CN111652860B - 格栅标准样片测量方法、装置及终端设备 - Google Patents

格栅标准样片测量方法、装置及终端设备 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种格栅标准样片测量方法、装置及终端设备，该方法包括：基于预设间隔对格栅标准样片的平面区域进行划分，得到多个样片区域；获取多个样片区域的多个扫描图像，并对多个扫描图像进行图像拼接，得到样片图像；其中，多个扫描图像由关键尺寸扫描电镜系统对多个样片区域扫描得到；基于关键尺寸扫描电镜系统的透镜阵列建立笛卡尔坐标系，并基于样片图像确定格栅标准样片中第一预设标志点和第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标；基于第一预设标志点和第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标确定格栅标准样片的长度。本发明提供的格栅标准样片测量方法、装置及终端设备能够有效扩大关键尺寸扫描电镜的测量视场。

Description

格栅标准样片测量方法、装置及终端设备
技术领域
本发明属于微电子计量测试技术领域，更具体地说，是涉及一种格栅标准样片测量方法、装置及终端设备。
背景技术
在芯片制造领域，存在大量几何量工艺参数，如线宽与线长等。随着半导体器件特征参数的日益缩减，几何量尺寸越来越成为衡量半导体工艺水平的重要参数。因此，格栅标准样片应运而生，用来校准关键尺寸扫描电镜等微纳尺寸测量类仪器。但是，在高倍率情况下，格栅特征超出了电镜测量系统视场，进而影响了测量性能。
发明内容
本发明的目的在于提供一种格栅标准样片测量方法、装置及终端设备，以扩大关键尺寸扫描电镜的测量视场。
本发明实施例的第一方面，提供了一种格栅标准样片测量方法，包括：
基于预设间隔对格栅标准样片的平面区域进行划分，得到多个样片区域；
获取所述多个样片区域的多个扫描图像，并对所述多个扫描图像进行图像拼接，得到样片图像；其中，所述多个扫描图像由关键尺寸扫描电镜系统对所述多个样片区域扫描得到；
基于所述关键尺寸扫描电镜系统的透镜阵列建立笛卡尔坐标系，并基于所述样片图像确定格栅标准样片中第一预设标志点和第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标；
基于第一预设标志点和第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标确定格栅标准样片的长度。
本发明实施例的第二方面，提供了一种格栅标准样片测量装置，包括
区域划分模块，用于基于预设间隔对格栅标准样片的平面区域进行划分，得到多个样片区域；
图像扫描模块，用于获取所述多个样片区域的多个扫描图像，并对所述多个扫描图像进行图像拼接，得到样片图像；其中，所述多个扫描图像由关键尺寸扫描电镜系统对所述多个样片区域扫描得到；
图像定位模块，用于基于所述关键尺寸扫描电镜系统的透镜阵列建立笛卡尔坐标系，并基于所述样片图像确定格栅标准样片中第一预设标志点和第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标；
样片测量模块，用于基于第一预设标志点和第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标确定格栅标准样片的长度。
本发明实施例的第三方面，提供了一种终端设备，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述的格栅标准样片测量方法的步骤。
本发明实施例的第四方面，提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述的格栅标准样片测量方法的步骤。
本发明实施例提供的格栅标准样片测量方法、装置及终端设备的有益效果在于：本发明将关键尺寸扫描电镜系统作为图像采集系统来使用，通过关键尺寸扫描电镜和图像拼接方法来获得样片图像，再通过建立笛卡尔坐标系、基于样片图像确定格栅标准样片中的标志点在笛卡尔坐标系中的坐标，实现了格栅标准样片的长度测量。本发明实施例基于现有的关键尺寸扫描电镜系统，在不使用关键尺寸扫描电镜系统自身测量功能的前提下，通过成像原理和图像处理技术有效解决了高倍率下的电镜测量问题，本发明不仅可以扩大关键尺寸扫描电镜系统的测量视场，还可实现对微米级格栅特征值的准确测量。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明一实施例提供的格栅标准样片测量方法的流程示意图；
图2为本发明另一实施例提供的格栅标准样片测量方法的流程示意图；
图3为本发明再一实施例提供的格栅标准样片测量方法的流程示意图；
图4为本发明一实施例提供的格栅标准样片测量装置的结构框图；
图5为本发明一实施例提供的终端设备的示意框图；
图6为本发明一实施例提供的图像拼接过程示意图；
图7为本发明一实施例提供的关键尺寸扫描电镜系统的等效示意图；
图8为本发明一实施例提供的第一预设标志点的映射示意图；
图9为本发明一实施例提供的各标志点的位置示意图。
具体实施方式
为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
请参考图1，图1为本发明一实施例提供的格栅标准样片测量方法的流程示意图，该方法包括：
S101：基于预设间隔对格栅标准样片的平面区域进行划分，得到多个样片区域。
