CN111593314A - 一种真空镀膜工艺及装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种真空镀膜工艺及装置，包括步骤一：将产品放入超声波清洗槽中进行表面清洗；步骤二等步骤，此真空镀膜工艺及装置，通过在真空镀膜机本体底端的两个导轨之间设有的拉动导向装置，从而可以对产品进行镀膜时，可以便于转盘底端的两个导向板进行导向定位的作用，使转盘底端的两个导向板稳定的连接入导轨内部，实现转盘与真空镀膜机本体的稳定快速连接，同时连接后的转盘在升降小车的支撑下以及在拉动导向装置的驱动下，能够使转盘通过两个导向板自动沿着真空镀膜机本体内部进行稳定移动，并将转盘底端的阳极连接件与真空镀膜机上的阳极进行稳定连接的作用，有效防止阳极受力过大而损坏或受力过小而无法稳定通电连接的问题。

Description

一种真空镀膜工艺及装置

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体为一种真空镀膜工艺及装置。

背景技术

真空镀膜设备工作原理是膜体在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜体分子会铲生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光，所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮,如果真空度不高结晶体就会失去光泽结合力也很差。早期真空镀膜设备是依靠蒸发体自然散射,结合差工效低光泽差。现在加上中频磁控溅射靶用磁控射靶将膜体的蒸发分子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜,解决了过去自然蒸发无法加工的膜体品种,如镀钛镀锆等等。

目前，现有产品在进行真空镀膜时，首先需要将清洗好的产品挂在转盘上的挂架上，随后，通过升降小车，将转盘对准真空镀膜机底端的导轨实现连接的作用，然而现有的转盘与真空镀膜机之间连接时，需要一个人控制升降小车的高度以及位置，另一个人对转盘与真空镀膜机之间进行测量导向，一方面存在耗费人力，另一方面与真空镀膜机底端导轨连接的位置位于转盘底端，不便于人工观察，进而影响产品镀膜效率，同时在转盘与真空镀膜机连接后，需要人工手动将转盘推入真空镀膜机中，且在推入的过程中，无法控制对转盘的推动力，容易导致转盘推动力过大而导致真空镀膜机中与转盘接触的阳极损坏的现象，而当推入力过小，则容易存在转盘底端与真空镀膜机中的阳极无法紧密接触的现象，进一步的影响产品的加工，为此，我们提出一种真空镀膜工艺及装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种真空镀膜工艺及装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种真空镀膜工艺，包括以下步骤：

步骤一：将产品放入超声波清洗槽中进行表面清洗；

步骤二：将清洗后的产品表面进行烘干处理；

步骤三：将干燥后的产品依次挂在转盘上的固定件上，再通过升降车将转盘上的若干个推送至烘箱内部进行预热15分钟，随后，通过升降车将预热后的产品推送至至真空镀膜机处，且真空镀膜机底端设有便于转盘与真空镀膜机底端稳定连接导向的拉动导向装置，使转盘底端的阳极连接件与真空镀膜机内部的阳极连接，实现通电，同时转盘在其底端的旋转结构转动下带动转盘上方的产品进行旋转；

步骤四：真空镀膜机中进行边加热边抽真空，同时在真空镀膜机中的真空度达到所需气压和温度后，往真空镀膜机中充入惰性气体，导入弧电流镀彩色底膜，根据彩色底膜的颜色要求调节电弧和时间；

步骤五：当真空镀膜机镀膜结束后，其内部冷却一段时间后，完成对产品的镀膜。

一种真空镀膜装置，包括真空镀膜机本体、设置在真空镀膜机本体内部底端的导轨、转盘和设置在转盘底端的导向板，其特征在于：两个所述导轨上设有对两个导向板进行拉动的拉动导向装置。

优选的，所述拉动导向装置包括设置在两个导轨中的凹槽，两个所述凹槽之间设有驱动拉伸件，所述驱动拉伸件连接端连接有两个移动板，两个所述移动板滑动连接在凹槽内部，所述移动板顶端设有卡接定位件，所述导向板内部设有滑槽，所述导向板的一端通过滑槽滑动套接在移动板外侧且滑动连接在导轨内部，所述卡接定位件输出端与导向板卡接，两个所述导轨相互远离的一侧分别固定连接有导向件，且导向件输出端与导向板外侧滑动连接，通过设有的拉动导向装置，从而实现对转盘进行拉伸导向的作用，使转盘稳定移动至真空镀膜机本体内部。

