CN117252837A - 一种晶圆测试的数据处理方法、装置、介质和电子设备 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种晶圆测试的数据处理方法、装置、介质和电子设备。本申请首先依据测试目标中任一形状的少量的满足要求的检测点和对应检测点上的测试痕迹生成所述形状的基准信息，然后通过所述形状的基准信息对晶圆中所述形状的所有检测点和测试痕迹进行分析，从中筛选出满足基准信息的检测点信息和测试痕迹信息作为准备数据。其中，生成的基准信息中不仅包括了用于判断检测点的第一长宽比值范围和用于判断测试痕迹的第二长宽比值范围，而且还包括检测点与测试痕迹的位置关系范围。通过各种约束条件中的范围作为分析依据，能够有效避免误判和漏判，提高了分析精度。通过上述方法，节省了数据处理的时间，提高了测试效率，解决了人工处理的低效问题。

Description

一种晶圆测试的数据处理方法、装置、介质和电子设备

技术领域

本申请涉及晶圆检测技术领域，具体而言，涉及一种晶圆测试的数据处理方法、装置、介质和电子设备。

背景技术

针测是将探针扎入检测点中进行测试的一种方法，是晶圆测试的一个重要的步骤。其中数据准备是晶圆测试时必不可少的一步，数据准备是将晶圆中具有测试痕迹的检测点信息和测试痕迹信息纪录下来，以供自动测试痕迹检测时使用。

当前，晶圆测试的数据准备工作主要是通过人工方式完成，这项工作既耗时又繁琐，极易出错，从而严重影响产品良率。

因此，本申请提供了一种晶圆测试的数据处理方法，以解决上述技术问题之一。

发明内容

本申请的目的在于提供一种晶圆测试的数据处理方法、装置、介质和电子设备，能够解决上述提到的至少一个技术问题。具体方案如下：

根据本申请的具体实施方式，第一方面，本申请提供一种晶圆测试的数据处理方法，包括：

在对晶圆中的任一测试目标试扎针后，通过图像装置获取第一图像，其中，所述第一图像与预设平面坐标系中所述图像装置拍照的第一区域相匹配；

基于所述第一区域的第一区域位置和所述第一图像确定任一形状的若干个第一检测点的第一检测信息和对应第一检测点上的第一测试痕迹的第一测试痕迹信息，其中，所述第一检测点满足预设第一检测条件，所述第一测试痕迹满足预设第二检测条件；

基于所述若干个第一检测点的第一检测信息和所述若干个第一测试痕迹的第一测试痕迹信息确定所述形状在预设平面坐标系中的基准信息；

基于所述基准信息对所述晶圆中所述形状的所有第二检测点的第二检测信息和对应第二检测点上的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息进行分析；

当任一第二检测点的第二检测信息和对应所述第二检测点上的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息满足所述基准信息时，确定所述第二检测点的第二检测信息和对应第二检测点的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息为准备数据。

根据本申请的具体实施方式，第二方面，本申请提供一种晶圆测试的数据处理装置，包括：

图像拍摄单元，用于在对晶圆中的任一测试目标试扎针后，通过图像装置获取第一图像，其中，所述第一图像与预设平面坐标系中所述图像装置拍照的第一区域相匹配；

信息确定单元，用于基于所述第一区域的第一区域位置和所述第一图像确定任一形状的若干个第一检测点的第一检测信息和对应第一检测点上的第一测试痕迹的第一测试痕迹信息，其中，所述第一检测点满足预设第一检测条件，所述第一测试痕迹满足预设第二检测条件；

标准确定单元，用于基于所述若干个第一检测点的第一检测信息和所述若干个第一测试痕迹的第一测试痕迹信息确定所述形状在预设平面坐标系中的基准信息；

分析单元，用于基于所述基准信息对所述晶圆中所述形状的所有第二检测点的第二检测信息和对应第二检测点上的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息进行分析；

数据确定单元，用于当任一第二检测点的第二检测信息和对应所述第二检测点上的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息满足所述基准信息时，确定所述第二检测点的第二检测信息和对应第二检测点的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息为准备数据。

根据本申请的具体实施方式，第三方面，本申请提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述程序被处理器执行时实现如上任一项所述晶圆测试的数据处理方法。

根据本申请的具体实施方式，第四方面，本申请提供一种电子设备，包括：一个或多个处理器；存储装置，用于存储一个或多个程序，当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理器执行时，使得所述一个或多个处理器实现如上任一项所述晶圆测试的数据处理方法。

本申请实施例的上述方案与现有技术相比，至少具有以下有益效果：

本申请提供了一种晶圆测试的数据处理方法、装置、介质和电子设备。本申请首先依据测试目标中任一形状的少量的满足要求的检测点和对应检测点上的测试痕迹生成所述形状的基准信息，然后通过所述形状的基准信息对晶圆中所述形状的所有检测点和测试痕迹进行分析，从中筛选出满足基准信息的检测点信息和测试痕迹信息作为准备数据。其中，生成的基准信息中不仅包括了用于判断检测点的第一长宽比值范围和用于判断测试痕迹的第二长宽比值范围，而且还包括检测点与测试痕迹的位置关系范围。通过各种约束条件中的范围作为分析依据，提高了数据冗余度，能够有效避免误判和漏判，提高了分析精度。通过上述方法，大大节省了数据处理的时间，提高了测试效率，解决了人工处理的低效问题。

