CN111620294B

CN111620294B - 组合式泵-传感器布置

Info

Publication number: CN111620294B
Application number: CN202010128483.9A
Authority: CN
Inventors: 克里斯托夫·库特; 尤塞尔·康加尔; 西格弗里德·勒尔; 马丁·里克特
Original assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Current assignee: Fraunhofer Gesellschaft zur Forderung der Angewandten Forschung eV
Priority date: 2019-02-28
Filing date: 2020-02-28
Publication date: 2024-02-06
Anticipated expiration: 2040-02-28
Also published as: US11486381B2; CN111620294A; DE102019202722A1; US20200277948A1; DE102019202722B4

Abstract

本发明涉及一种组合式泵‑传感器布置，包括具有第一主表面和相对的第二主表面的基板。限定包括测量腔的封装件的封装盖被布置在基板的第一主表面上。附加地，泵‑传感器布置包括微型泵，微型泵包括泵入口和泵出口，微型泵被配置为通过泵入口吸入存在于测量腔中的分析物流体并且经由泵出口将分析物流体排出到测量腔外部的环境。此外，泵‑传感器布置包括用于检测存在于测量腔中并且通过微型泵可移动的分析物流体的至少一种组分的传感器。根据本发明，传感器和微型泵两者被共同布置在基板的第一主表面上并且在测量腔内。

Description

组合式泵-传感器布置

技术领域

本发明涉及一种组合式泵-传感器布置，其中微型泵和传感器共同集成在封装件中，特别地涉及一种用于在共同的封装件中使泵辅助传感器小型化的概念。

背景技术

当今，已知用于检测各种分析物的多个不同的传感器。这些传感器有，例如气体传感器、湿度传感器、细粉尘传感器以及更多，其中当今特别强调这些传感器的便携性。对便携式通信设备(如智能电话、可穿戴设备等)配备这些传感器是当今努力的示例。这里，传感器应尽可能小。

出于小型化的目的，常规传感器可以通过扩散来操作。这里，传感器被布置在包括开口的传感器封装件中，待测介质(即分析物)可以通过该开口借助扩散而扩散到传感器封装件中。然而，分析物从环境自然扩散到传感器封装件中可能部分地需要花费很长的时间，这就是这不能令人满意的原因，特别是在测量结果易于获得的情况下。

缓慢的扩散可以由更快的对流代替。这里，通常提供将分析物泵入传感器封装件并传向感器的泵。当使用与一个或多个气体传感器或细粉尘传感器连接的泵，以比自然扩散更快地将分析物传送到传感器并且从传感器中排出时，先前的传统解决方案需要泵和传感器、以及需要适当布置的气体通道和电子端子。就这点而言，已知技术提供将通过连接器、管和/或毛细管连接的传感器和泵。然而这样的布置太大、太昂贵，使得不可能将它们集成到智能手机或类似的便携式应用中。

因此，期望改进现有的传感器设备，在于容易获得测量结果，并且同时，传感器设备的封装件可以制造得尽可能小且便宜。

发明内容

因此，提出了一种组合式泵-传感器布置，包括：基板，所述基板包括第一主表面和相对的第二主表面；封装盖，所述封装盖被布置在基板的第一主表面上，限定包括测量腔的封装件；微型泵，所述微型泵包括泵入口和泵出口，所述微型泵被配置为通过泵入口吸入存在于测量腔中的分析物流体并且经由泵出口将所述分析物流体排出到测量腔外部的环境；以及传感器，所述传感器用于检测存在于测量腔中并且通过微型泵可移动的分析物流体的至少一种组分，其中，传感器和微型泵两者被布置在基板的第一主表面上并且在测量腔内。实施例和其他有利方面是各个从属权利要求的主题。

