CN111567063B - 声音换能器 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种微机电型声音换能器(1)，特别是用于产生和/或检测可听波长频谱的声波，包括载体(2)、连接到该载体(2)且可沿着轴线(4a，4b)相对于该载体(2)而偏转的振膜(3)、至少一压电组件(5a，5b)与该振膜(3)在该轴线的方向间隔开，用于产生和/或检测该振膜(3)的偏转，该压电组件(5a，5b)具有连结于该载体(2)的第一端(6a，6b)和可沿着该轴线(4a，4b)的方向偏转的第二端(7a，7b)，以及耦合组件(8a，8b)沿着该轴线(4a，4b)的方向延伸并位在该压电组件(5a，5b)和该振膜(3)之间，且该压电组件(5a，5b)的该第二端(7a，7b)连结于该振膜(3)。该至少一压电组件(5a，5b)和该耦合组件(8a，8b)共同形成一悬臂式悬臂(9a，9b)，其具有由该至少一压电组件(5a，5b)的该第一端(6a，6b)形成的夹紧端(10a，10b)和该耦合组件(8a，8b)形成的自由端(11a，11b)。声音换能器(1)具有复数个悬臂(9a，9b)。根据本发明，至少两个悬臂(9a，9b)一个接一个地布置在一平面上。

Description

声音换能器

【技术领域】

本发明涉及一种声音换能器，特别是用于产生和/或检测可听波长频谱中的声波，其具有载体，而连接到载体并且与轴线相对的振膜是可偏转的，至少一个在轴线的方向是可偏转的。与该振膜隔开的压电组件用于产生和/或检测振膜的偏转，压电组件包括连接到载体的第一端和可沿轴线方向偏转的第二端，以及在压电组件和振膜之间沿轴线方向延伸的耦合组件，并将压电组件的第二端链接于振膜。

【背景技术】

从WO2016/034665A1中已知微机电系统(MEMS)为习知，其连接一振膜、一连接到振膜的抬升结构，以及至少两个压电组件，其通过多个隔开的连接组件与抬升结构的多个间隔开的接点连接。其中，所述至少两个压电组件构成引起抬升结构的抬升运动，以使所述振膜偏转。然而，该MEMS的缺点是性能有限。

【发明内容】

本发明的目的是改进现有技术。

该目的通过一种声音换能器实现。该声音换能器用于产生和/或检测可听波长频谱的声波，其包括:载体；连接到该载体且可沿着轴线相对于该载体而偏转的振膜；至少一压电组件，其与该振膜在该轴线的方向间隔开，用于产生和/或检测该振膜的偏转；该压电组件包括连结于该载体的第一端和可沿着该轴线的方向偏转的第二端；耦合组件，其沿着该轴线的方向延伸并位于该压电组件和该振膜之间，且该压电组件的第二端连结于该振膜；其中，该至少一压电组件和该耦合组件共同形成悬臂式悬臂，其具有由该至少一压电组件的该第一端形成的夹紧端和该耦合组件形成的自由端，该声音换能器具有复数个悬臂，其特征在于该复数个悬臂中的至少两个悬臂一个接一个地布置在一平面上，所述至少两个悬臂彼此相同地定向；其中一个悬臂的耦合组件背向同一悬臂的压电组件的侧面和一个中心件之间在平面中形成一自由空间，其中该另一悬臂一端设置于该中心件上；其中，该声音换能器还包括两个凹部，其中，两个悬臂分别设置在该两个凹部处，该两个凹部被该中心件分隔开。

本发明的声音换能器可以操作在例如用来产生和/或检测可听波长频谱的声波。声音换能器可以布置在例如智能手机、耳机或其他电子设备中。声音换能器还可以操作在用来产生和/或检测超音波。然后，声音换能器可以布置在例如医疗和/或技术诊断设备、距离传感器等。

