CN111443300A - 卤素灯的检测方法、装置及设备 - Google Patents

Abstract

本申请实施例公开了一种卤素灯的检测方法、装置及设备，用以解决无法对卤素灯损坏进行预警的问题。所述方法包括：在卤素灯处于加热状态时，获取所述卤素灯的灯管参数信息；所述灯管参数信息包括灯管功率和灯管阻抗；判断所述灯管功率是否位于预设功率范围内；若所述灯管功率位于所述预设功率范围内，则判断所述灯管阻抗是否低于预设阻抗阈值；若所述灯管阻抗低于所述预设阻抗阈值，则发出第一预警信息；所述第一预警信息用于提示所述卤素灯具有损坏风险。该技术方案实现了对具有损坏风险的卤素灯的预警效果，避免了卤素灯损坏后对设备的周围部件造成影响的情况，从而降低对设备的异常维护频率，提高设备的竞争力。

Description

卤素灯的检测方法、装置及设备

技术领域

本发明涉及微电子及设备检测技术领域，尤其涉及一种卤素灯的检测方法、装置及设备。

背景技术

化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)法外延，作为一种借助空间气相化学反应在衬底表面沉积固态薄膜的一种气相外延生长技术，因其相关设备简单、生长参数容易控制、重复性好，是目前硅外延生长的主要方法。

目前的CVD硅外延设备主要有多片和单片两种。多片CVD设备使用感应加热方式，升温和降温效率较低；并且采用真空机械手取放片的方式，越来越难以满足客户对高晶片边缘质量的要求。此外，多片CVD设备较大的矩形腔室设计在薄膜外延方面没有明显优势，也难以满足更大尺寸晶片(8寸以上)的外延要求。而单片CVD设备采用红外加热方式及表面非接触式取放片方式，具有圆形腔室结构以及对8寸以上晶片外延的较好开发能力，恰好弥补了多片CVD设备的缺点，是目前CVD硅外延设备的较佳选择。

单片CVD设备使用红外卤素灯进行加热。红外卤素灯由灯丝、玻璃管壁、内部填充气体等组成。相对于多片CVD设备的感应线圈，红外卤素灯的升温效率和降温效率较高，但是红外卤素灯比石墨材质的感应线圈更易损坏，并有可能波及周围反射屏或其他腔室部件，降低周围部件的使用寿命，并增加维护频率。因此，如何避免由红外卤素灯损坏引发的不良影响，是降低损失和单片CVD设备异常维护频率的关键问题。

发明内容

本申请实施例的目的是提供一种卤素灯的检测方法、装置及设备，用以解决无法对卤素灯损坏进行预警的问题。

为解决上述技术问题，本申请实施例是这样实现的：

一方面，本申请实施例提供一种卤素灯的检测方法，包括：

在卤素灯处于加热状态时，获取所述卤素灯的灯管参数信息；所述灯管参数信息包括灯管功率和灯管阻抗；

判断所述灯管功率是否位于预设功率范围内；

若所述灯管功率位于所述预设功率范围内，则判断所述灯管阻抗是否低于预设阻抗阈值；

若所述灯管阻抗低于所述预设阻抗阈值，则发出第一预警信息；所述第一预警信息用于提示所述卤素灯具有损坏风险。

另一方面，本申请实施例提供一种卤素灯的检测装置，包括：

第一获取模块，用于在卤素灯处于加热状态时，获取所述卤素灯的灯管参数信息；所述灯管参数信息包括灯管功率和灯管阻抗；

第一判断模块，用于判断所述灯管功率是否位于预设功率范围内；

第二判断模块，用于若所述灯管功率位于所述预设功率范围内，则判断所述灯管阻抗是否低于预设阻抗阈值；

第一预警模块，用于若所述灯管阻抗低于所述预设阻抗阈值，则发出第一预警信息；所述第一预警信息用于提示对所述卤素灯具有损坏风险。

再一方面，本申请实施例提供一种卤素灯的检测设备，包括腔室，以及设置于所述腔室内的卤素灯、处理器；其中：

所述卤素灯，用于为所述腔室提供热源；

所述处理器，用于在所述卤素灯处于加热状态时，获取所述卤素灯的灯管参数信息；所述灯管参数信息包括灯管功率和灯管阻抗；判断所述灯管功率是否位于预设功率范围内；若所述灯管功率位于所述预设功率范围内，则判断所述灯管阻抗是否低于预设阻抗阈值；若所述灯管阻抗低于所述预设阻抗阈值，则发出第一预警信息；所述第一预警信息用于提示所述卤素灯具有损坏风险。