附图说明

图1示出了根据本申请实施例的晶圆测试的数据处理方法的流程图；

图2示出了根据本申请实施例预设平面坐标系中第一检测点和第一测试痕迹的示意图；

图3示出了根据本申请实施例的晶圆测试的数据处理装置的单元框图；

图4示出了根据本申请实施例提供的一种电子设备连接结构示意图。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本申请作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本申请。在本申请实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义，“多种”一般包含至少两种。

应当理解，本文中使用的术语“和/或”仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

应当理解，尽管在本申请实施例中可能采用术语第一、第二、第三等来描述，但这些描述不应限于这些术语。这些术语仅用来将描述区分开。例如，在不脱离本申请实施例范围的情况下，第一也可以被称为第二，类似地，第二也可以被称为第一。

取决于语境，如在此所使用的词语“如果”、“若”可以被解释成为“在……时”或“当……时”或“响应于确定”或“响应于检测”。类似地，取决于语境，短语“如果确定”或“如果检测(陈述的条件或事件)”可以被解释成为“当确定时”或“响应于确定”或“当检测(陈述的条件或事件)时”或“响应于检测(陈述的条件或事件)”。

还需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的商品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种商品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的商品或者装置中还存在另外的相同要素。

特别需要说明的是，在说明书中存在的符号和/或数字，如果在附图说明中未被标记的，均不是附图标记。

下面结合附图详细说明本申请的可选实施例。

对本申请提供的实施例，即一种晶圆测试的数据处理方法的实施例。

下面结合图1对本申请实施例进行详细说明。

步骤S101，在对晶圆中的任一测试目标试扎针后，通过图像装置获取第一图像。

所述试扎针是在对晶圆进行测试前的一个准备工作。在此过程中并不进行测试，仅仅是将晶圆上的检测点扎在探针板的探针上。试扎针后，一些检测点上会留下测试痕迹。本申请实施例通过图像装置拍摄的图像，采集试扎针后检测点和测试痕迹的信息。图像装置包括摄像头。

所述预设平面坐标系平行于所述晶圆所在的平面，可以是客户提供的平面坐标系，也可以是在测试前提前设定的平面坐标系。可选的，所述预设平面坐标系设置于所述晶圆所在的平面上。

如果要采集晶圆上所有检测点和测试痕迹的信息，需要将晶圆划分成预设平面坐标系中多个顺序排列的分割区域。每个分割区域与图像装置的拍摄区域相匹配。其中，所述第一图像与预设平面坐标系中所述图像装置拍照的第一区域相匹配。可以理解为，图像装置在晶圆上的拍摄区域生成第一图像，该拍摄区域投影至预设平面坐标系中也就是第一区域。例如，预设平面坐标系上的第一区域也就位于晶圆上，图像装置拍摄的第一图像将覆盖第一区域。本申请实施例将主要以设置于所述晶圆所在的平面上的所述预设平面坐标系进行阐述，本领域技术人员能够通过合理的推导将各种相关信息投影至其他位置的平面坐标系中，获得与本申请实施例相同的结论。

如果将多个顺序排列的分割区域所拍摄的图像拼接起来能够生成整个晶圆的图像。

步骤S102，基于所述第一区域的第一区域位置和所述第一图像确定任一形状的若干个第一检测点的第一检测信息和对应第一检测点上的第一测试痕迹的第一测试痕迹信息。

本申请实施例中，对应检测点上的测试痕迹是指该测试痕迹扎在了该检测点上。

本申请实施例将检测点依据外观进行分类，例如，检测点的形状包括：圆形检测点、长方形检测点、椭圆形检测点、异形检测点。

本申请实施例针对晶圆中多种形状中的任一一种形状的检测点采用该方法实现数据准备，但不影响其他至少一种形状的检测点同时采用该方法实现数据准备。

其中，所述第一检测点满足预设第一检测条件，所述第一测试痕迹满足预设第二检测条件。

所述预设第一检测条件是指检测点能够实施后续的自动测试痕迹检测的条件；所述预设第二检测条件是指测试痕迹能够实施后续的自动测试痕迹检测的条件。

本申请实施例仅仅从测试目标的任一形状中的检测点中选择几个满足预设第一检测条件的第一检测点(即若干个第一检测点)，且第一检测点上的第一测试痕迹满足预设第二检测条件。并通过第一检测点的第一检测信息和第一测试痕迹的第一测试痕迹信息生成基准信息，用于分析晶圆中的检测点和测试痕迹。

