CN111636089A - 一种切割光伏大尺寸硅片用金刚线及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种切割光伏大尺寸硅片用金刚线及其制造方法，该制造方法具体为：步骤（1）前处理，对金刚石微粉和母线进行处理；步骤（2）预镀，在母线表面电镀一层镍镀层；步骤（3）上砂，利用复合电镀原理将金刚石微粉固定在母线上；步骤（4）加厚，继续电镀镍镀层使金刚石微粉固定牢靠；步骤（5）后处理，对制成的金刚线进行清洗和时效处理。使用本发明制造出的金刚线可以实现对光伏大尺寸硅片的稳定切割，将线痕、TTV不良比例控制在0.5%~4%，切片良品率不低于97%。

Description

一种切割光伏大尺寸硅片用金刚线及其制造方法
技术领域
本发明属于硬脆材料切割加工领域，具体为一种切割光伏大尺寸硅片用金刚线及其制造方法。
背景技术
随着光伏行业的发展，为降低生产成本，硅片尺寸不断增大，从100mm逐渐增大到156.75mm，再到2019年推出的166mm和210mm尺寸产品，光伏大硅片将是光伏行业发展的主流路线，210mm尺寸硅片的市场占比将逐步扩大。
随着硅片尺寸的不断扩大，配套的切割设备和切割技术也不断更新换代，传统的砂浆切割已经完全被电镀金刚线多线切割技术取代。与砂浆切割相比，电镀金刚线多线切割技术具有速度快、效率高、品质好、更环保等诸多优势。
电镀金刚线是一种在母线基体表面固着有金属镀层和金刚石颗粒的线切割工具，其在多线切割技术中起着重要作用，电镀金刚线的抗拉强度、切割力、排屑能力等质量指标极大地影响了最终切割结果。硅片尺寸增大的同时也导致切片难度增加，线痕、TTV不良比例较切割小尺寸硅片时上升3％-7％，整体切割良率下降，市场上尚未出现适配于光伏大尺寸硅片切割用的电镀金刚线产品。
发明内容
为解决现有技术制备的金刚线在切割光伏大尺寸硅片时出现的线痕、TTV不良比例升高等切割问题，提高光伏大尺寸硅片切割良品率，本发明公开一种切割光伏大尺寸硅片用金刚线及其制造方法。
本发明通过对金刚石微粉的选型、表面改性处理，对电镀液的磁化处理，对镀层厚度的优化调整，对金刚线的时效处理，能够保证金刚线上的金刚石颗粒均匀、牢靠固定，线体韧性强度增加，线径极差小于3μm。使用本发明制造出的金刚线可以实现对光伏大尺寸硅片的稳定切割，将线痕、TTV不良比例控制在0.5％～4％，切片良品率不低于97％。
为实现上述目的，本发明采用的技术方案为：
一种切割光伏大尺寸硅片用金刚线的制造方法，包括以下步骤：
步骤(1)前处理，对金刚石微粉和母线进行处理；
步骤(2)预镀，在母线表面电镀一层镍镀层；
步骤(3)上砂，利用复合电镀原理将金刚石微粉固定在母线上；
步骤(4)加厚，继续电镀镍镀层使金刚石微粉固定牢靠；
步骤(5)后处理，对制成的金刚线进行清洗和时效处理。
进一步，所述步骤(1)中对金刚石微粉处理的步骤包括：
步骤①：将镀覆有高磷镍层的金刚石微粉放入80±5℃纯水中，机械搅拌30分钟，并用超声波辅助清洗，金刚石微粉与纯水比例为1kg:3L；该步骤中，金刚石微粉表面高磷镍层的磷含量为10wt％～15wt％，镀覆方法为化学镀；
步骤②：将步骤①得到的金刚石微粉放入分散剂浓度为2wt％～5wt％的溶液中，机械搅拌30分钟，金刚石微粉与溶液比例为1kg:3L，溶液温度为80±5℃；