声音换能器还包括载体和振膜，该振膜连接到载体并且相对于载体沿着轴线是可偏转的。振膜可以在其整个边缘区域与载体连接。藉由振膜可以产生声波。振膜可以受到振动以振动覆盖在振膜的空气。传送的振动是载送声音的声波。另一方面，振膜也可以在振动时予以设定。当声波撞击振膜时，振膜开始振动。

此外，声音换能器具有至少一个压电组件，该压电组件在行程轴线的方向与振膜间隔开，用于产生和/或检测振膜的偏转。压电组件可以通过电压偏转。如果压电组件本身被作用在压电组件上的力而偏转，则会产生电压。压电组件包括连接到载体的第一端。另外，压电组件的第二端具有可偏转的特性。

为了将压电组件的第二端与振膜连接，声音换能器具有耦合组件，该耦合组件在压电组件和振膜之间沿行程轴线的方向延伸。藉由耦合组件，由电压产生的压电组件的偏转可以传递到振膜以产生声波。藉由电信号，振膜可以通过耦合组件在相应的振动中偏移，从而例如可以产生声音。声波的振动也可以通过耦合组件从振膜传递到压电组件，压电组件将其转换成电信号。

此外，所述至少一个压电组件和所述耦合组件一起形成悬臂式悬臂，所述悬臂具有由所述压电组件的第一端形成的夹紧端和由所述耦合组件形成的自由端。这允许悬臂在自由端自由摆动。结果，压电组件可以沿着行程轴产生大偏转。例如，它可用于产生具有高振幅的声波。

此外，声音换能器具有高线性度。当压电组件被电信号作用时，自由端会偏转。其特征在于压电组件和耦合组件设计为悬臂，自由端的偏转与电信号的瞬时幅度成线性比例。由此产生的声波也具有与自由端的偏转成线性比例的声音幅度。因此，使用根据本发明的声音换能器从电信号产生的声波具有高线性度。

由于压电组件和作为悬臂的耦合组件的设计，振膜可以通过压力组件以高的力作用。结果，振膜可以有利地偏转或振动。

此外，声音换能器具有多个悬臂。这允许振膜以更大的力偏转。

根据本发明，至少两个悬臂在平面图中一个接一个地布置。因此，至少两个悬臂可以一个接一个地对齐布置。至少两个悬臂可以彼此布置，使得它们在共同线上延伸。结果，声音换能器可以被设计为节省空间，由于悬臂布置在另一个之后，声音换能器可以保持较小的宽度。此外，振膜因此可以是线性的，即，线性地两个悬臂的偏转。

在本发明的有利实施例中，悬臂在其自由端的区域中仅与振膜连接。这允许自由端自由振动而不受振动中任何其他因素的影响。例如，自由端不会被振动中的另一个部件抑制或制动。结果，例如，声音换能器的高线性度是可能的。同样，可以用大的力实现振膜的高挠曲。

如果压电组件在背向耦合组件的侧面和载体之间的侧视图中形成自由空间也是有利的。结果，耦合组件与载体间隔开并且可以自由摆动。

同样，有利的是，平面图中的自由空间具有U形形状，使得悬臂在其自由端和其两个纵向侧与载体间隔开。结果，仅悬臂的夹紧端与载体接触，使得纵向侧和自由端可相对于载体自由摆动。

有利的是，载体具有至少一个凹部，悬臂布置在该凹部中。凹部可以完全被载体包围。凹部也可以在轴线的方向完全延伸穿过载体，使得凹部具有上开口和下开口。两个开口中的一个可以被振膜覆盖。

如果在凹部中仅布置单个悬臂也具有优点。如此，悬臂不能被沿着轴线的偏转中的另一个悬臂所抑制。

另外，有利的是，声音换能器具有多个悬臂，这些悬臂在平面图中并排布置。这可以增加振膜上的力。此外，通过几个间隔开的悬臂，振膜可以均匀地偏转并且特别是平坦的。结果，可以以平面方式产生和/或记录声波。因此，悬臂可以布置成例如正方形、矩形或另一平面几何图形或多边形。在每种情况下，悬臂可以布置在所述图形或多边形的角落中。

