CN111674158B - 喷墨头清洁装置、喷墨头清洁方法及基板处理方法 - Google Patents

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Abstract

公开了一种喷墨头清洁装置、喷墨头清洁方法及基板处理方法。该喷墨头清洁装置，包括：叶片主体，以旋转轴为中心而可旋转，并沿垂直于所述旋转轴的方向延伸；喷射口，形成在所述叶片主体的末端，向形成有喷嘴的喷墨头喷射溶剂；叶片尖端，连接到所述叶片主体的所述末端而被固定，配备为擦除(wiping)所述喷嘴表面的污染物而将其去除；以及吸入口，形成在所述叶片主体的所述末端，布置在所述喷射口和所述叶片尖端之间且配备为吸入从所述喷射口喷射的所述溶剂。

Description

喷墨头清洁装置、喷墨头清洁方法及基板处理方法
技术领域
本发明涉及喷墨头清洁装置、喷墨头清洁方法及利用其的基板处理方法，更详细地，涉及改善了清洁效率的喷墨头清洁装置、喷墨头清洁方法及利用其的基板处理方法。
背景技术
近来，随着技术的发展，正在生产小型、轻量化且性能更加优异的显示产品。目前为止，在显示装置中，在性能和价格方面具有大量优点的阴极射线管(CRT：cathode raytube)电视被广泛地使用，但在小型化或者便携性方面克服了CRT的缺点，并且具有小型化、轻量化以及低电耗等优点的显示装置，例如等离子体显示装置、液晶显示装置以及有机发光显示装置等正在备受瞩目。
在制造所述显示装置时，使用具有降低成本等效果的喷墨打印方法。在所述喷墨打印方法中，喷墨头的洗涤是必须的，并且正在开发用于洗涤所述喷墨头的多种器械。
作为代表，使用吸入方式或者叶片方式，其中，在所述吸入方式中，通过使吸入喷嘴上升并移动而去除所述喷墨头的喷嘴板的吐出部表面的残留溶液，在所述叶片方式中，通过在与所述喷嘴板接触的状态下移动的叶片而去除表面残存的溶液。
发明内容
据此，本发明的技术问题是基于这些问题而提出的，本发明的目的在于提供一种改善了清洁效率的喷墨头清洁装置。
本发明的另一目的在于提供一种喷墨头清洁方法。
本发明的另一目的在于提供一种基板处理方法。
用于实现所述本发明的目的的根据一实施例的一种喷墨头清洁装置包括：叶片主体，以旋转轴为中心而可旋转，并沿垂直于所述旋转轴的方向延伸；喷射口，形成在所述叶片主体的末端，向形成有喷嘴的喷墨头喷射溶剂；叶片尖端，连接到所述叶片主体的所述末端而被固定，配备为通过擦除(wiping)而去除所述喷嘴表面的污染物；以及吸入口，形成在所述叶片主体的所述末端，布置在所述喷射口和所述叶片尖端之间且配备为吸入从所述喷射口喷射的所述溶剂。
在本发明的一实施例中，所述喷墨头清洁装置，还可以包括储存有溶剂的溶剂储存部。可按在所述叶片主体旋转时所述叶片尖端浸渍到所述溶剂的方式所述叶片主体和所述溶剂储存部结合。
在本发明的一实施例中，所述叶片尖端可在与垂直于形成有喷嘴的喷墨头的下表面的方向构成小于45度的第一角度的状态下，与所述喷嘴接触而去除所述喷嘴表面的污染物。
在本发明的一实施例中，所述喷墨头清洁装置还可以包括连接到所述叶片主体的喷射管和吸入管。所述喷射口可以通过所述叶片主体内部而连接到所述喷射管，从而从所述喷射管接收所述溶剂。所述吸入口可以通过所述叶片主体内部而连接到所述吸入管，从而从所述吸入管接收真空吸入力。
在本发明的一实施例中，在所述叶片主体的所述末端，以所述叶片尖端为基准而在形成有所述吸入口的相反方向还可以形成有辅助吸入口。