步骤③：将步骤②得到的金刚石微粉放入电镀液中机械搅拌2小时，电镀液温度为60±5℃，金刚石微粉与电镀液比例为1kg:2L。该步骤中，所述电镀液的组分为氨基磺酸镍500～600g/L，硼酸15～25g/L，氯化镍10～20g/L，pH值为3.0～4.0。
进一步，所述母线处理包括：
步骤1)：对母线基体做化学除油，除油液浓度为3wt％～5wt％，温度为70±2℃，除油时间5～40秒；
步骤2)：化学除油后对母线基体进行纯水清洗，纯水温度为60±2℃，清洗方式为逆流漂洗；
步骤3)：纯水清洗后对母线基体进行酸洗活化，酸洗液浓度为氨基磺酸30～60g/L，酸洗时间为3～10秒；
步骤4)：酸洗后对母线基体进行纯水清洗，纯水温度为常温，清洗方式为逆流漂洗。
所述步骤(2)预镀，在经过表面处理后的母线基体上电镀一层镍镀层，从而提高金刚线镀层间的结合力，增强后道上砂工艺的上砂效果。
进一步，所述步骤(2)预镀过程使用的预镀电镀液为氨基磺酸镍型电镀液，其中氨基磺酸镍400～600g/L，硼酸20～40g/L，氯化镍10～20g/L，pH值3.5～5.0，预镀电镀液工作温度为50～60℃。
进一步，所述步骤(2)预镀过程的电流密度为2～16A/dm2，预镀镍镀层厚度为0.2～1μm，预镀镍镀层硬度为100～200HV。
所述步骤(3)上砂，母线基体表面预镀镍后进入上砂工序，将经过改性处理的金刚石微粉均匀、牢靠地固定在母线表面。母线浸没在悬浮有金刚石微粉的上砂电镀液中，利用复合电镀原理将金刚石微粉固定在母线上。
进一步，所述步骤(3)上砂过程使用的上砂电镀液为氨基磺酸镍型电镀液，其中氨基磺酸镍400～600g/L，硼酸20～40g/L，氯化镍10～20g/L，pH值4.0～5.0，电镀液工作温度为50～60℃。
进一步，所述步骤(3)上砂电镀液在使用前经过磁化处理，具体是利用泵浦将电镀液从储液槽抽出，由管道通过磁化处理设备进行磁化处理，处理完成后经管道进入另一个储液槽备用。
进一步，所述步骤(3)上砂过程的电流密度为5～20A/dm2，上砂镍镀层厚度为0.8～2μm，上砂镍镀层硬度为300～400HV。
进一步，所述步骤(3)上砂过程使用的金刚石微粉粒度为5～14μm，径距小于0.6。
所述步骤(4)加厚，在固定有金刚石微粉的母线上继续电镀一层镍镀层，使金刚石微粉固定更加牢靠。
进一步，所述步骤(4)加厚过程使用的加厚电镀液为氨基磺酸镍型电镀液，其中氨基磺酸镍400～600g/L，硼酸20～40g/L，氯化镍10～20g/L，pH值3.5～5.0，加厚电镀液工作温度为50～60℃。
进一步，所述步骤(4)加厚过程的电流密度为5～25A/dm2，加厚镍镀层厚度为1～2μm，加厚镍镀层硬度为300～500HV。
所述步骤(5)后处理，包括金刚线清洗烘干和时效处理。
进一步，所述步骤(5)后处理过程中对金刚线清洗包括以下步骤：首先，对金刚线进行纯水清洗，纯水温度为60±2℃，清洗方法为逆流漂洗；其次，对金刚线进行烘干处理，清除金刚线水洗后表面残留的水分，烘干温度为150℃～300℃。
进一步，所述步骤(5)后处理过程中时效处理采用鼓风加热方式，时效处理温度为60～150℃，时效处理时间为5～20小时。
与现有技术相比，本发明的有益效果为：
1、本发明特别对电镀液进行磁化处理，通过泵浦、管道、磁化处理设备的相互配合完成对电镀液的磁化处理，有效提高了电镀液性能，得到的镀层组织更加致密，可以提高金刚线镀层与母线的结合力。