可选的，每个第一检测点的第一检测信息包括预设平面坐标系中对应第一检测点所占检测点区域3的检测点区域位置和对应第一检测点的检测点区域3的第一长宽比值；每个第一测试痕迹的第一测试痕迹信息包括：预设平面坐标系中对应第一测试痕迹所占痕迹区域1的痕迹区域位置和对应第一测试痕迹的痕迹区域1的第二长宽比值。

本申请实施例所述长宽比值(比如，第一长宽比值，第二长宽比值)是指在预设平面坐标系中，目标区域(比如，检测点区域3，痕迹区域1)在第一坐标轴(比如X轴)上的长度值与第二坐标轴(比如Y轴)上的长度值的比值；或者，目标区域在第二坐标轴(比如Y轴)上的长度值与第一坐标轴(比如X轴)上的长度值的比值。

在一些具体实施例中，如图2所示，所述基于所述第一区域位置和所述第一图像确定任一形状的若干个第一检测点的第一检测信息和对应第一检测点上的第一测试痕迹的第一测试痕迹信息，包括以下步骤：

步骤S102-1，基于所述第一图像确定任一形状的若干个第一检测点的第一检测图像和对应第一检测点上的第一测试痕迹的第一测试痕迹图像。

也就是说，所述第一图像中包含任一形状的多个检测点的检测点图像以及部分检测点图像上存在的测试痕迹的测试痕迹图像。也就是在试扎针时并不是所有检测点上均具有测试痕迹，也不是所有具有测试痕迹的检测点均是数据处理所需要的信息。而本步骤是从任一形状的多个检测点中选出若干个满足预设第一检测条件的第一检测点。

步骤S102-2a，基于所述第一区域位置和所述第一图像中每个第一检测点的第一检测图像获取对应第一检测点的第一检测信息。

在一些具体实施例中，所述基于所述第一区域位置和所述第一图像中每个第一检测点的第一检测图像获取对应第一检测点的第一检测信息，包括以下步骤：

步骤S102-2a-1，确定任一第一检测图像在所述第一图像中的第一图像区域。

其中，所述第一图像区域为包含所述第一检测图像4的最小矩形区域，且所述第一图像区域的任一边平行于所述第一图像的任一边。

所述第一检测图像4的最小矩形区域是指第一图像区域为矩形区域，且第一图像区域的任一边均与第一检测图像4具有唯一的交点，该交点是第一图像区域的边与第一检测图像4的切点。

在图像中存在一个图像坐标系，该图像坐标系的坐标轴分别平行于图像的各个边。在图像坐标系中通过像素位置坐标表示第一图像区域的各个顶点坐标。将第一图像区域的任一边平行于所述第一图像的任一边有利于进行坐标计算，降低计算的复杂度，减少数据处理量。

步骤S102-2a-2，基于所述第一区域位置和所述第一图像区域确定第一检测图像在预设平面坐标系中的检测点区域。

由于第一图像区域仅仅存在于第一检测图像4的图像坐标系中，而第一区域位置是第一图像在预设平面坐标系中的信息，通过第一区域位置将第一检测图像4的图像坐标系中的第一图像区域转换成预设平面坐标系中的检测点区域3，以便在后续测试中能够对统一在预设平面坐标系中准备数据进行自动化的处理。

在本申请中，所述准备数据是在数据准备的过程中为了实现后续的自动测试痕迹检测而提前检测的数据。准备数据包括检测点信息和测试痕迹信息。

其中，所述检测点区域3的任一边平行于预设平面坐标系的一个坐标轴，有利于进行坐标计算，降低计算的复杂度，减少数据处理量。

步骤S102-2a-3，确定所述检测点区域的预设方位角的位置为检测点区域位置。

预设方位角是指矩形区域的任一特定方位的矩形角，例如，如果矩形区域的左上角表征预设方位角，则检测点区域3的预设方位角，也就是检测点区域3的左上角。

步骤S102-2a-4，基于所述检测点区域获得所述第一长宽比值。

第一长宽比值是指在预设平面坐标系中，检测点区域3在第一坐标轴(比如X轴)上的长度值与第二坐标轴(比如Y轴)上的长度值的比值；或者，检测点区域3在第二坐标轴(比如Y轴)上的长度值与第一坐标轴(比如X轴)上的长度值的比值。

所有检测点的检测点区域3的长宽比值的计算方式均相同，以便在分析时，进行对比。

步骤S102-2b，基于所述第一区域位置和所述第一图像中每个第一测试痕迹的第一测试痕迹图像获取对应第一测试痕迹的第一测试痕迹信息。

在一些具体实施例中，所述基于所述第一区域位置和所述第一图像中每个第一测试痕迹的第一测试痕迹图像获取对应第一测试痕迹的第一测试痕迹信息，包括以下步骤：

步骤S102-2b-1，确定任一第一测试痕迹图像在所述第一图像中的第二图像区域。

其中，所述第二图像区域为包含所述第一测试痕迹图像2的最小矩形区域，且所述第二图像区域的任一边平行于所述第一图像的任一边。

所述第一测试痕迹图像2的最小矩形区域是指第二图像区域为矩形区域，且第二图像区域的任一边均与第一测试痕迹图像2具有唯一的交点，该交点是第二图像区域的边与第一测试痕迹图像2的切点。将第二图像区域的任一边平行于所述第一图像的任一边有利于进行坐标计算，降低计算的复杂度，减少数据处理量。

