CN111668126A - 一种化合物misfet器件热空穴效应的测试结构及表征方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种化合物MISFET器件热空穴效应的测试结构，包括：衬底(1)、N型外延层(2)、绝缘层(3)、钝化层(4)、栅极(5)、第一P+掺杂区(6)、源极(7)、漏极(8)、N+掺杂区(9)、第二P+掺杂区(10)、电极A(11)和电极B(12)。本实施例提供了一种热空穴注入数量与能量可控技术的化合物MISFET器件热空穴效应的测试结构及其表征方法，通过调整电压Va和Vb来控制绝缘层中热空穴的注入数量，并通过调整电压Va来控制绝缘层中热空穴的注入能量，解决了器件热空穴注入数量和注入能量的不可控，以及非均匀注入绝缘层等问题，有助于对异质结器件中的热空穴效应进行深入分析。

Description

一种化合物MISFET器件热空穴效应的测试结构及表征方法

技术领域

本发明属于微电子可靠性表征技术领域，具体涉及一种化合物MISFET器件热空穴效应的测试结构及表征方法。

背景技术

从以硅材料为代表的第一代半导体材料到以砷化镓材料为代表的第二代半导体材料，发展到以氮化镓为代表的第三代半导体材料，材料特性愈发优异，为更高性能半导体器件乃至集成电路提供了坚实的材料基础。尤其是第三代宽禁带半导体材料具有击穿场强高、热导率大、电子饱和漂移速度高等优良特点，基于其制作而成的半导体器件在大功率、高频率、高电压、高温和耐辐射等领域具有独特优势。

在实际应用中，金属-绝缘体-半导体场效应晶体管(MISFET，Metal InsulationSemiconductor Field Effect Transistor)在高压条件下工作时，其沟道中的空穴在强电场加速作用下获得足够高的能量变成高能“热空穴”。这些高能热空穴会跃出导电沟道，注入到绝缘层材料中，导致器件性能发生退化，即热空穴效应。目前，对于MISFET器件热空穴效应的表征研究，一般采用对常规结构的MISFET施加热空穴应力偏置，分析应力前后器件特性变化的方法。

然而，针对常规结构的P沟道化合物MISFET器件施加热空穴应力时，由于从漏极到源极存在电势差，使得热空穴在沟道内的分布并不均匀，而且沟道内空穴的数量和其加速电场强度均与所加栅源电压、栅漏电压偏置均同时相关。因此，仅对常规结构化合物MISFET器件施加热空穴应力时，不能实现对绝缘层均匀地注入热空穴，也无法独立研究热空穴注入数量和注入能量分别对器件性能退化的影响，从而对于热空穴效应的机理缺乏深入的研究与表征。

发明内容

为了解决现有技术中存在的上述问题，本发明提供了一种化合物MISFET器件热空穴效应的测试结构及表征方法。本发明要解决的技术问题通过以下技术方案实现：

本发明实施例提供了一种化合物MISFET器件热空穴效应的测试结构，包括：衬底、N型外延层、绝缘层、钝化层、栅极、第一P+掺杂区、源极、漏极、N+掺杂区、第二P+掺杂区、电极A和电极B；其中，

所述N型外延层位于所述衬底之上；

所述绝缘层位于所述N型外延层之上；

所述栅极位于所述绝缘层之上；

两个所述第一P+掺杂区对应分布在所述N型外延层内；

所述源极和所述漏极分别位于所述第一P+掺杂区之上；

所述N+掺杂区和所述第二P+掺杂区位于所述N型外延层内；其中，所述N+掺杂区分布在对应的所述第一P+掺杂区外侧，所述第二P+掺杂区分布在对应的所述N+掺杂区外侧；

所述电极A位于所述N+掺杂区之上；

所述电极B位于所述第二P+掺杂区之上；

所述钝化层位于所述N型外延层之上，且所述钝化层位于所述绝缘层、所述源极、所述漏极、所述电极A和所述电极B四周。

本发明的另一个实施例提供了一种化合物MISFET器件热空穴效应的表征方法，应用于一种化合物MISFET器件热空穴效应的测试结构，以对待测器件的热空穴效应进行表征，该方法包括：