2、本发明选用的金刚石微粉粒度为5～14μm，径距小于0.6，微粉集中度高，制成的金刚线可将线径波动控制在3μm以内，有利于降低切割光伏大尺寸硅片的TTV值。
3、本发明对金刚石微粉做改性处理，有效降低了微粉粘连团聚概率，有利于金刚线表面金刚石微粉的均匀分布，提高了金刚线的稳定性，有利于降低切割光伏大尺寸硅片的线痕率。
4、本发明对金刚线镀层厚度进行优化调整，电镀三层镍镀层，预镀镀层厚度0.2～1μm，上砂镀层厚度0.8～2μm，加厚镀层厚度1～2μm，金刚石微粉固定更加牢固，有效提高了金刚线对金刚石微粉的把持力。
5、本发明对制成的金刚线进行时效处理，降低了金刚线的内应力，增强了金刚线的韧性，可以降低切割光伏大尺寸硅片的断线率。
6、使用本发明制成的金刚线在切割光伏大尺寸硅片时，可以把线痕、TTV不良比例控制在0.5％～4％，切片良品率不低于97％，实现了光伏大尺寸硅片的稳定切割。
附图说明
图1为本发明的金刚线制造工艺流程图；
图2为本发明的金刚线制造装置示意图；
图中：1-母线，2-除油槽，3-一号水洗槽，4-酸洗槽，5-二号水洗槽，6-预镀槽，7-上砂槽，8-加厚槽，9-三号水洗槽，10-烘干槽。
具体实施方式
下面结合附图对本发明一种切割光伏大尺寸硅片用金刚线的制造方法做进一步详细的说明。
实施例1
如图1所示，本实施例提供一种切割光伏大尺寸硅片用金刚线的制造方法，包括以下步骤：(1)前处理，对金刚石微粉和母线进行处理；(2)预镀，在母线表面电镀一层镍镀层；(3)上砂，利用复合电镀原理将金刚石微粉固定在母线上；(4)加厚，继续电镀镍镀层使金刚石微粉固定牢靠；(5)后处理，对制成的金刚线进行清洗和时效处理。
其中，步骤(1)中对金刚石微粉处理为对金刚石微粉做改性处理，可以提高金刚石微粉的上砂能力，降低金刚石微粉的粘连团聚概率。具体处理方法包括：首先将镀覆有高磷镍层的金刚石微粉放入80±5℃纯水中，机械搅拌30分钟，并用超声波辅助清洗，金刚石微粉与纯水比例为1kg:3L；然后将得到的金刚石微粉放入苯酚磺酸钠浓度为3wt％的分散剂溶液中，机械搅拌30分钟，金刚石微粉与溶液比例为1kg:3L，溶液温度为80±5℃；最后将上一步得到的金刚石微粉放入电镀液中机械搅拌2小时，电镀液的组分为氨基磺酸镍550g/L，硼酸20g/L，氯化镍15g/L，pH值为3.2，电镀液温度为60±5℃，金刚石微粉与电镀液比例为1kg:2L，改性处理完成。该处理方法中，金刚石微粉表面高磷镍层的磷含量为12wt％，镀覆方法为化学镀。另外，该处理方法中还可以使用的分散剂有羟基丙烷磺酸吡啶嗡盐或羧甲基纤维素钠。
如图2所示，本发明的金刚线制造装置示意图，金刚线制造装置包括除油槽2、一号水洗槽3、酸洗槽4、二号水洗槽5、预镀槽6、上砂槽7、加厚槽8、三号水洗槽9、烘干槽10。金刚线制造时，母线1依次通过除油槽2、一号水洗槽3、酸洗槽4、二号水洗槽5进行表面处理。除油槽2中的除油液浓度为4wt％，温度为70±2℃，除油时间为20秒。酸洗槽4使用氨基磺酸作酸洗液，氨基磺酸浓度为50g/L，酸洗时间为10秒。一号水洗槽3和二号水洗槽5均使用纯水进行逆流漂洗，其中一号水洗槽3的水洗温度为60±2℃，二号水洗槽5的水洗温度为常温。