如果至少两个悬臂的方向彼此相等地定向也是有利的。附加地或替代地，至少两个悬臂可以彼此相对地定向。结果，振膜可以有利地偏转。

此外，有利的是，至少两个并置且相同定向的悬臂通过连接组件在自由端的区域中彼此连接。当两个悬臂并排布置时，它们的纵向侧彼此面对。藉由耦合组件连接两个悬臂，两个悬臂的力可以在偏转中结合。

有利的是，耦合组件通过悬臂与压电组件连接，使得耦合组件可相对于压电组件旋转。连接可以是例如弹性或柔性连接。藉由耦合组件的可旋转性，当压电组件偏转时，耦合组件可以保持与振膜平行对齐。因此，振膜在耦合组件和振膜之间的接触区域中负载较小。

如果压电组件和耦合组件形成为一体的也是有利的。结果，例如在单一个制造步骤中，可以制造具有耦合组件的压电组件。

此外，如果声音换能器是微机电型式的扬声器则是有利的。附加地或替代地，声音换能器也可以是微机电型式的麦克风。

【附图说明】

在以下示例性实施例中说明了本发明的其他优点。在图中：

图1显示具有载体、压电组件和耦合组件的声音换能器的立体图；

图2显示具有悬臂的声音换能器的侧面剖视图；

图3是具有两个相对方向的悬臂的声音换能器的侧面剖视图；

图4显示具有两个类似悬臂的声音换能器的侧面剖视图。

图5显示具有两个悬臂的声音换能器的俯视平面图。

图6显示具有悬臂的声音换能器的俯视平面图。

图7显示具有两个悬臂和一个耦合板的声音换能器的侧面剖视图。

图8显示在振膜和耦合组件之间具有间隔组件的声音换能器的侧面剖视图。

【具体实施方式】

图1显示声音换能器1的立体图。为了解释操作模式，仅显示一个悬臂9。例如，可听波长频谱中的声波可以藉助于声音换能器1产生，使得它可以作为MEMS扬声器操作。藉由声音换能器1，可以附加地或替代地检测可听波长频谱中的声波，使得它可以作为MEMS麦克风操作。例如，声音换能器1可以布置在智能手机中以打电话或听音乐。声音换能器1例如也可以布置在耳机中。

然而，声音换能器1的另一应用领域也可以是超音波的产生和/或检测。声音换能器1可以布置在例如超音波传感器中，例如距离传感器。

声音换能器1还包括载体2，其可作为声音换能器1的骨架。例如，载体2可包括以蚀刻工艺中制造的半导体衬底。在载体2上，可以布置本图中未示出的振膜3，其例如完全连接到载体2。振膜3可沿轴线4偏转。藉由振膜3的偏转，布置在其上方的空气振动从而产生声波。但是，振膜3甚至可以通过振动的空气而产生振动并因此被偏转。因此，振膜3可以检测声波。

为了检测和/或产生振膜3的偏转，声音换能器1包括至少一个压电组件5，该压电组件5在轴线4的方向与振膜3隔开。压电组件5可以通过电信号偏转，该电信号包括例如音乐偏转传递到振膜3，从而产生声波。因此，压电组件5作为压电致动器。在这种情况下，声音换能器1作为MEMS扬声器操作。相反地，如果压电组件5被振膜3偏转，则压电组件5产生电信号，该电信号对应于由振膜3接收的声波。因此，压电组件5作为压电传感器。然后，声音换能器1作为MEMS麦克风操作。

压电组件5的第一端6连接到载体2。此外，压电组件5的第二端7可以在轴线4的方向偏转。

同样地，声音换能器1具有耦合组件8，其以轴线4的方向延伸在压电组件5和振膜3之间，并且将压电组件5的第二端7连接到振膜3。因此，当声音换能器1作为扬声器操作时，耦合组件8将压电组件5的偏转传递到振膜3。另外，当声音换能器1作为麦克风操作时，耦合组件8将振动振膜3的偏转传递到压电组件5。