步骤S102-2b-2，基于所述第一区域位置和所述第二图像区域确定第一测试痕迹图像在预设平面坐标系中的痕迹区域。

由于第二图像区域仅仅存在于第一测试痕迹图像2的图像坐标系中，而第一区域位置是第一图像在预设平面坐标系中的信息，通过第一区域位置将第一测试痕迹图像2的图像坐标系中的第二图像区域转换成预设平面坐标系中的痕迹区域1，以便在后续测试中能够对统一在预设平面坐标系中准备数据进行自动化的处理。

其中，所述痕迹区域1的任一边平行于预设平面坐标系的一个坐标轴，有利于进行坐标计算，降低计算的复杂度，减少数据处理量。

步骤S102-2b-3，确定所述痕迹区域的预设方位角的位置为痕迹区域位置。

所述痕迹区域1的预设方位角与所述检测点区域3的预设方位角均处于各自矩形区域的同一方位。

例如，如果矩形区域的左上角表征预设方位角，则检测点区域3的预设方位角是指检测点区域3的左上角；痕迹区域1的预设方位角，也就是检测点区域3的左上角。

步骤S102-2b-4，基于所述痕迹区域获得所述第二长宽比值。

第二长宽比值是指在预设平面坐标系中，痕迹区域1在第一坐标轴(比如X轴)上的长度值与第二坐标轴(比如Y轴)上的长度值的比值；或者，痕迹区域1在第二坐标轴(比如Y轴)上的长度值与第一坐标轴(比如X轴)上的长度值的比值。

第二长宽比值的计算方式可以与第一长宽比值的计算方式不同。但是，所有测试痕迹的痕迹区域1的长宽比值的计算方式均相同，以便在分析时，进行对比。

需要说明的是，步骤S102-2a与步骤S102-2b间并不存在处理的先后顺序。可以是同时处理，也可以步骤S102-2a先处理，步骤S102-2b后处理，也可以步骤S102-2b先处理，步骤S102-2a后处理。

步骤S103，基于所述若干个第一检测点的第一检测信息和所述若干个第一测试痕迹的第一测试痕迹信息确定所述形状在预设平面坐标系中的基准信息。

确定所述形状在预设平面坐标系中的基准信息的目的是为了：通过基准信息实现对晶圆中所有同一形状的检测点的检测点信息以及测试痕迹信息进行分析，实现测试数据的自动准备。

在一些具体实施例中，所述基于所述若干个第一检测点的第一检测信息和所述若干个第一测试痕迹的第一测试痕迹信息确定所述形状在预设平面坐标系中的基准信息，包括以下步骤：

步骤S103-1，基于所述若干个第一检测点的检测点区域位置和所述若干个第一测试痕迹的痕迹区域位置获得所述基准信息中的位置关系范围。

位置关系范围用于约束检测点与测试痕迹间的位置关系。例如，在分析时，被分析的检测点的检测点信息与其上的测试痕迹信息均满足分析标准信息的要求，但是，分析标准信息中要求预设平面坐标系中测试痕迹图像位于检测点图像的几何中心附近，而被分析的检测点图像上测试痕迹图像位于检测点图像的左下方，这样的检测点信息和测试痕迹信息就不是测试所用的准备数据。

在一些具体实施例中，所述基于所述若干个第一检测点的检测点区域位置和所述若干个第一测试痕迹的痕迹区域位置获得所述基准信息中的位置关系范围，包括以下步骤：

步骤S103-1-1，基于任一第一检测点的检测点区域位置与任一第一测试痕迹的痕迹区域位置获得第一距离值以及第一直线与预设平面坐标系中预设坐标轴的第一夹角值。

其中，所述第一直线穿过所述第一检测点的检测点区域位置和所述第一测试痕迹的痕迹区域位置。

由于选择了若干个第一检测点，则必然存在若干个与第一检测点对应的第一测试痕迹。每个第一检测点均具有检测点区域位置，每个第一测试痕迹均具有痕迹区域位置。

第一距离值是任一第一检测点的检测点区域位置到任一第一测试痕迹的痕迹区域位置的距离值。将若干个检测点区域位置分别与若干个痕迹区域位置进行连线，能够生成多个第一直线。例如，如果选择了2个第一检测点的检测点区域位置：A1和A2，选择了2个第一测试痕迹的痕迹区域位置：B1和B2，则能够获得多个第一距离值：d11、d12、d21和d22，以及多个第一直线：L11、L12、L21和L22，生成的多个第一夹角值：g11、g12、g21和g22；其中，d11是A1到B1的距离，d12是A1到B2的距离，d21是A2到B1的距离，d22是A2到B2的距离；L11是A1到B1的直线，L12是A1到B2的直线，L21是A2到B1的直线，L22是A2到B2的直线。