通过热空穴应力实验获取所述待测器件的第一特性和第二特性；

根据所述第一特性和所述第二特性，获取所述热空穴应力实验对所述待测器件特性影响的结果；其中，所述热空穴应力实验对所述待测器件特性影响的结果，包括获取热空穴注入数量对所述待测器件特性影响的结果、热空穴注入能量对所述待测器件特性影响的结果和栅极电压对热空穴效应影响的结果。

在本发明的一个实施例中，所述第一特性和所述第二特性均包括：输出特性和转移特性。

在本发明的一个实施例中，通过热空穴应力实验获取所述待测器件的第一特性和第二特性，包括：

获取所述待测器件的第一特性；

对所述电极A施加第一电压，对所述电极B施加第二电压，对所述栅极施加第三电压，并获取应力时间和栅极电流；其中，所述栅极电流为流过所述栅极的电流；

撤去所述第一电压、所述第二电压和所述第三电压后，获取所述第二特性。

在本发明的一个实施例中，所述第一电压和所述第二电压满足以下公式：

Vb-Va>Von，

其中，所述Va为所述第一电压，所述Vb为所述第二电压，所述Von为所述N型外延层与所述第二P+掺杂区形成pn结的正向导通电压。

在本发明的一个实施例中，获取热空穴注入数量对所述待测器件特性影响的结果，包括：

保持所述第一电压恒定不变，多次改变所述第二电压进行所述应力试验，并获取多组第一应力实验数据；其中，第一应力实验数据包括所述第一特性、所述第二特性、所述应力时间、所述栅极电流；

根据多组所述第一应力实验数据获取注入空穴数量对所述待测器件特性影响的结果。

在本发明的一个实施例中，获取热空穴注入能量对所述待测器件特性影响的结果，包括：

保持所述第一电压和所述第二电压的压差恒定，多次改变所述第一电压和所述第二电压进行所述应力试验，并获取多组第二应力实验数据，其中，每组第二应力实验数据包括所述第一特性、所述第二特性、所述应力时间和所述栅极电流；

根据多组所述第二应力实验数据获取注入空穴数量对所述待测器件特性影响的结果。

在本发明的一个实施例中，获取栅极电压对热空穴效应的影响的结果，包括：

保持所述第一电压和所述第二电压恒定不变；多次改变所述第三电压进行所述应力试验，并获取多组第三应力实验数据；其中，每组第三应力实验数据包括所述第一特性、所述第二特性、所述应力时间和所述栅极电流；

根据多组所述第三应力实验数据获取栅极电压对热空穴效应的影响的结果。

在本发明的一个实施例中，获取所述热空穴应力实验对所述待测器件特性的影响的结果，包括：获取输出特性的相对退化量和转移特性的相对退化量。

在本发明的一个实施例中，所述输出特性的相对退化量满足以下公式：

所述转移特性的相对退化量满足以下公式：

其中，ΔS_output为所述输出特性的相对退化量，S_after-output为所述第二特性中的所述输出特性，S_{before-output}为所述第一特性中的所述输出特性，ΔS_tc为所述转移特性的相对退化量，S_after-tc为所述第二特性中的所述转移特性，S_before-tc为所述第一特性中的所述转移特性。

与现有技术相比，本发明的有益效果：

1)本发明与传统热空穴表征相比，其注入绝缘层中的热空穴来源于第二P+掺杂区注入到外延层的空穴，该空穴数量由P/N+结上的偏压(Vb-Va)决定。因此，可调整偏置电压(Vb-Va)来控制绝缘层中热空穴的注入数量；

2)本发明与传统热空穴表征相比，其注入绝缘层中热空穴的能量由N+掺杂区与沟道区之间的加速电场决定。由于源极S、漏极D极均接地，整个沟道区可视为0V等势区，则热空穴的加速电场由Va决定。因此，可通过调整偏置电压Va来控制绝缘层中热空穴的注入能量；

3)本发明中，外延层空穴在N+掺杂区与沟道区之间电场的加速作用下，部分成为热空穴，即一种热载流子。由于源极S、漏极D接地，整个沟道区可视为0V等势区，靠近沟道下方的电场可视为匀强电场，且方向垂直沟道向上，故热空穴会均匀地向器件绝缘层注入，有助于深入研究热空穴效应。