在本发明的一实施例中，所述喷射口和所述吸入口可以为沿平行于所述旋转轴的方向延伸的狭缝形态。
在本发明的一实施例中，所述溶剂可以包括N-甲基吡咯烷酮(NMP)，所述污染物可以包括聚酰亚胺(PI)。
在本发明的一实施例中，所述叶片尖端可以包括硅。
用于实现所述本发明的目的的根据一实施例的一种喷墨头清洁方法，包括如下步骤：向喷墨头的喷嘴喷射溶剂；利用叶片尖端从喷嘴去除所述喷嘴上的被所述喷射的溶剂溶解的污染物；吸入通过所述叶片尖端而被去除的所述污染物；以及将残留在所述叶片尖端的所述污染物浸渍到储存在溶剂储存部的溶剂而将其从所述叶片尖端去除。
在本发明的一实施例中，在所述喷射步骤中，可以通过形成在连接有所述叶片尖端的叶片主体的末端的喷射口喷射所述溶剂。
在本发明的一实施例中，在从所述喷嘴去除的步骤中，所述叶片尖端可以通过擦除而去除所述喷嘴表面的所述污染物。
在本发明的一实施例中，所述叶片尖端可以在与垂直于形成有喷嘴的喷墨头的下表面的方向构成小于45度的第一角度的状态下，与所述喷嘴接触而去除所述污染物。
在本发明的一实施例中，在所述吸入的步骤中，可以通过形成在所述叶片主体的所述末端且布置在所述喷射口和所述叶片尖端之间的吸入口吸入所述污染物和所述溶剂。
在本发明的一实施例中，在所述从叶片尖端去除的步骤中，可以通过将所述叶片尖端浸渍在储存于溶剂储存部的溶剂，从而使残留在所述叶片尖端的所述污染物溶解到所述溶剂中。
在本发明的一实施例中，所述溶剂可以包括N-甲基吡咯烷酮(NMP)，所述污染物可以包括聚酰亚胺(PI)。
用于实现所述本发明的目的的根据一实施例的一种基板处理方法，包括如下步骤：利用从喷墨头的喷嘴滴落溶液的喷墨印刷方法在基板上形成图案层；清洁所述喷墨头的喷嘴的表面。所述清洁步骤的包括如下步骤：向所述喷墨头的所述喷嘴喷射溶剂；利用叶片尖端从所述喷嘴去除所述喷嘴上的被所述喷射的溶剂溶解的污染物；吸入通过所述叶片尖端而被去除的所述污染物；以及将残留在所述叶片尖端的所述污染物浸渍在储存于溶剂储存部的溶剂而从所述叶片尖端去除。
在本发明的一实施例中，所述基板和所述图案层可以是显示装置的构成要素。
在本发明的一实施例中，所述显示装置可以是液晶显示装置，所述图案层可以是滤色图案层、遮光图案层或者取向膜。
在本发明的一实施例中，所述显示装置可以是有机发光显示装置，所述图案层可以是发光层。
根据本发明的实施例，由于利用从喷射口喷射的溶剂和叶片间尖端而清洁残留在喷墨头的喷嘴的溶液的溶剂挥发而形成的污染物(固形物结晶)，因此可以进行更加有效的清洁。
并且，由于通过吸入口吸入喷射的溶剂和溶解的污染物，因此可以改善清洁效率。
并且，由于通过浸渍到储存在溶剂储存部的溶剂而去除残留在所述叶片尖端的污染物，因此可易于维护管理喷墨头清洁装置。
然而，本发明的效果并不限于所述效果，可以在不脱离本发明的思想和领域的范围内进行多种扩展。
附图说明
图1是根据本发明的一实施例的喷墨头清洁装置的立体图。
图2a至图2d是示出利用图1的喷墨头清洁装置的喷墨头清洁方法的图。
图3是根据本发明的一实施例的喷墨头清洁装置的立体图。
图4a至图4d是示出利用图1的喷墨头清洁装置的喷墨头清洁方法的图。
图5是利用根据本发明的一实施例的喷墨头清洁装置以及喷墨头清洁方法而制造的液晶显示装置的剖面图。
图6是利用根据本发明的一实施例的喷墨头清洁装置和喷墨头清洁方法而制造的有机发光显示装置的剖面图。