母线1经过表面处理后进入预镀槽6，在母线1表面电镀一层厚度为0.6μm的预镀镍层，预镀电流密度为10A/dm2，预镀镍镀层硬度为150HV。使用的预镀电镀液为氨基磺酸镍型电镀液，其中氨基磺酸镍500g/L，硼酸20g/L，氯化镍10g/L，pH值4.3，电镀液工作温度为55±5℃。
母线1经过预镀后进入上砂槽7，利用复合电镀原理将粒度为8.2μm、径距为0.56的金刚石微粉固定在母线上。上砂电流密度为10A/dm2，上砂镍镀层厚度为1.2μm，上砂镍镀层硬度为350HV。上砂使用的电镀液为氨基磺酸镍型电镀液，在使用前经过磁化处理，镀液组分为氨基磺酸镍550g/L，硼酸30g/L，氯化镍12g/L，pH值4.6，电镀液工作温度为55±5℃。该步骤中，上砂电镀液磁化是利用泵浦将电镀液从储液槽抽出，由管道通过磁化处理设备进行磁化处理，处理完成后经管道进入另一个储液槽备用。
母线1经过上砂后进入加厚槽8，电镀一层加厚镍镀层实现对金刚石微粉的进一步加固。加厚使用的电流密度为15A/dm2，加厚镍镀层厚度为1.6μm，加厚镍镀层硬度为450HV。加厚电镀液为氨基磺酸镍型电镀液，其中氨基磺酸镍550g/L，硼酸30g/L，氯化镍15g/L，pH值4.3，电镀液工作温度为55±5℃。
母线1经过加厚后依次通过三号水洗槽9、烘干槽10进行后处理。三号水洗槽9使用纯水进行逆流漂洗，水洗温度为60±2℃。烘干槽10使用加热管对金刚线进行烘干处理，烘干温度为250℃。
最后对烘干后制成的金刚线用鼓风加热方式做时效处理，时效处理的温度为80℃，处理时间为10小时。
实施例2
如图1所示，本实施例提供一种切割光伏大尺寸硅片用金刚线的制造方法，包括以下步骤：(1)前处理，对金刚石微粉和母线进行处理；(2)预镀，在母线表面电镀一层镍镀层；(3)上砂，利用复合电镀原理将金刚石微粉固定在母线上；(4)加厚，继续电镀镍镀层使金刚石微粉固定牢靠；(5)后处理，对制成的金刚线进行清洗和时效处理。
其中，步骤(1)中对金刚石微粉处理为对金刚石微粉做改性处理，可以提高金刚石微粉的上砂能力，降低金刚石微粉的粘连团聚概率。具体处理方法包括：首先将镀覆有高磷镍层的金刚石微粉放入80±5℃纯水中，机械搅拌30分钟，并用超声波辅助清洗，金刚石微粉与纯水比例为1kg:3L；然后将得到的金刚石微粉放入苯酚磺酸钠浓度为4wt％的分散剂溶液中，机械搅拌30分钟，金刚石微粉与溶液比例为1kg:3L，溶液温度为80±5℃；最后将上一步得到的金刚石微粉放入电镀液中机械搅拌2小时，电镀液的组分为氨基磺酸镍500g/L，硼酸20g/L，氯化镍15g/L，pH值为3.5，电镀液温度为60±5℃，金刚石微粉与电镀液比例为1kg:2L，改性处理完成。该处理方法中，金刚石微粉表面高磷镍层的磷含量为12wt％，镀覆方法为化学镀。另外，该处理方法中还可以使用的分散剂有羟基丙烷磺酸吡啶嗡盐或羧甲基纤维素钠。
如图2所示，本发明的金刚线制造装置示意图，金刚线制造装置包括除油槽2、一号水洗槽3、酸洗槽4、二号水洗槽5、预镀槽6、上砂槽7、加厚槽8、三号水洗槽9、烘干槽10。金刚线制造时，母线1依次通过除油槽2、一号水洗槽3、酸洗槽4、二号水洗槽5进行表面处理。除油槽2中的除油液浓度为4.5wt％，温度为70±2℃，除油时间为25秒。酸洗槽4使用氨基磺酸作酸洗液，氨基磺酸浓度为50g/L，酸洗时间为15秒。一号水洗槽3和二号水洗槽5均使用纯水进行逆流漂洗，其中一号水洗槽3的水洗温度为60±2℃，二号水洗槽5的水洗温度为常温。