优选地，载体2和耦合组件8可以由相同的材料形成，例如半导体材料。此外，载体2和连接组件8在轴线4的方向可以具有相同的厚度。例如，载体2和耦合组件8可以采迭层工艺一起形成，位在载体2周边和/或耦合组件8周边的镂空部可以蚀刻形成。此外，压电组件5也可以通过迭层方法与载体2和/或耦合组件8一起形成。

此外，至少一个压电组件5和耦合组件8一起形成悬臂式悬臂9。悬臂9具有由压电组件5的第一端6形成的夹紧端10和由耦合组件8形成的自由端11。压电组件5可以与耦合组件8形成悬臂，耦合组件8在夹紧端10处连接到载体2。悬臂9的自由端11独立地连接到振膜3故可以自由摆动。特别地，自由端11没有连接到载体2和/或相对的压电组件5。自由端11与载体2分离。结果，自由端11可自由摆动。自由端11可不受阻碍地振动。结果，自由端11可以被偏转到可以产生和/或检测具有高振幅的声波。

此外，本设计提供了高线性度。电信号的幅度可以转换成声波的线性比例幅度。如果声音换能器1作为麦克风操作，则同样适用。然后，声波的幅度可以转换成线性比例的电信号。此外，藉由悬臂9，自由端11可以不受限地振动，故振膜3可以得到大的力偏转。

耦合组件8也可以藉助于压电组件5上的连接臂14a，14b布置，该连接臂可以设计成具有弹性。附加地或替代地，连接臂14a，14b也可以是柔性的。藉由连接臂14a，14b，在悬臂9沿着轴线4偏转期间，耦合组件8可以相对于压电组件5旋转，使得耦合组件8可以保持平行于振膜3定向。铰接连接14a，14b优选地由至少一个柔性和/或弹性连接组件形成。优选地，压电组件5由多个层形成，特别是至少一个压电层、载体层和/或电极层。所述至少一个连接组件优选地由这些层中的其中一个所形成，特别是由载体层形成。

声音换能器1还可以根据图1的本实施例在压电组件5背向耦合组件8的侧面和载体2之间的侧视图中形成自由空间12。藉由自由空间12使悬臂9可以自由摆动。

此外，载体2具有凹部13，悬臂9布置在凹部13中。在本实施例中，凹部13完全被载体2包围。此外，凹部13在轴线4的方向完全延伸穿过载体2。

在以下示例性实施例的说明中，相对于前面的示例性实施例，在每种情况下使用相同的附图标记表示与其设计和/或作用模式相同或至少相当的特征。除非再次详细解释这些，否则它们的设计和/或作用方式对应于上面已经说明的特征的设计和/或作用方式。

图2显示图1实施例所示声音换能器1的侧面剖视图。振膜3布置在载体2上。在本示例性实施例中，振膜3布置在承载组件15上，承载组件15连接到载体2。振膜3也可以夹紧在载体组件15上。由此，载体组件15可以形成振膜3的框架。

此外，振膜3可以布置在声音换能器1的上侧21的区域中。声音换能器1还具有与上侧21相对的下侧20。根据本实施例，压电组件5可以布置在下侧20的区域中。结果，耦合组件8从压电组件5从下侧20延伸到上侧21上的振膜3。

根据本示例性实施例，声音换能器1具有耦合板16，耦合板16布置在耦合组件8和振膜3之间并且将它们彼此耦合。耦合板16布置在声音换能器1的上侧21的区域中。藉由耦合板16提供耦合组件8和振膜3之间的平稳功率传输。

图3显示具有两个悬臂9a，9b的声音换能器1的另一实施例。两个悬臂9a，9b中的每一个都具有耦合组件8a，8b和压电组件5a，5b。两个耦合组件8a，8b布置于自由空间12。两个悬臂9a，9b彼此分离。两个悬臂9a，9b仅连接到振膜3。根据本示例性实施例，每个耦合组件8a，8b配设有耦合板16a，16b，其将相应的耦合组件8a，8b连接到振膜3。