图7是示出根据本发明的一实施例的喷墨头清洁方法的顺序图。
图8是示出根据本发明的一实施例的基板处理方法的顺序图。
符号说明
100：叶片主体 110：喷射口
120：吸入口 130：叶片尖端
200：溶剂储存部
具体实施方式
以下，参照附图更加详细地说明本发明的优选的实施例。
图1是根据本发明的一实施例的喷墨头清洁装置的立体图。
参照图1，所述喷墨头清洁装置可以包括：叶片主体100、喷射口110、吸入口120、叶片尖端130、溶剂储存部200、喷射管210以及吸入管220。
所述叶片主体100可以具有与第一方向D1平行的旋转轴RA，并且可以沿垂直于所述旋转轴RA的方向延伸。所述叶片主体100可以相对第三方向D3倾斜预定角度地布置。所述第三方向D3作为垂直于所述第一方向D1和与所述第一方向D1垂直的第二方向D2构成的平面的方向，可以是相对于地面垂直的方向。
所述叶片主体100的末端可以形成有所述喷射口110和所述吸入口120。并且，在所述叶片主体100的所述末端可以连接而固定有所述叶片尖端130。
所述喷射口110可以向所述叶片尖端130和喷墨头的喷嘴(参照图2b的12)的污染物(参照图2b的PC)喷射溶剂。所述喷射口110可以通过所述叶片主体100内部而与所述喷射管210连接，从而从所述喷射管210接收所述溶剂。例如，在所述喷墨头是用于形成液晶显示装置的取向膜的装置的情况下，在所述喷墨头的所述喷嘴可能残留有聚酰亚胺(PI)溶液的污染物，所述喷射口110可以向所述污染物喷射作为溶剂的N-甲基吡咯烷酮(NMP)。
所述喷射口110可以沿所述第一方向D1形成有多个。即，多个喷射口110可以在所述叶片主体100的所述末端上沿所述第一方向D1排列。每个所述喷射口110可以是在所述第一方向D1上具有长度的狭缝形态。
所述吸入口120可以再次吸入从所述喷射口110喷射的所述溶剂和被所述溶剂溶解的所述污染物。所述吸入口120可以通过所述叶片主体100内部而连接于所述吸入管220，从而从所述吸入管220接收真空吸入力。所述吸入口120可以位于所述叶片尖端130和所述喷射口110之间。
所述吸入口120可以是在所述第一方向D1具有长度的狭缝形态。即，所述吸入口120可以形成为在所述叶片主体100的所述末端上沿所述第一方向D1延伸的狭缝形态。
所述叶片尖端130可以结合于所述叶片主体100的所述末端一侧而被固定。所述叶片尖端130可以包括硅等弹性物质。所述叶片尖端130可以通过将所述喷墨头的所述喷嘴的所述污染物直接擦除(wiping)而将所述污染物从所述喷嘴去除。在所述叶片尖端130磨损的情形下，可以配备为将磨损的叶片尖端从所述叶片主体100拆除后，替换为新的叶片尖端。
所述溶剂储存部200可以按使所述叶片主体100可以以所述旋转轴RA为基准而旋转的方式支撑所述叶片主体100。在所述溶剂储存部200可以储存有溶剂CS。通过旋转所述叶片主体100，所述叶片主体100的末端被浸渍在所述溶剂储存部200的所述溶剂CS，从而可以使所述叶片尖端130、所述喷射口110和所述吸入口120周围的污染物溶解于所述溶剂CS而被去除。
所述喷射管210可以通过所述叶片主体100内部而连接到所述喷射口110，从而向所述喷射口110提供所述溶剂CS。
所述吸入管220可以通过所述叶片主体100内部而连接于所述吸入口120，从而向所述吸入口120提供真空吸入力。
