CN111578827A - 一种工件表面平整度检测工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种工件表面平整度检测工艺,包括以下步骤:首先,选定需检测的工件部位,将检测尺横跨于待检测的工件两边放置于工作台面上;挪动立杆底座磁吸位置使检测尺整体纵向移动,将尺测针移到检测点所在横线上;根据设计图建立工件平整参数的模型,在施工控制网上设置多个测站点;在测站点上布设三维扫描仪,三维扫描仪获取工件平整参数云数据,通过处理软件对点云数据和工件平整参数的模型进行对比,获得工件的平整度偏差,并记录;本发明检测工艺利用三维扫描与手动检测相结合,利用手动检测对工件平整参数的模型进行校对,提高检测的准确率,同时利用三维扫描时,检测效率高,误差低,可广泛使用。
Description
技术领域
本发明属于工件检测领域,特别涉及一种工件表面平整度检测工艺。
背景技术
平整度检验是专门用于检测各种IC芯片针脚及其平整度(水平直线度、共面度)、间隙、针脚宽度等平整度检验简单设定后,即可自动识别、检测,无须人员操作。平整度检验仪图像清晰直观,可以方便快速准确的检验产品的平面度,明显提高工作效率和产品质量!平整度检验在检测标定平面度时能达到0.01mm以上的精度。可根据检测要求设定平整度误差范围。对不符合要求的工件检测后输出控制信号,可用于剔除不合格品;
为了工件检测的准确率和降低检测误差,为此,我们提出一种工件表面平整度检测工艺。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种工件表面平整度检测工艺,可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的,本发明采取的技术方案为:
一种工件表面平整度检测工艺,该工件表面平整度检测工艺包括以下步骤:
步骤一、首先,选定需检测的工件部位,将检测尺横跨于待检测的工件两边放置于工作台面上;
步骤二、挪动立杆底座磁吸位置使检测尺整体纵向移动,将尺测针移到检测点所在横线上;
步骤三、根据设计图建立工件平整参数的模型,在施工控制网上设置多个测站点;
步骤四、在测站点上布设三维扫描仪,三维扫描仪获取工件平整参数云数据,通过处理软件对点云数据和工件平整参数的模型进行对比,获得工件的平整度偏差,并记录;
步骤五、对照两侧立杆刻度,调整检测尺体上下位置,保证检测尺体与工作台面平行;沿检测尺体水平移动测针位置,读出检测读数;
步骤六、依照步骤五中的检测读数对工件平整参数的模型进行校对,误差大于0.1mm时,重新调整工件平整参数的模型。
优选的,所述三维扫描仪采用一种脉冲测距式3D激光扫描仪,其测量精度受到扫描仪系统准确地量测时间的限制。
优选的,所述三维扫描仪利用三角测距法扫描测量,该测量包括以下步骤:
S1:用一束激光以某一角度聚焦在被测物体表面,然后从另一角度对物体表面上的激光光斑进行成像,物体表面激光照射点的位置高度不同,所接受散射或反射光线的角度也不同;
S2:用图像传感器光电探测器测出光斑像的位置,计算出主光线的角度θ ,然后结合己知激光光源与 CCD 之间的基线长度 d,经由三角形几何关系推求扫描仪与物体之间的距L≈dtanθ。
优选的,图像传感器的像点的大小为μm级,像素数目为400-500万像素。
与现有技术相比,本发明具有如下有益效果:该一种工件表面平整度检测工艺,该检测工艺利用三维扫描与手动检测相结合,利用手动检测对工件平整参数的模型进行校对,提高检测的准确率,同时利用三维扫描时,检测效率高,误差低,可广泛使用。
具体实施方式
为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本发明。
一种工件表面平整度检测工艺包括以下步骤:该工件表面平整度检测工艺包括以下步骤:
步骤一、首先,选定需检测的工件部位,将检测尺横跨于待检测的工件两边放置于工作台面上;
步骤二、挪动立杆底座磁吸位置使检测尺整体纵向移动,将尺测针移到检测点所在横线上;
步骤三、根据设计图建立工件平整参数的模型,在施工控制网上设置多个测站点;
步骤四、在测站点上布设三维扫描仪,三维扫描仪获取工件平整参数云数据,通过处理软件对点云数据和工件平整参数的模型进行对比,获得工件的平整度偏差,并记录;
