CN111498582A - 一种摆动调平机构及调平系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及柔性物料装载技术领域，具体公开一种摆动调平机构及调平系统。该摆动调平机构包括安装底座、摆动夹持组件、摆动组件和摆动驱动组件，摆动夹持组件能够夹持工件，且摆动夹持组件能够悬浮于安装底座的上方，摆动组件包括限位块和球头杆，限位块内部设置有球窝，球头杆包括相互连接的球头部和连接杆部，球头部设置于球窝内，连接杆部与摆动夹持组件相连，球头部能够在球窝内旋转，摆动驱动组件设置于安装底座上，且被配置为驱动摆动夹持组件和摆动组件运动，并带动工件运动。本发明提供摆动调平机构，能够适应柔性物料的面型变化，从而提升对柔性物料的调平精度。

Description

一种摆动调平机构及调平系统

技术领域

本发明涉及柔性物料装载技术领域，尤其涉及一种摆动调平机构及调平系统。

背景技术

针对柔性物料的调平通常采用调平系统，现有技术中的调平系统通常有两种形式：(1)调平系统包括载台和抚平组件，将柔性物料放置于载台上，然后利用抚平组件滚压柔性物料，从而实现柔性物料在载台上的调平作业，但是这种方式对载台的上表面和抚平组件的下表面的面型要求较高，且两者之间的平行度要求也较高，极易造成柔性物料的损伤，此外，这种方式对调平系统周围环境的要求也较高，在载台与抚平组件之间不能有颗粒存在，颗粒会造成柔性物料表面的损伤；(2)调平系统包括载台和沿载台周向设置的拉伸组件，将柔性物料放置于载台上，然后使用拉伸组件对柔性物料进行拉直，这种方式无法使柔性物料精确调平，当柔性物料的结构较为复杂时，控制难度较大，成本较高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种摆动调平机构及调平系统，能够适应柔性物料的面型变化，精确调整柔性物料的面型，调平精度高。

如上构思，本发明所采用的技术方案是：

一种摆动调平机构，包括：

安装底座；

摆动夹持组件，其能够夹持工件，且所述摆动夹持组件能够悬浮于所述安装底座的上方；

摆动组件，其包括限位块和球头杆，所述限位块内部设置有球窝，所述球头杆包括相互连接的球头部和连接杆部，所述球头部设置于所述球窝内，所述连接杆部与所述摆动夹持组件相连，所述球头部能够在所述球窝内旋转；

摆动驱动组件，其设置于所述安装底座上，且被配置为驱动所述摆动夹持组件和所述摆动组件，并带动所述工件运动。

作为一种摆动调平机构的优选方案，所述摆动驱动组件还包括：

导向驱动件，其设置于所述安装底座上；

导向件，其与所述导向驱动件的输出端相连，所述导向件能够与所述球头部相卡接。

作为一种摆动调平机构的优选方案，所述球头部上设置有导向孔，所述导向件为杆状结构，所述导向件能够伸入所述导向孔内。

作为一种摆动调平机构的优选方案，在所述安装底座上设置有第一导向滑轨，所述导向驱动件的底部设置有第一导向滑块，所述第一导向滑块滑动配合于所述第一导向滑轨。

作为一种摆动调平机构的优选方案，所述摆动夹持组件包括：

第一气缸，其悬浮于所述安装底座的上方；

两个第一夹爪，其分别连接于所述第一气缸的输出端，且所述第一气缸能够驱动两个所述第一夹爪相互靠近或者远离。

作为一种摆动调平机构的优选方案，所述摆动夹持组件还包括吸盘，其用于吸附所述工件，两个所述第一夹爪中的至少一个上设置有所述吸盘，所述吸盘为风琴型真空吸盘或者伯努利真空吸盘。

作为一种摆动调平机构的优选方案，所述摆动调平机构还包括浮动支撑模块，所述浮动支撑模块包括支撑板，所述摆动夹持组件设置于所述支撑板上，所述支撑板和所述安装底座之间能够通入压缩气体。