本发明的组合式泵-传感器布置包括基板，所述基板包括第一主表面和相对的第二主表面。限定包括测量腔的封装件的封装盖被布置在基板的第一主表面上。这意味着封装件内的空间或体积限定测量腔。测量腔是存在于环境中的分析物(优选地，流体)可以流入到其中的腔，使得分析物然后位于腔或测量腔内。组合式泵-传感器布置还包括微型泵，微型泵包括泵入口和泵出口。微型泵被配置为通过泵入口吸入存在于测量腔中的分析物流体并且经由泵出口将分析物流体再次排出到测量腔外部的环境。组合式泵-传感器布置还包括用于检测存在于测量腔中并且通过微型泵可移动的分析物流体的至少一种组分的传感器。分析物流体例如可以是环境空气，并且分析物流体的组分可以例如是二氧化氮NO₂。传感器对分析物流体的该组分起反应，并且相应地被配置为检测分析物流体的该至少一种组分，并且可选地确定其在分析物流体中的体积份额。根据本发明，传感器和微型泵两者被布置在基板的第一主表面上并且在封装盖内。这意味着，在本发明的组合式泵-传感器布置中，微型泵直接集成到传感器封装件中。

附图说明

在附图中示例性地示出一些实施例，并且将在下面进行解释，其中：

图1是根据一个实施例的组合式泵-传感器布置的示意性截面侧视图，

图2是根据另一实施例的组合式泵-传感器布置的示意性截面侧视图，

图3是根据另一实施例的组合式泵-传感器布置的示意性截面侧视图，

图4是根据另一实施例的组合式泵-传感器布置的示意性截面侧视图，

图5是根据另一实施例的组合式泵-传感器布置的示意性截面侧视图，

图6是根据另一实施例的组合式泵-传感器布置的示意性截面侧视图，

图7是根据另一实施例的组合式泵-传感器布置的示意性截面侧视图，

图8是根据另一实施例的组合式泵-传感器布置的示意性截面侧视图，以及

图9是根据另一实施例的组合式泵-传感器布置的示意性截面侧视图。

随后，将参考附图更详细地描述实施例，其中具有相同或相似功能的元件被提供有相同的附图标记。

具体实施方式

气体传感器被部分地描述为传感器的非限制性示例。然而传感器原则上可以是任何其他传感器，如液体传感器或固体传感器。此外，将气体描述为流体的非限制性示例。然而流体也可以是液体。附加地，细粉尘被提及为分析物流体的组分的非限制性示例。然而，应理解的是，分析物流体的其他组分，如气体混合物中的某些单独的气体组分或挥发性有机化合物VOC，例如，也可以是分析物流体的组分。

图1示出组合式泵-传感器布置100的示例。组合式泵-传感器布置100包括基板10，基板10包括第一主表面11和相对的第二主表面12。基板10例如可以被实施为PCB(印刷电路板)或至少部分柔性的箔基板。

优选地被实施为帽的封装盖13被布置在基板10的第一主表面11上。封装盖13与下面的基板10结合限定具有测量腔14的封装件。

此外，组合式泵-传感器布置100包括微型泵15。微型泵15可以包括在每分钟几毫升的范围内的输送速率。微型泵15可以例如被实施为MEMS(微机电系统)微型泵。在一些实施例中，微型泵15可以包括4×4mm²或更小的横向尺寸。

微型泵15可以示例性地是半导体微型泵，如硅微型泵，其泵主体15a基本上由相应的半导体材料组成。附加地，微型泵15可以被实施为隔膜泵，其中被布置为在泵主体15a处可移动的隔膜可以通过适当的偏转来提供泵致动效果。隔膜可以示例性地通过压电元件15b移动。

微型泵15包括泵入口16和泵出口17。微型泵15被配置为通过泵入口16吸入存在于测量腔14中的分析物流体并且经由泵出口17将其排出到测量腔14外部的环境18。这通过使用虚线箭头19被示例性地示出，该虚线箭头19象征分析物流体通过激活的微型泵15流过测量腔14的路径。

因此，移动的分析物流体的至少一部分流过传感器20。传感器20被配置为检测存在于测量腔14内并且通过微型泵可移动的分析物流体的至少一种组分。存在于测量腔14中的分析物流体可以例如是待分析或待检测的气体，其中传感器20可以相应地被配置为气体传感器。

