CN109277366A - 一种硅片清洗用装载装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种硅片清洗用装载装置，包括基板、轴承、第一承载篮、第二承载篮和第三承载篮，所述第一、二、三承载篮叠装在一起，所述基板和第一承载篮通过轴承连接，所述第一承载篮可以相对于基板转动。第一、二、三承载篮可以一起吊装，也可以单个吊装，使用方便，并且装载装置有利于硅片的烘干操作。

Description

一种硅片清洗用装载装置
技术领域
本发明涉及光伏领域，具体涉及一种硅片清洗用装载装置。
背景技术
随着传统能源的枯竭以及严重的污染问题，太阳能等新能源技术得到了长足的发展。硅片最为光伏电池板的重要部件，其生产过程中需要经过清洗步骤。清洗需要浸泡超声清洗等，并且还射击烘干步骤等，常规的清洗设备，有时清洗效率低，导致整个的生产效率低下。
发明内容
发明目的：本发明旨在克服现有技术的缺陷，提供一种硅片清洗用装载装置。
技术方案：一种硅片清洗用装载装置，包括基板、轴承、第一承载篮、第二承载篮和第三承载篮，所述第一承载篮包括圆环形的第一底板、与所述第一底板固定的圆环柱形的第一外侧壁部和与所述第一底板固定的圆环柱形的第一内侧壁部，所述第一底板还固定有穿过所述第一内侧壁部的第一立柱，所述第一外侧壁部的内侧具有多个条形的竖直的第一凹槽，所述第一内侧壁部的外侧具有多个条形的竖直的第二凹槽，第一凹槽的数量等于第二凹槽的数量，所述第一底板处具有多个第一通孔，所述第一外侧壁部具有多个连通第一凹槽和第一外侧壁部外侧的第一连通孔；所述第二承载篮包括圆环形的第二底板、与所述第二底板固定的圆环柱形的第二外侧壁部和与所述第二底板固定的圆环柱形的第二内侧壁部，所述第二底板还固定有穿过所述第二内侧壁部的第二立柱，所述第二外侧壁部的内侧具有多个条形的竖直的第三凹槽，所述第二内侧壁部的外侧具有多个条形的竖直的第四凹槽，第三凹槽的数量等于第四凹槽的数量，所述第二底板处具有多个第二通孔，所述第二外侧壁部具有多个连通第三凹槽和第二外侧壁部外侧的第二连通孔；所述第三承载篮包括圆环形的第三底板、与所述第三底板固定的圆环柱形的第三外侧壁部和与所述第三底板固定的圆环柱形的第三内侧壁部，所述第三底板还固定有穿过所述第三内侧壁部的第三立柱，所述第三外侧壁部的内侧具有多个条形的竖直的第五凹槽，所述第三内侧壁部的外侧具有多个条形的竖直的第六凹槽，第五凹槽的数量等于第六凹槽的数量，所述第三底板处具有多个第三通孔，所述第三外侧壁部具有多个连通第五凹槽和第三外侧壁部外侧的第三连通孔；所述第一外侧壁部的顶端具有多个第一定位柱，所述第二外侧壁部的顶端具有多个第二定位柱，所述第二外侧壁部的底端具有多个与所述第一定位柱啮合的第一定位孔，所述第三外侧壁部的底端具有多个与所述第二定位柱啮合的第二定位孔；所述第二立柱具有顶端和底端敞口的第二立柱中心通道，所述第三立柱具有顶端和底端敞口的第三立柱中心通道，所述第一立柱穿过第二立柱中心通道，所述第二立柱穿过第三立柱中心通道，所述第一、二、三立柱的顶端均为平面形状且齐平，所述第一立柱的顶端具有第一半圆形环，第二立柱的顶端具有第二半圆形环，第三立柱的顶端具有第三半圆形环；所述轴承的内圈通过第一环形连接板与所述基板固定连接，所述轴承的外圈通过第二环形连接板与所述第一外侧壁部的底端固定连接，所述第一外侧壁部的外侧具有防滑涂层。
进一步地，所述第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽、第四凹槽、第五凹槽和第六凹槽的数量均相等。
进一步地，所述第一凹槽的数量大于等于24个。
进一步地，所述第一立柱为圆柱形，所述第二立柱为圆环柱形，所述第三立柱为圆环柱形。
进一步地，所述第一定位柱、第一定位孔、第二定位柱、第二定位孔的数量相等，均大于等于4个。
进一步地，所述第一外侧壁部、第二外侧壁部和第三外侧壁部高度相等。