优选的，所述驱动拉伸件包括分别转动连接在两个凹槽内部的两个转动丝杆，两个所述转动丝杆位于导轨外侧的一端固定连接有驱动件，所述真空镀膜机本体的底端设有容纳槽，且驱动件位于容纳槽中，所述转动丝杆外侧转动套接有连接套，所述连接套滑动连接在凹槽内部且固定连接在移动板底端，通过设有的驱动拉伸件，从而实现对转盘底端的两个导向板进行拉伸的作用。

优选的，所述驱动件包括分别固定套接在两个转动丝杆外侧的转动齿轮，两个所述转动齿轮之间传动连接有齿轮链，所述齿轮链中部传动连接有驱动齿轮，所述驱动齿轮的一侧通过联轴器固定连接有驱动电机，且驱动电机固定连接在容纳槽内部，通过设有的驱动件，从而实现对两个转动丝杆进行同步驱动的作用。

优选的，所述卡接定位件包括固定连接在移动板上的固定壳，所述固定壳顶端设有感应件，且固定壳底端设有伸缩卡接件，所述导向板对应滑槽的两侧分别设有卡接口，且伸缩卡接件输出端与卡接口卡接，通过设有的卡接定位件，从而实现对固定壳与导向板进行连接的作用。

优选的，所述感应件包括设置在固定壳顶端的限位槽，所述限位槽内部固定连接有挤压弹簧，且挤压弹簧顶端固定连接有挤压块，所述挤压块顶端固定连接有压力传感器，所述导向板底端对应限位槽的顶端设有挤压槽，所述挤压块与挤压槽卡接，通过设有的感应件，从而实现对移动至导向板的移动位置进行感应的作用。

优选的，所述伸缩卡接件包括设置在固定壳两侧的两个开口，两个所述开口内部贯穿有拉动板，两个所述拉动板分别与两个卡接口卡接，两个所述拉动板相互靠近一侧的顶端和底端分别铰接有两个定位支杆，八个所述定位支杆位于固定壳内部，且两个定位支杆之间铰接有铰支座，四个所述铰支座相互靠近的一侧固定连接有连接杆，所述连接杆的一端与固定壳内壁固定连接，且连接杆的另一端通过轴承转动连接有转动杆，所述转动杆位于固定壳外侧的一端固定连接有转动电机，所述转动电机与固定壳固定连接，所述转动杆外侧转动套接有连接套，且连接套外侧通过两个铰支座铰接有四个驱动支杆，四个所述驱动支杆远离连接套的一端通过销轴与拉动板铰接，通过设有的伸缩卡接件，从而实现对连接后的导向板相对于移动板进行固定的作用。

优选的，所述导向件包括通过固定块固定连接在导轨外侧的伸缩气缸，所述伸缩气缸输出端固定连接连接有导向框，所述导向框内部的顶端固定连接有导向块，所述导向框内部贯穿有定位板，所述定位板顶端设有导向槽，且导向块底端滑动连接在导向槽内部，所述导向框内部设有对定位板进行伸缩驱动的调节件，且定位板顶端的外侧与底端等距离固定连接有若干个导向辊，通过设有的导向件，从而实现对导向板沿着导轨内部移动时的导向作用。

优选的，所述调节件包括设置在定位板外侧的定位槽，所述定位槽内部固定连接有齿轮条，且齿轮条外侧啮合连接有旋转齿轮，所述旋转齿轮底端通过联轴器固定连接有旋转电机，所述旋转电机固定连接在导向框内部，通过设有的调节件，从而实现对定位板相对于导向框之间的位置进行调节的作用。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明在进行使用时，通过在真空镀膜机本体底端的两个导轨之间设有的拉动导向装置，从而可以对产品进行镀膜时，可以便于转盘底端的两个导向板进行导向定位的作用，使转盘底端的两个导向板稳定的连接入导轨内部，实现转盘与真空镀膜机本体的稳定快速连接，同时连接后的转盘在升降小车的支撑下以及在拉动导向装置的驱动下，能够使转盘通过两个导向板自动沿着真空镀膜机本体内部进行稳定移动，并将转盘底端的阳极连接件与真空镀膜机上的阳极进行稳定连接的作用，有效防止阳极受力过大而损坏或受力过小而无法稳定通电连接的问题。

