CN111442557A - 超低温制冷机及超低温系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种提高制冷剂再冷凝的冷凝效率的超低温制冷机及超低温系统。超低温制冷机(10)具备：安装凸缘(18)，其具有将制冷剂气体从室温环境(110)导入到再冷凝室(102)的制冷剂气体导入口(20)，且其能够安装于再冷凝室(102)；及冷却台(16)，在安装凸缘(18)安装于再冷凝室(102)的情况下，冷却台(16)配置于再冷凝室(102)内。制冷剂气体导入口(20)以使从制冷剂气体导入口(20)排出的制冷剂气体流(22)偏离冷却台(16)的方式朝向相对于超低温制冷机(10)的轴向(C)垂直或倾斜的方向。制冷剂气体导入口(20)可以设置于再冷凝室(102)。

Description

超低温制冷机及超低温系统

本申请主张基于2019年1月16日申请的日本专利申请第2019-004923号的优先权。该日本申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种超低温制冷机及超低温系统。

背景技术

脉冲管制冷机、GM(Gifford-McMahon：吉福德-麦克马洪)制冷机等超低温制冷机可以用作制冷剂气体再冷凝装置的冷却源。被冷凝的液体制冷剂例如将超导设备、传感器或其他物体冷却至超低温，由此被气化。气化的制冷剂被超低温制冷机再次冷凝。

专利文献1：日本特开2005-24239号公报

本发明人等对使用超低温制冷机使制冷剂再冷凝的超低温系统进行了研究，其结果认识到以下课题。这样的系统有时采用如下循环方式：使气化的制冷剂从低温环境返回到室温环境，然后在再冷凝室中从室温冷却至液化温度从而进行液化，然后再次在低温环境下将液体制冷剂用于物体的冷却。典型的超低温制冷机以使其中心轴与铅垂方向一致的方式设置于再冷凝室的顶板或上部，低温部配置于再冷凝室内。使加热至室温的制冷剂气体流入再冷凝室的入口也形成于超低温制冷机的附近，室温的气体从该位置沿铅垂方向朝向再冷凝室的底部吹出。因此，室温气体会直接喷吹到低温部或者容易到达其附近。室温气体与低温部之间的温差非常大，例如达到100K～200K，因此，对于超低温制冷机而言，从室温气体朝向低温部的热量输入会成为较大的热负荷。这可能会导致超低温制冷机的制冷能力的下降甚至会导致制冷剂再冷凝的冷凝效率的下降。

发明内容

本发明的一种实施方式的示例性目的之一在于提供一种提高制冷剂再冷凝的冷凝效率的超低温制冷机及超低温系统。

根据本发明的一种实施方式，超低温制冷机具备：安装凸缘，其能够安装于再冷凝室，并且具有将制冷剂气体从室温环境导入到再冷凝室的制冷剂气体导入口；及冷却台，在安装凸缘安装于再冷凝室的情况下，所述冷却台配置于再冷凝室内。制冷剂气体导入口以使从制冷剂气体导入口排出的制冷剂气体流偏离冷却台的方式朝向相对于超低温制冷机的轴向垂直或倾斜的方向。

根据本发明的一种实施方式，超低温制冷机具备：安装凸缘，其能够安装于再冷凝室，并且具有将制冷剂气体从室温环境导入到再冷凝室的制冷剂气体导入口；冷却台，在安装凸缘安装于再冷凝室的情况下，所述冷却台配置于再冷凝室内，所述冷却台将制冷剂气体冷却至能够被冷凝的超低温；及蓄冷管，将安装凸缘与冷却台进行连接。制冷剂气体导入口具有形成在安装凸缘上的蓄冷管的周围的多个孔。

根据本发明的一种实施方式，超低温系统具备：再冷凝室，容纳超低温制冷机的冷却台；及制冷剂气体导入口，设置于再冷凝室，并且将制冷剂气体从室温环境导入到再冷凝室。制冷剂气体导入口以使从制冷剂气体导入口排出的制冷剂气体流偏离冷却台的方式朝向相对于超低温制冷机的轴向垂直或倾斜的方向。