采用本发明实施例的技术方案，能够在卤素灯处于加热状态时，获取卤素灯的灯管参数信息(包括灯管功率和灯管阻抗)，进而在灯管功率位于预设功率范围内的情况下，判断灯管阻抗是否低于预设阻抗阈值；在灯管阻抗低于预设阻抗阈值的情况下，发出第一预警信息，以提示卤素灯具有损坏风险。因此实现了对具有损坏风险的卤素灯的预警效果，而并非在卤素灯损坏后才做维护，避免了卤素灯损坏后对设备的周围部件造成影响的情况，从而降低对设备的异常维护频率，提高设备的竞争力。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本发明一实施例的一种卤素灯的检测方法的示意性流程图；

图2是根据本发明一实施例的一种卤素灯的检测方法中灯管功率和灯管阻抗的示意性坐标图；

图3是根据本发明另一实施例的一种卤素灯的检测方法的示意性流程图；

图4是根据本发明一实施例的一种卤素灯的检测装置的示意性框图；

图5是根据本发明一实施例的一种卤素灯的检测设备的示意性框图。

具体实施方式

本申请实施例提供一种卤素灯的检测方法、装置及设备，用以解决无法对卤素灯损坏进行预警的问题。

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请中的技术方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

图1是根据本发明一实施例的一种卤素灯的检测方法的示意性流程图，如图1所示，该方法包括：

S102，在卤素灯处于加热状态时，获取卤素灯的灯管参数信息。其中，灯管参数信息可包括灯管功率和灯管阻抗。

S104，判断灯管功率是否位于预设功率范围内。

S106，若灯管功率位于预设功率范围内，则判断灯管阻抗是否低于预设阻抗阈值。

S108，若灯管阻抗低于预设阻抗阈值，则发出第一预警信息，第一预警信息用于提示卤素灯具有损坏风险。

本实施例提高的卤素灯的检测方法不限于用在何种设备中，只要设备中配置有卤素灯即可，例如，内设有红外卤素灯的单片CVD设备等。

采用本发明实施例的技术方案，能够在卤素灯处于加热状态时，获取卤素灯的灯管参数信息(包括灯管功率和灯管阻抗)，进而在灯管功率位于预设功率范围内的情况下，判断灯管阻抗是否低于预设阻抗阈值；在灯管阻抗低于预设阻抗阈值的情况下，发出第一预警信息，以提示卤素灯具有损坏风险。因此实现了对具有损坏风险的卤素灯的预警效果，而并非在卤素灯损坏后才做维护，避免了卤素灯损坏后对设备的周围部件造成影响的情况，从而降低对设备的异常维护频率，提高设备的竞争力。

在执行S102时，可在设备内配置一用于采集卤素灯的灯管参数信息的组件，如调功器。调功器可实时检测卤素灯的灯管功率和灯管阻抗，并将检测到的灯管功率和灯管阻抗提供给执行卤素灯的检测方法的软件或硬件(如处理器)。

在一个实施例中，获取到卤素灯的灯管参数信息后，首先判断卤素灯的灯管功率是否位于预设功率范围内。若卤素灯的灯管功率位于预设功率范围内，则进一步判断灯管阻抗是否低于预设阻抗阈值。若灯管阻抗低于预设阻抗阈值，则发出第一预警信息，以提示卤素灯具有损坏风险，即卤素灯将要损坏。反之，若灯管阻抗不低于预设阻抗阈值，则确定卤素灯不具有损坏风险，此时不进行预警。若卤素灯的灯管功率不位于预设功率范围内，则可不进行灯管阻抗值的判断。