附图说明

图1为本发明整体结构示意图；

图2为本发明导轨结构示意图；

图3为本发明导轨侧视结构示意图；

图4为本发明固定壳局部剖视图；

图5为本发明导向板卡接口结构示意图；

图6为本发明感应件结构示意图；

图7为本发明图2中A区域放大图；

图8为本发明图3中B区域放大图；

图9为本发明图6中C区域放大图。

图中：1-真空镀膜机本体；2-导轨；3-导向板；4-拉动导向装置；5-凹槽；6-驱动拉伸件；7-移动板；8-卡接定位件；9-滑槽；10-导向件；11-转动丝杆；12-驱动件；13-容纳槽；14-连接套；15-转动齿轮；16-齿轮链；17-驱动齿轮；18-驱动电机；19-固定壳；20-感应件；21-伸缩卡接件；22-卡接口；23-限位槽；24-挤压弹簧；25-挤压块；26-压力传感器；27-开口；28-拉动板；29-定位支杆；30-连接杆；31-转动杆；32-转动电机；33-驱动支杆；34-伸缩气缸；35-导向框；36-导向块；37-定位板；38-导向槽；39-调节件；40-导向辊；41-定位槽；42-齿轮条；43-旋转齿轮；44-旋转电机。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-9，本发明提供一种技术方案：一种真空镀膜工艺，包括以下步骤：

步骤一：将产品放入超声波清洗槽中进行表面清洗；

步骤二：将清洗后的产品表面进行烘干处理；

步骤三：将干燥后的产品依次挂在转盘上的固定件上，再通过升降车将转盘上的若干个推送至烘箱内部进行预热15分钟，随后，通过升降车将预热后的产品推送至至真空镀膜机处，且真空镀膜机底端设有便于转盘与真空镀膜机底端稳定连接导向的拉动导向装置，使转盘底端的阳极连接件与真空镀膜机内部的阳极连接，实现通电，同时转盘在其底端的旋转结构转动下带动转盘上方的产品进行旋转；

步骤四：真空镀膜机中进行边加热边抽真空，同时在真空镀膜机中的真空度达到所需气压和温度后，往真空镀膜机中充入惰性气体，导入弧电流镀彩色底膜，根据彩色底膜的颜色要求调节电弧和时间；

步骤五：当真空镀膜机镀膜结束后，其内部冷却一段时间后，完成对产品的镀膜。

一种真空镀膜装置，包括真空镀膜机本体1、设置在真空镀膜机本体1内部底端的导轨2、转盘和设置在转盘底端的导向板3，两个所述导轨2上设有对两个导向板3进行拉动的拉动导向装置4，所述拉动导向装置4包括设置在两个导轨2中的凹槽5，两个所述凹槽5之间设有驱动拉伸件6，所述驱动拉伸件6连接端连接有两个移动板7；

所述驱动拉伸件6包括分别转动连接在两个凹槽5内部的两个转动丝杆11，两个所述转动丝杆11位于导轨2外侧的一端固定连接有驱动件12，所述真空镀膜机本体1的底端设有容纳槽13，且驱动件12位于容纳槽13中，所述转动丝杆11外侧转动套接有连接套14，所述连接套14滑动连接在凹槽5内部且固定连接在移动板7底端；

所述驱动件12包括分别固定套接在两个转动丝杆11外侧的转动齿轮15，两个所述转动齿轮15之间传动连接有齿轮链16，所述齿轮链16中部传动连接有驱动齿轮17，所述驱动齿轮17的一侧通过联轴器固定连接有驱动电机18，且驱动电机18固定连接在容纳槽13内部

两个所述移动板7滑动连接在凹槽5内部，所述移动板7顶端设有卡接定位件8，所述导向板3内部设有滑槽9，所述导向板3的一端通过滑槽9滑动套接在移动板7外侧且滑动连接在导轨2内部，所述卡接定位件8输出端与导向板3卡接；

所述卡接定位件8包括固定连接在移动板7上的固定壳19，所述固定壳19顶端设有感应件20，所述感应件20包括设置在固定壳19顶端的限位槽23，所述限位槽23内部固定连接有挤压弹簧24，且挤压弹簧24顶端固定连接有挤压块25，挤压块25为半圆形状，且限位槽23与挤压块25形状相对应，进而便于挤压块25与限位槽23之间进行连接与脱离的作用，所述挤压块25顶端固定连接有压力传感器26，所述导向板3底端对应限位槽23的顶端设有挤压槽，所述挤压块25与挤压槽卡接；