另外，上述构成要件的任意组合或将本发明的构成要件或表述在方法、装置、系统等之间相互替换而得的实施方式也作为本发明的实施方式而有效。

根据本发明，能够提供一种提高制冷剂再冷凝的冷凝效率的超低温制冷机及超低温系统。

附图说明

图1是表示第1实施方式所涉及的超低温系统的概略图。

图2是表示第1实施方式所涉及的超低温制冷机的概略图。

图3是图2所示的超低温制冷机的沿A-A线剖切的概略剖视图。

图4是图3所示的超低温制冷机的沿单点划线B剖切的概略局部剖视图。

图5是表示比较例所涉及的超低温制冷机的概略图。

图6是表示第1实施方式所涉及的超低温制冷机的其他例子的概略图。

图7是表示第1实施方式所涉及的超低温制冷机的其他例子的概略图。

图8是表示第1实施方式所涉及的超低温制冷机的其他例子的概略图。

图9是表示第2实施方式所涉及的超低温系统的概略图。

图中：10-超低温制冷机，12-脉冲管，14-蓄冷管，16-冷却台，18-安装凸缘，20-制冷剂气体导入口，22-制冷剂气体流，100-超低温系统，102-再冷凝室，110-室温环境。

具体实施方式

以下，参考附图，对本发明的实施方式进行详细说明。在以下说明及附图中，对相同或相等的构成要件、部件及处理标注相同的符号，并适当地省略重复说明。为了便于说明，在各附图中，适当地设定各部的缩尺或形状，只要没有特别说明，则其并不作限定性解释。实施方式为示例，其并不用于对本发明的范围作任何限定。在实施方式中记载的所有特征或其组合并非一定是发明的本质内容。

图1是表示第1实施方式所涉及的超低温系统100的概略图。图2是表示第1实施方式所涉及的超低温制冷机10的概略图。图3是图2所示的超低温制冷机10的沿A-A线剖切的概略剖视图。在图3中示出了与轴向C垂直的平面上的超低温制冷机10的构成要件的位置关系。图4是图3所示的超低温制冷机10的沿单点划线B剖切的概略局部剖视图。

超低温系统100构成为包含制冷剂再冷凝器的循环系统，其具备超低温制冷机10作为冷却源。在该实施方式中，制冷剂为氦。因此，氦气被超低温制冷机10再冷凝成液态氦。但是，超低温系统100例如也可以使用氮气等其他适当的制冷剂。

超低温系统100具备再冷凝室102、液体制冷剂槽104、液体输送管106及回气管108。再冷凝室102的底部和液体制冷剂槽104经由液体输送管106连接，再冷凝室102的上部和液体制冷剂槽104经由回气管108连接。再冷凝室102、液体制冷剂槽104及液体输送管106构成真空绝热容器，其内部成为制冷剂气氛的低温环境。回气管108配置于室温环境110。在回气管108还可以设置用于使制冷剂循环的泵。

作为一例，超低温制冷机10是GM(Gifford-McMahon/吉福德-麦克马洪)式的二级式脉冲管制冷机。因此，超低温制冷机10具备第1级脉冲管12a、第2级脉冲管12b、第1级蓄冷管14a、第2级蓄冷管14b、第1级冷却台16a及第2级冷却台16b。为了方便说明，以下，有时将第1级脉冲管12a及第2级脉冲管12b统称为脉冲管12。同样地，有时将第1级蓄冷管14a及第2级蓄冷管14b统称为蓄冷管14，有时将第1级冷却台16a及第2级冷却台16b统称为冷却台16。

并且，超低温制冷机10具备能够安装于再冷凝室102或其他真空容器的安装凸缘18。第1级脉冲管12a将安装凸缘18与第1级冷却台16a进行连接，第2级脉冲管12b将安装凸缘18与第2级冷却台16b进行连接。第1级蓄冷管14a将安装凸缘18与第1级冷却台16a进行连接。第2级蓄冷管14b将第1级冷却台16a与第2级冷却台16b进行连接。安装凸缘18也可以称为上凸缘。