在一个实施例中，可基于预先获得的灯管功率和灯管阻抗之间的映射关系，确定在灯管功率位于预设功率范围内时对应的灯管阻抗范围。

本实施例中，灯管功率和灯管阻抗之间的映射关系可通过实验获得。图2示出了一实施例中灯管阻抗和灯管功率之间的映射关系。如图2所示，横坐标代表采样次数，纵坐标代表灯管功率和灯管阻抗，其中，可设置主坐标为灯管功率，单位为kw；次坐标为灯管阻抗，单位为ohm。图2中位于上方的曲线对应灯管功率，图2中位于下方的曲线对应灯管阻抗。在设备正常运行时，灯管功率保持在[11，15](kw)范围内，在该功率范围内灯管阻抗随功率变化，且均不小于8ohm。但在灯管阻抗曲线中，参照A点处虚线圈出部分，灯管阻抗逐渐降低至7ohm，甚至更低。而在B点，灯管阻抗瞬间增大至17ohm以上，灯管断线，完全损坏。因此，可将A点处的阻抗低点7ohm作为预设阻抗阈值。当卤素灯的灯管阻抗低于7ohm时，可认为卤素灯具有损坏风险，此时可发出第一预警信息。

本实施例中，由于卤素灯在灯管损坏之前，灯管阻抗会异常降低，因此通过比较灯管阻抗是否低于预设阻抗阈值来判断卤素灯是否具有损坏风险，使得卤素灯在损坏之前即可被检测出有风险，从而避免卤素灯的损坏带来的其他影响，如减少设备中的其他组件的使用寿命，以及降低对设备的异常维护频率。

进一步地，本实施例在灯管功率位于预设功率范围内的情况下判断灯管阻抗是否低于预设阻抗阈值，使得卤素灯是否具有损坏风险的检测结果更加准确，避免因灯管功率异常时导致灯管阻抗异常而被误认为卤素灯具有损坏风险的情况。

在一个实施例中，发出第一预警信息以提示卤素灯具有损坏风险之后，可获取对卤素灯进行检测的第一检测结果，然后根据第一检测结果判断卤素灯是否符合预设更换条件；若满足，则发出第二预警信息以提示对卤素灯进行更换。其中，检测结果包括以下至少一项：卤素灯的灯丝是否弯曲、灯丝是否变色、灯丝是否断线、卤素灯的玻璃管壁是否膨胀。

本实施例中，在卤素灯具有损坏风险的情况下，可进一步检测卤素灯是否需要更换。根据对卤素灯的检测结果，可判断出卤素灯本身是否即将损坏。例如，若出现灯丝弯曲、灯丝两端变色、灯丝断线、卤素灯的玻璃管壁膨胀等情况，说明卤素灯本身即将损坏，则认为卤素灯符合预设更换条件，此时发出第二预警信息以提示对卤素灯进行更换。若未出现上述任一种情况，则说明卤素灯本身没有问题，即不符合预设更换条件，无需更换。

本实施例中，可由设备内置的耐高温摄像装置对卤素灯进行检测，以得到第一检测结果。具体的，可采用下述方式对卤素灯进行检测：

首先，利用耐高温摄像装置摄取卤素灯的第一灯管图像。

其次，对第一灯管图像进行分析，以获得卤素灯的第一灯管状态信息，该第一灯管状态信息包括以下至少一项：灯丝形状、灯丝颜色、玻璃管壁的形状。

再次，将第一灯管状态信息与预设的基准灯管状态信息进行比对，得到比对结果。

其中，基准灯管状态信息包括以下至少一项：灯丝基准形状、灯丝基准颜色、玻璃管壁的基准形状。

最后，根据比对结果，确定对卤素灯进行检测的第一检测结果。

其中，通过将卤素灯的灯丝形状与灯丝基准形状进行比对，可得到灯丝形状与灯丝基准形状是否一致的比对结果；若灯丝形状与灯丝基准形状不一致，则确定第一检测结果为灯丝弯曲或断线。