4)本发明中，该器件在热空穴应力实验过程中，源漏电极接地，整个沟道区可视为0V等势区，而且栅极电压Vg<0，会在整个绝缘层中形成均匀的纵向电场，且方向为从沟道指向栅极。该纵向电场会促进热空穴向绝缘层中注入，阻止外延层中的电子向绝缘层注入。因此，热空穴应力后，绝缘层的损伤仅由热空穴注入引起，与电子无关。

附图说明

图1为本发明提供的一种化合物MISFET器件热空穴效应的测试结构示意图；

图2为本发明提供的一种化合物MISFET器件的结构示意图；

图3为本发明提供的一种化合物MISFET器件热空穴效应的表征方法流程示意图；

图4为本发明提供的一种化合物MISFET器件热空穴效应的表征方法的电路连接示意图；

图5为本发明提供的一种化合物MISFET器件热空穴效应的表征方法实现流程图；

图6为本发明提供待测器件输出特性与转移特性的退化量分别随不同热空穴注入数量变化的曲线图；

图7为本发明提供待测器件输出特性与转移特性的退化量分别随不同热空穴注入能量变化的曲线图；

图8为本发明提供待测器件输出特性与转移特性的退化量分别随不同栅极电压变化的曲线图。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明做进一步详细的描述，但本发明的实施方式不限于此。

实施例一：

请参见图1和图2，图1为本发明提供的一种化合物MISFET器件热空穴效应的测试结构示意图；图2为本发明提供的一种化合物MISFET器件的结构示意图。本实施例以一种化合物MISFET器件为例，如图1所示。一种化合物MISFET器件热空穴效应的测试结构，包括：衬底1、N型外延层2、绝缘层3、钝化层4、栅极5、第一P+掺杂区6、源极7、漏极8、N+掺杂区9、第二P+掺杂区10、电极A11和电极B12；其中，

所述N型外延层2位于所述衬底1之上；

所述绝缘层3位于所述N型外延层2之上；

所述栅极5位于所述绝缘层3之上；

两个所述第一P+掺杂区6对应分布在所述N型外延层2内；

所述源极7和所述漏极8分别位于所述第一P+掺杂区6之上；

所述N+掺杂区9和所述第二P+掺杂区10位于所述N型外延层2内；其中，所述N+掺杂区9分布在对应的所述第一P+掺杂区6外侧，所述第二P+掺杂区10分布在对应的所述N+掺杂区9外侧；

所述电极A11位于所述N+掺杂区9之上；

所述电极B12位于所述第二P+掺杂区10之上；

所述钝化层4位于所述N型外延层2之上，且所述钝化层4位于所述绝缘层3、所述源极7、所述漏极8、所述电极A11和所述电极B12四周。

优选的，所述N型外延层2为N型掺杂外延层，所述第一P+掺杂区6为P+重掺杂区，所述N+掺杂区9为N+重掺杂区，所述第二P+掺杂区10为P+重掺杂区。

优选地，制作该器件时，首先选取化合物MISFET器件，如图2所示，包括：衬底21，N型外延层22、绝缘层23、钝化层24、栅极25、P+掺杂区26、源极27和漏极28；其中，N型外延层22位于衬底21之上，绝缘层23位于N型外延层22之上，钝化层24位于绝缘层23两侧，栅极25位于绝缘层23之上，P+掺杂区26位于N型外延层22内，两个P+掺杂区26对应分布在N型外延层22内，源极27和漏极28穿透钝化层24，且源极27和漏极28分别位于两个P+掺杂区26之上。

优选地，对该化合物MISFET器件的源极27和漏极28两侧的绝缘层23分别进行刻蚀，刻蚀深度与绝缘层23厚度相同，即保留源极27与漏极28之间的N型外延层22，将源极27与漏极28两侧的绝缘层23刻蚀掉，暴露出N型外延层22。接着在源极27和漏极28两侧的N型外延层22表面，由内向外分别制作对称的N+、P+重掺杂区域，并分别在N+、P+重掺杂区域上制作欧姆电极A、B，完成MISFET器件热空穴效应的测试结构制备。