在本实施例中，预设间隔为关键尺寸扫描电镜系统的透镜阵列上任一透镜的直径。该预设间隔既为横向划分间隔，也为纵向划分间隔。
S102：获取多个样片区域的多个扫描图像，并对多个扫描图像进行图像拼接，得到样片图像。其中，多个扫描图像由关键尺寸扫描电镜系统对多个样片区域扫描得到。
在本实施例中，可参考图6，图6示出了格栅标准样片的图像拼接过程。
在本实施例中，图像的扫描不是由普通工业相机来实现，而是利用关键尺寸扫描电镜系统来实现的。可参考图7，关键尺寸扫描电镜系统主要由电子光学系统、真空系统、扫描系统、信号检测放大系统、图像显示与记录系统、机械传动系统等组成。系统工作过程时，机械传动系统负责格栅标准样片的进出。格栅标准样片进入电镜腔体内，场源发射的电子束通过两次偏转照射到样片上，反射的二次电子通过光学透镜发射到电子探测器上，进而完成电镜的测量，基于此功能，本发明实施例将关键尺寸扫描电镜系统等效为图像采集系统，利用关键尺寸扫描电镜系统来实现多个样片区域的扫描。
S103：基于关键尺寸扫描电镜系统的透镜阵列建立笛卡尔坐标系，并基于样片图像确定格栅标准样片中第一预设标志点和第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标。
在本实施例中，可建立关键尺寸扫描电镜系统的虚拟模型，在虚拟模型上透镜阵列的位置建立笛卡尔坐标系，并基于成像原理确定第一预设标志点和第二预设标志点的坐标。其中，第一预设标志点和第二预设标志点为预先设置在格栅标准样片上的标志点。
S104：基于第一预设标志点和第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标确定格栅标准样片的长度。
在本实施例中，第一预设标志点和第二预设标志点可分别设置在格栅标准样片的相对的两侧边缘位置，当确定了第一预设标志点和第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标后，即可根据第一预设标志点和第二预设标志点的坐标的差值确定格栅标准样片的长度。
由上可以得出，本发明将关键尺寸扫描电镜系统作为图像采集系统来使用，通过关键尺寸扫描电镜和图像拼接方法来获得样片图像，再通过建立笛卡尔坐标系、基于样片图像确定格栅标准样片中的标志点在笛卡尔坐标系中的坐标，实现了格栅标准样片的长度测量。本发明实施例基于现有的关键尺寸扫描电镜系统，在不使用关键尺寸扫描电镜系统自身测量功能的前提下，通过成像原理和图像处理技术有效解决了高倍率下的电镜测量问题，本发明不仅可以扩大关键尺寸扫描电镜系统的测量视场，还可实现对微米级格栅特征值的准确测量。
请一并参考图1及图2，图2为本申请另一实施例提供的格栅标准样片测量方法的流程示意图。在上述实施例的基础上，该格栅标准样片测量方法还可以包括：
S201：基于样片图像确定格栅标准样片中第三预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标。
S202：根据已知标志点和第三预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标确定格栅标准样片的宽度，其中，已知标志点为第一预设标志点或第二预设标志点。
在本实施例中，可将第三预设标志点设置在边缘侧，该边缘侧与第一预设标志点所在的边缘侧、第二预设标志点所在的边缘侧垂直。则可根据第一预设标志点和第三预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标确定格栅标准样片的宽度，或根据第二预设标志点和第三预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标确定格栅标准样片的宽度。具体如何选择标志点来计算格栅标准样片的宽度可根据第一预设标志点、第二预设标志点、第三预设标志点三者的相对位置来确定。
在本实施例中，宽度和上述实施例中的长度是相对的概念，并无限定作用。
在本实施例中，可参考图9，图9示出了各标志点的一种位置设置方法。其中，图9中，A为第一预设标志点，B为第二预设标志点，第三预设标志点为C或D。
请一并参考图1及图3，作为本发明提供的格栅标准样片测量方法的一个具体实施方式，在上述实施例的基础上，确定第一预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标的方法为，可以详述为：
S301：确定第一预设标志点在透镜阵列上的第一映射点、以及第一预设标志点在关键尺寸扫描电镜系统的感光器件上的第二映射点。
S302：获取第一映射点和第二映射点在笛卡尔坐标系中的坐标，并基于第一映射点和第二映射点在笛卡尔坐标系中的坐标确定第一预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标。
在本实施例中，可参考图8，图8中(Y轴的正方向垂直向里)，A为第一预设标志点，A'(i,j)为第一映射点，其中，A'(i,j)表示点A在透镜阵列中第i行第j列透镜上映射点，A”(i,j)表示A'(i,j)在感光器件上对应的映射点。
在本实施例中，可根据A'(i,j)和A”(i,j)在笛卡尔坐标系中的坐标确定点A在笛卡尔坐标系中的坐标。
可选地，作为本发明提供的格栅标准样片测量方法的一个具体实施方式，在上述实施例的基础上，确定第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标的方法为，可以详述为：