通过将卤素灯的灯丝颜色与灯丝基准颜色进行比对，可得到灯丝颜色与灯丝基准颜色是否一致的比对结果；若灯丝颜色与灯丝基准颜色不一致，则确定第一检测结果为灯丝变色。

通过将卤素灯的玻璃管壁的形状与玻璃管壁的基准形状进行比对，可得到玻璃管壁的形状与玻璃管壁的基准形状是否一致的比对结果；若玻璃管壁的形状与其基准形状不一致，则确定第一检测结果为玻璃管壁膨胀。

本实施例中，通过在设备内置一耐高温摄像装置，并利用该耐高温摄像装置摄取卤素灯的灯管图像，进而对灯管图像进行分析以获得灯管状态信息，实现了设备对卤素灯的自动化检测，无需耗费人力，且自动化检测更能提升检测结果的准确性。

在一个实施例中，若判定卤素灯不符合预设更换条件，则可发出第三预警信息，以提示对与灯管阻抗相关的指定因素进行检测。

其中，指定因素包括：灯管接线端子是否松动。

本实施例中，可由设备内置的耐高温摄像装置对上述指定因素进行检测，以获得第二检测结果。具体的，可采用下述方式对上述指定因素进行检测：

首先，利用耐高温摄像装置摄取卤素灯的第二灯管图像。

其次，对第二灯管图像进行分析，以获得卤素灯的第二灯管状态信息，该第二灯管状态信息包括灯管接线端子的连接状态信息。

再次，根据灯管接线端子的连接状态信息，确定对指定因素进行检测的第二检测结果。

其中，通过分析卤素灯的第二灯管状态信息，可获知灯管接线端子的连接状态信息，进而可获知灯管接线端子是否松动。

可见，本实施例中，能够在卤素灯无需更换的情况下预警对与灯管阻抗相关的指定因素进行检测，即预警对导致灯管阻抗降低的因素进行检测，从而排查出导致灯管阻抗降低的真正原因，避免卤素灯的损坏。此外，本实施例通过设备内置的耐高温摄像装置对与灯管阻抗相关的指定因素进行检测，实现了设备对卤素灯的自动化检测，无需耗费人力，且自动化检测更能提升检测结果的准确性。

图3是根据本发明另一实施例的一种卤素灯的检测方法的示意性流程图，如图3所示，该方法应用于使用红外卤素灯加热的单片CDV设备中，单片CDV设备内置有耐高温摄像装置。具体包括以下步骤：

S301，在红外卤素灯处于加热状态时，获取红外卤素灯的灯管功率和灯管阻抗。

S302，判断红外卤素灯的灯管功率是否位于预设功率范围内；若是，则执行S303；若否，则继续执行S302。

其中，预设功率范围可通过试验获得，具体获得方法已在图2所示实施例中详细说明，此处不再赘述。

S303，判断红外卤素灯的灯管阻抗是否低于预设阻抗阈值；若是，则执行S304；若否，则执行S311。

其中，预设阻抗阈值可通过试验获得，具体获得方法已在图2所示实施例中详细说明，此处不再赘述。

S304，发出第一预警信息，以提示红外卤素灯具有损坏风险。

该步骤中，第一预警信息的提示方式不作限定，例如，可通过在显示屏上显示第一预警信息、同时以警示灯闪烁的方式进行预警。用户获知第一预警信息，即可获知需对红外卤素灯进行开腔检测。

S305，利用耐高温摄像装置摄取红外卤素灯的第一灯管图像。

S306，对第一灯管图像进行分析，以获得对红外卤素灯进行检测的第一检测结果。

其中，第一检测结果可包括以下至少一项：卤素灯的灯丝是否弯曲、灯丝是否变色、灯丝是否断线、卤素灯的玻璃管壁是否膨胀。

该步骤中，对第一灯管图像进行分析后，可得到红外卤素灯的第一灯管状态信息，该第一灯管状态信息包括灯丝形状、灯丝颜色、玻璃管壁的形状等。通过将第一灯管状态信息与预设的基准灯管状态信息进行比对，即可确定第一检测结果。其中，基准灯管状态信息包括灯丝基准形状、灯丝基准颜色、玻璃管壁的基准形状等。