本发明提供了一种化合物MISFET器件的测试结构，该测试结构针对沟道区域可提供均匀的热空穴注入源，有助于对MISFET器件中的热空穴效应进行深入分析。

实施例二：

请继续参见图1，并请参见图3和图4。图3为本发明提供的一种化合物MISFET器件热空穴效应的表征方法流程示意图；图4为本发明提供的一种化合物MISFET器件热空穴效应的表征方法的电路连接示意图。本实施例在上述实施例的基础上，重点对基于化合物MISFET器件的热空穴效应表征方法进行详细描述，如图3所示。具体地，包括以下步骤：

通过热空穴应力实验获取所述待测器件的第一特性和第二特性；

根据所述第一特性和所述第二特性，获取所述热空穴应力实验对所述待测器件特性的影响的结果；其中，所述热空穴应力实验对所述待测器件特性影响的结果，包括：获取热空穴注入数量对所述待测器件特性影响的结果、热空穴注入能量对所述待测器件特性影响的结果和栅极电压对热空穴效应影响的结果。

优选的，所述第一特性和所述第二特性包括：输出特性和转移特性。

优选的，如图4所示，所述连接实验电路包括：将所述电极A连接第一电压源V1的一端，所述第一电压源V1另一端接地；将所述电极B连接第二电压源V2一端，所述第二电压源V2的另一端接地；将所述源极和所述漏极接地；所述栅极连接电流表的一端，所述电流表的另一端连接第三电压源V3的一端，所述第三电压源V3的另一端接地。

优选地，电压应力是指一些超出普通工作电压偏置的大电压。在应力之前，初测器件特性时电压源上施加的是正常测试电压；接着进行应力实验，给器件施加一段时间高电压应力之后，要撤去高电压应力，再次测试应力后器件的特性，此时仍需给器件施加正常的测试电压。

优选地，所述热空穴应力实验包括：获取所述待测器件的第一特性；对待测器件施加电压应力，即对所述电极A施加第一电压，对所述电极B施加第二电压，对所述栅极施加第三电压，进行应力实验，应力时长为t，并获取所述栅极电流；其中，所述栅极电流为应力过程中通过所述栅极的电流；撤去电压应力后，即撤去所述第一电压、所述第二电压和所述第三电压后，获取所述第二特性。

优选的，设所述第一电压源的电压为Va，所述第二电压源的电压为Vb，所述第三电压源的电压为Vg，则Vg<0，Vb>Va>0，且Va和Vb满足以下公式：

Vb-Va>Von，其中，

N型外延层与所述第二P+掺杂区形成pn结(P+/N结)的正向导通电压。

优选地，获得注入空穴数量对所述待测器件特性影响的结果，包括：保持所述第一电压恒定，多次改变所述第二电压进行所述应力试验，并获取多组第一应力实验数据；其中，每组第一应力实验数据包括所述第一特性、所述第二特性、所述应力时间和所述栅极电流；根据所述多组第一应力实验数据获取注入空穴数量对所述待测器件特性影响的结果。

优选地，获取注入空穴数量对所述待测器件特性影响的结果，包括：保持所述第一电压恒定，多次改变所述第二电压进行所述应力试验，并获取多组第二应力实验数据，其中，每组第二应力实验数据包括所述第一特性、所述第二特性、所述应力时间和所述栅极电流；根据所述多组第二应力实验数据获取注入空穴数量对所述待测器件特性影响的结果。

优选地，获取栅极电压对热空穴效应的影响的结果，包括：多次改变所述第三电压进行所述应力试验，并获取多组第三应力实验数据；其中，每组第三应力实验数据包括所述第一特性、所述第二特性、所述应力时间和所述栅极电流；根据所述多组第三应力实验数据获取栅极电压对热空穴效应的影响的结果。

优选地，由于实验过程中，Vg<0，故栅压形成的电场垂直绝缘层，方向从N型外延层自下向上指向栅极。因此，该电场会阻止N型外延层的电子向绝缘层注入，促进N型外延层加速形成的热空穴向绝缘层注入，所以栅极电流I_G可近似为注入绝缘层的热空穴电流。