作为一种摆动调平机构的优选方案，所述摆动调平机构还包括浮动支撑模块，所述浮动支撑模块包括：

第一磁性件，所述摆动夹持组件设置于所述第一磁性件上；

第二磁性件，其设置于所述安装底座上，且所述第一磁性件与所述第二磁性件正对设置，所述第一磁性件与所述第二磁性件具有同性磁极。

作为一种摆动调平机构的优选方案，

所述摆动驱动组件被配置为驱动所述摆动夹持组件和所述摆动组件进行直线运动；

所述摆动驱动组件包括直线驱动件和拉力传感器，所述拉力传感器的两端分别连接所述直线驱动件的输出端和所述限位块。

作为一种摆动调平机构的优选方案，所述安装底座和所述摆动夹持组件的安装平面平行。

为达上述目的，本发明还提供一种调平系统，包括：

载台，其用于承载工件；

多个如以上任一方案所述的摆动调平机构，多个所述摆动调平机构沿所述载台的周向间隔设置。

作为一种调平系统的优选方案，还包括至少一个辅助调平机构，所述辅助调平机构设置于所述载台的周围，所述辅助调平机构包括：

辅助夹持组件，其能够夹持所述工件；

辅助驱动组件，其输出端与所述辅助夹持组件相连，用于驱动所述辅助夹持组件向靠近或者远离所述工件的方向运动。

本发明的有益效果为：

本发明提供一种摆动调平机构，包括安装底座、摆动夹持组件、摆动组件和摆动驱动组件，摆动夹持组件用于夹持工件，摆动驱动组件用于驱动摆动夹持组件并带动工件运动，通过设置摆动组件，球头杆能够在限位块内旋转，并带动悬浮于安装底座上方的摆动夹持组件做小角度摆动，即在摆动驱动组件驱动摆动夹持组件运动的过程中，摆动夹持组件还能够在安装底座上方摆动，从而适应柔性物料的面型变化，从而提升对柔性物料的调平精度。

本发明提供一种调平系统，包括上述摆动调平机构，该调平系统能够适应柔性物料的面型变化，从而提升对柔性物料的调平精度。

附图说明

图1是本发明实施例一提供的调平系统的结构示意图；

图2是本发明实施例一提供的摆动调平机构的结构示意图；

图3是本发明实施例一提供的摆动调平机构的摆动组件的剖视图；

图4是本发明实施例二提供的调平系统的结构示意图；

图5是本发明实施例二提供的辅助调平机构的结构示意图。

图中：

100-摆动调平机构；200-辅助调平机构；201-辅助夹持组件；202-辅助驱动组件；300-载台；

1-摆动夹持组件；11-第一气缸；12-第一夹爪；13-吸盘；14-支撑板；15-浮动块；

2-摆动组件；21-限位块；211-球窝；22-球头杆；221-球头部；2211-导向孔；222-连接杆部；

3-摆动驱动组件；31-直线驱动件；32-安装板；33-导向驱动件；34-导向件；35-拉力传感器；

4-安装底座；41-第一导向滑轨。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

实施例一

如图1所示，本实施例提供一种调平系统，该调平系统包括载台300，载台300用于承载工件，在本实施例中，工件具体是指柔性物料。现有的调平系统在对柔性物料进行调平的过程中不能适应柔性物料的面型变化，沿柔性物料的周向设置的拉伸组件只能夹持柔性物料沿一个方向运动，对柔性物料的调平精度较低。

为了解决上述问题，本实施例的调平系统还包括摆动调平机构100，用于将工件拉平，提升对柔性物料的调平精度。

具体地，如图2-图3所示，摆动调平机构100包括安装底座4、摆动夹持组件1、摆动组件2和摆动驱动组件3，其中，在本实施例中，安装底座4的上表面为平整的安装平面，防止工件调平过程中被勾扯，安装平面4可以是板状结构，摆动夹持组件1能够夹持工件，且摆动夹持组件1能够悬浮于安装底座4的上方，摆动组件2包括限位块21和球头杆22，限位块21内部设置有球窝211，球头杆22包括相互连接的球头部221和连接杆部222，球头部221设置于球窝211内，连接杆部222与摆动夹持组件1相连，球头部221能够在球窝211内旋转，摆动驱动组件3设置于安装底座4上，且被配置为驱动摆动夹持组件1和摆动组件2运动，并能够带动工件运动。

优选地，摆动调平机构100的数量为多个，多个摆动调平机构100沿载台300的周向间隔设置。以工件为矩形柔性物料为例，为了实现调平，需要使工件的每边上均有拉伸力。作为一个非限制性的例子，在工件的四角上均设置摆动调平机构100，每个角落位置可以设置一个或两个摆动调平机构100。当每个角落位置设置两个摆动调平机构100时，控制其中一个摆动调平机构100夹持并拉伸工件一边，控制另一个摆动调平机构100夹持并拉伸工件的另一相邻边，即在每个角落位置沿工件的两相邻垂直边的方向拉伸工件，八个摆动调平机构100可以完成对工件的调平。在本实施例中，为了降低成本及简化操作，每个角落位置设置一个摆动调平机构100，且控制摆动调平机构100沿工件的对角方向进行拉伸，四个摆动调平机构100即可完成工件的调平。