S307，根据第一检测结果，判断红外卤素灯是否符合预设更换条件。若是，则执行S308；若否，则执行S309。

该步骤中，在检测结果中若存在至少一项以下情况：卤素灯的灯丝弯曲、灯丝变色、灯丝断线、卤素灯的玻璃管壁膨胀，即可认为符合预设更换条件。

S308，发出第二预警信息，以提示对红外卤素灯进行更换。

其中，第二预警信息的提示方式不作限定，例如，可通过在显示屏上显示第二预警信息、同时以警示灯闪烁的方式进行预警。用户获知第二预警信息，即可获知需对红外卤素灯进行更换。此外，第一预警信息与第二预警信息的提示方式可通过信息内容、警示灯颜色不同、警示灯闪烁频率不同等方式进行区分。

S309，发出第三预警信息，以提示对与灯管阻抗相关的指定因素进行检测。

其中，指定因素包括灯管接线端子是否松动。

S310，利用耐高温摄像装置摄取红外卤素灯的第二灯管图像，并对第二灯管图像进行分析，以获得对指定因素进行检测的第二检测结果。

该步骤中，通过对第二灯管图像进行分析，可获得红外卤素灯的第二灯管状态信息，该第二灯管状态信息包括指定因素的相关信息，如包括灯管接线端子的连接状态信息。根据分析出的指定因素的相关信息，即可排查出导致灯管阻抗降低的真正原因。

S311，确定红外卤素灯不具有损坏风险。

本实施例中，能够在红外卤素灯处于加热状态时，获取红外卤素灯的灯管功率和灯管阻抗，进而根据灯管功率和灯管阻抗判断是否对红外卤素灯进行预警，以提示具有损坏风险。因此实现了对具有损坏风险的红外卤素灯的预警效果，而并非在红外卤素灯损坏后才做维护。并且还能够在红外卤素灯需更换时进行预警，避免了红外卤素灯损坏后对单片CVD设备的其他部件造成影响的情况，从而降低对单片CVD设备的异常维护频率，提高单片CVD设备的竞争力。此外，上述卤素灯的检测方法无需耗费人力，实现了设备对卤素灯的自动化检测，提升卤素灯检测结果的准确性。

综上，已经对本主题的特定实施例进行了描述。其它实施例在所附权利要求书的范围内。在一些情况下，在权利要求书中记载的动作可以按照不同的顺序来执行并且仍然可以实现期望的结果。另外，在附图中描绘的过程不一定要求示出的特定顺序或者连续顺序，以实现期望的结果。在某些实施方式中，多任务处理和并行处理可以是有利的。

以上为本申请实施例提供的卤素灯的检测方法，基于同样的思路，本申请实施例还提供一种卤素灯的检测装置。

图4是根据本发明一实施例的一种卤素灯的检测装置的示意性流程图，如图4所示，该装置包括：

第一获取模块410，用于在卤素灯处于加热状态时，获取所述卤素灯的灯管参数信息；所述灯管参数信息包括灯管功率和灯管阻抗；

第一判断模块420，用于判断所述灯管功率是否位于预设功率范围内；

第二判断模块430，用于若所述灯管功率位于所述预设功率范围内，则判断所述灯管阻抗是否低于预设阻抗阈值

第一预警模块440，用于若所述灯管阻抗低于所述预设阻抗阈值，则发出第一预警信息；所述第一预警信息用于提示所述卤素灯具有损坏风险。

在一个实施例中，所述装置还包括：

第一确定模块，用于基于预先获得的所述灯管功率和所述灯管阻抗之间的映射关系，确定在所述灯管功率位于所述预设功率范围内时对应的灯管阻抗范围；

第二确定模块，用于根据所述灯管阻抗范围确定所述预设阻抗阈值；其中，所述预设阻抗阈值小于或等于所述灯管阻抗范围内的最小值。

在一个实施例中，所述装置还包括：

第二获取模块，用于在所述发出第一预警信息之后，获取对所述卤素灯进行检测的第一检测结果；所述第一检测结果包括以下至少一项：所述卤素灯的灯丝是否弯曲、所述灯丝是否变色、所述灯丝是否断线、所述卤素灯的玻璃管壁是否膨胀；