步骤S103-1-2，基于所有第一距离值确定所述位置关系范围中的第一距离范围，以及，基于所有第一夹角值确定所述位置关系范围中的第一夹角范围。

第一距离范围是指大于或等于最小第一距离值且小于或等于最大第一距离值的范围。

第一夹角范围是指大于或等于最小第一夹角值且小于或等于最大第一夹角值的范围。

本申请实施例采用检测点与测试痕迹的第一距离范围以及第一夹角范围约束检测点与测试痕迹的位置关系，以便能够在分析中快速筛查出具有相同位置关系的检测点和测试痕迹。

步骤S103-2，基于所述若干个第一检测点的第一长宽比值获得所述基准信息中的第一长宽比值范围。

第一长宽比值范围是指大于或等于最小第一长宽比值且小于或等于最大第一长宽比值的范围。

因为不同形状的检测点的第一长宽比值具有非常大的区别，本申请实施例通过第一长宽比值范围判断检测点的外形。

步骤S103-3，基于所述若干个第一测试痕迹的第二长宽比值获得所述基准信息中的第二长宽比值范围。

第二长宽比值范围是指大于或等于最小第二长宽比值且小于或等于最大第二长宽比值的范围。

因为不同外形的测试痕迹的第二长宽比值具有非常大的区别，本申请实施例通过第二长宽比值范围判断测试痕迹的外形。

本具体实施例中，生成的基准信息中不仅包括了用于判断检测点的第一长宽比值范围和用于判断测试痕迹的第二长宽比值范围，而且还包括检测点与测试痕迹的位置关系范围。通过各种约束条件中的范围作为分析依据，提高了数据冗余度，能够有效避免误判和漏判，提高了分析精度。

步骤S104，基于所述基准信息对所述晶圆中所述形状的所有第二检测点的第二检测信息和对应第二检测点上的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息进行分析。

本申请实施例利用所述形状的基准信息，对晶圆中每个所述形状的第二检测点的第二检测信息和对应第二检测点上的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息进行分析。

步骤S105，当任一第二检测点的第二检测信息和对应所述第二检测点上的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息满足所述基准信息时，确定所述第二检测点的第二检测信息和对应第二检测点的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息为准备数据。

本申请实施例仅仅是对晶圆中任一形状的检测点和检测点中的测试痕迹进行分析，从中筛选出测试所用的准备数据。但是不影响其他形状的检测点和测试痕迹采用相同的方法也能够获得相同的效果。

本申请实施例首先依据测试目标中任一形状的少量的满足要求的检测点和对应检测点上的测试痕迹生成所述形状的基准信息，然后通过所述形状的基准信息对晶圆中所述形状的所有检测点和测试痕迹进行分析，从中筛选出满足基准信息的检测点信息和测试痕迹信息作为准备数据。其中，生成的基准信息中不仅包括了用于判断检测点的第一长宽比值范围和用于判断测试痕迹的第二长宽比值范围，而且还包括检测点与测试痕迹的位置关系范围。通过各种约束条件中的范围作为分析依据，提高了数据冗余度，能够有效避免误判和漏判，提高了分析精度。通过上述方法，大大节省了数据处理的时间，提高了测试效率，解决了人工处理的低效问题。

本申请还提供了与上述实施例承接的装置实施例，用于实现如上实施例所述的方法步骤，基于相同的名称含义的解释与如上实施例相同，具有与如上实施例相同的技术效果，此处不再赘述。

如图3所示，本申请提供一种晶圆测试的数据处理装置300，包括：

图像拍摄单元301，用于在对晶圆中的任一测试目标试扎针后，通过图像装置获取第一图像，其中，所述第一图像与预设平面坐标系中所述图像装置拍照的第一区域相匹配；

信息确定单元302，用于基于所述第一区域的第一区域位置和所述第一图像确定任一形状的若干个第一检测点的第一检测信息和对应第一检测点上的第一测试痕迹的第一测试痕迹信息，其中，所述第一检测点满足预设第一检测条件，所述第一测试痕迹满足预设第二检测条件；

标准确定单元303，用于基于所述若干个第一检测点的第一检测信息和所述若干个第一测试痕迹的第一测试痕迹信息确定所述形状在预设平面坐标系中的基准信息；

分析单元304，用于基于所述基准信息对所述晶圆中所述形状的所有第二检测点的第二检测信息和对应第二检测点上的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息进行分析；

数据确定单元305，用于当任一第二检测点的第二检测信息和对应所述第二检测点上的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息满足所述基准信息时，确定所述第二检测点的第二检测信息和对应第二检测点的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息为准备数据。

