CN111619024A - 一种自锁式硅片脱胶工装 - Google Patents
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Abstract
一种自锁式硅片脱胶工装，它包括下压传动杆、工装支架、安装面板和物料承载底杆，工装支架两侧设置有安装面板，物料承载底杆设置在工装支架的底部，下压传动杆设置在工装支架的顶部，下压传动杆的底部通过一自锁装置分别连接有杠杆，杠杆的一端连接在自锁装置的底部，杠杆的另一端通过杠杆支点与档杆轴心相连接，在安装面板上分别设置有档杆活动孔，档杆活动孔的位置与档杆轴心的活动位置相配合；有效地解决了由于脱胶挡片插入所导致的硅片碎片、硅片隐裂和粘胶棱面晶脱等硅片质量问题，解决了线切工序与脱胶工序的全自动下料上料对接问题，为实现全自动化对接提供可能，减少脱胶工序人员操作难度和劳动强度，降低生产工器具损耗。
Description
技术领域
本发明涉及一种硅片脱胶工装，特别涉及一种用于光伏发电的自锁式硅片脱胶工装。
背景技术
硅片是半导体和光伏领域的主要生产材料，硅片多线切割技术是目前世界上比较先进的硅片加工技术，它不同于传统的刀锯片、砂轮片等切割方式，也不同于先进的激光切割和内圆切割，它的原理是通过一根高速运动的钢线带动附着在钢丝上的切割刃料对硅棒进行摩擦，从而达到切割效果。在整个过程中，钢线通过导线轮的引导，在主辊上形成一张线网，而待加工工件通过工作台的下降实现工件的进给。硅片多线切割技术与其他技术相比有：效率高，产能高，精度高等优点，是目前采用最广泛的硅片切割技术。
硅棒切割结束后要使用脱胶机按照工艺要求对硅片与树脂板进行分离，传统的脱胶工序物料承载装置在放入切割后的硅棒后，需要人工对硅棒中插入硅片挡片，以保护硅片，防止硅片倒伏。其方法为人工手动在切割后的硅棒中每7cm掰开一定的缝隙，缓慢的插入10-12片硅片挡片，操作手法因人而异，无法保证每次操作的稳定性，易造成硅片挡片两侧碎片、隐裂、掉片等质量问题，且操作需要专人操作。
因此，特别需要一种自锁式硅片脱胶工装，以解决上述现有存在的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种自锁式硅片脱胶工装，针对现有技术的不足，具有防水、耐酸腐蚀、操作简单和重量轻等优点，满足现有阶段硅片脱胶工艺生产使用。
本发明所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：
一种自锁式硅片脱胶工装，其特征在于，它包括下压传动杆、工装支架、安装面板和物料承载底杆，所述工装支架两侧设置有安装面板，所述物料承载底杆设置在所述工装支架的底部，所述下压传动杆设置在所述工装支架的顶部，所述下压传动杆的底部通过一自锁装置分别连接有杠杆，所述杠杆的一端连接在所述自锁装置的底部，所述杠杆的另一端通过杠杆支点与档杆轴心相连接，在所述安装面板上分别设置有档杆活动孔，所述档杆活动孔的位置与所述档杆轴心的活动位置相配合。
在本发明的一个实施例中，所述下压传动杆通过下压传动杆高度调节装置与所述自锁装置相连接。
在本发明的一个实施例中，所述自锁装置上设置有自锁手动解除按钮。
在本发明的一个实施例中，所述档杆轴心的外侧设置有EPE珍珠棉轴套。
在本发明的一个实施例中，在所述安装面板上物料承载底杆的位置处设置有底杆调节孔。
在本发明的一个实施例中，在所述工装支架的两侧顶部分别设置有工装挂钩。
本发明的自锁式硅片脱胶工装，与现有技术相比，有效地解决了由于脱胶挡片插入所导致的硅片碎片、硅片隐裂和粘胶棱面晶脱等硅片质量问题，解决了线切工序与脱胶工序的全自动下料上料对接问题，为实现全自动化对接提供可能，减少脱胶工序人员操作难度和劳动强度，降低生产工器具损耗，实现本发明的目的。
本发明的特点可参阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。
附图说明
图1为本发明的自锁式硅片脱胶工装的结构示意图；
图2为本发明的自锁式硅片脱胶工装的侧面示意图。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本发明。
实施例
如图1和图2所示，本发明的自锁式硅片脱胶工装，它包括下压传动杆2、工装支架13、安装面板12和物料承载底杆5，工装支架13两侧设置有安装面板12，物料承载底杆5设置在工装支架13的底部，下压传动杆2设置在工装支架13的顶部，下压传动杆2的底部通过一自锁装置11分别连接有杠杆9，杠杆9的一端连接在自锁装置11的底部，杠杆9的另一端通过杠杆支点7与档杆轴心6相连接，在安装面板12上分别设置有档杆活动孔10，档杆活动孔10的位置与档杆轴心6的活动位置相配合。
在本实施例中，下压传动杆2通过下压传动杆高度调节装置3与自锁装置11相连接。
在本实施例中，自锁装置11上设置有自锁手动解除按钮14。
在本实施例中，档杆轴心6的外侧设置有EPE珍珠棉轴套4。
在本实施例中，在安装面板12上物料承载底杆5的位置处设置有底杆调节孔8。
在本实施例中，在工装支架13的两侧顶部分别设置有工装挂钩1。
在本实施例中，自锁装置11通过自锁装置固定与高度调节螺栓15固定在工装支架13的两侧。