基于第一预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标、第一预设标志点和第二预设标志点在透镜阵列中的相对位置、第一预设标志点和第二预设标志点在感光器件中的相对位置确定第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标。
可选地，作为本发明提供的格栅标准样片测量方法的一个具体实施方式，在上述实施例的基础上，基于第一映射点和第二映射点在笛卡尔坐标系中的坐标确定第一预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标，可以详述为(也即第一映射点、第二映射点、第一预设标志点之间的坐标关系为)：
XA＝(1+η)XA'(i,j)-ηXA”(i,j)
YA＝(1+η)YA'(i,j)-ηYA”(i,j)
其中，(XA,YA)为第一预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标，(XA'(i,j),YA'(i,j))、(XA”(i,j),YA”(i,j))分别为第一映射点和第二映射点在笛卡尔坐标系中的坐标。
其中，η为：
Figure GDA0004134197130000071
其中，d为空间上格栅标准样片至透镜阵列的垂直距离，g为透镜阵列中任一透镜的焦距。
在本实施例中，上述第一映射点、第二映射点、第一预设标志点之间的坐标关系通过以下方法确定：
1)获取透镜阵列上点A'(i,j)和A'(i+a,j+b)以及感光器件上点A”(i,j)和A”(i+a,j+b)的关系。其中，透镜阵列上点A'(i,j)和A'(i+a,j+b)以及感光器件上点A”(i,j)和A”(i+a,j+b)的关系为：
Figure GDA0004134197130000072
Figure GDA0004134197130000073
其中，A'(i+a,j+b)表示点A在透镜阵列中第i+a行第j+b列透镜上映射点，A”(i+a,j+b)表示A'(i+a,j+b)在感光器件上对应的映射点。
2)获取透镜阵列中各个透镜之间的坐标关系。其中，透镜阵列中各个透镜之间的坐标关系为：
XA'(i+a,j+b)＝XA'(i+a,j)＝XA'(i,j)+aP
YA'(i+a,j+b)＝YA'(i,j+b)＝YA'(i,j)+bP
其中，P为预设间隔，也为透镜阵列中任一透镜的直径。
3)根据透镜阵列上点A'(i,j)和A'(i+a,j+b)以及感光器件上点A”(i,j)和A”(i+a,j+b)的关系、透镜阵列中各个透镜之间的坐标关系即可得到第一映射点、第二映射点、第一预设标志点之间的坐标关系。
其中，η也可以表示为
Figure GDA0004134197130000081
当a＝b＝1时，1)中的式子即表示透镜阵列上相邻点与感光器件上相邻像点的关系。
可选地，作为本发明提供的格栅标准样片测量方法的一个具体实施方式，在上述实施例的基础上，基于第一预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标、第一预设标志点和第二预设标志点在透镜阵列中的相对位置、第一预设标志点和第二预设标志点在感光器件中的相对位置确定第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标，可以详述为：
Figure GDA0004134197130000082
其中，(XA,YA)为第一预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标，(XA'(i,j),YA'(i,j))、(XA”(i,j),YA”(i,j))分别为第一映射点和第二映射点在笛卡尔坐标系中的坐标，(XB,YB)为第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标，(XB'(i,j),YB'(i,j))、(XB”(i,j),YB”(i,j))分别为第三映射点和第四映射点在笛卡尔坐标系中的坐标。其中，第三映射点为第二预设标志点在透镜阵列上的映射点，第四映射点为第二预设标志点在感光器件上的映射点。
其中，η为：
Figure GDA0004134197130000083
其中，d为空间上格栅标准样片至透镜阵列的垂直距离，g为透镜阵列中任一透镜的焦距。
在本实施例中，η也可以表示为：
Figure GDA0004134197130000084
在理想化模型中，第一预设标志点和第二预设标志点都经过透镜单元的中心，在第(i,j)个透镜单元上，XA'(i,j)＝XB'(i,j)。因此，参数d和g的比例关系η可简化为以下形式：
Figure GDA0004134197130000091
可选地，作为本发明提供的格栅标准样片测量方法的一个具体实施方式，在上述实施例的基础上，预设间隔为透镜阵列上任一透镜的直径。
对应于上文实施例的格栅标准样片测量方法，图4为本发明一实施例提供的格栅标准样片测量装置的结构框图。为了便于说明，仅示出了与本发明实施例相关的部分。参考图4，该装置40包括：区域划分模块41、图像扫描模块42、图像定位模块43、样片测量模块44。
其中，区域划分模块41，用于基于预设间隔对格栅标准样片的平面区域进行划分，得到多个样片区域。
图像扫描模块42，用于获取多个样片区域的多个扫描图像，并对多个扫描图像进行图像拼接，得到样片图像。其中，多个扫描图像由关键尺寸扫描电镜系统对多个样片区域扫描得到。