根据本实施例，所述喷墨头清洁装置可以及时吸入从所述喷墨头的所述喷嘴表面被擦除(wiping)的污染物，从而可最小化留在所述喷嘴表面的污染物(喷墨用墨)。
并且，可以通过所述喷射口喷射溶剂，从而提高擦除的效率，并防止在所述叶片尖端产生固形物，由于减少了所述固形物的产生，因此易于管理，并且可以易于进行所述喷墨头清洁装置的维护管理。
并且，由于通过有效的擦除而实现的所述喷墨头的所述喷嘴的残留墨减少，从而可以减少由于喷嘴堵塞等问题导致的异常吐出问题。
图2a至图2d是示出利用图1的喷墨头清洁装置的喷墨头清洁方法的图。
通常，在形成液晶显示装置的滤色器图案和取向膜图案等的情况下，喷墨印刷系统(inkjet printing system)使用于包括有机发光显示装置(organic light emittingdisplay)的发光层的通过多种有机物形成的薄膜图案的情形。
为了通过喷墨印刷方法形成所述滤色器图案和所述取向膜图案，墨通过喷墨头的多个喷嘴而以一定体积滴落至每个预定位置。
因此，在喷墨打印系统中，维护和管理喷墨头10的喷嘴12的状态非常重要。在所述喷墨头10的喷嘴12的底面被污染物PC污染的情形下，喷射分散和喷射直线性将变得不好。在喷射直线性不好的情形下，会增加向相邻的像素喷射墨的概率。并且，在所述喷墨头10的喷嘴12的底面污染严重的情形下，将无法进行喷射，进而墨会积聚在所述喷嘴12的底面，从而相邻的喷嘴也无法进行喷射。
在长时间使用这种喷墨头10的情形下，由于所述喷墨头10的喷嘴12容易堵塞而产生不良，因此需要清洁所述喷墨头10。
参照图1和图2a，所述喷墨头清洁装置的所述叶片主体100和所述叶片尖端130可以与相对于地面垂直的所述第三方向D3构成第一角度θ1。所述第一角度θ1可以小于45度。
所述喷墨头10的所述喷嘴12表面可能是被所述污染物PC污染的状态。
参照图1和图2b，所述喷墨头10向所述第二方向D2的相反方向(参照附图中所述喷墨头10上的箭头)移动，所述污染物PC可以借由所述叶片尖端130而从所述喷墨头10的所述喷嘴12的表面去除。此时，所述喷射口110可以将所述溶剂CS喷射到所述喷嘴12表面，被所述溶剂CS溶解的所述污染物PC借由所述叶片尖端130而被去除，并且可以通过所述吸入口120而被吸入。
参照图1和图2c，所述喷墨头10继续向所述第二方向D2的相反方向(参照附图中在所述喷墨头10上的箭头)移动，所述喷嘴12的表面的所述污染物PC可以借由所述叶片尖端130而被去除。所述污染物PC可以通过所述吸入口120而被吸入，或者可以留在所述叶片尖端130。
参照图1和图2d，所述喷墨头10的所述喷嘴12表面的清洁完成，从而可以重新使用于喷墨工序。所述叶片主体100旋转，从而所述叶片尖端130浸渍在所述溶剂储存部200的所述溶剂CS内，据此，残留在所述叶片尖端130表面的所述污染物PC可以溶解于所述溶剂CS而被去除。并且，所述喷射口110和所述吸入口120周围也可以被一起清洁。此时，如果所述叶片主体100旋转为与所述第三方向D3构成大于所述第一角度θ1的第二角度θ2，则可以使所述叶片尖端130浸在所述溶剂CS。
此后，所述叶片主体100可以再次旋转而回归到用于清洁喷墨头的准备位置(参照图2a)。