超低温制冷机10以使其中心轴与铅垂方向一致的方式可拆卸地设置于再冷凝室102的顶板或上部，冷却台16配置于再冷凝室102内。因此，在该实施方式中，超低温制冷机10的轴向C成为铅垂方向。但是，超低温制冷机10的安装姿势并不只限定于此。超低温制冷机10能够以所期望的姿势设置，可以以使其轴向C与倾斜方向或水平方向一致的方式设置于再冷凝室102。

在超低温系统100中，制冷剂(即，氦)的循环如下。首先，氦气从室温环境110通过制冷剂气体导入口20导入到再冷凝室102。氦气被第1级冷却台16a及第2级冷却台16b冷却，并在第2级冷却台16b被液化。液化的氦从第2级冷却台16b滴落到再冷凝室102的底部，并通过液体输送管106流入到液体制冷剂槽104。如此，液态氦储存于液体制冷剂槽104。液态氦用于物体的冷却。其结果，气化的氦从液体制冷剂槽104的上部通过回气管108而排出到室温环境110。氦气通过来自周围的热量流入而被加热至室温程度。氦气从回气管108流入到制冷剂气体导入口20，并再次导入到再冷凝室102。

详细内容将在后面进行叙述，但是，安装凸缘18具有将制冷剂气体从室温环境110导入到再冷凝室102的制冷剂气体导入口20。制冷剂气体导入口20的朝向设定成从制冷剂气体导入口20排出的制冷剂气体流22与超低温制冷机10的轴向C垂直。因此，制冷剂气体流22偏离第1级冷却台16a及第2级冷却台16b。制冷剂气体流22不会直接与第1级冷却台16a及第2级冷却台16b中的任何一个接触。换言之，通过制冷剂气体导入口20的中心且沿着制冷剂气体导入口20延伸的虚拟直线21与轴向C垂直，其不与冷却台16交叉。

另外，制冷剂气体导入口20也可以以使从制冷剂气体导入口20排出的制冷剂气体流22偏离冷却台16的方式朝向相对于超低温制冷机10的轴向C倾斜的角度方向。直线21可以以不与冷却台16交叉的方式倾斜延伸。相对于与轴向C垂直的方向(例如，水平方向)的倾斜角度例如可以在45度以内。

接着，参考图2及图3，对超低温制冷机10的构成要件进行叙述。

第1级脉冲管12a及第2级脉冲管12b均沿轴向C延伸。第1级蓄冷管14a与第2级蓄冷管14b串联连接，并且沿轴向C延伸。第1级蓄冷管14a与第1级脉冲管12a并列配置，第2级蓄冷管14b与第2级脉冲管12b并列配置。在轴向C上，第1级脉冲管12a的长度与第1级蓄冷管14a的长度大致相同，在轴向C上，第2级脉冲管12b的长度与第1级蓄冷管14a和第2级蓄冷管14b的总长度大致相同。

在例示性结构中，脉冲管12为内部设为空腔的圆柱形的管，蓄冷管14为在内部填充有蓄冷材料15的圆柱形的管，两者彼此相邻配置并且各自的中心轴彼此平行。

第1级脉冲管12a的低温端和第1级蓄冷管14a的低温端通过第1级冷却台16a在结构上连接并且热连接。同样地，第2级脉冲管12b的低温端和第2级蓄冷管14b的低温端通过第2级冷却台16b在结构上连接并且热连接。另一方面，第1级脉冲管12a、第2级脉冲管12b及第1级蓄冷管14a各自的高温端通过安装凸缘18而连接在一起。