进一步地，所述第一通孔、第二通孔和第三通孔均为弧形通孔。
进一步地，所述第一连通孔的数量等于第一凹槽的数量，每个第一连通孔与一个第一凹槽连通；所述第二连通孔的数量等于第三凹槽的数量，每个第二连通孔与一个第三凹槽连通；所述第三连通孔的数量等于第五凹槽的数量，每个第三连通孔与一个第五凹槽连通。
有益效果：本发明的装载装置，能够一次性装载大量的硅片，并且在吊装时，方便。并且有利于后续的烘干操作。
附图说明
图1为装载装置示意图；
图2为第二承载篮俯视示意图。
具体实施方式
附图标记：1.1第一外侧壁部；1.2第一底板；1.3第一立柱；1.4第一内侧壁部；1.5第一定位柱；1.6防滑涂层；2.1第二外侧壁部；2.2第二底板；2.3第二立柱；2.4第二内侧壁部；2.5第二定位柱；3.1第三外侧壁部；3.2第三底板；3.3第三立柱；3.4第三内侧壁部；1.3.1第一半圆形环；2.3.1第二半圆形环；3.3.1第三半圆形环；2.2.1第二通孔；4基板；4.1第一环形连接板；4.2第二环形连接板；4.3轴承；11摩擦辊；12顶部喷嘴；13侧面喷嘴。
一种硅片清洗用装载装置，包括基板4、轴承4.3、第一承载篮、第二承载篮和第三承载篮，所述第一承载篮包括圆环形的第一底板1.2、与所述第一底板固定的圆环柱形的第一外侧壁部1.1和与所述第一底板固定的圆环柱形的第一内侧壁部1.4，所述第一底板还固定有穿过所述第一内侧壁部的第一立柱1.3，所述第一外侧壁部的内侧具有多个条形的竖直的第一凹槽，所述第一内侧壁部的外侧具有多个条形的竖直的第二凹槽，第一凹槽的数量等于第二凹槽的数量，所述第一底板处具有多个第一通孔，所述第一外侧壁部具有多个连通第一凹槽和第一外侧壁部外侧的第一连通孔；所述第二承载篮包括圆环形的第二底板2.2、与所述第二底板固定的圆环柱形的第二外侧壁部2.1和与所述第二底板固定的圆环柱形的第二内侧壁部2.4，所述第二底板还固定有穿过所述第二内侧壁部的第二立柱2.3，所述第二外侧壁部的内侧具有多个条形的竖直的第三凹槽，所述第二内侧壁部的外侧具有多个条形的竖直的第四凹槽，第三凹槽的数量等于第四凹槽的数量，所述第二底板处具有多个第二通孔2.2.1，所述第二外侧壁部具有多个连通第三凹槽和第二外侧壁部外侧的第二连通孔；所述第三承载篮包括圆环形的第三底板3.2、与所述第三底板固定的圆环柱形的第三外侧壁部3.1和与所述第三底板固定的圆环柱形的第三内侧壁部3.4，所述第三底板还固定有穿过所述第三内侧壁部的第三立柱3.3，所述第三外侧壁部的内侧具有多个条形的竖直的第五凹槽，所述第三内侧壁部的外侧具有多个条形的竖直的第六凹槽，第五凹槽的数量等于第六凹槽的数量，所述第三底板处具有多个第三通孔，所述第三外侧壁部具有多个连通第五凹槽和第三外侧壁部外侧的第三连通孔；所述第一外侧壁部的顶端具有多个第一定位柱1.5，所述第二外侧壁部的顶端具有多个第二定位柱2.5，所述第二外侧壁部的底端具有多个与所述第一定位柱啮合的第一定位孔，所述第三外侧壁部的底端具有多个与所述第二定位柱啮合的第二定位孔；所述第二立柱具有顶端和底端敞口的第二立柱中心通道，所述第三立柱具有顶端和底端敞口的第三立柱中心通道，所述第一立柱穿过第二立柱中心通道，所述第二立柱穿过第三立柱中心通道，所述第一、二、三立柱的顶端均为平面形状且齐平，所述第一立柱的顶端具有第一半圆形环1.3.1，第二立柱的顶端具有第二半圆形环2.3.1，第三立柱的顶端具有第三半圆形环3.3.1；所述轴承4.3的内圈通过第一环形连接板4.1与所述基板固定连接，所述轴承4.3的外圈通过第二环形连接板4.2与所述第一外侧壁部的底端固定连接，所述第一外侧壁部的外侧具有防滑涂层。