根据本实施例，喷墨头的喷嘴的底面上的污染物通过从喷射口喷射的溶剂而被溶解，通过叶片尖端而从所述喷嘴被去除，被所述溶剂溶解的所述污染物通过吸入口而被吸入。并且，由于留在所述叶片尖端的污染物通过叶片主体的旋转而溶解在溶剂储存部内的溶剂，从而从所述叶片尖端被去除，因此可以不损伤所述喷墨头的喷嘴而有效地清洁所述污染物，从而实现连续的清洁。
图3是根据本发明的一实施例的喷墨头清洁装置的立体图。
参照图3，所述喷墨头清洁装置除了还包括辅助吸入口140，可以与图1的喷墨头清洁装置实质上相同。因此将简化或者省略重复的说明。
所述喷墨头清洁装置可以包括叶片主体100、喷射口110、吸入口120、叶片尖端130、溶剂储存部、喷射管和吸入管。虽然未在图中示出所述溶剂储存部、所述喷射管和所述吸入管，但与图1的喷墨头清洁装置的结构实质上相同。
所述叶片主体100可以具有与第一方向D1平行的旋转轴RA，并且可以沿与旋转轴RA垂直的方向延伸。所述叶片主体100可以布置为相对第三方向D3倾斜预定角度。
所述叶片主体100的末端可以形成有所述喷射口110和所述吸入口120。并且，在所述叶片主体100的所述末端可以连接有所述叶片尖端130而被固定。
附加地，在所述叶片主体100的所述末端，可以以所述叶片尖端130为基准而在形成有所述吸入口120的相反方向形成有所述辅助吸入口140。所述辅助吸入口140可以是与所述吸入口120相似的狭缝形态。
所述辅助吸入口140可以再次吸入从所述喷射口110喷射的所述溶剂和被所述溶剂溶解的所述污染物。所述辅助吸入口140通过所述叶片主体100内部而连接到所述吸入管，从而可以从所述吸入管接收真空吸入力。所述辅助吸入口140可以以所述叶片尖端130为基准而位于形成有所述吸入口120的相反方向。即，所述叶片尖端130可以布置在所述吸入口120和所述辅助吸入口140之间。
向所述叶片尖端130前方流动的污染物和溶剂可以被所述吸入口120吸入，向所述叶片尖端130后方流动的污染物和溶剂可以被所述辅助吸入口140吸入。
图4a至图4d是示出利用了图1的喷墨头清洁装置的喷墨头清洁方法的图。
参照图3和图4a，所述喷墨头清洁装置的所述叶片主体100和所述叶片尖端130可以与相对于地面垂直的所述第三方向D3构成第一角度θ1。
所述喷墨头10的所述喷嘴12表面可以是被所述污染物PC污染的状态。
参照所述图3和图4b至图4c，所述喷墨头10向所述第二方向D2的相反方向(参照附图中所述喷墨头10上的箭头)移动，所述污染物PC可以通过所述叶片尖端130而从所述喷墨头10的所述喷嘴12的表面去除。
此时，所述喷射口110可以将所述溶剂CS喷射到所述喷嘴12表面，被所述溶剂CS溶解的所述污染物PC借由所述叶片尖端130而被去除，并且可以通过所述吸入口120和所述辅助吸入口140而被吸入。
参照图3和图4d，所述喷墨头10的所述喷嘴12表面的清洁完成，从而可以重新使用于喷墨工序。所述叶片主体100旋转，从而所述叶片尖端130浸渍在所述溶剂储存部200的所述溶剂CS内，据此，残留在所述叶片尖端130表面的所述污染物PC可以溶解于所述溶剂CS而被去除。
此后，所述叶片主体100可以再次旋转而回归到用于清洁喷墨头的准备位置。
图5是利用根据本发明的一实施例的喷墨头清洁装置和喷墨头清洁方法而制造的液晶显示装置的剖面图。
参照图5，所述液晶显示装置可以包括第一基础基板500、缓冲层510、栅极电极GE、栅极绝缘层520、有源图案ACT、层间绝缘层530、源极电极SE以及漏极电极DE、绝缘层540、像素电极PE、第一取向膜560、液晶层LC、第二取向膜620、公共电极CE、外涂层610、滤色图案CF、遮光图案BM以及第二基础基板600。