第三判断模块，用于根据所述第一检测结果，判断所述卤素灯是否符合预设更换条件；

第二预警模块，用于若所述卤素灯符合所述预设更换条件，则发出第二预警信息；所述第二预警信息用于提示对所述卤素灯进行更换。

在一个实施例中，所述装置还包括：

第一摄取模块，用于在所述获取对所述卤素灯进行检测的第一检测结果之前，利用耐高温摄像装置摄取所述卤素灯的第一灯管图像；

第一分析模块，用于对所述第一灯管图像进行分析，以获得所述卤素灯的第一灯管状态信息；所述第一灯管状态信息包括以下至少一项：灯丝形状、灯丝颜色、所述玻璃管壁的形状；

比对模块，用于将所述第一灯管状态信息与预设的基准灯管状态信息进行比对，得到比对结果；所述基准灯管状态信息包括以下至少一项：灯丝基准形状、灯丝基准颜色、所述玻璃管壁的基准形状；

第三确定模块，用于根据所述比对结果，确定对所述卤素灯进行检测的第一检测结果。

在一个实施例中，所述第三确定模块包括：

第一确定单元，用于若所述比对结果为所述灯丝形状与所述灯丝基准形状不一致，则确定所述第一检测结果为灯丝弯曲或断线；

第二确定单元，用于若所述比对结果为所述灯丝颜色与所述灯丝基准颜色不一致，则确定所述第一检测结果为灯丝变色；

第三确定单元，用于若所述比对结果为所述玻璃管壁的形状与所述玻璃管壁的基准形状不一致，则确定所述第一检测结果为所述玻璃管壁膨胀。

在一个实施例中，所述装置还包括：

第三预警模块，用于在所述判断所述卤素灯是否符合预设更换条件之后，若判定所述卤素灯不符合所述预设更换条件，则发出第三预警信息；所述第三预警信息用于提示对与所述灯管阻抗相关的指定因素进行检测。

在一个实施例中，所述指定因素包括：灯管接线端子是否松动；

所述装置还包括：

第二摄取模块，用于若判定所述卤素灯不符合所述预设更换条件，则利用耐高温摄像装置摄取所述卤素灯的第二灯管图像；

第二分析模块，用于对所述第二灯管图像进行分析，以获得所述卤素灯的第二灯管状态信息；所述第二灯管状态信息包括灯管接线端子的连接状态信息；

第四确定模块，用于根据所述连接状态信息，确定对所述指定因素进行检测的第二检测结果。

采用本发明实施例的装置，能够在卤素灯处于加热状态时，获取卤素灯的灯管参数信息(包括灯管功率和灯管阻抗)，进而在灯管功率位于预设功率范围内的情况下，判断灯管阻抗是否低于预设阻抗阈值；在灯管阻抗低于预设阻抗阈值的情况下，发出第一预警信息，以提示卤素灯具有损坏风险。因此实现了对具有损坏风险的卤素灯的预警效果，而并非在卤素灯损坏后才做维护，避免了卤素灯损坏后对设备的周围部件造成影响的情况，从而降低对设备的异常维护频率，提高设备的竞争力。