所述第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽、第四凹槽、第五凹槽和第六凹槽的数量均相等。所述第一凹槽的数量大于等于24个。所述第一立柱为圆柱形，所述第二立柱为圆环柱形，所述第三立柱为圆环柱形。所述第一定位柱、第一定位孔、第二定位柱、第二定位孔的数量相等，均大于等于4个。所述第一外侧壁部、第二外侧壁部和第三外侧壁部高度相等。所述第一通孔、第二通孔和第三通孔均为弧形通孔。所述第一连通孔的数量等于第一凹槽的数量，每个第一连通孔与一个第一凹槽连通；所述第二连通孔的数量等于第三凹槽的数量，每个第二连通孔与一个第三凹槽连通；所述第三连通孔的数量等于第五凹槽的数量，每个第三连通孔与一个第五凹槽连通。
本发明的装载装置，每个承载篮的外侧壁部和内侧壁部之间的凹槽可以装载一个硅片，从而每个承载篮可以承载多个硅片，且相邻的硅片之间具有间隙，从而可以将3个承载篮都放置在清洗容器内，均浸泡在清洗液内进行超声清洗。并且在清洗完毕后，可以利用转动的摩擦辊带动第一外侧壁部转动(基板不转动)，同时顶部喷嘴和侧面喷嘴进行热风吹扫，从而有利于烘干硅片(配套使用的烘干设备需要有驱动辊、侧面吹风单元和顶部吹风单元)。并且由于第一、二、三立柱是嵌套结构。当吊装装置吊起第一半圆形环时，可以将第一、二、三承载篮均吊起；当吊装装置吊起第二半圆形环时，可以将第二、三承载篮均吊起；当吊装装置吊起第三半圆形环时，可以将第三承载篮吊起。从而既可以将3个承载篮一起吊装，也可以单个单个地吊装，满足不同使用场合的需要。
尽管本发明就优选实施方式进行了示意和描述，但本领域的技术人员应当理解，只要不超出本发明的权利要求所限定的范围，可以对本发明进行各种变化和修改。

Claims (8)

1.一种硅片清洗用装载装置，其特征在于，包括基板、轴承、第一承载篮、第二承载篮和第三承载篮，所述第一承载篮包括圆环形的第一底板、与所述第一底板固定的圆环柱形的第一外侧壁部和与所述第一底板固定的圆环柱形的第一内侧壁部，所述第一底板还固定有穿过所述第一内侧壁部的第一立柱，所述第一外侧壁部的内侧具有多个条形的竖直的第一凹槽，所述第一内侧壁部的外侧具有多个条形的竖直的第二凹槽，第一凹槽的数量等于第二凹槽的数量，所述第一底板处具有多个第一通孔，所述第一外侧壁部具有多个连通第一凹槽和第一外侧壁部外侧的第一连通孔；所述第二承载篮包括圆环形的第二底板、与所述第二底板固定的圆环柱形的第二外侧壁部和与所述第二底板固定的圆环柱形的第二内侧壁部，所述第二底板还固定有穿过所述第二内侧壁部的第二立柱，所述第二外侧壁部的内侧具有多个条形的竖直的第三凹槽，所述第二内侧壁部的外侧具有多个条形的竖直的第四凹槽，第三凹槽的数量等于第四凹槽的数量，所述第二底板处具有多个第二通孔，所述第二外侧壁部具有多个连通第三凹槽和第二外侧壁部外侧的第二连通孔；所述第三承载篮包括圆环形的第三底板、与所述第三底板固定的圆环柱形的第三外侧壁部和与所述第三底板固定的圆环柱形的第三内侧壁部，所述第三底板还固定有穿过所述第三内侧壁部的第三立柱，所述第三外侧壁部的内侧具有多个条形的竖直的第五凹槽，所述第三内侧壁部的外侧具有多个条形的竖直的第六凹槽，第五凹槽的数量等于第六凹槽的数量，所述第三底板处具有多个第三通孔，所述第三外侧壁部具有多个连通第五凹槽和第三外侧壁部外侧的第三连通孔；所述第一外侧壁部的顶端具有多个第一定位柱，所述第二外侧壁部的顶端具有多个第二定位柱，所述第二外侧壁部的底端具有多个与所述第一定位柱啮合的第一定位孔，所述第三外侧壁部的底端具有多个与所述第二定位柱啮合的第二定位孔；所述第二立柱具有顶端和底端敞口的第二立柱中心通道，所述第三立柱具有顶端和底端敞口的第三立柱中心通道，所述第一立柱穿过第二立柱中心通道，所述第二立柱穿过第三立柱中心通道，所述第一、二、三立柱的顶端均为平面形状且齐平，所述第一立柱的顶端具有第一半圆形环，第二立柱的顶端具有第二半圆形环，第三立柱的顶端具有第三半圆形环；所述轴承的内圈通过第一环形连接板与所述基板固定连接，所述轴承的外圈通过第二环形连接板与所述第一外侧壁部的底端固定连接，所述第一外侧壁部的外侧具有防滑涂层。