优选地，根据所述电流表的栅极电流和所述应力时间可以获取热空穴注入数量的近似值，该近似值通过以下公式计算：

其中，

Q为注入的热空穴数量，I_G为第二电流表的稳定电流示数，t为应力时间。

优选地，所述注入空穴数量对所述待测器件特性影响的结果、注入空穴能量对所述待测器件特性影响的结果和所述栅极电压对热空穴效应的影响的结果，包括：输出特性的相对退化量和转移特性的相对退化量。

优选的，所述输出特性的相对退化量满足以下公式：

所述转移特性的相对退化量满足以下公式：

其中，ΔS_output为所述输出特性的相对退化量，S_after-output为所述第二特性中的所述输出特性，S_{before-output}为所述第一特性中的所述输出特性，ΔS_tc为所述转移特性的相对退化量，S_after-tc为所述第二特性中的转移特性，S_before-tc为所述第一特性中的转移特性。

优选地，该器件在热空穴应力实验过程中，源漏电极接地，整个沟道区可视为0V等势区，而且栅极电压Vg<0，会在整个绝缘层中形成均匀的纵向电场，且方向为从沟道指向栅极。该纵向电场会促进热空穴向绝缘层中注入，阻止N型外延层中的电子向绝缘层注入。因此，热空穴应力后，绝缘层的损伤仅由热空穴注入引起，与电子无关。

本发明提供的一种化合物MISFET器件热空穴效应的表征方法，其注入绝缘层的空穴在P+重掺杂区与沟道区之间电场的加速作用下，部分成为热空穴。由于源极S、漏极D接地，整个沟道区可视为0V等势区，靠近沟道下方的电场可视为匀强电场，且方向垂直沟道向上，故热空穴会均匀地向器件绝缘层注入，有助于深入研究热空穴效应。

实施例三：

请继续参见图1、图2、图3和图4，并参见图5、图6a-6b和图7a-7b，图8a-8b，图5为本发明提供的一种MISFET器件热空穴效应的表征方法实现流程图；图6为本发明提供待测器件输出特性与转移特性的退化量分别随不同热空穴注入数量变化的曲线图；图7为本发明提供待测器件输出特性与转移特性的退化量分别随不同热空穴注入能量变化的曲线图；图8为本发明提供待测器件输出特性与转移特性的退化量分别随不同栅极电压变化的曲线图。本实施例在上述实施例的基础上对该表征方法进行了详细的描述，如图5所示，本发明具体实施步骤如下：

步骤1，制作测试图形。

选取化合物MISFET器件，如图2所示，包括：衬底21，N型外延层22、绝缘层23、钝化层24、栅极25、N+掺杂区26、源极27和漏极28；其中，N型外延层22位于衬底21之上，绝缘层23位于N型外延层22之上，钝化层24位于绝缘层23两侧，栅极25位于绝缘层23之上，N+掺杂区26位于N型外延层22内，两个P+掺杂区26对应分布在N型外延层22内，源极27和漏极28穿透钝化层24，且源极27和漏极28分别位于N+掺杂区26之上。

然后，对该化合物MISFET器件的源极27和漏极28两侧的绝缘层23分别进行刻蚀，刻蚀深度与绝缘层23厚度相同，即保留源极27与漏极28之间的N型外延层22，将源极27与漏极28两侧的绝缘层23刻蚀掉，暴露出N型外延层22。接着在源极27和漏极28两侧的N型外延层22表面，由内向外分别制作对称的P+、N+重掺杂区域，并分别在P+、N+重掺杂区域上制作欧姆电极A、B，完成化合物MISFET器件热空穴效应的测试结构的制备。

步骤2，进行热空穴应力实验。

选取制作好的器件，即未施加过任何应力的器件，测试应力前器件的第一特性S_before。

优选的，第一特性包括：输出特性S_{before-output}和转移特性S_before-tc。

如图3所示，将第一电压源的一端连接电极A，另一端接地；将第二电压源的一端与电极B连接，第二电压源另一端接地；将第三电压源V3的一端与电流表A、栅电极G连接，另一端接地；将源极S和漏极D接地，完成实验电路连接；