母线1经过表面处理后进入预镀槽6，在母线1表面电镀一层厚度为0.6μm的预镀镍层，预镀电流密度为12A/dm2，预镀镍镀层硬度为150HV。使用的预镀电镀液为氨基磺酸镍型电镀液，其中氨基磺酸镍600g/L，硼酸25g/L，氯化镍20g/L，pH值4.0，电镀液工作温度为55±5℃。
母线1经过预镀后进入上砂槽7，利用复合电镀原理将粒度为7.8μm、径距为0.52的金刚石微粉固定在母线上。上砂电流密度为8A/dm2，上砂镍镀层厚度为1.5μm，上砂镍镀层硬度为300HV。上砂使用的电镀液为氨基磺酸镍型电镀液，在使用前经过磁化处理，镀液组分为氨基磺酸镍500g/L，硼酸30g/L，氯化镍12g/L，pH值4.6，电镀液工作温度为55±5℃。该步骤中，上砂电镀液磁化是利用泵浦将电镀液从储液槽抽出，由管道通过磁化处理设备进行磁化处理，处理完成后经管道进入另一个储液槽备用。
母线1经过上砂后进入加厚槽8，电镀一层加厚镍镀层实现对金刚石微粉的进一步加固。加厚使用的电流密度为15A/dm2，加厚镍镀层厚度为2μm，加厚镍镀层硬度为400HV。加厚电镀液为氨基磺酸镍型电镀液，其中氨基磺酸镍550g/L，硼酸30g/L，氯化镍15g/L，pH值4.3，电镀液工作温度为55±5℃。
母线1经过加厚后依次通过三号水洗槽9、烘干槽10进行后处理。三号水洗槽9使用纯水进行逆流漂洗，水洗温度为60±2℃。烘干槽10使用加热管对金刚线进行烘干处理，烘干温度为300℃。
最后对烘干后制成的金刚线用鼓风加热方式做时效处理，时效处理的温度为100℃，处理时间为12小时。
实施例3
如图1所示，本实施例提供一种切割光伏大尺寸硅片用金刚线的制造方法，包括以下步骤：(1)前处理，对金刚石微粉和母线进行处理；(2)预镀，在母线表面电镀一层镍镀层；(3)上砂，利用复合电镀原理将金刚石微粉固定在母线上；(4)加厚，继续电镀镍镀层使金刚石微粉固定牢靠；(5)后处理，对制成的金刚线进行清洗和时效处理。
其中，步骤(1)中对金刚石微粉处理为对金刚石微粉做改性处理，可以提高金刚石微粉的上砂能力，降低金刚石微粉的粘连团聚概率。具体处理方法包括：首先将镀覆有高磷镍层的金刚石微粉放入80±5℃纯水中，机械搅拌30分钟，并用超声波辅助清洗，金刚石微粉与纯水比例为1kg:3L；然后将得到的金刚石微粉放入苯酚磺酸钠浓度为5wt％的分散剂溶液中，机械搅拌30分钟，金刚石微粉与溶液比例为1kg:3L，溶液温度为80±5℃；最后将上一步得到的金刚石微粉放入电镀液中机械搅拌2小时，电镀液的组分为氨基磺酸镍600g/L，硼酸20g/L，氯化镍15g/L，pH值为3.0，电镀液温度为60±5℃，金刚石微粉与电镀液比例为1kg:2L，改性处理完成。该处理方法中，金刚石微粉表面高磷镍层的磷含量为14wt％，镀覆方法为化学镀。另外，该处理方法中还可以使用的分散剂有羟基丙烷磺酸吡啶嗡盐或羧甲基纤维素钠。
如图2所示，本发明的金刚线制造装置示意图，金刚线制造装置包括除油槽2、一号水洗槽3、酸洗槽4、二号水洗槽5、预镀槽6、上砂槽7、加厚槽8、三号水洗槽9、烘干槽10。金刚线制造时，母线1依次通过除油槽2、一号水洗槽3、酸洗槽4、二号水洗槽5进行表面处理。除油槽2中的除油液浓度为5wt％，温度为70±2℃，除油时间为15秒。酸洗槽4使用氨基磺酸作酸洗液，氨基磺酸浓度为60g/L，酸洗时间为5秒。一号水洗槽3和二号水洗槽5均使用纯水进行逆流漂洗，其中一号水洗槽3的水洗温度为60±2℃，二号水洗槽5的水洗温度为常温。