根据本发明，传感器20和微型泵15两者被布置在基板10的第一主表面11上并且在封装盖13内。这允许实现微型泵15和传感器20在组合式泵-传感器布置100内特别紧凑的布置。

优选地，微型泵15可以无支撑地被布置在基板10的第一主表面11上。这意味着微型泵15不会被布置在单独的基板上，如支撑板或PCB(印刷电路板)，例如，支撑板或PCB又会被布置在组合式泵-传感器布置100的实际基板10上。反而，微型泵15被直接布置在基板10上。示例性实施例提供将微型泵15直接焊接或胶粘到基板10上。当将微型泵15直接放置在基板10上时，通过省略额外的支撑，在高度方面，可以节省大约150μm或更大。

可替换地或附加地，微型泵15可以被实施为没有管。如前所提及的，在现有技术中提供了管和其他流体导体，以便将泵连接到传感器，从而可以引导流体经过传感器。然而，流体导体需要大量空间，这阻碍了所追求的小型化。然而，可以在没有管或流体导体的情况下实施在本发明的泵-传感器布置100中采用的微型泵15，从而节省空间并允许相应的小型化。

图2示出组合式泵-传感器布置100的另一示例。除了图1所示的示例之外，封装盖13可以包括限定流体入口的开口22，分析物流体可以通过该开口22从环境18流入测量腔14中，其中开口22被布置为与传感器20相对。这是有利的，因为分析物流体通过微型泵15产生的对流而流入测量腔14，这与自然扩散相比速度要快得多。分析物流体实际上通过流体入口开口22被吸入到测量腔14中。由于开口22被布置为与传感器20相对，因此被吸入的分析物流体有利地流过传感器20而没有明显的绕道。

具有提供在其中的开口22的封装盖13可以是例如所谓的开放腔盖或开放金属盖。示例性地，封装盖13可以包括金属。可替换地，封装盖13可以包括塑料并且可选地在其内侧上包括金属化。可替换地，封装盖13可以作为通过模塑制造的塑料封装件而存在，其中这种变型也被称为开放腔模塑封装件。

优选地，封装盖13可以以流体密封的方式布置在基板10的第一主表面11上。因此，利用微型泵15的活动，没有通过封装盖13和基板10之间的连接区域中潜在的泄漏而吸入泄漏的空气。微型泵15的输送速率因此主要集中在通过流体入口开口22从环境18将分析物流体吸入到测量腔14中。

基板10可以包括限定流体出口的开口23。因此，由微型泵15从泵出口17排出的分析物流体可以通过该流体出口开口23从测量腔14排出回到环境18。形成在基板10中的出口开口23可以流体地并且优选地以流体密封的方式连接或耦合到泵出口17。

如在图2中也示例性地指示的，可以提供其他部件21。其他部件21可以例如包括其他传感器和/或电子电路。电子电路21可以例如包括用于驱动和/或读出传感器20和/或产生微型泵15的工作电压的电子设备。电子电路21可以例如包括ASIC(专用集成电路)。

如前所提及的，微型泵15可以无支撑地被布置在基板10上。在这里示出的实施例中，微型泵15可以通过间隔件24附接为与基板10的第一主表面11间隔开，从而在微型泵15和基板10的第一主表面11之间形成流体通道25，该流体通道在测量腔14和泵入口16之间横向延伸，并且流体地连接测量腔14和泵入口16。分析物流体可以通过流体通道25被吸入。

如图2中示例性地示出的，间隔件24可以例如围绕流体出口开口23布置。可替换地或另外地，可以提供若干间隔件，微型泵15通过该些间隔件被布置为与基板10的第一主表面11间隔开。

由于这种间隔布置，结果是基板10的第一主表面11和微型泵15的下侧(面对基板100的第一主表面11的侧)之间的前述流体通道25。因此，在图2中由附图标记d表征的间隔的测量基本上对应于流体通道25的高度，这又可以取决于间隔件24的高度。这意味着可以通过改变间隔件24的高度来限定流体通道25以及标定尺寸。