优选的，设置第一电压源、第二电压源、第三电压源的电压分别为Va，Vb，Vg，并接通电路进行热空穴应力实验，应力持续时间为t秒。

优选的，Vg<0，Vb>Va>0，且(Vb-Va)>Von，其中，Von为N型外延层与P+重掺杂区所形成pn结(P+/N结)的正向导通电压。

步骤3，测量热空穴注入数量对器件的影响。

优选的，如图4所示，当N型外延层内的P+/N结正向导通时，大量空穴会从P+区注入N型外延层，故可通过控制P+/N结上所加偏置电压(Vb-Va)的大小，来调整绝缘层中的热空穴注入数量。同时，由于源极S与漏极D悬空，则整个沟道区可视为0V等势区，当N+区施加电压Va时，会形成自N+区指向沟道的强电场，加速N型外延层中的空穴，使之成为高能热空穴，故可通过控制Va的大小来控制加速电场的强弱，进而控制热空穴注入能量。

优选地，由于实验过程中，Vg<0，故栅压形成的电场垂直绝缘层，方向从N型外延层自下向上指向栅极。因此，该电场会阻止N型外延层的电子向绝缘层注入，促进N型外延层加速形成的热空穴向绝缘层注入，所以栅极电流I_G可近似为注入绝缘层的热空穴电流。

优选的，保持Va值恒定不变，使N型外延层中的加速电场恒定，即保持热空穴注入能量不变，通过多次改变Vb-Va的差值，来控制热空穴的注入数量。其具体操作是：保持Va恒定为3V，多次改变第二电压源上的电压为Vb(1)＝4V，Vb(2)＝5V，Vb(3)＝6V，则对应P+/N结上的偏压大小为V_b(k)-V_a，设置Vg＝-1V，应力持续时间为t秒，重复步骤2，对器件施加应力，分别记录热空穴应力前后器件的第一特性S_before(k)和第二特性S_after(k)，即分别记录应力前后输出特性S_{before-output}(k)和S_after-output(k)，以及转移特性S_before-tc(k)和S_after-tc(k)。同时，在应力过程中，记录电流表A的稳定示数I_Gk(t)。

根据以下公式计算，当热空穴应力条件为Va＝3V，Vb(k)分别为4V，5V，6V，Vg＝-1V时，热空穴注入数量的近似值Q_k(t)：

上式中，t为热空穴应力时长，k＝1，2，3。

根据应力前后物理参数退化量的定义，可计算出当第二电压源V2上所施加的应力电压为Vb(k)时，待测器件输出特性与转移特性的相对退化量分别为：

其中，ΔS_output(k)指应力电压为Va，Vb(k)时，待测器件在此应力前后输出特性的相对退化量；ΔStc(k)指应力电压为Va，Vb(k)时，待测器件在此应力前后转移特性的相对退化量；本实例中k＝1，2，3，即给待测器件分别施加了3组不同的电应力。如图6(a)和图6(b)所示，本实例通过分析器件在不同应力前后S_output(k)与ΔS_tc(k)的变化规律，研究热空穴注入数量对器件特性的影响。

步骤4、测量热空穴注入能量对器件的影响：

保持Vb-Va差值恒定，即保持热空穴注入数量不变，通过多次改变Va的值，来调节N型外延层中空穴的加速电场，从而控制不同的热空穴注入能量。其具体操作是：保持Vb(r)-Va(r)差值恒定为1V，多次改变第一电压源V1上所施加的电压为Va(1)＝3V，Va(2)＝4V，Va(3)＝5V，和第二电压源V2上所施加的电压为Vb(1)＝4V，Vb(2)＝5V，Vb(3)＝6V，设置Vg＝-1V，应力持续时间为t秒，重复步骤2，对器件施加电应力，分别记录此应力前后器件特性的测试结果S_before(r)与S_after(r)。同时，在应力过程中，记录电流表A的稳定示数I_Gr(t)。