在所述第一基础基板500上可以布置有所述缓冲层510。在所述缓冲层510上可以布置有所述栅极电极GE。在布置有所述栅极电极GE的所述缓冲层510上可以布置有所述栅极绝缘层520。在所述栅极绝缘层520上可以布置有所述有源图案ACT。在布置有所述有源图案ACT的所述栅极绝缘层520上可以布置有层间绝缘层530。在所述层间绝缘层530上可以布置有所述源极电极SE和所述漏极电极DE。可作为薄膜晶体管TFT的构成要素而包括所述栅极电极GE、所述有源图案ACT、所述源极电极SE以及所述漏极电极DE。
在布置有所述源极电极SE和所述漏极电极DE的所述层间绝缘层530上可以布置有绝缘层540。在所述绝缘层540上可以布置有与所述薄膜晶体管TFT电连接的所述像素电极PE。在所述像素电极PE上可以布置有所述第一取向膜560。所述第一取向膜560可以包括聚酰亚胺(PI)。
可以与所述第一基础基板500对向地布置所述第二基础基板600。在所述第二基础基板600上可以布置有所述遮光图案BM和所述滤色图案CF。在所述遮光图案BM和所述滤色图案CF上可以布置有所述外涂层610。在所述外涂层610上可以布置有所述第二取向膜620。所述第二取向膜620可以包括聚酰亚胺(PI)。
在所述第一取向膜560和所述第二取向膜620之间可以布置有所述液晶层LC。
在此，所述滤色图案CF、所述遮光图案BM、所述第一取向膜560以及所述第二取向膜620中的至少一个可以利用从喷墨头的喷嘴滴落溶液的喷墨印刷方法形成，此时，所述喷墨头的所述喷嘴可以通过根据本发明的实施例的喷墨头的清洁方法而被清洁。
图6是利用根据本发明的一实施例的喷墨头清洁装置和喷墨头清洁方法而制造的有机发光显示装置的剖面图。
参照图6，所述显示装置可以包括基础基板700、缓冲层710、有源图案ACT、栅极绝缘层720、栅极电极GE、层间绝缘层730、源极电极SE和漏极电极DE、过孔绝缘层740、像素限定膜PDL、发光结构物750以及封装层760。
在所述基础基板700上可以布置有所述缓冲层710。在所述缓冲层710上可以布置有所述有源图案ACT。在所述有源图案ACT上可以布置有所述栅极绝缘层720。在所述栅极绝缘层720上可以布置有所述栅极电极GE。在所述栅极电极GE上可以布置有层间绝缘层730。在所述层间绝缘层730上可以布置有所述源极电极SE和所述漏极电极DE。在所述源极电极SE和所述漏极电极DE上可以布置有所述过孔绝缘层740。在所述过孔绝缘层740上可以布置有包括第一电极751、发光层752以及第二电极753的所述发光结构物750和像素限定膜PDL。在所述发光结构物750上可以布置有封装层760。
在此，所述像素限定膜PDL、所述发光层752中的至少一个可以利用从喷墨头的喷嘴滴落溶液的喷墨印刷方法形成，此时，所述喷墨头的所述喷嘴可以通过根据本发明的实施例的喷墨头的清洁方法而被清洁。
根据本发明的实施例的喷墨头的清洁方法，由于利用从喷射口喷射的溶剂和叶片尖端而清洁残留在喷墨头的喷嘴的溶液的溶剂挥发而形成的污染物(固形物结晶)，因此可以进行更加有效的清洁。
并且，由于被喷射的溶剂和被溶解的污染物通过吸入口而被吸入，因此可以改善清洁效率。
并且，由于残留在所述叶片尖端的污染物通过被浸渍到储存在溶剂储存部的溶剂而被去除，因此易于维护管理喷墨头清洁装置。