图3示出组合式泵-传感器布置100的另一示例的稍微更详细的视图。在此，在微型泵15活动的情况下，由分析物流体覆盖的路径由虚线箭头19指示并表征。可以认识到，分析物流体通过流体入口开口22从环境18被吸入，由此分析物流体流入测量腔14。在测量腔14内，分析物流体通过流体通道25流到泵入口16，并且流到微型泵15的泵室15c中。从泵室15c，被吸入的分析物流体流向泵出口17，再通过流体出口开口23从泵出口17排出到环境18。

泵入口16可以包括入口阀31。入口阀31可以是单向阀，其在分析物流体的流动方向19上打开并且允许分析物流体进入泵室15c并且阻止流体在与流动方向19相反的方向上流动，以防止分析物流体从与指示的流动方向19相反的方向离开泵室15c。

可替换地或附加地，泵出口17可以包括出口阀32。出口阀32可以是单向阀，其在分析物流体的流动方向19上打开并且允许分析物流体离开泵室15c，并且阻止流体在相反的方向上流动，以防止分析物流体从与指示的流动方向19相反的方向进入环境18。

在测量腔14内，布置在其中的各个元件，如传感器20和微型泵15，例如，以及可选的其他部件21(如传感器、电路)可以电连接到基板10。这里，例如可以使用接合线33。接合线33可以示例性地用于接触微型泵15和/或压电元件15b。

可以在基板10的第二主表面12上附加地提供一个或数个电触点34。这些电触点可以用于外部接触被布置在测量腔14内的元件15、20、21，其中例如可以提供延伸穿过基板10的通孔(未明确示出)。

图4示出组合式泵-传感器布置100的另一示例。该实施例基本上类似于参考图3讨论的实施例，但是不同之处在于，封装盖13中的开口22被提供在不同的位置处。

尽管在图3所示的实施例中，限定流体入口的开口22形成在封装盖13的上侧(背对基板10的表面)，但是在图4所示的实施例中，开口22被布置在封装盖13的横向圆周侧壁上。然而，在两种情况下，各自的开口22被布置为邻近传感器20。因此，吸入的分析物流体优选地直接流过传感器20。

图5示出组合式泵-传感器布置100的另一示例。可替换地或除了如上所述的封装盖13中的流体入口开口22之外，可以在基板10中提供流体入口开口22。

这里，基板10示例性地包括完全延伸穿过基板10的开口22，开口22限定流体入口，分析物流体可以通过流体入口从环境18流入测量腔14。这里，传感器20在流体流动方向19上被布置在流体入口22和泵入口16之间。这意味着吸入的分析物流体优选直接流过传感器20，并且优选完全围绕传感器20。因此，该实施例为流体入口提供了最佳限定的流体引导和改进的连接方式。此外，在封装盖13中不需要开口，使得封装盖13可以以完全流体密封的方式布置在基板10上。

图6示出组合式泵-传感器布置100的另一示例。代替前述的基板10和微型泵15之间的间隔件24，泵15可以直接安装在基板10的第一主表面11上。这里，可以使用与安装传感器20和/或其他部件21相同的连接技术。示例性地，可以通过粘合剂或焊料连接将微型泵15直接安装在基板10上。

由于本实施例中的微型泵15被安装在基板10上而没有如前所提及的间隔件24，微型泵15更容易被安装在基板10上，因为没有倾斜的危险。当省略间隔件24时，也省略了由微型泵15到基板10的第一主表面11的空间间隔所导致的前述流体通道25。

在图6所示的实施例中，基板10可以替代包括被布置在第一主表面11中的凹部61，该凹部限定测量腔14和泵入口16之间的流体通道，使得分析物流体可以通过流体通道61被吸入。这意味着基板10可以包括微型泵15与基板10的第一主表面11之间的凹部61，优选地至少在泵入口16与基板的第一主表面11之间的凹部61。这里，凹部61可以横向延伸超过微型泵15的覆盖区(轮廓)，使得测量腔14和泵入口16经由凹部61彼此流体地连接。因此，凹部61在测量腔14和泵入口15之间形成流体通道，分析物流体可以通过该流体通道被吸入。