步骤五、对照两侧立杆刻度,调整检测尺体上下位置,保证检测尺体与工作台面平行;沿检测尺体水平移动测针位置,读出检测读数;
步骤六、依照步骤五中的检测读数对工件平整参数的模型进行校对,误差大于0.1mm时,重新调整工件平整参数的模型。
其中,三维扫描仪采用一种脉冲测距式3D激光扫描仪,其测量精度受到扫描仪系统准确地量测时间的限制;
三维扫描仪利用三角测距法扫描测量,该测量包括以下步骤:
S1:用一束激光以某一角度聚焦在被测物体表面,然后从另一角度对物体表面上的激光光斑进行成像,物体表面激光照射点的位置高度不同,所接受散射或反射光线的角度也不同;
S2:用图像传感器光电探测器测出光斑像的位置,计算出主光线的角度θ ,然后结合己知激光光源与 CCD 之间的基线长度 d,经由三角形几何关系推求扫描仪与物体之间的距L≈dtanθ。
其中,图像传感器的像点的大小为μm级,像素数目为400-500万像素。
实施例1
首先,选定需检测的工件部位,将检测尺横跨于待检测的工件两边放置于工作台面上;挪动立杆底座磁吸位置使检测尺整体纵向移动,将尺测针移到检测点所在横线上;根据设计图建立工件平整参数的模型,在施工控制网上设置多个测站点;在测站点上布设三维扫描仪,三维扫描仪获取工件平整参数云数据,通过处理软件对点云数据和工件平整参数的模型进行对比,获得工件的平整度偏差,并记录;对照两侧立杆刻度,调整检测尺体上下位置,保证检测尺体与工作台面平行;沿检测尺体水平移动测针位置,读出检测读数;依照步骤五中的检测读数对工件平整参数的模型进行校对,误差大于0.1mm时,重新调整工件平整参数的模型。
其中,三维扫描仪采用一种脉冲测距式3D激光扫描仪,其测量精度受到扫描仪系统准确地量测时间的限制;
经检测,该检测方法工件外形无断裂,表面无密集性气孔,各角落处无毛刺、铁瘤及残余砂,大平面无明显鼓涨。
实施例2
三维扫描仪利用三角测距法扫描测量,该测量包括以下步骤:用一束激光以某一角度聚焦在被测物体表面,然后从另一角度对物体表面上的激光光斑进行成像,物体表面激光照射点的位置高度不同,所接受散射或反射光线的角度也不同;用图像传感器光电探测器测出光斑像的位置,计算出主光线的角度θ ,然后结合己知激光光源与 CCD 之间的基线长度 d,经由三角形几何关系推求扫描仪与物体之间的距L≈dtanθ。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (4)
1.一种工件表面平整度检测工艺,其特征在于,该工件表面平整度检测工艺包括以下步骤:
步骤一、首先,选定需检测的工件部位,将检测尺横跨于待检测的工件两边放置于工作台面上;
步骤二、挪动立杆底座磁吸位置使检测尺整体纵向移动,将尺测针移到检测点所在横线上;
步骤三、根据设计图建立工件平整参数的模型,在施工控制网上设置多个测站点;
步骤四、在测站点上布设三维扫描仪,三维扫描仪获取工件平整参数云数据,通过处理软件对点云数据和工件平整参数的模型进行对比,获得工件的平整度偏差,并记录;
步骤五、对照两侧立杆刻度,调整检测尺体上下位置,保证检测尺体与工作台面平行;沿检测尺体水平移动测针位置,读出检测读数;
步骤六、依照步骤五中的检测读数对工件平整参数的模型进行校对,误差大于0.1mm时,重新调整工件平整参数的模型。
2.根据权利要求1所述的一种工件表面平整度检测工艺,其特征在于:所述三维扫描仪采用一种脉冲测距式3D激光扫描仪,其测量精度受到扫描仪系统准确地量测时间的限制。
3.根据权利要求1所述的一种工件表面平整度检测工艺,其特征在于:所述三维扫描仪利用三角测距法扫描测量,该测量包括以下步骤:
S1:用一束激光以某一角度聚焦在被测物体表面,然后从另一角度对物体表面上的激光光斑进行成像,物体表面激光照射点的位置高度不同,所接受散射或反射光线的角度也不同;
S2:用图像传感器光电探测器测出光斑像的位置,计算出主光线的角度θ ,然后结合己知激光光源与 CCD 之间的基线长度 d,经由三角形几何关系推求扫描仪与物体之间的距L≈dtanθ。
4.根据权利要求3所述的一种工件表面平整度检测工艺,其特征在于:图像传感器的像点的大小为μm级,像素数目为400-500万像素。
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