根据以下公式计算，当热空穴应力条件为Va(r)为3V，4V，5V，相应的Vb(r)分别为4V，5V，6V，且Vg＝-1V时，热空穴注入数量的近似值Q(r)：

上式中，t为热空穴应力时长，r＝1，2，3。

根据应力前后物理参数退化量的定义，可计算出当第一电压源V1和第二电压源V2上分别施加电压Va(r)与Vb(r)时，待测器件输出特性与转移特性的相对退化量分别为：

其中，ΔS_output(r)指应力电压为Va(r)，Vb(r)时，待测器件在此应力前后输出特性的相对退化量；ΔS_tc(r)指应力电压为Va(r)，Vb(r)时，待测器件在此应力前后转移特性参量的相对退化量。本实例中r＝1，2，3，即给待测器件分别施加了3组不同的电应力。如图7(a)和图7(b)所示，本实例通过分析器件在不同应力前后，ΔS_uotput(r)与ΔS_tc(r)的变化规律，研究热空穴注入能量对器件特性的影响。

步骤5、测量栅极电压对热空穴效应的影响：

保持Va值恒定不变，使N型外延层中的加速电场恒定，即保持热空穴注入能量不变。同时保持Vb-Va的差值不变，来控制一定的热空穴注入数量，通过多次改变栅压Vg来调控注入绝缘层中热空穴的加速电场。其具体操作是：多次改变第三电压源V3上所施加的电压为Vg(1)＝-1V，Vg(2)＝-2V，Vg(3)＝-3V，设置Va＝3V，Vb＝4V，应力持续时间为t秒，重复步骤2，对器件施加电应力，分别记录此应力前后器件特性的测试结果S_before(l)与S_after(l)。同时，在应力过程中，记录电流表A的稳定示数I_Gl(t)。

根据以下公式计算，当热空穴应力条件为Va＝3V，Vb＝4V，Vg(l)分别为-1V，-2V，-3V时，热空穴注入数量的近似值Q_l(t)：

上式中，t为热空穴应力时长，l＝1，2，3。

根据应力前后物理参数退化量的定义，可计算出当第三电压源V3上分别施加电压Vg(l)时，待测器件输出特性与转移特性的相对退化量分别为：

其中，ΔS_output(l)指栅极电压为Vg(l)时，待测器件在此应力前后输出特性的相对退化量；ΔS_tc(l)指栅极电压为Vg(l)时，待测器件在此应力前后转移特性参量的相对退化量。本实例中l＝1，2，3，即给待测器件分别施加了3组不同的栅极电压应力。如图8(a)和图8(b)所示，本实例通过分析器件在不同应力前后，ΔS_output(l)与ΔS_tc(l)的变化规律，研究栅极电压对器件热空穴效应的影响。

优选地，本发明所涉及的被测器件为化合物材料MISFET器件，该化合物半导体材料包括但不限于砷化镓(GaAs)、氮化镓(GaN)、氧化镓(GaO)、磷化铟(InP)和碳化硅(SiC)等，本实例的被测器件为GaN基MISFET器件。

本实施例提供了一种热空穴注入数量与能量可控技术的化合物MISFET器件热空穴效应的表征方法，通过调整电压Va和Vb来控制绝缘层中热空穴的注入数量，并通过调整电压Va来控制绝缘层中热空穴的注入能量，解决了器件热空穴注入数量和注入能量的不可控，以及非均匀注入绝缘层等问题，有助于对化合物材料MISFET器件中的热空穴效应进行深入分析。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种化合物MISFET器件热空穴效应的测试结构，其特征在于，包括：衬底(1)、N型外延层(2)、绝缘层(3)、钝化层(4)、栅极(5)、第一P+掺杂区(6)、源极(7)、漏极(8)、N+掺杂区(9)、第二P+掺杂区(10)、电极A(11)和电极B(12)；其中，

所述N型外延层(2)位于所述衬底(1)之上；

所述绝缘层(3)位于所述N型外延层(2)之上；

所述栅极(5)位于所述绝缘层(3)之上；

两个所述第一P+掺杂区(6)对应分布在所述N型外延层(2)内；

所述源极(7)和所述漏极(8)分别位于两个所述第一P+掺杂区(6)之上；

所述N+掺杂区(9)和所述第二P+掺杂区(10)位于所述N型外延层(2)内；其中，所述N+掺杂区(9)分布在对应的所述第一P+掺杂区(6)外侧，所述第二P+掺杂区(10)分布在对应的所述N+掺杂区(9)外侧；