可选的，每个第一检测点的第一检测信息包括预设平面坐标系中对应第一检测点所占检测点区域的检测点区域位置和对应第一检测点的检测点区域的第一长宽比值；

每个第一测试痕迹的第一测试痕迹信息包括：预设平面坐标系中对应第一测试痕迹所占痕迹区域的痕迹区域位置和对应第一测试痕迹的痕迹区域的第二长宽比值。

可选的，所述标准确定单元303，包括：

第一获得子单元，用于基于所述若干个第一检测点的检测点区域位置和所述若干个第一测试痕迹的痕迹区域位置获得所述基准信息中的位置关系范围；

第二获得子单元，用于基于所述若干个第一检测点的第一长宽比值获得所述基准信息中的第一长宽比值范围；

第三获得子单元，用于基于所述若干个第一测试痕迹的第二长宽比值获得所述基准信息中的第二长宽比值范围。

可选的，所述第一获得子单元，包括：

第四获得子单元，用于基于任一第一检测点的检测点区域位置与任一第一测试痕迹的痕迹区域位置获得第一距离值以及第一直线与预设平面坐标系中预设坐标轴的第一夹角值，其中，所述第一直线穿过所述第一检测点的检测点区域位置和所述第一测试痕迹的痕迹区域位置；

第一确定子单元，用于基于所有第一距离值确定所述位置关系范围中的第一距离范围，以及，基于所有第一夹角值确定所述位置关系范围中的第一夹角范围。

可选的，所述信息确定单元302，包括：

第二确定子单元，用于基于所述第一图像确定任一形状的若干个第一检测点的第一检测图像和对应第一检测点上的第一测试痕迹的第一测试痕迹图像；

第一获取子单元，用于基于所述第一区域位置和所述第一图像中每个第一检测点的第一检测图像获取对应第一检测点的第一检测信息，以及，

第二获取子单元，用于基于所述第一区域位置和所述第一图像中每个第一测试痕迹的第一测试痕迹图像获取对应第一测试痕迹的第一测试痕迹信息。

可选的，所述第一获取子单元，包括：

第三确定子单元，用于确定任一第一检测图像在所述第一图像中的第一图像区域，其中，所述第一图像区域为包含所述第一检测图像的最小矩形区域，且所述第一图像区域的任一边平行于所述第一图像的任一边；

第四确定子单元，用于基于所述第一区域位置和所述第一图像区域确定第一检测图像在预设平面坐标系中的检测点区域，其中，所述检测点区域的任一边平行于预设平面坐标系的一个坐标轴；

第五确定子单元，用于确定所述检测点区域的预设方位角的位置为检测点区域位置；

第五获得子单元，用于基于所述检测点区域获得所述第一长宽比值。

可选的，所述第二获取子单元，包括：

第六确定子单元，用于确定任一第一测试痕迹图像在所述第一图像中的第二图像区域，其中，所述第二图像区域为包含所述第一测试痕迹图像的最小矩形区域，且所述第二图像区域的任一边平行于所述第一图像的任一边；

第七确定子单元，用于基于所述第一区域位置和所述第二图像区域确定第一测试痕迹图像在预设平面坐标系中的痕迹区域，其中，所述痕迹区域的任一边平行于预设平面坐标系的一个坐标轴；

第八确定子单元，用于确定所述痕迹区域的预设方位角的位置为痕迹区域位置；

第六获得子单元，用于基于所述痕迹区域获得所述第二长宽比值。

本申请实施例首先依据测试目标中任一形状的少量的满足要求的检测点和对应检测点上的测试痕迹生成所述形状的基准信息，然后通过所述形状的基准信息对晶圆中所述形状的所有检测点和测试痕迹进行分析，从中筛选出满足基准信息的检测点信息和测试痕迹信息作为准备数据。其中，生成的基准信息中不仅包括了用于判断检测点的第一长宽比值范围和用于判断测试痕迹的第二长宽比值范围，而且还包括检测点与测试痕迹的位置关系范围。通过各种约束条件中的范围作为分析依据，提高了数据冗余度，能够有效避免误判和漏判，提高了分析精度。通过上述方法，大大节省了数据处理的时间，提高了测试效率，解决了人工处理的低效问题。

如图4所示，本实施例提供一种电子设备，所述电子设备，包括：至少一个处理器；以及，与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，所述存储器存储有可被所述一个处理器执行的指令，所述指令被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行如上实施例所述的方法步骤。

本申请实施例提供了一种非易失性计算机存储介质，所述计算机存储介质存储有计算机可执行指令，该计算机可执行指令可执行如上实施例所述的方法步骤。

下面参考图4，其示出了适于用来实现本申请实施例的电子设备的结构示意图。本申请实施例中的终端设备可以包括但不限于诸如移动电话、笔记本电脑、数字广播接收器、PDA(个人数字助理)、PAD(平板电脑)、PMP(便携式多媒体播放器)、车载终端(例如车载导航终端)等等的移动终端以及诸如数字TV、台式计算机等等的固定终端。图4示出的电子设备仅仅是一个示例，不应对本申请实施例的功能和使用范围带来任何限制。