冷却台16例如由铜等高导热系数的金属材料制成。另一方面，脉冲管12及蓄冷管14例如由不锈钢等导热系数低于冷却台16的导热系数的金属材料制成。

脉冲管12及蓄冷管14从安装凸缘18的一侧主表面延伸，并且在安装凸缘18的另一侧主表面设置有头部24。安装凸缘18例如为真空凸缘，其以保持再冷凝室102的气密性的方式安装于再冷凝室102。在将安装凸缘18安装于再冷凝室102的情况下，脉冲管12、蓄冷管14及冷却台16容纳在再冷凝室102内，头部24配置于室温环境110。

由图2及图3可知，制冷剂气体导入口20以使制冷剂气体流22不仅偏离冷却台16还偏离脉冲管12的方式朝向与轴向C垂直的方向。制冷剂气体流22不会直接与第1级脉冲管12a及第2级脉冲管12b接触。直线21不仅不与冷却台16交叉，还不与脉冲管12交叉。

制冷剂气体导入口20也可以以使制冷剂气体流22偏离冷却台16及脉冲管12的方式朝向相对于轴向C倾斜的角度方向。直线21可以以不与冷却台16及脉冲管12交叉的方式倾斜延伸。

制冷剂气体导入口20的朝向设定成使制冷剂气体流22与第1级蓄冷管14a进行热交换。例如，制冷剂气体导入口20的朝向设定成使制冷剂气体流22流过第1级蓄冷管14a附近从而使制冷剂气体流22与第1级蓄冷管14a进行热交换。制冷剂气体流22邻接第1级蓄冷管14a的表面而流动或者沿着第1级蓄冷管14a的表面而流动。制冷剂气体导入口20的朝向也可以设定成使制冷剂气体流22与第1级蓄冷管14a接触。

制冷剂气体导入口20配置于第1级蓄冷管14a的附近。例如，制冷剂气体导入口20在安装凸缘18上配置于比第1级脉冲管12a更靠近第1级蓄冷管14a的位置。制冷剂气体导入口20在安装凸缘18上配置于比第2级脉冲管12b更靠近第1级蓄冷管14a的位置。

制冷剂气体导入口20配置于安装凸缘18的外周部。与制冷剂气体导入口20相比，第1级蓄冷管14a、第1级脉冲管12a及第2级脉冲管12b配置于安装凸缘18的中心部。

并且，安装凸缘18具有与回气管108连接的制冷剂气体接收口26。制冷剂气体接收口26设置于安装凸缘18的侧面。制冷剂气体接收口26例如为自动密封管接头等可装卸的连接器，回气管108能够轻松地安装于制冷剂气体接收口26或者轻松地从制冷剂气体接收口26卸下。

如图4所示，安装凸缘18具有将制冷剂气体导入口20与制冷剂气体接收口26进行连接的凸缘内部流路28。由制冷剂气体导入口20、制冷剂气体接收口26及凸缘内部流路28构成室温制冷剂气体导入管路。制冷剂气体从回气管108通过制冷剂气体接收口26、凸缘内部流路28而流向制冷剂气体导入口20。制冷剂气体导入口20例如为安装于安装凸缘18的肘形配管。因此，制冷剂气体导入口20具有：纵管20a，从凸缘内部流路28接收制冷剂气体；及横管20b，将制冷剂气体导入到再冷凝室102。直线21通过横管20b的中心且沿着横管20b延伸。

如图2所示，在头部24设置有超低温制冷机10的振动流发生源30及相位控制机构32。众所周知，在超低温制冷机10为GM式的脉冲管制冷机的情况下，作为振动流发生源30，使用产生工作气体的稳定流的压缩机和周期性地切换压缩机的高压侧和低压侧以使其与脉冲管12及蓄冷管14连接的流路转换阀的组合。该流路转换阀与根据需要而设置的缓冲罐一起作为相位控制机构32而发挥作用。并且，在超低温制冷机10为斯特林式的脉冲管制冷机的情况下，作为振动流发生源30，使用通过简谐振动的活塞产生振动流的压缩机，作为相位控制机构32，使用缓冲罐和将其连接于脉冲管12的高温端的连通通道。