图7是示出根据本发明的一实施例的喷墨头清洁方法的顺序图。
参照图7，所述喷墨头清洁方法包括：喷射溶剂的步骤(S100)；从喷嘴去除污染物的步骤(S200)；吸入污染物的步骤(S300)以及从叶片尖端去除残留的污染物的步骤(S400)。
在所述喷射溶剂的步骤(S100)中，可以向喷墨头的喷嘴喷射溶剂。例如，可以通过形成在连接有所述叶片尖端的叶片主体的末端的喷射口喷射所述溶剂。
在所述从喷嘴去除污染物的步骤(S200)中，可以利用叶片尖端从所述喷嘴去除由所述被喷射的溶剂溶解的所述喷嘴上的污染物。例如，可以借助所述叶片尖端擦除(wiping)而去除所述喷嘴表面的所述污染物。
在所述吸入污染物的步骤(S300)中，可以将残留在所述叶片尖端的所述污染物浸渍到储存在所述溶剂储存部的溶剂而从所述叶片尖端去除。例如，可以通过形成在所述叶片主体的所述末端且布置在所述喷射口和所述叶片尖端之间的吸入口而吸入所述污染物和所述溶剂。
在所述从叶片尖端去除残留的污染物的步骤(S400)中，可以通过将所述叶片尖端浸渍在储存在所述溶剂储存部的溶剂，从而将残留在所述叶片尖端的所述污染物溶解到所述溶剂。
图8是示出根据本发明的一实施例的基板处理方法的顺序图。
参照图8，所述基板处理方法可以包括：利用喷墨打印方法在基板上形成图案层的步骤(S10)；清洁喷墨头的喷嘴表面的步骤(S20)。
所述利用所述喷墨打印方法在基板上形成图案层的步骤(S10)中，可以利用从喷墨头的喷嘴滴落溶液的喷墨打印方法在基板上形成图案层。
在所述清洁喷墨头的喷嘴表面的步骤(S20)中，可以利用根据本发明的一实施例的喷墨头清洁方法而清洁所述喷墨头的所述喷嘴的表面。
这里，在所述基板是液晶显示装置的基板的情形下，所述图案层可以是滤色图案层、遮光图案层或者取向膜，在所述基板为有机发光显示装置(organic light emittingdisplay)的情况下，所述图案层可以是发光层。
以上虽然参照本发明的示例性实施例进行了说明，但只要是在相应技术领域具有普通知识的人员便可以理解，在不脱离权利要求书中所记载的本发明的思想及领域的范围内，可以对本发明进行多种修改和变更。

Claims (16)

1.一种喷墨头清洁装置，包括：
叶片主体，以旋转轴为中心而可旋转，并沿垂直于所述旋转轴的方向延伸；
喷射口，形成在所述叶片主体的末端，向形成有喷嘴的喷墨头喷射溶剂；
叶片尖端，可拆卸地连接到所述叶片主体的所述末端而被固定，配备为通过擦除而去除所述喷嘴表面的污染物；以及
吸入口，形成在所述叶片主体的所述末端，布置在所述喷射口和所述叶片尖端之间且配备为吸入从所述喷射口喷射的所述溶剂，
所述吸入口在所述叶片主体的所述末端沿所述旋转轴的轴方向以细长的形状一体地开口并延伸。
2.如权利要求1所述的喷墨头清洁装置，其特征在于，还包括：
溶剂储存部，储存有溶剂，
其中，按在所述叶片主体旋转时所述叶片尖端浸渍到所述溶剂的方式所述叶片主体和所述溶剂储存部结合。
3.如权利要求1所述的喷墨头清洁装置，其特征在于，
所述叶片尖端在与垂直于形成有喷嘴的喷墨头的下表面的方向构成小于45度的第一角度的状态下，与所述喷嘴接触而去除所述喷嘴的表面的污染物。
4.如权利要求1所述的喷墨头清洁装置，其特征在于，还包括：
连接到所述叶片主体的喷射管和吸入管，
所述喷射口通过所述叶片主体内部而连接到所述喷射管，从而从所述喷射管接收所述溶剂，