物料与晶托被放入时，重力会驱使下压传动杆2向下移动，下压传动杆2的力作用于杠杆9，通过杠杆9作用，杠杆9驱使档杆轴心6在挡杆活动孔10中向中间移动，套在档杆轴心6上的EPE珍珠棉轴套4与物料紧贴将物料抱住；同时当下压传动杆2下降至自锁装置11的触发位置时，自锁装置11将下压传动杆2锁死，物料被紧紧抱住。
当完成脱胶后，下料操作人员将晶托移走，整理物料后使用自锁手动解除按钮14解除自锁，在杠杆9的重力作用下，杠杆9向两侧移动物料与挡杆分离，杠杆9驱使下压传动杆2向上移动，此时方可将物料取出，脱胶工序完毕。
本发明的自锁式硅片脱胶工装，具有防水，耐酸腐蚀，操作简单和重量轻等优点，满足现有阶段硅片脱胶工艺生产使用。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内，本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (6)
1.一种自锁式硅片脱胶工装，其特征在于，它包括下压传动杆、工装支架、安装面板和物料承载底杆，所述工装支架两侧设置有安装面板，所述物料承载底杆设置在所述工装支架的底部，所述下压传动杆设置在所述工装支架的顶部，所述下压传动杆的底部通过一自锁装置分别连接有杠杆，所述杠杆的一端连接在所述自锁装置的底部，所述杠杆的另一端通过杠杆支点与档杆轴心相连接，在所述安装面板上分别设置有档杆活动孔，所述档杆活动孔的位置与所述档杆轴心的活动位置相配合。
2.如权利要求1所述的自锁式硅片脱胶工装，其特征在于，所述下压传动杆通过下压传动杆高度调节装置与所述自锁装置相连接。
3.如权利要求1所述的自锁式硅片脱胶工装，其特征在于，所述自锁装置上设置有自锁手动解除按钮。
4.如权利要求1所述的自锁式硅片脱胶工装，其特征在于，所述档杆轴心的外侧设置有EPE珍珠棉轴套。
5.如权利要求1所述的自锁式硅片脱胶工装，其特征在于，在所述安装面板上物料承载底杆的位置处设置有底杆调节孔。
6.如权利要求1所述的自锁式硅片脱胶工装，其特征在于，在所述工装支架的两侧顶部分别设置有工装挂钩。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT212233B (de) * | 1959-06-29 | 1960-12-12 | Rueti Ag Maschf | Einrichtung an mechanischen Webstühlen zum Zubringen der Schußspulen zum Spulenwechsel-Automaten |
| CN102908026A (zh) * | 2011-08-02 | 2013-02-06 | 王荣彬 | 一种自锁式防风衣架 |
| CN106142370A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-11-23 | 上海日进机床有限公司 | 工件自夹紧装置及自加紧方法、工件截断设备及截断方法 |
| WO2017059469A1 (de) * | 2015-10-05 | 2017-04-13 | Gregor Puchhammer | Vorrichtung zur befestigung einer armatur |
| CN208424493U (zh) * | 2018-07-26 | 2019-01-22 | 深圳三马电器有限公司 | 一种杠杆重力联动的横向夹紧式手机支架 |
| CN212498395U (zh) * | 2020-06-02 | 2021-02-09 | 黄河水电西宁太阳能电力有限公司 | 一种自锁式硅片脱胶工装 |
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Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT212233B (de) * | 1959-06-29 | 1960-12-12 | Rueti Ag Maschf | Einrichtung an mechanischen Webstühlen zum Zubringen der Schußspulen zum Spulenwechsel-Automaten |
| CN102908026A (zh) * | 2011-08-02 | 2013-02-06 | 王荣彬 | 一种自锁式防风衣架 |
| WO2017059469A1 (de) * | 2015-10-05 | 2017-04-13 | Gregor Puchhammer | Vorrichtung zur befestigung einer armatur |
| CN106142370A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-11-23 | 上海日进机床有限公司 | 工件自夹紧装置及自加紧方法、工件截断设备及截断方法 |
| CN208424493U (zh) * | 2018-07-26 | 2019-01-22 | 深圳三马电器有限公司 | 一种杠杆重力联动的横向夹紧式手机支架 |
| CN212498395U (zh) * | 2020-06-02 | 2021-02-09 | 黄河水电西宁太阳能电力有限公司 | 一种自锁式硅片脱胶工装 |
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