两个悬臂9a，9b也彼此相对地定向。两个悬臂9a，9b的两个自由端11a，11b彼此面对。两个悬臂9a，9b仅通过振膜3相互连接。两个悬臂9a，9b在此处一个接一个地布置。一个接一个地布置可以意味着至少两个悬臂9a，9b仅在声音换能器1的横向方向平移偏移。至少两个悬臂9a，9b可以布置在例如同一条线上。

图3的实施例的声音换能器1具有凹部13，两个悬臂9a，9b布置在凹部13中。

图4显示具有两个相对称的类似悬臂9a，9b的声音换能器1的另一示例性实施例。声音换能器1可以具有两个凹部13a，13b，悬臂9a，9b是分别设置在凹部13a，13b。两个凹部13a，13b通过载体2的中心件17彼此分开。第二悬臂9b布置的中心件17处。第一悬臂9a和第二悬臂9b彼此对齐和/或彼此向着同一方向。然而，第一悬臂9a和第二悬臂9b可在声音换能器1的横向方向平移偏移。两个悬臂9a，9b在此处一个接一个地布置。前后布置可以意味着至少两个悬臂9A，9B系仅在声音换能器1的横向方向彼此相对于另一个偏移。至少两个悬臂9a，9b可以布置在例如同一条线上。因此，它们彼此具有相同的运动自由度，但是在不同的平移偏移区域中接合于振膜3。

振膜3可相对于中心件17向外延伸。根据图4的示例性实施例，载体2的中心件17和振膜3之中央位置之间形成一间隙18。振膜3与载体2的中心件17间相隔一距离。因此，振膜3与中心件17呈分离。在此情况下，载体2位在中心件17的区域系与其边缘区域一样厚。然而，替代地，中心件17也可以设计得比边缘区域薄，使得间隙18或振膜3与中心件17之间的距离增加(相较于图7)。或者，振膜3可以位在其自然位置，也可以在中心件17的位置处呈松弛状。然而，在替代实施例中，振膜3也可以连结，特别是胶合于载体2的中心件17。

藉由两个悬臂9a，9b，振膜3可以进一步偏转。另外，振膜3可以藉由更大的力而偏转及均匀地平坦。

图5显示具有两个悬臂9a，9b的声音换能器1的另一示例性实施例的俯视平面图。两个悬臂9a，9b系并排布置并具有相同的方向。两个悬臂9a，9b还具有彼此平行的纵向侧19a-19d。第一悬臂9a的第一纵向侧19a和第二悬臂9b的第二纵向侧19d面向载体2并与其间隔开。第一悬臂9a的第二纵向侧19b和第二悬臂9b的第一纵向侧19c彼此面对并且彼此间隔开。因此，自由空间12呈两个U形分别围绕两个悬臂9a，9b。因此，在图5的平面图中，两个悬臂9a，9b各自形成有一个U形的自由空间。围绕两个悬臂9a，9b的自由空间12呈W形。

两个悬臂9a，9b彼此没有直接连接。两个悬臂9a，9b彼此分离。两个悬臂9a，9b仅连接到振膜3。

藉由悬臂9a，9b彼此间的并排布置，使多个悬臂9a，9b可以布置成平坦状。为此目的，至少需要三个悬臂9。例如，根据这里所示的实施例可以布置两个悬臂9a，9b，并且至少一个另外的悬臂可以布置在两个悬臂9a，9b中的一个的后面。结果，至少两个悬臂9一个接一个地布置。然后，三个悬臂9可以布置在直角三角形的几何图形中，每个悬臂9位于直角三角形的转角处。结果，振膜3可以平坦地偏转。三个悬臂9也可以布置成等腰三角形或等边三角形。

