固定在基座(11)上表面，所述第一放置座(12)固定在基座(11)上表面，第一放置座(13)正下方的基座(11)设有动力装置槽(13)；

甩干室，所述甩干室包括下甩干室(21)和上盖(22)，所述下甩干室(21)安装在第一放置座(12)，下甩干室(21)上具有废液出口(211)，下甩干室(21)内部具有甩干装置，所述甩干装置，所述上盖(22)连接用于上盖打开或闭合的提升装置；

动力装置，所述动力装置放置在动力装置槽(13)内，动力装置连接甩干装置。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆高效率甩干的甩干机设备，其特征在于，所述提升装置包括固定在基座(11)上表面的放置块(31)、横梁(32)、提升旋转气缸(33)，所述放置块(31)具有气缸放置槽(34)，所述提升旋转气缸(33)底座安装在气缸放置槽(34)底部，提升旋转气缸(33)顶端固连横梁(32)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆高效率甩干的甩干机设备，其特征在于，所述放置块的顶端固定有支撑座(311)，所述支撑座(311)用于对横梁(32)进行支撑。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆高效率甩干的甩干机设备，其特征在于，所述横梁(32)上固定有配重块(321)，用于保持横梁(32)的稳定性。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆高效率甩干的甩干机设备，其特征在于，还包括吹气装置，所述吹气装置包括安装在基座(11)上的氮气泵(41)、气管(42)、喷头(43)，所述喷头(43)安装在上盖(22)的下表面，所述气管(42)一端连接氮气泵(41)，另一端连接喷头(43)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆高效率甩干的甩干机设备，其特征在于，所述甩干装置包括旋转轴(51)、放置架(52)、连接座(53)，所述连接座(53)固定在下甩干室(21)内底部，所述旋转轴(51)的底端依次穿过连接座(53)、下甩干室(21)底部连接动力装置，所述放置架(52)固连转轴(51)的外表面，连接座(53)内设有配合旋转轴(51)的第一轴承(54)。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆高效率甩干的甩干机设备，其特征在于，所述动力装置包括电机(61)、变速箱(62)，所述变速箱(62)的输入端连接电机(61)，所述变速箱(62)的输出端连接旋转轴(51)。

8.根据权利要求6所述的一种晶圆高效率甩干的甩干机设备，其特征在于，所述放置架(52)具有若干放置空间(521)、夹紧装置，放置空间(521)内放置有晶圆放置盒(523)，所述晶圆放置盒(523)内有晶圆放置空间(5231)，晶圆放置盒(523)顶端具有铁块(5232)，晶圆放置盒(523)侧面具有卡槽(5233)。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆高效率甩干的甩干机设备，其特征在于，所述锁紧装置包括锁紧电磁铁(5221)、固定在锁紧电磁铁(5221)两侧的伸缩杆(5222)、安装在伸缩杆(5222)端部的限位板(5223)，限位板(5223)与锁紧电磁铁(5221)之间设有连接弹簧(5224)。

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