在本实施例中，除了基板10中的凹部61之外，还可以可选地存在如前所提及到的间隔件24。因此，参考图2描述的流体通道25和参考图6描述的流体通道61将形成共同的流体通道25、61。然后，该共同的流体通道可以由间隔件24的高度和/或凹部61的深度被相应地限定和标定尺寸。

图7示出在参考图6之前讨论的实施例的更详细的视图。该视图基本上对应于图3示出的实施例，然而不同之处在于，在这种情况下，微型泵15被安装在基板10上而没有任何间隔件。此外，可以在基板10的第一主表面11中识别出如前所提及到的凹部61(其限定测量腔14与泵入口16之间的流体通道)。如虚线箭头19指示的，分析物流体通过流体入口开口22从环境18流入测量腔14，并且从测量腔那里、通过形成在基板10中的流体通道61、通过泵入口16到达泵室15c。分析物流体从泵室15c流过泵出口17和随后的流体出口开口23回到环境18。

在到目前为止描述的所有实施例中，测量腔14包括所谓的死体积。死体积对应于测量腔14的总体积中必须由微型泵15递送直到分析物流体到达传感器16的那部分。测量腔14越高，死体积越大。然而死体积越小，分析物流体将更快地到达传感器16。因此，将测量腔14内的死体积保持尽可能小是有利的。

图8示出组合式泵-传感器布置10的示例，其中测量腔14内的死体积与到目前为止讨论的实施例相比被减小。正如可以认识到的，填充材料81可以被布置在测量腔14内。填充材料81填充测量腔14的总体积的一部分，使得分析物流体可以扩散的剩余体积被填充材料的部分减小。换句话说，减少测量腔14中分析物流体可以扩散的部分。

填充材料81优选地被实施为固体，使得分析物流体不能扩散通过填充材料81。填充材料81可以例如包括包含塑料的浇铸复合物。填充材料81可以例如至少部分地并且优选地完全地覆盖微型泵15和/或可选的其他部件21，如图8示出的。在一些实施例中，填充材料81可以完全覆盖测量腔14，至少除了传感器20的有效传感器区域和泵入口16之间的流体流动路径之外。通常，通过填充材料使封装件内的流体流动路径尽可能最小化。

填充材料81优选地包括柔性特性，使得尽管填充材料81被布置在其上方，微型泵15的泵隔膜仍保持可偏转。附加地，填充材料81应展示例如不影响传感器测量、无海绵效应、无脱气等的特性。

适用于本文所述的所有实施例的是，整个封装件包括结构高度H_G(H_G＝1mm或更小)，整个封装件的尺寸可以由包括基板10的厚度的封装盖13限定。可替换地或附加地，测量腔14可以包括结构间隙高度H_K(H_K＝1mm或更小)，其被限定在基板10的第一主表面11和封装盖13之间。

可替换地或附加地，封装件的由基板10的第一主表面11上的封装盖13限定的表面积可以为8×4mm²或更小。

可替换地或附加地，微型泵15可以包括4×4mm²或更小的横向尺寸。

对于本文所述的所有实施例适用的是，封装盖13与被布置为邻近封装盖13的泵隔膜之间的距离为大约20μm或更小。因此，可以确保泵隔膜在朝着封装盖13的方向上的偏转。

图9示出组合式泵-传感器布置100的另一示例。该实施例基本上对应于参考图3如前讨论的实施例，不同之处在于，组合式泵-传感器布置100被布置在系统基板90上。示例性地，组合式泵-传感器布置100可以通过基板10的第二主表面12被布置在系统基板90上。

系统基板90可以包括一个或若干凹部92，基板10的第二主表面12通过该凹部暴露。因此，一个或若干其他部件92可以通过该凹部92被布置在基板10的第二主表面12上。