母线1经过表面处理后进入预镀槽6，在母线1表面电镀一层厚度为0.3μm的预镀镍层，预镀电流密度为5A/dm2，预镀镍镀层硬度为100HV。使用的预镀电镀液为氨基磺酸镍型电镀液，其中氨基磺酸镍450g/L，硼酸30g/L，氯化镍10g/L，pH值3.8，电镀液工作温度为55±5℃。
母线1经过预镀后进入上砂槽7，利用复合电镀原理将粒度为7.5μm、径距为0.50的金刚石微粉固定在母线上。上砂电流密度为13A/dm2，上砂镍镀层厚度为1.5μm，上砂镍镀层硬度为400HV。上砂使用的电镀液为氨基磺酸镍型电镀液，在使用前经过磁化处理，镀液组分为氨基磺酸镍600g/L，硼酸40g/L，氯化镍20g/L，pH值4.5，电镀液工作温度为55±5℃。该步骤中，上砂电镀液磁化是利用泵浦将电镀液从储液槽抽出，由管道通过磁化处理设备进行磁化处理，处理完成后经管道进入另一个储液槽备用。
母线1经过上砂后进入加厚槽8，电镀一层加厚镍镀层实现对金刚石微粉的进一步加固。加厚使用的电流密度为20A/dm2，加厚镍镀层厚度为2μm，加厚镍镀层硬度为500HV。加厚电镀液为氨基磺酸镍型电镀液，其中氨基磺酸镍600g/L，硼酸40g/L，氯化镍20g/L，pH值4.0，电镀液工作温度为55±5℃。
母线1经过加厚后依次通过三号水洗槽9、烘干槽10进行后处理。三号水洗槽9使用纯水进行逆流漂洗，水洗温度为60±2℃。烘干槽10使用加热管对金刚线进行烘干处理，烘干温度为200℃。
最后对烘干后制成的金刚线用鼓风加热方式做时效处理，时效处理的温度为120℃，处理时间为8小时。
上述三个实施例制造金刚线切割210mm尺寸硅片的实验结果如表1所示。
表1实施例1-3中制造金刚线的实验结果
实施例 母线直径 切割断线率 线痕/TTV率 良品率
1 60μm 0.97％ 1.03％ 97.86％
2 60μm 0.63％ 0.76％ 98.74％
3 60μm 1.04％ 2.32％ 97.33％
使用本发明制造的金刚线结合力和切割力更强、线体韧性强度更高、线径一致性更好，在切割光伏大尺寸大硅片时可以把线痕、TTV不良比例控制在0.5％～4％，切片良品率不低于97％。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种切割光伏大尺寸硅片用金刚线的制造方法，其特征在于，该制造方法包括以下步骤：
步骤（1）前处理，对金刚石微粉和母线进行处理；
步骤（2）预镀，在母线表面电镀一层镍镀层；
步骤（3）上砂，利用复合电镀原理将金刚石微粉固定在母线上；
步骤（4）加厚，继续电镀镍镀层使金刚石微粉固定牢靠；
步骤（5）后处理，对制成的金刚线进行清洗和时效处理。
2.根据权利要求1所述的切割光伏大尺寸硅片用金刚线的制造方法，其特征在于，所述步骤（1）中对金刚石微粉处理的步骤包括：
步骤①：将镀覆有高磷镍层的金刚石微粉放入80±5℃纯水中，机械搅拌30分钟，并用超声波辅助清洗，金刚石微粉与纯水比例为1kg:3L；该步骤中，金刚石微粉表面高磷镍层的磷含量为10wt%~15wt%，镀覆方法为化学镀；
步骤②：将步骤①得到的金刚石微粉放入分散剂浓度为2wt%~5wt%的溶液中，机械搅拌30分钟，金刚石微粉与溶液比例为1kg:3L，溶液温度为80±5℃；