且固定壳19底端设有伸缩卡接件21，所述导向板3对应滑槽9的两侧分别设有卡接口22，且伸缩卡接件21输出端与卡接口22卡接，且卡接口22为长方形状，进而便于两个拉动板28与两个卡接口22进行卡接，所述伸缩卡接件21包括设置在固定壳19两侧的两个开口27，两个所述开口27内部贯穿有拉动板28，两个所述拉动板28分别与两个卡接口22卡接，两个所述拉动板28相互靠近一侧的顶端和底端分别铰接有两个定位支杆29，八个所述定位支杆29位于固定壳19内部，且两个定位支杆29之间铰接有铰支座，四个所述铰支座相互靠近的一侧固定连接有连接杆30，所述连接杆30的一端与固定壳19内壁固定连接，且连接杆30的另一端通过轴承转动连接有转动杆31，所述转动杆31位于固定壳19外侧的一端固定连接有转动电机32，所述转动电机32与固定壳19固定连接，所述转动杆31外侧转动套接有连接套14，且连接套14外侧通过两个铰支座铰接有四个驱动支杆33，四个所述驱动支杆33远离连接套14的一端通过销轴与拉动板28铰接

两个所述导轨2相互远离的一侧分别固定连接有导向件10，且导向件10输出端与导向板3外侧滑动连接，所述导向件10包括通过固定块固定连接在导轨2外侧的伸缩气缸34，所述伸缩气缸34输出端固定连接连接有导向框35，所述导向框35内部的顶端固定连接有导向块36，所述导向框35内部贯穿有定位板37，所述定位板37顶端设有导向槽38，且导向块36底端滑动连接在导向槽38内部，所述导向框35内部设有对定位板37进行伸缩驱动的调节件39，且定位板37顶端的外侧与底端等距离固定连接有若干个导向辊40，且若干个导向辊40相互之间呈垂直角度分布，即若干个导向辊40分别起到对导向板3的侧面以及顶部进行限位导向的作用。

所述调节件39包括设置在定位板37外侧的定位槽41，所述定位槽41内部固定连接有齿轮条42，且齿轮条42外侧啮合连接有旋转齿轮43，所述旋转齿轮43底端通过联轴器固定连接有旋转电机44，所述旋转电机44固定连接在导向框35内部。

具体实施方式：在进行产品进行真空镀膜时，首先将真空镀膜机本体1打开，随后，通过升降小车将转盘移动至真空镀膜机的开口27处，并调节升降小车的高度以及位置，同时位于两个导轨2外侧的两个伸缩气缸运行，将导向框35部分推出至导轨2外侧，随后，位于导向框35内部的旋转电机44运行，使旋转齿轮43带动定位板37底端的齿轮条42运行，进而将若干个导向辊40分别移动至导轨2的外侧，进一步的实现对两个导向板3的导向的作用，同时在两个导向板3移动至两组若干个导向辊40之间后，推动转盘，使两个导向板3部分移动至导向轨内部，且当导向板3底端的挤压槽移动至加压块上方时，挤压块25底端受到挤压弹簧24的方向弹性作用力，使挤压块25抵紧在挤压槽中，同时压力传感器26检测到压力变小，进而通过控制器，控制转动电机32运行，带动转动杆31在固定壳19内部进行转动，而并提供转动套驱动力，而由于转动套在其外侧的四个驱动支杆33的限位作用下，进而沿着转动杆31进行水平移动，同时四个驱动支杆33进行转动，使两个拉动板28在八个定位支杆29的连接作用下，进而沿着开口27处移出并与卡接口22进行卡接，进一步的实现对导向板3相对于固定壳19进行卡接固定的作用，随后，旋转电机44反向运行，使若干个导向辊40脱离导向板3，同时伸缩气缸反向运行，使导向框35移动至真空镀膜机本体1的内部，进而不影响转盘的移动，同时，驱动电机18运行，进而使驱动齿轮17通过齿轮链16带动两个转动齿轮15进行同步转动，两个转动齿轮15转动的同时，使两个转动丝杆11进行同步转动，并提供连接套14驱动力，而由于连接套14在移动板7以及凹槽5的限位作用下，进而通过移动板7以及导向板3带动转盘沿着真空镀膜机本体1内部移动，同时在进行移动的过程中，升降小车提供转盘支撑力，进而保证转盘稳定移动的作用，直到转盘底端的阳极连接件与真空镀膜机本体1底端的阳极接触，驱动电机18停止运行，同时实现对转盘进行稳定固定的作用。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种真空镀膜工艺，包括以下步骤：