以工件为矩形柔性物料为例，在一实施例中，可以控制摆动夹持组件1向工件的对角中心方向运动，并夹持工件的一角，即为相应的初始夹持位置；在另一实施例中，可以控制摆动夹持组件1向平行于工件一边的方向运动，并夹持工件的一角，即为相应的初始夹持位置。

若工件为圆形或其他形状的柔性物料，则沿工件周向设置多个摆动调平机构100，且设置合适数量的摆动调平机构100，可实现对工件的基本调平，在此不再赘述。

其中，摆动驱动组件3能够驱动摆动夹持组件1和摆动组件2沿A方向做直线运动，在球头部221在球窝211内旋转时，连接杆部222还能够带动摆动夹持组件1绕球窝211摆动，摆动夹持组件1的运动过程与连接杆部222的运动过程相同，摆动组件2可以与安装底座4滑动连接，也可以悬浮于安装底座4的上方。其中A方向仅表示水平面上一个方向，A方向平行于摆动驱动组件3的驱动方向。在本实施例中，在该摆动调平机构100使用时，利用摆动驱动组件3驱动摆动夹持组件1和摆动组件2向靠近工件的方向运动，摆动夹持组件1将工件夹持，然后摆动驱动组件3驱动摆动夹持组件1和摆动组件2向远离工件中心的方向运动，以将工件拉平。由于摆动夹持组件1在初始夹持工件时，初始夹持位置与预设夹持位置一般会有所偏差，在摆动驱动组件3驱动摆动夹持组件1和摆动组件2运动的过程中，球头部221能够在球窝211内旋转，使得连接杆部222能够带动摆动夹持组件1绕球窝211摆动，从而弥补因夹持位置存在偏差而导致的调平误差，提升对工件的调平精度。

在一实施例中，限位块21为球头杆22提供支撑力，限位块21可以与球头部221和/或连接杆部222接触，以使得摆动夹持组件1悬浮于安装底座4的上方。在一实施例中，摆动夹持组件1与安装底座4的安装平面平行，可以选择合适的限位块21及球头杆22将摆动夹持组件1支撑在一固定高度，实现摆动夹持组件1与安装底座4的安装平面平行。球头部221受力在球窝211内旋转时，球头部221和/或连接杆部222与限位块21之间存在接触，会产生摩檫，从而造成球头部221与球窝211和/或连接杆部222与限位块21的磨损，不利于摆动夹持组件1的摆动。

在本实施例中，为了降低摩檫力，球头部221与球窝211之间通入压缩气体，从而在两者之间形成气膜，使球头部221能够在球窝211内无接触旋转。具体地，在限位块21侧面开设有与球窝211连通的第一进气口，第一进气口用于向球窝211和球头部221之间通入压缩气体。气膜可以为球头部221提供一定的支撑力，然而球头部221和球窝211之间的空间有限，该支撑力较小，可以配合相接触的连接杆部222与限位块21实现对摆动夹持组件1的支撑，此时，由于连接杆部222与限位块21之间存在摩檫力，故会产生磨损，不利于摆动夹持组件1的摆动。

在本实施例中，该调平系统还包括用于支撑摆动夹持组件1的浮动支撑模块，以使得摆动夹持组件1悬浮于安装底座4的上方，连接杆部222与限位块21之间无需接触，连接杆部222与限位块21之间无摩檫，降低了摩檫力对摆动夹持组件1的摆动的影响。在本实施例中，摆动夹持组件1与安装底座4的安装平面平行，可以控制浮动支撑模块提供的浮力，以将摆动夹持组件1支撑在一固定的高度，实现摆动夹持组件1与安装底座4的安装平面平行。在使用摆动夹持组件1拉伸工件时，摆动夹持组件1可以在一固定的高度上摆动，而无高度方向的位移，可以避免其高度方向产生位移对工件的调平带来不利影响。