步骤③：将步骤②得到的金刚石微粉放入电镀液中机械搅拌2小时，电镀液温度为60±5℃，金刚石微粉与电镀液比例为1kg:2L。该步骤中，所述电镀液的组分为氨基磺酸镍500~600g/L，硼酸15~25g/L，氯化镍10~20g/L，pH值为3.0~4.0。
3.根据权利要求1所述的切割光伏大尺寸硅片用金刚线的制造方法，其特征在于，所述母线处理包括：
步骤1）：对母线基体做化学除油，除油液浓度为3wt%~5wt%，温度为70±2℃，除油时间5~40秒；
步骤2）：化学除油后对母线基体进行纯水清洗，纯水温度为60±2℃，清洗方式为逆流漂洗；
步骤3）：纯水清洗后对母线基体进行酸洗活化，酸洗液浓度为氨基磺酸30~60g/L，酸洗时间为3~10秒；
步骤4）：酸洗后对母线基体进行纯水清洗，纯水温度为常温，清洗方式为逆流漂洗。
4.根据权利要求1所述的切割光伏大尺寸硅片用金刚线的制造方法，其特征在于，所述步骤（2）预镀过程使用的预镀电镀液为氨基磺酸镍型电镀液，其中氨基磺酸镍400~600g/L，硼酸20~40g/L，氯化镍10~20g/L，pH值3.5~5.0，预镀电镀液工作温度为50~60℃，预镀过程的电流密度为2~16A/dm2，预镀镍镀层厚度为0.2~1μm，预镀镍镀层硬度为100~200HV。
5.根据权利要求1所述的切割光伏大尺寸硅片用金刚线的制造方法，其特征在于，所述步骤（3）上砂过程使用的上砂电镀液为氨基磺酸镍型电镀液，其中氨基磺酸镍400~600g/L，硼酸20~40g/L，氯化镍10~20g/L，pH值4.0~5.0，电镀液工作温度为50~60℃，上砂过程的电流密度为5~20A/dm2，上砂镍镀层厚度为0.8~2μm，上砂镍镀层硬度为300~400HV。
6.根据权利要求1所述的切割光伏大尺寸硅片用金刚线的制造方法，其特征在于，所述步骤（3）上砂电镀液在使用前经过磁化处理，具体是利用泵浦将电镀液从储液槽抽出，由管道通过磁化处理设备进行磁化处理，处理完成后经管道进入另一个储液槽备用。
7.根据权利要求1所述的切割光伏大尺寸硅片用金刚线的制造方法，其特征在于，所述步骤（3）上砂过程使用的金刚石微粉粒度为5~14μm，径距小于0.6。
8.根据权利要求1所述的切割光伏大尺寸硅片用金刚线的制造方法，其特征在于，所述步骤（4）加厚过程使用的加厚电镀液为氨基磺酸镍型电镀液，其中氨基磺酸镍400~600g/L，硼酸20~40g/L，氯化镍10~20g/L，pH值3.5~5.0，加厚电镀液工作温度为50~60℃，加厚过程的电流密度为5~25A/dm2，加厚镍镀层厚度为1~2μm，加厚镍镀层硬度为300~500HV。
9.根据权利要求1所述的切割光伏大尺寸硅片用金刚线的制造方法，其特征在于，所述步骤（5）后处理过程中对金刚线清洗包括以下步骤：首先，对金刚线进行纯水清洗，纯水温度为60±2℃，清洗方法为逆流漂洗；其次，对金刚线进行烘干处理，清除金刚线水洗后表面残留的水分，烘干温度为150℃~300℃；所述步骤（5）后处理过程中时效处理采用鼓风加热方式，时效处理温度为60~150℃，时效处理时间为5~20小时。
10.一种根据权利要求1至9所述的切割光伏大尺寸硅片用金刚线的制造方法制造的金刚线。
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