本领域的技术人员应可理解，上述卤素灯的检测装置能够用来实现前文所述的卤素灯的检测方法，其中的细节描述应与前文方法部分描述类似，为避免繁琐，此处不另赘述。

基于同样的思路，本申请实施例还提供一种卤素灯的检测设备，如图5所示。卤素灯的检测设备可包括腔室510，以及设置于腔室510内的卤素灯520及处理器530；其中：

卤素灯520，用于为所述腔室510提供热源；

处理器530，用于在所述卤素灯520处于加热状态时，获取所述卤素灯520的灯管参数信息；所述灯管参数信息包括灯管功率和灯管阻抗；判断所述灯管功率是否位于预设功率范围内；若所述灯管功率位于所述预设功率范围内，则判断所述灯管阻抗是否低于预设阻抗阈值；若所述灯管阻抗低于所述预设阻抗阈值，则发出第一预警信息；所述第一预警信息用于提示所述卤素灯具有损坏风险。

可选地，如图5所示，卤素灯的检测设备还包括耐高温摄像装置540，用于摄取所述卤素灯520的灯管图像；

所述处理器530，还用于对所述灯管图像进行分析，以获得所述卤素灯520的灯管状态信息；所述灯管状态信息包括以下至少一项：灯丝形状、灯丝颜色、所述玻璃管壁的形状、灯管接线端子的连接状态；以及，根据所述灯管状态信息，确定对所述卤素灯520和/或与所述灯管阻抗相关的指定因素进行检测的检测结果。

可选地，所述处理器530还可执行：

基于预先获得的所述灯管功率和所述灯管阻抗之间的映射关系，确定在所述灯管功率位于所述预设功率范围内时对应的灯管阻抗范围；

根据所述灯管阻抗范围确定所述预设阻抗阈值；其中，所述预设阻抗阈值小于或等于所述灯管阻抗范围内的最小值。

可选地，所述处理器530还可执行：

所述发出第一预警信息之后，获取对所述卤素灯进行检测的第一检测结果；所述检测结果包括以下至少一项：所述卤素灯的灯丝是否弯曲、所述灯丝是否变色、所述灯丝是否断线、所述卤素灯的玻璃管壁是否膨胀；

根据所述第一检测结果，判断所述卤素灯是否符合预设更换条件；

若是，则发出第二预警信息；所述第二预警信息用于提示对所述卤素灯进行更换。

可选地，所述处理器530还可执行：

所述判断所述卤素灯是否符合预设更换条件之后，若判定所述卤素灯不符合所述预设更换条件，则发出第三预警信息；所述第三预警信息用于提示对与所述灯管阻抗相关的指定因素进行检测。

可选地，所述指定因素包括：灯管接线端子是否松动。

还需要说明的是，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、商品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、商品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、商品或者设备中还存在另外的相同要素。

本申请可以在由计算机执行的计算机可执行指令的一般上下文中描述，例如程序模块。一般地，程序模块包括执行特定任务或实现特定抽象数据类型的例程、程序、对象、组件、数据结构等等。也可以在分布式计算环境中实践本申请，在这些分布式计算环境中，由通过通信网络而被连接的远程处理设备来执行任务。在分布式计算环境中，程序模块可以位于包括存储设备在内的本地和远程计算机存储介质中。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于系统实施例而言，由于其基本相似于方法实施例，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。

Claims (10)

1.一种卤素灯的检测方法，其特征在于，包括：

在卤素灯处于加热状态时，获取所述卤素灯的灯管参数信息；所述灯管参数信息包括灯管功率和灯管阻抗；

判断所述灯管功率是否位于预设功率范围内；

若所述灯管功率位于所述预设功率范围内，则判断所述灯管阻抗是否低于预设阻抗阈值；

若所述灯管阻抗低于所述预设阻抗阈值，则发出第一预警信息；所述第一预警信息用于提示所述卤素灯具有损坏风险。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

基于预先获得的所述灯管功率和所述灯管阻抗之间的映射关系，确定在所述灯管功率位于所述预设功率范围内时对应的灯管阻抗范围；

根据所述灯管阻抗范围确定所述预设阻抗阈值；其中，所述预设阻抗阈值小于或等于所述灯管阻抗范围内的最小值。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述发出第一预警信息之后，还包括：

获取对所述卤素灯进行检测的第一检测结果；所述第一检测结果包括以下至少一项：所述卤素灯的灯丝是否弯曲、所述灯丝是否变色、所述灯丝是否断线、所述卤素灯的玻璃管壁是否膨胀；