其中，浮动支撑模块包括支撑板14，摆动夹持组件1设置于支撑板14上，支撑板14与安装底座4之间通入压缩气体，以为摆动夹持组件1提供支撑力，在安装底座4上开设有相互连通的第二进气口和出气口，第二进气口用于通入压缩气体，出气口正对支撑板14设置，支撑板14可以增加气流的作用面积，且支撑板14的表面平整，有利于控制气流的强度以保持摆动夹持组件1的高度不变。当然，在其他实施例中，第二进气口和出气口还可以设置于支撑板14上，第二进气口用于通入压缩气体，出气口正对安装底座4设置，也能够实现上述效果。

优选地，浮动支撑模块还包括浮动块15，浮动块15设置于支撑板14的底部，浮动块15的数量可以根据实际情况进行调整，在此不做限制。在本实施例中，浮动块15的数量为两个，两个浮动块15间隔设置于支撑板14的底部，第二进气口和出气口也可以设置于浮动块15上。当球头部221在球窝211内旋转时，连接杆部222能够带动摆动夹持组件1在安装底座4的上方摆动，以适应工件的面型变化。

在其他实施例中，浮动支撑模块包括第一磁性件和第二磁性件，摆动夹持组件1设置于第一磁性件上，第二磁性件设置于安装底座4上，第一磁性件和第二磁性件正对设置，第一磁性件和第二磁性件具有同性磁极，在同性磁极相互排斥的作用下，使摆动夹持组件1能够悬浮于安装底座4的上方。

摆动驱动组件3可以为摆动组件2提供支撑力，使得摆动组件2支撑在安装底座4的上方。为了进一步提升对摆动组件2的支撑力，在本实施例中，浮动支撑模块还用于支撑摆动组件2，可以在安装底座4与摆动夹持组件1之间设置浮动支撑模块，以提升摆动组件2的支撑稳定性。可以理解的是，在安装底座4与摆动夹持组件1之间以及在安装底座4与摆动组件2之间分别设置浮动支撑模块。当然，在其他实施例中，摆动组件2还可以滑动设置于安装底座4上，具体地，在安装底座4上设置有第二导向滑轨，在限位块21的底部设置有第二导向滑块，第二导向滑块滑动配合于第二导向滑轨，从而使得摆动组件2沿A方向做直线运动。

本实施例提供一种摆动调平机构100，摆动夹持组件1用于夹持工件，摆动驱动组件3用于驱动摆动夹持组件1并带动工件运动，通过设置摆动组件2，球头部221能够在限位块21内旋转，并带动悬浮于安装底座4上方的摆动夹持组件1做小角度摆动，即在摆动驱动组件3驱动摆动夹持组件1运动的过程中，摆动夹持组件1还能够在安装底座4上方摆动，从而适应柔性物料的面型变化，从而提升调平精度，实现对柔性物料的精确调平。

进一步地，摆动驱动组件3包括直线驱动件31和拉力传感器35，拉力传感器35的两端分别连接直线驱动件31的输出端和限位块21，直线驱动件31具体可以是第一驱动气缸或者第一直线电机。通过设置拉力传感器35，可以检测直线驱动件31的输出端上的拉力，当拉力达到预设值时，直线驱动件31停止驱动限位块21和摆动夹持组件1运动，避免工件被拉伸过度发生损坏。

由于在球头部221和球窝211之间存在气膜，球头杆22会在限位块21内旋转，为了方便摆动夹持组件1夹持工件，摆动驱动组件3还包括导向驱动件33和导向件34，导向件34与导向驱动件33的输出端相连，导向件34能够与球头部221相卡接。在本实施例中，球头部221远离连接杆部222的一端设置有导向孔2211，导向件34为杆状结构，导向件34能够伸入导向孔2211内，以实现对球头杆22的限位。导向驱动件33具体可以是第二驱动气缸或者第二直线电机。当然，在其他实施例中，导向件34还可以是夹持件，夹持件能够夹持连接杆部222，从而实现对球头杆22的限位。此外，其他能够实现对球头杆22限位的导向件34的具体结构均可以被采用，在此不做限定。

优选地，摆动驱动组件3还包括安装板32，安装板32与直线驱动件31的输出端相连，安装板32滑动设置于安装底座4上，导向驱动件33设置于安装板32上，通过设置安装板32，可以缩短导向驱动件33驱动导向件34的运动行程，便于调节。

具体而言，当需要对工件进行调平时，导向驱动件33首先驱动导向件34伸入球头部221的导向孔2211内，避免球头杆22在球窝211内旋转，再使直线驱动件31驱动限位块21并带动摆动夹持组件1向靠近载台300的方向运动，以使摆动夹持组件1夹持工件上对应的角；然后导向驱动件32驱动导向件34退出导向孔2211，再使直线驱动件31驱动限位块21并带动摆动夹持组件1向远离工件中心的方向运动，以使球头杆22在球窝211内旋转从而自适应地调整工件的面型，从而实现工件的调平。