如图4所示，电子设备可以包括处理装置(例如中央处理器、图形处理器等)401，其可以根据存储在只读存储器(ROM)402中的程序或者从存储装置408加载到随机访问存储器(RAM)403中的程序而执行各种适当的动作和处理。在RAM 403中，还存储有电子设备操作所需的各种程序和数据。处理装置401、ROM 402以及RAM 403通过总线404彼此相连。输入/输出(I/O)接口405也连接至总线404。

通常，以下装置可以连接至I/O接口405：包括例如触摸屏、触摸板、键盘、鼠标、摄像头、麦克风、加速度计、陀螺仪等的输入装置406；包括例如液晶显示器(LCD)、扬声器、振动器等的输出装置405；包括例如磁带、硬盘等的存储装置408；以及通信装置409。通信装置409可以允许电子设备与其他设备进行无线或有线通信以交换数据。虽然图4示出了具有各种装置的电子设备，但是应理解的是，并不要求实施或具备所有示出的装置。可以替代地实施或具备更多或更少的装置。

特别地，根据本申请的实施例，上文参考流程图描述的过程可以被实现为计算机软件程序。例如，本申请的实施例包括一种计算机程序产品，其包括承载在计算机可读介质上的计算机程序，该计算机程序包含用于执行流程图所示的方法的程序代码。在这样的实施例中，该计算机程序可以通过通信装置409从网络上被下载和安装，或者从存储装置408被安装，或者从ROM 402被安装。在该计算机程序被处理装置401执行时，执行本申请实施例的方法中限定的上述功能。

需要说明的是，本申请上述的计算机可读介质可以是计算机可读信号介质或者计算机可读存储介质或者是上述两者的任意组合。计算机可读存储介质例如可以是——但不限于——电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的系统、装置或器件，或者任意以上的组合。计算机可读存储介质的更具体的例子可以包括但不限于：具有一个或多个导线的电连接、便携式计算机磁盘、硬盘、随机访问存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦式可编程只读存储器(EPROM或闪存)、光纤、便携式紧凑磁盘只读存储器(CD-ROM)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。在本申请中，计算机可读存储介质可以是任何包含或存储程序的有形介质，该程序可以被指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用。而在本申请中，计算机可读信号介质可以包括在基带中或者作为载波一部分传播的数据信号，其中承载了计算机可读的程序代码。这种传播的数据信号可以采用多种形式，包括但不限于电磁信号、光信号或上述的任意合适的组合。计算机可读信号介质还可以是计算机可读存储介质以外的任何计算机可读介质，该计算机可读信号介质可以发送、传播或者传输用于由指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用的程序。计算机可读介质上包含的程序代码可以用任何适当的介质传输，包括但不限于：电线、光缆、RF(射频)等等，或者上述的任意合适的组合。

上述计算机可读介质可以是上述电子设备中所包含的；也可以是单独存在，而未装配入该电子设备中。

可以以一种或多种程序设计语言或其组合来编写用于执行本申请的操作的计算机程序代码，上述程序设计语言包括面向对象的程序设计语言—诸如Java、Smalltalk、C++，还包括常规的过程式程序设计语言—诸如“C”语言或类似的程序设计语言。程序代码可以完全地在用户计算机上执行、部分地在用户计算机上执行、作为一个独立的软件包执行、部分在用户计算机上部分在远程计算机上执行、或者完全在远程计算机或服务器上执行。在涉及远程计算机的情形中，远程计算机可以通过任意种类的网络——包括局域网(LAN)或广域网(WAN)—连接到用户计算机，或者，可以连接到外部计算机(例如利用因特网服务提供商来通过因特网连接)。

附图中的流程图和框图，图示了按照本申请各种实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段、或代码的一部分，该模块、程序段、或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意，在有些作为替换的实现中，方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个接连地表示的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，这依所涉及的功能而定。也要注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或操作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。

描述于本申请实施例中所涉及到的单元可以通过软件的方式实现，也可以通过硬件的方式来实现。其中，单元的名称在某种情况下并不构成对该单元本身的限定。

Claims (10)

1.一种晶圆测试的数据处理方法，其特征在于，包括：

在对晶圆中的任一测试目标试扎针后，通过图像装置获取第一图像，其中，所述第一图像与预设平面坐标系中所述图像装置拍照的第一区域相匹配；

基于所述第一区域的第一区域位置和所述第一图像确定任一形状的若干个第一检测点的第一检测信息和对应第一检测点上的第一测试痕迹的第一测试痕迹信息，其中，所述第一检测点满足预设第一检测条件，所述第一测试痕迹满足预设第二检测条件；

基于所述若干个第一检测点的第一检测信息和所述若干个第一测试痕迹的第一测试痕迹信息确定所述形状在预设平面坐标系中的基准信息；

基于所述基准信息对所述晶圆中所述形状的所有第二检测点的第二检测信息和对应第二检测点上的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息进行分析；

当任一第二检测点的第二检测信息和对应所述第二检测点上的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息满足所述基准信息时，确定所述第二检测点的第二检测信息和对应第二检测点的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息为准备数据。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，每个第一检测点的第一检测信息包括预设平面坐标系中对应第一检测点所占检测点区域的检测点区域位置和对应第一检测点的检测点区域的第一长宽比值；