或者，悬臂也可以布置在不同的几何图形中，其中几何图形的角的数量对应于悬臂的数量。例如，四个悬臂可以布置成正方形，矩形，梯形，菱形或不规则四边形。

图6显示具有悬臂9的声音换能器1的另一示例性实施例，悬臂9包括两个压电组件5a，5b和耦合组件8。两个压电组件5a，5b彼此相邻地且沿相同方向布置。在它们的第二端7a，7b的区域中，两个压电组件5a，5b藉由耦合组件8彼此连接。结果，振膜3可以受很大的力而偏转。

悬臂9的第一纵向侧19a和第二纵向侧19b均与载体2间隔开。自由空间12在此为U形并围绕悬臂9延伸。结果，悬臂9的自由端11可以沿着轴线4自由地偏转。

图7显示声音换能器1的另一示例性实施例，其包括两个悬臂9a，9b。两个悬臂9a，9b彼此同一方向，其中第二悬臂9b布置在载体2的中心件17。在本实施例中，两个悬臂9a，9b的两个耦合组件8a，8b藉由单一个耦合板16连结振膜3。结果，振膜3可以通过两个悬臂9a，9b同步偏转。耦合板16通过第一耦合组件8a和第二耦合组件8b在声音换能器1的横向方向延伸。

本实施例中的间隙18大于图4所示的间隙18。为此，中心件17制造得比载体2的边缘区域薄。间隙18优选地是在轴线4的方向大约是载体2的边缘区域的厚度的一半。因此，振膜3可以远离中心件17而不与其邻接。然而，替代地，中心件17可以到达耦合板16，的位置，使得耦合板16在振膜3的中央位置松弛地承置在中心件17上。因此，中心件17也可以与载体2的边缘区域一样厚。然而，刚性的耦合板16可延伸通过中心件17上但与其分离，特别是在振膜3的中央位置。

此外，两个悬臂9a，9b也可以具有连接臂14a-14d或连接组件，这里未示出。结果，悬臂9a，9b的耦合组件8a，8b可以相对于相应的压电组件5a，5b偏转，使得耦合组件8a，8b在振膜3的偏转期间保持与其平行对齐。

悬臂9a，9b在此处一个接一个地布置。因此，至少两个悬臂9a，9b可以布置成一条线。在一个替代实施例中，多个(例如三个，四个)悬臂9可以一个接一个地布置，特别是布置在一条线上。另外，除了这里示出的悬臂9a，9b中的至少一个之外，可以布置至少一个悬臂9。例如在图2中显示两个相邻布置的悬臂9a，9b。

图8显示声音换能器1的另一示例性实施例。在振膜3和实施例的两个耦合组件8a，8b之间，分别布置有间隔组件22a，22b。间隔组件22a，22b可以在轴线4的方向具有与载体2和/或承载组件15相当的厚度。特别地，间隔组件22a，22b的厚度和耦合板16的厚度之和可以对应于承载组件15的厚度。间隔组件22a，22b可以例如在耦合组件8a，8b的制造过程之后粘合到它们上。通过间隔组件22a，22b，例如，可以增加自由空间12a，12b和凹部13a，13b的体积。如此，可以设定声音换能器1的声学特性。

根据图8，间隙18(其中间隔组件22a，22b布置在振膜3和耦合组件8a，8b之间)加宽，也布置在中心件17和振膜3之间。

同样，多个悬臂9a，9b可以再次彼此相邻地布置，例如如图5中所示及说明。这里示出的两个悬臂9a，9b再次一个接一个地布置。然而，多个悬臂9a，9b也可以一个接一个地布置。

本发明不限于图示和描述的实施例。申请专利范围内的变化与特征的组合一样可能，即使它们在不同实施例中示出和描述。

【符号说明】

1 声音换能器

2 载体

3 振膜

4 轴线

5 压电组件

5a，5b 压电组件

6 第一端

6a，6b 第一端

7 第二端

7a，7b 第二端

8 耦合组件

8a，8b 耦合组件

9 悬臂

9a，9b 悬臂

10 夹紧端

10a，10b 夹紧端

11 自由端

11a，11b 自由端

12 自由空间

13 凹部

13a，13b 凹部

14a-14d 连接臂

15 承载组件

16 耦合板

16a，16b 耦合板

17 中心件

18 间隙

19a-19d 纵向侧

20 下侧

21 上侧

22a，22b 间隔组件

Claims (11)