另外，振动流发生源30无需内置于头部24内(即，可以不直接安装于安装凸缘18)。振动流发生源30也可以与头部24分体配置并通过刚性或挠性配管与头部24连接。同样地，相位控制机构32也不必直接安装于安装凸缘18，也可以与头部24分体配置并通过刚性或挠性配管与头部24连接。

根据上述结构，超低温制冷机10相对于工作气体的压力振动适当地延迟脉冲管12内的气体成份(还称为气体活塞)的位移振动的相位，由此，超低温制冷机10能够在脉冲管12的低温端产生PV功，从而冷却冷却台16。如此，超低温制冷机10能够对与冷却台16接触的气体、液体或者与冷却台16热连接的物体进行冷却。

在将超低温制冷机10用于氦的再冷凝的情况下，第1级冷却台16a被冷却至例如低于100K(例如，30K～60K左右)，第2级冷却台16b被冷却至氦液化温度(即，大致4K左右)或其以下。在将超低温制冷机10用于其他制冷剂的再冷凝的情况下，至少第2级冷却台16b被冷却至该制冷剂的液化温度以下。

图5是表示比较例所涉及的超低温制冷机510的概略图。超低温制冷机510以使其中心轴与铅垂方向一致的方式设置于再冷凝室502的顶板或上部，低温部516配置于再冷凝室502内。朝向再冷凝室502的室温制冷剂气体的入口520也设置于超低温制冷机510的附近，室温气体522从该位置沿铅垂方向朝向再冷凝室502的底部吹出。

因此，室温气体522会直接喷吹到低温部516或者容易到达低温部516附近。室温气体522与低温部516之间的温差非常大(例如，可达到100K～200K以上)，因此，对于超低温制冷机510而言，从室温气体522朝向低温部516的热量输入成为较大的热负荷。

并且，脉冲管512为内部设为空腔的管，其热容量较小，因此，若接收到热量输入则温度容易上升。由于室温气体522沿着脉冲管512的表面流动，因此脉冲管512容易被加热。

因此，超低温制冷机510的制冷能力会下降，甚至会导致制冷剂再冷凝的冷凝效率下降，最坏的情况下，超低温制冷机510将无法使制冷剂冷凝。

然而，根据第1实施方式所涉及的超低温系统100及超低温制冷机10，制冷剂气体导入口20以使从制冷剂气体导入口20排出的制冷剂气体流22偏离冷却台16的方式朝向相对于超低温制冷机10的轴向C垂直或倾斜的方向。与如图5所示的比较例相比，制冷剂气体流22的轴向C上的速度分量更小，因此难以沿轴向C流动。制冷剂气体通过再冷凝室102内的制冷剂的对流而朝向第1级冷却台16a缓慢下降，接着朝向第2级冷却台16b下降。制冷剂气体一边下降一边逐渐被冷却。因此，从制冷剂气体朝向冷却台16的热量输入得到减少。制冷剂气体流22给超低温制冷机10的制冷能力带来的影响得到抑制，制冷剂的冷凝效率得到提高。

而且，制冷剂气体导入口20以使制冷剂气体流22偏离脉冲管12的方式朝向相对于超低温制冷机10的轴向C垂直或倾斜的方向。由此，从制冷剂气体朝向脉冲管12的热量输入得到减少。给超低温制冷机10的制冷能力带来的影响得到抑制，制冷剂的冷凝效率得到提高。

而且，制冷剂气体导入口20朝向设定成使制冷剂气体流22与第1级蓄冷管14a进行热交换。由于在蓄冷管14填充有蓄冷材料15，因此与脉冲管12相比，其热容量非常大。因此，即使制冷剂气体流22与蓄冷管14接触，温度也不会像脉冲管12那样容易上升。相反，蓄冷管14能够冷却制冷剂气体流22。

图6是表示第1实施方式所涉及的超低温制冷机10的其他例子的概略图。制冷剂气体导入口20具有从安装凸缘18延伸至第1级蓄冷管14a的附近的制冷剂气体导管34。制冷剂气体导管34具有使制冷剂气体流向第1级蓄冷管14a的多个孔36。多个孔36的朝向设定成使制冷剂气体流22与第1级蓄冷管14a接触。