根据所述第一检测结果，判断所述卤素灯是否符合预设更换条件；

若是，则发出第二预警信息；所述第二预警信息用于提示对所述卤素灯进行更换。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述获取对所述卤素灯进行检测的第一检测结果之前，还包括：

利用耐高温摄像装置摄取所述卤素灯的第一灯管图像；

对所述第一灯管图像进行分析，以获得所述卤素灯的第一灯管状态信息；所述第一灯管状态信息包括以下至少一项：灯丝形状、灯丝颜色、所述玻璃管壁的形状；

将所述第一灯管状态信息与预设的基准灯管状态信息进行比对，得到比对结果；所述基准灯管状态信息包括以下至少一项：灯丝基准形状、灯丝基准颜色、所述玻璃管壁的基准形状；

根据所述比对结果，确定对所述卤素灯进行检测的第一检测结果。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所述比对结果，确定对所述卤素灯进行检测的第一检测结果，包括：

若所述比对结果为所述灯丝形状与所述灯丝基准形状不一致，则确定所述第一检测结果为灯丝弯曲或断线；

若所述比对结果为所述灯丝颜色与所述灯丝基准颜色不一致，则确定所述第一检测结果为灯丝变色；

若所述比对结果为所述玻璃管壁的形状与所述玻璃管壁的基准形状不一致，则确定所述第一检测结果为所述玻璃管壁膨胀。

6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述判断所述卤素灯是否符合预设更换条件之后，还包括：

若判定所述卤素灯不符合所述预设更换条件，则发出第三预警信息；所述第三预警信息用于提示对与所述灯管阻抗相关的指定因素进行检测。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述指定因素包括：灯管接线端子是否松动；所述方法还包括：

若判定所述卤素灯不符合所述预设更换条件，则利用耐高温摄像装置摄取所述卤素灯的第二灯管图像；

对所述第二灯管图像进行分析，以获得所述卤素灯的第二灯管状态信息；所述第二灯管状态信息包括灯管接线端子的连接状态信息；

根据所述连接状态信息，确定对所述指定因素进行检测的第二检测结果。

8.一种卤素灯的检测装置，其特征在于，包括：

第一获取模块，用于在卤素灯处于加热状态时，获取所述卤素灯的灯管参数信息；所述灯管参数信息包括灯管功率和灯管阻抗；

第一判断模块，用于判断所述灯管功率是否位于预设功率范围内；

第二判断模块，用于若所述灯管功率位于所述预设功率范围内，则判断所述灯管阻抗是否低于预设阻抗阈值；

第一预警模块，用于若所述灯管阻抗低于所述预设阻抗阈值，则发出第一预警信息；所述第一预警信息用于提示所述卤素灯具有损坏风险。

9.一种卤素灯的检测设备，其特征在于，包括腔室，以及设置于所述腔室内的卤素灯、处理器；其中：

所述卤素灯，用于为所述腔室提供热源；

所述处理器，用于在所述卤素灯处于加热状态时，获取所述卤素灯的灯管参数信息；所述灯管参数信息包括灯管功率和灯管阻抗；判断所述灯管功率是否位于预设功率范围内；若所述灯管功率位于所述预设功率范围内，则判断所述灯管阻抗是否低于预设阻抗阈值；若所述灯管阻抗低于所述预设阻抗阈值，则发出第一预警信息；所述第一预警信息用于提示所述卤素灯具有损坏风险。

10.根据权利要求9所述的设备，其特征在于，所述腔室内还设有耐高温摄像装置；

所述耐高温摄像装置，用于摄取所述卤素灯的灯管图像；

所述处理器，还用于对所述灯管图像进行分析，以获得所述卤素灯的灯管状态信息；所述灯管状态信息包括以下至少一项：灯丝形状、灯丝颜色、所述玻璃管壁的形状、灯管接线端子的连接状态；以及，根据所述灯管状态信息，确定对所述卤素灯和/或与所述灯管阻抗相关的指定因素进行检测的检测结果。

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