每个第一测试痕迹的第一测试痕迹信息包括：预设平面坐标系中对应第一测试痕迹所占痕迹区域的痕迹区域位置和对应第一测试痕迹的痕迹区域的第二长宽比值。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述若干个第一检测点的第一检测信息和所述若干个第一测试痕迹的第一测试痕迹信息确定所述形状在预设平面坐标系中的基准信息，包括：

基于所述若干个第一检测点的检测点区域位置和所述若干个第一测试痕迹的痕迹区域位置获得所述基准信息中的位置关系范围；

基于所述若干个第一检测点的第一长宽比值获得所述基准信息中的第一长宽比值范围；

基于所述若干个第一测试痕迹的第二长宽比值获得所述基准信息中的第二长宽比值范围。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述基于所述若干个第一检测点的检测点区域位置和所述若干个第一测试痕迹的痕迹区域位置获得所述基准信息中的位置关系范围，包括：

基于任一第一检测点的检测点区域位置与任一第一测试痕迹的痕迹区域位置获得第一距离值以及第一直线与预设平面坐标系中预设坐标轴的第一夹角值，其中，所述第一直线穿过所述第一检测点的检测点区域位置和所述第一测试痕迹的痕迹区域位置；

基于所有第一距离值确定所述位置关系范围中的第一距离范围，以及，基于所有第一夹角值确定所述位置关系范围中的第一夹角范围。

5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述基于所述第一区域位置和所述第一图像确定任一形状的若干个第一检测点的第一检测信息和对应第一检测点上的第一测试痕迹的第一测试痕迹信息，包括：

基于所述第一图像确定任一形状的若干个第一检测点的第一检测图像和对应第一检测点上的第一测试痕迹的第一测试痕迹图像；

基于所述第一区域位置和所述第一图像中每个第一检测点的第一检测图像获取对应第一检测点的第一检测信息，以及，

基于所述第一区域位置和所述第一图像中每个第一测试痕迹的第一测试痕迹图像获取对应第一测试痕迹的第一测试痕迹信息。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述基于所述第一区域位置和所述第一图像中每个第一检测点的第一检测图像获取对应第一检测点的第一检测信息，包括：

确定任一第一检测图像在所述第一图像中的第一图像区域，其中，所述第一图像区域为包含所述第一检测图像的最小矩形区域，且所述第一图像区域的任一边平行于所述第一图像的任一边；

基于所述第一区域位置和所述第一图像区域确定第一检测图像在预设平面坐标系中的检测点区域，其中，所述检测点区域的任一边平行于预设平面坐标系的一个坐标轴；

确定所述检测点区域的预设方位角的位置为检测点区域位置；

基于所述检测点区域获得所述第一长宽比值。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述基于所述第一区域位置和所述第一图像中每个第一测试痕迹的第一测试痕迹图像获取对应第一测试痕迹的第一测试痕迹信息，包括：

确定任一第一测试痕迹图像在所述第一图像中的第二图像区域，其中，所述第二图像区域为包含所述第一测试痕迹图像的最小矩形区域，且所述第二图像区域的任一边平行于所述第一图像的任一边；

基于所述第一区域位置和所述第二图像区域确定第一测试痕迹图像在预设平面坐标系中的痕迹区域，其中，所述痕迹区域的任一边平行于预设平面坐标系的一个坐标轴；

确定所述痕迹区域的预设方位角的位置为痕迹区域位置；

基于所述痕迹区域获得所述第二长宽比值。

8.一种晶圆测试的数据处理装置，其特征在于，包括：

图像拍摄单元，用于在对晶圆中的任一测试目标试扎针后，通过图像装置获取第一图像，其中，所述第一图像与预设平面坐标系中所述图像装置拍照的第一区域相匹配；

信息确定单元，用于基于所述第一区域的第一区域位置和所述第一图像确定任一形状的若干个第一检测点的第一检测信息和对应第一检测点上的第一测试痕迹的第一测试痕迹信息，其中，所述第一检测点满足预设第一检测条件，所述第一测试痕迹满足预设第二检测条件；

标准确定单元，用于基于所述若干个第一检测点的第一检测信息和所述若干个第一测试痕迹的第一测试痕迹信息确定所述形状在预设平面坐标系中的基准信息；

分析单元，用于基于所述基准信息对所述晶圆中所述形状的所有第二检测点的第二检测信息和对应第二检测点上的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息进行分析；

数据确定单元，用于当任一第二检测点的第二检测信息和对应所述第二检测点上的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息满足所述基准信息时，确定所述第二检测点的第二检测信息和对应第二检测点的第二测试痕迹的第二测试痕迹信息为准备数据。

9.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述程序被处理器执行时实现如权利要求1至7中任一项所述的方法。

10.一种电子设备，其特征在于，包括：

一个或多个处理器；

存储装置，用于存储一个或多个程序，

其中，当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理器执行时，所述一个或多个处理器实现如权利要求1至7中任一项所述的方法。