所述电极A(11)位于所述N+掺杂区(9)之上；

所述电极B(12)位于所述第二P+掺杂区(10)之上；

所述钝化层(4)位于所述N型外延层(2)之上，且所述钝化层(4)位于所述绝缘层(3)、所述源极(7)、所述漏极(8)、所述电极A(11)和所述电极B(12)四周。

2.一种化合物MISFET器件热空穴效应的表征方法，其特征在于，应用于如权利要求1所述的测试结构，以对待测器件的热空穴效应进行表征，该方法包括：

通过热空穴应力实验获取所述待测器件的第一特性和第二特性；

根据所述第一特性和所述第二特性，获取所述热空穴应力实验对所述待测器件特性影响的结果；其中，所述热空穴应力实验对所述待测器件特性影响的结果，包括获取热空穴注入数量对所述待测器件特性影响的结果、热空穴注入能量对所述待测器件特性影响的结果和栅极电压对热空穴效应影响的结果。

3.根据权利要求2所述的表征方法，其特征在于，所述第一特性和所述第二特性均包括：输出特性和转移特性。

4.根据权利要求2所述的表征方法，其特征在于，通过热空穴应力实验获取所述待测器件的第一特性和第二特性，包括：

获取所述待测器件的第一特性；

对所述电极A施加第一电压，对所述电极B施加第二电压，对所述栅极施加第三电压，并获取应力时间和栅极电流；其中，所述栅极电流为流过所述栅极的电流；

撤去所述第一电压、所述第二电压和所述第三电压后，获取所述第二特性。

5.根据权利要求4所述的表征方法，其特征在于，所述第一电压和所述第二电压满足以下公式：

Vb-Va>Von，

其中，所述Va为所述第一电压，所述Vb为所述第二电压，所述Von为所述N型外延层与所述第二P+掺杂区形成pn结的正向导通电压。

6.根据权利要求5所述的表征方法，其特征在于，获取热空穴注入数量对所述待测器件特性影响的结果，包括：

保持所述第一电压恒定不变，多次改变所述第二电压进行所述应力试验，并获取多组第一应力实验数据；其中，第一应力实验数据包括所述第一特性、所述第二特性、所述应力时间、所述栅极电流；

根据多组所述第一应力实验数据获取注入空穴数量对所述待测器件特性影响的结果。

7.根据权利要求5所述的表征方法，其特征在于，获取热空穴注入能量对所述待测器件特性影响的结果，包括：

保持所述第一电压和所述第二电压的压差恒定，多次改变所述第一电压和所述第二电压进行所述应力试验，并获取多组第二应力实验数据，其中，每组第二应力实验数据包括所述第一特性、所述第二特性、所述应力时间和所述栅极电流；

根据多组所述第二应力实验数据获取注入空穴数量对所述待测器件特性影响的结果。

8.根据权利要求5所述的表征方法，其特征在于，获取栅极电压对热空穴效应的影响的结果，包括：

保持所述第一电压和所述第二电压恒定不变；多次改变所述第三电压进行所述应力试验，并获取多组第三应力实验数据；其中，每组第三应力实验数据包括所述第一特性、所述第二特性、所述应力时间和所述栅极电流；

根据多组所述第三应力实验数据获取栅极电压对热空穴效应的影响的结果。

9.根据权利要求4-8任一项所述的表征方法，其特征在于，获取所述热空穴应力实验对所述待测器件特性的影响的结果，包括：获取输出特性的相对退化量和转移特性的相对退化量。

10.根据权利要求9所述的表征方法，其特征在于，所述输出特性的相对退化量满足以下公式：

所述转移特性的相对退化量满足以下公式：

其中，ΔS_output为所述输出特性的相对退化量，S_after-output为所述第二特性中的所述输出特性，S_{before-output}为所述第一特性中的所述输出特性，ΔS_tc为所述转移特性的相对退化量，S_after-tc为所述第二特性中的所述转移特性，S_before-tc为所述第一特性中的所述转移特性。

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