图像定位模块43，用于基于关键尺寸扫描电镜系统的透镜阵列建立笛卡尔坐标系，并基于样片图像确定格栅标准样片中第一预设标志点和第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标。
样片测量模块44，用于基于第一预设标志点和第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标确定格栅标准样片的长度。
可选地，作为本发明实施例提供的格栅标准样片测量装置的一种具体实施方式，图像定位模块43，还用于基于样片图像确定格栅标准样片中第三预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标。
样片测量模块44，还用于根据已知标志点和第三预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标确定格栅标准样片的宽度，其中，已知标志点为第一预设标志点或第二预设标志点。
可选地，作为本发明实施例提供的格栅标准样片测量装置的一种具体实施方式，确定第一预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标的方法为：
确定第一预设标志点在透镜阵列上的第一映射点、以及第一预设标志点在关键尺寸扫描电镜系统的感光器件上的第二映射点。
获取第一映射点和第二映射点在笛卡尔坐标系中的坐标，并基于第一映射点和第二映射点在笛卡尔坐标系中的坐标确定第一预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标。
可选地，作为本发明实施例提供的格栅标准样片测量装置的一种具体实施方式，确定第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标的方法为：
基于第一预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标、第一预设标志点和第二预设标志点在透镜阵列中的相对位置、第一预设标志点和第二预设标志点在感光器件中的相对位置确定第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标。
可选地，作为本发明实施例提供的格栅标准样片测量装置的一种具体实施方式，基于第一映射点和第二映射点在笛卡尔坐标系中的坐标确定第一预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标，可以详述为：
XA＝(1+η)XA'(i,j)-ηXA”(i,j)
YA＝(1+η)YA'(i,j)-ηYA”(i,j)
其中，(XA,YA)为第一预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标，(XA'(i,j),YA'(i,j))、(XA”(i,j),YA”(i,j))分别为第一映射点和第二映射点在笛卡尔坐标系中的坐标。
其中，η为：
Figure GDA0004134197130000101
其中，d为空间上格栅标准样片至透镜阵列的垂直距离，g为透镜阵列中任一透镜的焦距。
可选地，作为本发明实施例提供的格栅标准样片测量装置的一种具体实施方式，基于第一预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标、第一预设标志点和第二预设标志点在透镜阵列中的相对位置、第一预设标志点和第二预设标志点在感光器件中的相对位置确定第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标，可以详述为：
Figure GDA0004134197130000111
其中，(XA,YA)为第一预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标，(XA'(i,j),YA'(i,j))、(XA”(i,j),YA”(i,j))分别为第一映射点和第二映射点在笛卡尔坐标系中的坐标，(XB,YB)为第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标，(XB'(i,j),YB'(i,j))、(XB”(i,j),YB”(i,j))分别为第三映射点和第四映射点在笛卡尔坐标系中的坐标。其中，第三映射点为第二预设标志点在透镜阵列上的映射点，第四映射点为第二预设标志点在感光器件上的映射点。
其中，η为：
Figure GDA0004134197130000112
其中，d为空间上格栅标准样片至透镜阵列的垂直距离，g为透镜阵列中任一透镜的焦距。
可选地，作为本发明实施例提供的格栅标准样片测量装置的一种具体实施方式，预设间隔为透镜阵列上任一透镜的直径。
参见图5，图5为本发明一实施例提供的终端设备的示意框图。如图5所示的本实施例中的终端500可以包括：一个或多个处理器501、一个或多个输入设备502、一个或多个输出设备503及一个或多个存储器504。上述处理器501、输入设备502、则输出设备503及存储器504通过通信总线505完成相互间的通信。存储器504用于存储计算机程序，计算机程序包括程序指令。处理器501用于执行存储器504存储的程序指令。其中，处理器501被配置用于调用程序指令执行以下操作上述各装置实施例中各模块/单元的功能，例如图4所示模块41至44的功能。