可替换地或附加地，凹部92可以用于形成流体出口和/或流体入口，但也用于容纳可以用于操作传感器20或微型泵15的其他元件91。

下面将简要总结本发明的组合式泵-传感器布置100及其优点：

本文描述的概念提供了一种解决方案，该解决方案将微型泵15和传感器20容纳在很小的封装件中(例如结构高度H_G≤1mm)，以使其可以装入移动设备中。附加地，可以将表面积保持很小(示例性地小于8×4mm²)，并且可以将其集成到现代生产线中，以便达到智能手机的典型材料成本，例如(如长度：传感器<3mm，微型泵约4mm，致使总长7mm；宽约4mm，高<1mm)。

这里，微型泵15和传感器20一起被安装在封装件中。存在开放腔封装件的若干变体，例如，也用于麦克风：

a)金属帽封装件13，在所使用的基板10(如导电电路板或箔片)中具有开口22和附加开口23

b)具有或不具有金属化的塑料帽

c)“开放腔模塑封装件”——具有开口的塑料封装件和其他晶圆级封装件变体

已经参考附图以金属帽封装件(“开放金属盖LGA封装件”)为示例描述了本发明。

基板10可以例如是具有双面金属化和通孔接触的聚酰亚胺箔。

本发明构思的实施例提供了将微型泵15安装在与传感器20(或多个传感器)和相应ASIC/评估芯片21相同的基板10上。当包括间隔件24时，微型泵15可以被放置(胶合或焊接)在间隔件上，从而可以允许限定流体通道25、61并确定流体通道25、61的尺寸。

当使用本发明的组合式泵-传感器布置100时，产生以下优点：

1)不需要附加的接触板(高度节省约150μm)。

2)流体引导发生在封装件内(开放腔封装件)，不需要任何附加的高度。

3)确保泵隔膜朝顶部自由移动约15μm。

4)以防接触的方式容纳压电晶体15b处的大约60至80V的相对高的电压。

5)提出的方法适合用于制造小型化封装件的现有和潜在的未来方法。因此，它适用于生产和竞争，其中可以进一步降低成本。

6)可以满足智能手机制造商要求的1mm的结构高度。

7)可以通过封装件中填充材料81的附加被动体积使死体积(直到待测量的流体到达传感器20为止待泵送的体积)最小化。

8)该方法允许使用其他传感器21，传感器21然后可以利用相同的评估芯片。

9)可以共同使用用于传感器20和微型泵15的评估芯片和处理器，从而节省空间。

可以通过插入由塑料或不同材料制成的附加伪元件额外地减少封装件中对于待泵送流体的死体积。

附加地，本发明的组合式泵-传感器布置100可以具有特别的优势，特别是在通过吸收层从环境吸收气体分子的化学传感器中。例如，常规的金属氧化物传感器需要加热循环，以便再次解吸吸收的气体分子，并为下一个吸收循环再生成金属氧化物层。解吸的分子积聚在传感器20的封装件中。在常规传感器中，收集的气体分子难以通过扩散从封装件20中移除。相反，本发明的组合式泵-传感器布置100通过对流代替了扩散。因此，积聚的气体分子可以容易地从封装件中移除。

微型泵15可以以不同的方式胶合或焊接到基板10。

另一选择是类似于流体出口，经由基板中的底部开口影响流体流入。

上述实施例仅表示本发明原理的说明。应当理解的是，本文所述的布置和细节的修改和变化对于本领域的其他技术人员将是显而易见的。因此，本发明旨在仅由所附权利要求的范围来限制，而不是通过使用实施例的描述和讨论而在本文中呈现出的具体细节。

Claims

1.一种组合式泵-传感器布置（100），包括：

基板（10），所述基板（10）包括第一主表面（11）和相对的第二主表面（12），

封装件的帽状盖（13），所述盖（13）被布置在基板（10）的第一主表面（11）上，所述盖（13）形成限定中空测量腔（14）的中空部，

微型泵（15），所述微型泵（15）包括泵入口（16）和泵出口（17），所述微型泵（15）被配置为通过泵入口（16）吸入存在于测量腔（14）中的分析物流体并且经由泵出口（17）将所述分析物流体排出到测量腔（14）外部的环境（18），