优选地，在安装底座4上设置有第一导向滑轨41，安装板32的底部设置有第一导向滑块，第一导向滑块滑动配合于第一导向滑轨41。通过设置相互滑动配合第一导向滑块和第一导向滑轨41，能够为摆动夹持组件1和摆动组件2的运动提供导向，保证两者在运动过程中的稳定性。

进一步地，摆动夹持组件1包括第一气缸11和两个第一夹爪12，第一气缸11设置于支撑板14上，两个第一夹爪12分别连接于第一气缸11的输出端，且第一气缸11能够驱动两个第一夹爪12相互靠近或者远离，具体而言，当需要夹持工件时，第一气缸11驱动两个第一夹爪12向相互远离的方向运动，直线驱动件31驱动摆动夹持组件1向靠近工件的方向运动，从而使工件位于两个第一夹爪12之间，然后第一气缸11驱动两个第一夹爪12向相互靠近的方向运动，以将工件夹持于两个第一夹爪12之间。

需要说明的是，采用上述方式，可以实现对工件的调平，但是这种调平方式实现的是对工件的基本调平，这是因为在摆动夹持组件1通过摆动以调整工件的位置时，会在工件的初始夹持位置或者初始夹持位置附近区域出现轻微褶皱。为了解决这一问题，在本实施例中，摆动夹持组件1还包括吸盘13，至少一个第一夹爪12上设置有吸盘13，吸盘13包括吸嘴和真空发生器，吸嘴13与真空发生器相连通，在真空发生器的作用下，吸嘴能够将工件牢牢吸附。

优选地，在本实施例中，吸盘13为风琴型真空吸盘(波纹吸盘)。吸盘13还包括缓冲囊体，缓冲囊体可以用于补偿摆动夹持组件1对工件的初始夹持位置的偏差，降低了工件初始夹持位置及其附近区域的褶皱，从而实现工件的整体精确的调平。在其他实施例中，吸盘13还可以是伯努利吸盘，伯努利吸盘在夹持工件时，与工件之间存在间隔，即使初始夹持位置有对准误差，随着摆动组件2的移动，摆动夹持组件1也会适应性移动，并使得摆动夹持组件1和摆动组件2对准，实现了无接触平移，初始夹持位置及其附近区域也不会出现褶皱，可以实现整体无褶皱调平，且工件表面无损伤。

实施例二

如图4所示，本实施例提供一种调平系统，该调平系统与实施例一的区别在于，该调平系统还包括辅助调平机构200，辅助调平机构200设置在工件的初始夹持位置附近，用于辅组夹持工件，辅助夹持机构200的数量和摆动调平机构100的数量总和可以为四个，但不限于此。摆动调平机构100和辅助调平机构200环设于载台300的周围，辅助调平机构200能够在工件的至少一边提供夹持力，辅组夹持机构200可以沿着对角设置，当对角设置时，辅组夹持机构200提供的夹持力在工件相邻两边上均有夹持分力。例如，如图4所示，该调平系统包括两个辅助调平机构200和两个摆动调平机构100，两个辅助调平机构200和两个摆动调平机构100分别设置于载台300的四角位置处。在其他实施例中，调平系统还可以包括一个辅助调平机构200和三个摆动调平机构100。

如图5所示，辅助调平机构200包括辅助夹持组件201和辅助驱动组件202，辅助夹持组件201能够夹持工件，辅助驱动组件202的输出端与辅助夹持组件201相连，用于驱动辅助夹持组件201向靠近或者远离工件的方向运动，即向靠近或者远离初始夹持位置的方向运动。对于辅助夹持组件201，以工件为矩形柔性物料为例，在一实施例中，可以控制辅助夹持组件201向工件的对角中心方向运动，并夹持工件的一角，即为相应的初始夹持位置；在另一实施例中，可以控制辅助夹持组件201向平行于工件一边的方向运动，并夹持工件的一角，即为相应的初始夹持位置。辅助驱动组件202具体可以是第三驱动气缸或者第三直线电机。

在本实施例中，辅助夹持组件201包括第二气缸和两个第二夹爪，两个第二夹爪分别连接于第二气缸的输出端，且第二气缸能够驱动两个第二夹爪相互靠近，从而实现夹持工件的效果。