应当理解，在本发明实施例中，所称处理器501可以是中央处理单元(CentralProcessing Unit，CPU)，该处理器还可以是其他通用处理器、数字信号处理器(DigitalSignal Processor，DSP)、专用集成电路(Application Specific Integrated Circuit，ASIC)、现成可编程门阵列(Field-Programmable Gate Array，FPGA)或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件等。通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。
输入设备502可以包括触控板、指纹采传感器(用于采集用户的指纹信息和指纹的方向信息)、麦克风等，输出设备503可以包括显示器(LCD等)、扬声器等。
该存储器504可以包括只读存储器和随机存取存储器，并向处理器501提供指令和数据。存储器504的一部分还可以包括非易失性随机存取存储器。例如，存储器504还可以存储设备类型的信息。
具体实现中，本发明实施例中所描述的处理器501、输入设备502、输出设备503可执行本发明实施例提供的格栅标准样片测量方法的第一实施例和第二实施例中所描述的实现方式，也可执行本发明实施例所描述的终端的实现方式，在此不再赘述。
在本发明的另一实施例中提供一种计算机可读存储介质，计算机可读存储介质存储有计算机程序，计算机程序包括程序指令，程序指令被处理器执行时实现上述实施例方法中的全部或部分流程，也可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，计算机程序可存储于一计算机可读存储介质中，该计算机程序在被处理器执行时，可实现上述各个方法实施例的步骤。其中，计算机程序包括计算机程序代码，计算机程序代码可以为源代码形式、对象代码形式、可执行文件或某些中间形式等。计算机可读介质可以包括：能够携带计算机程序代码的任何实体或装置、记录介质、U盘、移动硬盘、磁碟、光盘、计算机存储器、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、电载波信号、电信信号以及软件分发介质等。需要说明的是，计算机可读介质包含的内容可以根据司法管辖区内立法和专利实践的要求进行适当的增减，例如在某些司法管辖区，根据立法和专利实践，计算机可读介质不包括是电载波信号和电信信号。
计算机可读存储介质可以是前述任一实施例的终端的内部存储单元，例如终端的硬盘或内存。计算机可读存储介质也可以是终端的外部存储设备，例如终端上配备的插接式硬盘，智能存储卡(Smart Media Card,SMC)，安全数字(Secure Digital,SD)卡，闪存卡(Flash Card)等。进一步地，计算机可读存储介质还可以既包括终端的内部存储单元也包括外部存储设备。计算机可读存储介质用于存储计算机程序及终端所需的其他程序和数据。计算机可读存储介质还可以用于暂时地存储已经输出或者将要输出的数据。
本领域普通技术人员可以意识到，结合本文中所公开的实施例描述的各示例的单元及算法步骤，能够以电子硬件、计算机软件或者二者的结合来实现，为了清楚地说明硬件和软件的可互换性，在上述说明中已经按照功能一般性地描述了各示例的组成及步骤。这些功能究竟以硬件还是软件方式来执行，取决于技术方案的特定应用和设计约束条件。专业技术人员可以对每个特定的应用来使用不同方法来实现所描述的功能，但是这种实现不应认为超出本发明的范围。
所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为了描述的方便和简洁，上述描述的终端和单元的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。
在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的终端和方法，可以通过其它的方式实现。例如，以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另外，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口或单元的间接耦合或通信连接，也可以是电的，机械的或其它的形式连接。
作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本发明实施例方案的目的。
另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以是两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。
以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种格栅标准样片测量方法，其特征在于，包括：
基于预设间隔对格栅标准样片的平面区域进行划分，得到多个样片区域；
获取所述多个样片区域的多个扫描图像，并对所述多个扫描图像进行图像拼接，得到样片图像；其中，所述多个扫描图像由关键尺寸扫描电镜系统对所述多个样片区域扫描得到；
基于所述关键尺寸扫描电镜系统的透镜阵列建立笛卡尔坐标系，并基于所述样片图像确定格栅标准样片中第一预设标志点和第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标；
基于第一预设标志点和第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标确定格栅标准样片的长度。