2.根据权利要求1所述的硅片清洗用装载装置，其特征在于，所述第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽、第四槽、第五凹槽和第六凹槽的数量均相等。
3.根据权利要求2所述的硅片清洗用装载装置，其特征在于，所述第一凹槽的数量大于等于24个。
4.根据权利要求1所述的硅片清洗用装载装置，其特征在于，所述第一立柱为圆柱形，所述第二立柱为圆环柱形，所述第三立柱为圆环柱形。
5.根据权利要求1所述的硅片清洗用装载装置，其特征在于，所述第一定位柱、第一定位孔、第二定位柱、第二定位孔的数量相等，均大于等于4个。
6.根据权利要求1所述的硅片清洗用装载装置，其特征在于，所述第一外侧壁部、第二外侧壁部和第三外侧壁部高度相等。
7.根据权利要求1所述的硅片清洗用装载装置，其特征在于，所述第一通孔、第二通孔和第三通孔均为弧形通孔。
8.根据权利要求1所述的硅片清洗用装载装置，其特征在于，所述第一连通孔的数量等于第一凹槽的数量，每个第一连通孔与一个第一凹槽连通；所述第二连通孔的数量等于第三凹槽的数量，每个第二连通孔与一个第三凹槽连通；所述第三连通孔的数量等于第五凹槽的数量，每个第三连通孔与一个第五凹槽连通。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111389843A (zh) * 2020-03-19 2020-07-10 青岛大学附属医院 一种在静配中心的药剂调配消毒清洁装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2683267Y (zh) * 2003-12-17 2005-03-09 中国第一铅笔股份有限公司 清洗吊篮
CN202238829U (zh) * 2011-09-05 2012-05-30 浙江昱辉阳光能源有限公司 一种清洗吊篮
CN104241176A (zh) * 2014-08-21 2014-12-24 浙江辉弘光电能源有限公司 一种用于放置硅片的环形花篮
WO2018032608A1 (zh) * 2016-08-18 2018-02-22 孙瑞秀 一种带有防碰的医疗液体支撑装置
CN207839560U (zh) * 2017-12-23 2018-09-11 广州市彩标立体眼镜有限公司 清洗机的烘干系统
CN209124505U (zh) * 2018-11-09 2019-07-19 江苏德润光电科技有限公司 一种硅片清洗用装载装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2683267Y (zh) * 2003-12-17 2005-03-09 中国第一铅笔股份有限公司 清洗吊篮
CN202238829U (zh) * 2011-09-05 2012-05-30 浙江昱辉阳光能源有限公司 一种清洗吊篮
CN104241176A (zh) * 2014-08-21 2014-12-24 浙江辉弘光电能源有限公司 一种用于放置硅片的环形花篮
WO2018032608A1 (zh) * 2016-08-18 2018-02-22 孙瑞秀 一种带有防碰的医疗液体支撑装置
CN207839560U (zh) * 2017-12-23 2018-09-11 广州市彩标立体眼镜有限公司 清洗机的烘干系统
CN209124505U (zh) * 2018-11-09 2019-07-19 江苏德润光电科技有限公司 一种硅片清洗用装载装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111389843A (zh) * 2020-03-19 2020-07-10 青岛大学附属医院 一种在静配中心的药剂调配消毒清洁装置

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