所述吸入口通过所述叶片主体内部而连接到所述吸入管，从而从所述吸入管接收真空吸入力。
5.如权利要求1所述的喷墨头清洁装置，其特征在于，
在所述叶片主体的所述末端，以所述叶片尖端为基准而在形成有所述吸入口的相反方向还形成有辅助吸入口。
6.如权利要求1所述的喷墨头清洁装置，其特征在于，
所述喷射口和所述吸入口为沿平行于所述旋转轴的方向延伸的狭缝形态。
7.如权利要求1所述的喷墨头清洁装置，其特征在于，
所述溶剂包括N-甲基吡咯烷酮，所述污染物包括聚酰亚胺。
8.如权利要求1所述的喷墨头清洁装置，其特征在于，
所述叶片尖端包括硅。
9.一种喷墨头清洁方法，包括如下步骤：
向喷墨头的喷嘴喷射溶剂；
利用以旋转轴为中心旋转并沿垂直于所述旋转轴的方向延伸的叶片尖端从喷嘴去除所述喷嘴上的被所述喷射的溶剂溶解的污染物；
吸入通过所述叶片尖端而被去除的所述污染物；以及
将残留在所述叶片尖端的所述污染物浸渍到储存在溶剂储存部的溶剂而将其从所述叶片尖端去除，
在所述喷射的步骤中，
通过形成在可拆卸地连接有所述叶片尖端的叶片主体的末端的喷射口喷射所述溶剂，
在所述从喷嘴去除的步骤中，
所述叶片尖端通过擦除而去除所述喷嘴的表面的所述污染物，
在所述吸入的步骤中，
通过在所述叶片主体的所述末端的所述喷射口和所述叶片尖端之间沿所述旋转轴的轴方向以细长的形状一体地开口并延伸的吸入口吸入所述污染物和所述溶剂。
10.如权利要求9所述的喷墨头清洁方法，其特征在于，
所述叶片尖端在与垂直于形成有喷嘴的喷墨头的下表面的方向构成小于45度的第一角度的状态下，与所述喷嘴接触而去除所述污染物。
11.如权利要求9所述的喷墨头清洁方法，其特征在于，
在所述从叶片尖端去除的步骤中，
通过将所述叶片尖端浸渍在储存于溶剂储存部的溶剂，从而使残留在所述叶片尖端的所述污染物溶解到所述溶剂中。
12.如权利要求9所述的喷墨头清洁方法，其特征在于，
所述溶剂包括N-甲基吡咯烷酮，所述污染物包括聚酰亚胺。
13.一种基板处理方法，其特征在于，包括如下步骤：
利用从喷墨头的喷嘴滴落溶液的喷墨印刷方法在基板上形成图案层；
清洁所述喷墨头的喷嘴的表面，
其中，所述清洁的步骤包括如下步骤：
向所述喷墨头的所述喷嘴喷射溶剂；
利用以旋转轴为中心旋转并沿垂直于所述旋转轴的方向延伸的叶片尖端从所述喷嘴去除所述喷嘴上的被所述喷射的溶剂溶解的污染物；
吸入通过所述叶片尖端而被去除的所述污染物；以及
将残留在所述叶片尖端的所述污染物浸渍在储存于溶剂储存部的溶剂而从所述叶片尖端去除，
在所述喷射的步骤中，
通过形成在可拆卸地连接有所述叶片尖端的叶片主体的末端的喷射口喷射所述溶剂，
在所述从喷嘴去除的步骤中，
所述叶片尖端通过擦除而去除所述喷嘴的表面的所述污染物，
在所述吸入的步骤中，
通过在所述叶片主体的所述末端的所述喷射口和所述叶片尖端之间沿所述旋转轴的轴方向以细长的形状一体地开口并延伸的吸入口吸入所述污染物和所述溶剂。
14.如权利要求13所述的基板处理方法，其特征在于，
所述基板和所述图案层是显示装置的构成要素。
15.如权利要求14所述的基板处理方法，其特征在于，
所述显示装置是液晶显示装置，
所述图案层是滤色图案层、遮光图案层或者取向膜。
16.如权利要求14所述的基板处理方法，其特征在于，
所述显示装置是有机发光显示装置，
所述图案层是发光层。
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