2.如权利要求1所述的格栅标准样片测量方法，其特征在于，还包括：
基于所述样片图像确定格栅标准样片中第三预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标；
根据已知标志点和第三预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标确定格栅标准样片的宽度，其中，所述已知标志点为第一预设标志点或第二预设标志点。
3.如权利要求1所述的格栅标准样片测量方法，其特征在于，确定第一预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标的方法为：
确定所述第一预设标志点在透镜阵列上的第一映射点、以及所述第一预设标志点在所述关键尺寸扫描电镜系统的感光器件上的第二映射点；
获取第一映射点和第二映射点在所述笛卡尔坐标系中的坐标，并基于第一映射点和第二映射点在所述笛卡尔坐标系中的坐标确定第一预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标。
4.如权利要求3所述的格栅标准样片测量方法，其特征在于，确定第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标的方法为：
基于第一预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标、第一预设标志点和第二预设标志点在透镜阵列中的相对位置、第一预设标志点和第二预设标志点在感光器件中的相对位置确定第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标。
5.如权利要求3所述的格栅标准样片测量方法，其特征在于，所述基于第一映射点和第二映射点在所述笛卡尔坐标系中的坐标确定第一预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标，包括：
XA＝(1+η)XA'(i,j)-ηXA”(i,j)
YA＝(1+η)YA'(i,j)-ηYA”(i,j)
其中，(XA,YA)为第一预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标，(XA'(i,j),YA'(i,j))、(XA”(i,j),YA”(i,j))分别为第一映射点和第二映射点在笛卡尔坐标系中的坐标；
其中，η为：
Figure FDA0002506600870000021
其中，d为空间上格栅标准样片至透镜阵列的垂直距离，g为透镜阵列中任一透镜的焦距。
6.如权利要求4所述的格栅标准样片测量方法，其特征在于，所述基于第一预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标、第一预设标志点和第二预设标志点在透镜阵列中的相对位置、第一预设标志点和第二预设标志点在感光器件中的相对位置确定第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标，包括：
Figure FDA0002506600870000022
其中，(XA,YA)为第一预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标，(XA'(i,j),YA'(i,j))、(XA”(i,j),YA”(i,j))分别为第一映射点和第二映射点在笛卡尔坐标系中的坐标，(XB,YB)为第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标，(XB'(i,j),YB'(i,j))、(XB”(i,j),YB”(i,j))分别为第三映射点和第四映射点在笛卡尔坐标系中的坐标；其中，第三映射点为第二预设标志点在透镜阵列上的映射点，第四映射点为第二预设标志点在感光器件上的映射点；
其中，η为：
Figure FDA0002506600870000031
其中，d为空间上格栅标准样片至透镜阵列的垂直距离，g为透镜阵列中任一透镜的焦距。
7.如权利要求1所述的格栅标准样片测量方法，其特征在于，所述预设间隔为所述透镜阵列上任一透镜的直径。
8.一种格栅标准样片测量装置，其特征在于，包括：
区域划分模块，用于基于预设间隔对格栅标准样片的平面区域进行划分，得到多个样片区域；
图像扫描模块，用于获取所述多个样片区域的多个扫描图像，并对所述多个扫描图像进行图像拼接，得到样片图像；其中，所述多个扫描图像由关键尺寸扫描电镜系统对所述多个样片区域扫描得到；
图像定位模块，用于基于所述关键尺寸扫描电镜系统的透镜阵列建立笛卡尔坐标系，并基于所述样片图像确定格栅标准样片中第一预设标志点和第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标；
样片测量模块，用于基于第一预设标志点和第二预设标志点在笛卡尔坐标系中的坐标确定格栅标准样片的长度。
9.一种终端设备，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1至7任一项所述方法的步骤。
10.一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至7任一项所述方法的步骤。
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