以上实施方式只是阐述了本发明的基本原理和特性，本发明不受上述实施方式限制，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (12)

1.一种摆动调平机构，其特征在于，包括：

安装底座(4)；

摆动夹持组件(1)，其能够夹持工件，且所述摆动夹持组件(1)能够悬浮于所述安装底座(4)的上方；

摆动组件(2)，其包括限位块(21)和球头杆(22)，所述限位块(21)内部设置有球窝(211)，所述球头杆(22)包括相互连接的球头部(221)和连接杆部(222)，所述球头部(221)设置于所述球窝(211)内，所述连接杆部(222)与所述摆动夹持组件(1)相连，所述球头部(221)能够在所述球窝(211)内旋转；

摆动驱动组件(3)，其设置于所述安装底座(4)上，且被配置为驱动所述摆动夹持组件(1)和所述摆动组件(2)，并带动所述工件运动。

2.根据权利要求1所述的摆动调平机构，其特征在于，所述摆动驱动组件(3)还包括：

导向驱动件(33)，其设置于所述安装底座(4)上；

导向件(34)，其与所述导向驱动件(33)的输出端相连，所述导向件(34)能够与所述球头部(221)相卡接。

3.根据权利要求2所述的摆动调平机构，其特征在于，所述球头部(221)上设置有导向孔(2211)，所述导向件(34)为杆状结构，所述导向件(34)能够伸入所述导向孔(2211)内。

4.根据权利要求2所述的摆动调平机构，其特征在于，在所述安装底座(4)上设置有第一导向滑轨(41)，所述导向驱动件(33)的底部设置有第一导向滑块，所述第一导向滑块滑动配合于所述第一导向滑轨(41)。

5.根据权利要求1所述的摆动调平机构，其特征在于，所述摆动夹持组件(1)包括：

第一气缸(11)，其悬浮于所述安装底座(4)的上方；

两个第一夹爪(12)，其分别连接于所述第一气缸(11)的输出端，且所述第一气缸(11)能够驱动两个所述第一夹爪(12)相互靠近或者远离。

6.根据权利要求5所述的摆动调平机构，其特征在于，所述摆动夹持组件(1)还包括吸盘(13)，其用于吸附所述工件，两个所述第一夹爪(12)中的至少一个上设置有所述吸盘(13)，所述吸盘(13)为风琴型真空吸盘或者伯努利真空吸盘。

7.根据权利要求1-6任一项所述的摆动调平机构，其特征在于，所述摆动调平机构(100)还包括浮动支撑模块，所述浮动支撑模块包括支撑板(14)，所述摆动夹持组件(1)设置于所述支撑板(14)上，所述支撑板(14)和所述安装底座(4)之间能够通入压缩气体。

8.根据权利要求1-6任一项所述的摆动调平机构，其特征在于，所述摆动调平机构(100)还包括浮动支撑模块，所述浮动支撑模块包括：

第一磁性件，所述摆动夹持组件(1)设置于所述第一磁性件上；

第二磁性件，其设置于所述安装底座(4)上，且所述第一磁性件与所述第二磁性件正对设置，所述第一磁性件与所述第二磁性件具有同性磁极。

9.根据权利要求1所述的摆动调平机构，其特征在于，

所述摆动驱动组件(3)被配置为驱动所述摆动夹持组件(1)和所述摆动组件(2)进行直线运动；

所述摆动驱动组件(3)包括直线驱动件(31)和拉力传感器(35)，所述拉力传感器(35)的两端分别连接所述直线驱动件(31)的输出端和所述限位块(21)。

10.根据权利要求1所述的摆动调平机构，其特征在于，所述安装底座(4)和所述摆动夹持组件(1)的安装平面平行。

11.一种调平系统，其特征在于，包括：

载台(300)，其用于承载工件；

多个如权利要求1-10任一项所述的摆动调平机构(100)，多个所述摆动调平机构(100)沿所述载台(300)的周向间隔设置。

12.根据权利要求11所述的调平系统，其特征在于，还包括至少一个辅助调平机构(200)，所述辅助调平机构(200)设置于所述载台(300)的周围，所述辅助调平机构(200)包括：

辅助夹持组件(201)，其能够夹持所述工件；

辅助驱动组件(202)，其输出端与所述辅助夹持组件(201)相连，用于驱动所述辅助夹持组件(201)向靠近或者远离所述工件的方向运动。

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