步骤一：将产品放入超声波清洗槽中进行表面清洗；

步骤二：将清洗后的产品表面进行烘干处理；

步骤三：将干燥后的产品依次挂在转盘上的固定件上，再通过升降车将转盘上的若干个推送至烘箱内部进行预热15分钟，随后，通过升降车将预热后的产品推送至至真空镀膜机处，且真空镀膜机底端设有便于转盘与真空镀膜机底端稳定连接导向的拉动导向装置，使转盘底端的阳极连接件与真空镀膜机内部的阳极连接，实现通电，同时转盘在其底端的旋转结构转动下带动转盘上方的产品进行旋转；

步骤四：真空镀膜机中进行边加热边抽真空，同时在真空镀膜机中的真空度达到所需气压和温度后，往真空镀膜机中充入惰性气体，导入弧电流镀彩色底膜，根据彩色底膜的颜色要求调节电弧和时间；

步骤五：当真空镀膜机镀膜结束后，其内部冷却一段时间后，完成对产品的镀膜。

2.一种真空镀膜装置，包括真空镀膜机本体、设置在真空镀膜机本体内部底端的导轨、转盘和设置在转盘底端的导向板，其特征在于：两个所述导轨上设有对两个导向板进行拉动的拉动导向装置。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述拉动导向装置包括设置在两个导轨中的凹槽，两个所述凹槽之间设有驱动拉伸件，所述驱动拉伸件连接端连接有两个移动板，两个所述移动板滑动连接在凹槽内部，所述移动板顶端设有卡接定位件，所述导向板内部设有滑槽，所述导向板的一端通过滑槽滑动套接在移动板外侧且滑动连接在导轨内部，所述卡接定位件输出端与导向板卡接，两个所述导轨相互远离的一侧分别固定连接有导向件，且导向件输出端与导向板外侧滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述驱动拉伸件包括分别转动连接在两个凹槽内部的两个转动丝杆，两个所述转动丝杆位于导轨外侧的一端固定连接有驱动件，所述真空镀膜机本体的底端设有容纳槽，且驱动件位于容纳槽中，所述转动丝杆外侧转动套接有连接套，所述连接套滑动连接在凹槽内部且固定连接在移动板底端。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述驱动件包括分别固定套接在两个转动丝杆外侧的转动齿轮，两个所述转动齿轮之间传动连接有齿轮链，所述齿轮链中部传动连接有驱动齿轮，所述驱动齿轮的一侧通过联轴器固定连接有驱动电机，且驱动电机固定连接在容纳槽内部。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述卡接定位件包括固定连接在移动板上的固定壳，所述固定壳顶端设有感应件，且固定壳底端设有伸缩卡接件，所述导向板对应滑槽的两侧分别设有卡接口，且伸缩卡接件输出端与卡接口卡接。

7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述感应件包括设置在固定壳顶端的限位槽，所述限位槽内部固定连接有挤压弹簧，且挤压弹簧顶端固定连接有挤压块，所述挤压块顶端固定连接有压力传感器，所述导向板底端对应限位槽的顶端设有挤压槽，所述挤压块与挤压槽卡接。

8.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述伸缩卡接件包括设置在固定壳两侧的两个开口，两个所述开口内部贯穿有拉动板，两个所述拉动板分别与两个卡接口卡接，两个所述拉动板相互靠近一侧的顶端和底端分别铰接有两个定位支杆，八个所述定位支杆位于固定壳内部，且两个定位支杆之间铰接有铰支座，四个所述铰支座相互靠近的一侧固定连接有连接杆，所述连接杆的一端与固定壳内壁固定连接，且连接杆的另一端通过轴承转动连接有转动杆，所述转动杆位于固定壳外侧的一端固定连接有转动电机，所述转动电机与固定壳固定连接，所述转动杆外侧转动套接有连接套，且连接套外侧通过两个铰支座铰接有四个驱动支杆，四个所述驱动支杆远离连接套的一端通过销轴与拉动板铰接。

9.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述导向件包括通过固定块固定连接在导轨外侧的伸缩气缸，所述伸缩气缸输出端固定连接连接有导向框，所述导向框内部的顶端固定连接有导向块，所述导向框内部贯穿有定位板，所述定位板顶端设有导向槽，且导向块底端滑动连接在导向槽内部，所述导向框内部设有对定位板进行伸缩驱动的调节件，且定位板顶端的外侧与底端等距离固定连接有若干个导向辊。

10.根据权利要求1所述的一种真空镀膜装置，其特征在于：所述调节件包括设置在定位板外侧的定位槽，所述定位槽内部固定连接有齿轮条，且齿轮条外侧啮合连接有旋转齿轮，所述旋转齿轮底端通过联轴器固定连接有旋转电机，所述旋转电机固定连接在导向框内部。

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