1.一种声音换能器(1)，用于产生和/或检测可听波长频谱的声波，其包括:

载体(2)；

连接到该载体(2)且可沿着轴线(4a，4b)相对于该载体(2)而偏转的振膜(3)；

至少一压电组件(5a，5b)，其与该振膜(3)在该轴线的方向间隔开，用于产生和/或检测该振膜(3)的偏转；该压电组件(5a，5b)包括连结于该载体(2)的第一端(6a，6b)和可沿着该轴线(4a，4b)的方向偏转的第二端(7a，7b)；

耦合组件(8a，8b)，其沿着该轴线(4a，4b)的方向延伸并位于该压电组件(5a，5b)和该振膜(3)之间，且该压电组件(5a，5b)的第二端(7a，7b)连结于该振膜(3)；其中，该至少一压电组件(5a，5b)和该耦合组件(8a，8b)共同形成悬臂式悬臂(9a，9b)，其具有由该至少一压电组件(5a，5b)的该第一端(6a，6b)形成的夹紧端(10a，10b)和该耦合组件(8a，8b)形成的自由端(11a，11b)，该声音换能器(1)具有复数个悬臂(9a，9b)，其特征在于该复数个悬臂(9a，9b)中的至少两个悬臂(9a，9b)一个接一个地布置在一平面上，所述至少两个悬臂(9a，9b)彼此相同地定向；

其中一个悬臂(9a)的耦合组件(8a)背向同一悬臂(9a)的压电组件(5a)的侧面和一个中心件(17)之间在平面中形成一自由空间(12)，其中该另一悬臂(9b)一端设置于该中心件(17)上；其中，该声音换能器(1)还包括两个凹部(13a，13b)，其中，两个悬臂(9a，9b)分别设置在该两个凹部(13a，13b)处，该两个凹部(13a，13b)被该中心件(17)分隔开。

2.如权利要求1所述的声音换能器(1)，其特征在于，该悬臂(9a，9b)位在该自由端(11a，11b)的区域连接于该振膜(3)。

3.如前述权利要求任一项所述的声音换能器(1)，其特征在于，该自由空间(12)在平面中具有一U形形状，使得该悬臂(9a，9b)在其自由端(11a，11b)及其两个纵向侧(19a-d)与该载体(2)间隔开。

4.如权利要求1所述的声音换能器(1)，其特征在于，该载体(2)具有至少一个凹部(13)，其中该悬臂(9a，9b)布置在该凹部中。

5.如权利要求4所述的声音换能器(1)，其特征在于，该凹部(13)中布置有单一个该悬臂(9a，9b)。

6.如权利要求1所述的声音换能器(1)，其特征在于，该声音换能器(1)具有多个悬臂(9a，9b)，该多个悬臂(9a，9b)在平面中并排布置。

7.如权利要求1所述的声音换能器(1)，其特征在于，至少两个并置且相同定向的悬臂(9a，9b)藉由耦合组件(8a，8b)在该自由端(11a，11b)的区域相互链接。

8.如权利要求1所述的声音换能器(1)，其特征在于，该耦合组件(8a，8b)特别地藉由弹性或柔性的连接臂(14a-d)与该压电组件(5a，5b)连接，以使该耦合组件(8a，8b)可相对于该压电组件(5a，5b)偏转。

9.如权利要求1所述的声音换能器(1)，其特征在于，该压电组件(5a，5b)和该耦合组件(8a，8b)以单一材料所形成。

10.如权利要求1所述的声音换能器(1)，其特征在于，该声音换能器(1)是微机电型扬声器和/或微机电型麦克风。

11.如权利要求4所述的声音换能器(1)，其特征在于，该凹部(13)完全由该载体(2)所包围。

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