传感器（20），所述传感器（20）用于检测存在于测量腔（14）中并且通过微型泵（15）可移动的分析物流体的至少一种组分，

其中，传感器（20）和微型泵（15）两者被相邻地布置在基板（10）的第一主表面（11）上并且与基板（10）的第一主表面（11）直接接触，和

其中，所述帽状盖（13）无接触地覆盖所述传感器（20）和所述微型泵（15），使得所述传感器（20）和所述微型泵（15）两者均被布置在由所述帽状盖（13）形成的所述中空测量腔（14）内部。

2.根据权利要求1所述的组合式泵-传感器布置（100），其中微型泵（15）被无任何支撑地布置在基板（10）的第一主表面（11）上。

3.根据权利要求1所述的组合式泵-传感器布置（100），其中微型泵（15）被实施为没有管。

4.根据权利要求1所述的组合式泵-传感器布置（100），其中微型泵（15）被布置为通过间隔件（24）与基板（10）的第一主表面（11）间隔开，使得在微型泵（15）和基板（10）的第一主表面（11）之间形成流体通道，所述流体通道将测量腔（14）与泵入口（16）彼此流体地连接，其中所述分析物流体能够通过所述流体通道（25）被吸入。

5.根据权利要求1所述的组合式泵-传感器布置（100），其中基板（10）包括被布置在第一主表面（11）中的凹部（61），所述凹部（61）限定测量腔（14）和泵入口（16）之间的流体通道，使得所述分析物流体能够通过所述流体通道（61）被吸入。

6.根据权利要求1所述的组合式泵-传感器布置（100），其中盖（13）包括限定流体入口的开口（22），所述分析物流体能够通过所述流体入口从环境（18）流入测量腔（14），开口（22）被布置为邻近传感器（20）。

7.根据权利要求1所述的组合式泵-传感器布置（100），其中基板（10）包括延伸完全通过基板（10）的开口（22），所述开口限定流体入口，所述分析物流体能够通过所述流体入口从环境（18）流入测量腔（14），并且其中传感器（20）在流体流动方向（19）上被布置在流体入口（22）和泵入口（16）之间。

8.根据权利要求1所述的组合式泵-传感器布置（100），其中填充材料（81）被布置在测量腔（14）内，所述填充材料（81）填充测量腔（14）总体积的至少一部分，使得测量腔（14）中所述分析物流体能够扩散的剩余体积被填充材料（81）的部分减小。

9.根据权利要求1所述的组合式泵-传感器布置（100），其中填充材料（81）包括浇铸复合物，所述浇铸复合物涂覆测量腔（14），至少除了传感器（20）的有效传感器区域和泵入口（16）之间的流体流动路径之外。

10.根据权利要求1所述的组合式泵-传感器布置（100），其中盖（13）以流体密封的方式被布置在基板（10）的第一主表面（11）上。

11.根据权利要求1所述的组合式泵-传感器布置（100），其中所述封装件具有结构高度H_G，H_G＝1 mm或更小，和/或其中测量腔（14）具有在基板（10）的第一主表面（11）与盖（13）之间的结构间隙高度H_K，H_K=1 mm或更小。

12.根据权利要求1所述的组合式泵-传感器布置（100），其中所述封装件的由基板（10）的第一主表面（11）上的盖（13）限定的表面积为8×4 mm²或更小。

13.根据权利要求1所述的组合式泵-传感器布置（100），其中微型泵（15）具有4×4 mm²或更小的横向尺寸。

14.根据权利要求1所述的组合式泵-传感器布置（100），其中微型泵（15）被实施为MEMS（微型机电系统）微型泵。

15.根据权利要求1所述的组合式泵-传感器布置（100），其中传感器（20）被配置为至少检测存在于所述分析物流体中的气体和/或固体颗粒和/或挥发性有机化合物。