制冷剂气体导管34以其与第1级蓄冷管14a的表面之间隔着间隙的方式沿着第1级蓄冷管14a的表面弯曲延伸。多个孔36以与第1级蓄冷管14a的表面相向的方式沿着制冷剂气体导管34的长度方向配置。

如此一来，制冷剂气体流22能够与第1级蓄冷管14a直接接触，通过第1级蓄冷管14a能够有效地对制冷剂气体流22进行冷却。并且，由于制冷剂气体导管34具有多个孔36，因此制冷剂气体得到分散。由此，能够抑制可能由制冷剂气体流22产生的第1级蓄冷管14a的局部温度波动。制冷剂气体流22给超低温制冷机10的制冷能力带来的影响得到抑制，制冷剂的冷凝效率得到提高。

图7是表示第1实施方式所涉及的超低温制冷机10的其他例子的概略图。制冷剂气体导入口20无需一定要具有肘形配管。制冷剂气体导入口20也可以具有形成于安装凸缘18内的倾斜流路20c及形成于安装凸缘18的孔20d。制冷剂气体从回气管108通过制冷剂气体接收口26而流入到制冷剂气体导入口20。制冷剂气体从制冷剂气体导入口20导入到再冷凝室102。制冷剂气体导入口20可以以使从制冷剂气体导入口20排出的制冷剂气体流22偏离冷却台16的方式朝向相对于超低温制冷机10的轴向C倾斜的角度方向。直线21可以以不与冷却台16交叉的方式倾斜延伸。如此，给超低温制冷机10的制冷能力来带的影响也得到抑制，制冷剂的冷凝效率。

图8是表示第1实施方式所涉及的超低温制冷机10的其他例子的概略图。制冷剂气体导入口20具有形成在安装凸缘18上的第1级蓄冷管14a的周围的多个孔38。孔38通过安装凸缘18内的流路而与制冷剂气体接收口26连接。孔38的朝向设定成使制冷剂气体流向轴向。从孔38排出的制冷剂气体沿着第1级蓄冷管14a的表面且沿轴向流动，因此，其被第1级蓄冷管14a冷却。并且，制冷剂气体导入口20具有多个孔38，因此制冷剂气体得到分散。如此，给超低温制冷机10的制冷能力带来的影响也得到抑制，制冷剂的冷凝效率也得到提高。另外，孔38的朝向也可以设定成相对于轴向倾斜的角度方向。

以上，对超低温制冷机10的安装凸缘18具有制冷剂气体导入口20的结构进行了说明，但是，本发明并不只限定于该结构。安装凸缘18也可以不具有制冷剂气体导入口20而使再冷凝室102具有制冷剂气体导入口20。接着，对这种实施例进行叙述。

图9是表示第2实施方式所涉及的超低温系统100的概略图。第2实施方式所涉及的超低温系统100与第1实施方式所涉及的超低温系统100的不同点在于制冷剂气体导入口20的配置不同，其余部分则基本相同。以下，重点对不同的结构进行说明，并且对相同的结构进行简单说明或者省略说明。

超低温系统100具备：再冷凝室102，容纳超低温制冷机10的冷却台16；及制冷剂气体导入口20，设置于再冷凝室102且将制冷剂气体从室温环境110导入到再冷凝室102。制冷剂气体导入口20的朝向设定成相对于超低温制冷机10的轴向C垂直(或倾斜)，以使从制冷剂气体导入口20排出的制冷剂气体流22偏离冷却台16。与第1实施方式同样地，在第2实施方式中，制冷剂气体流22给超低温制冷机10的制冷能力带来的影响也得到抑制，制冷剂的冷凝效率也得到提高。

由于在再冷凝室102设置有制冷剂气体导入口20及制冷剂气体接收口26，因此，无需将这些室温制冷剂气体导入管路形成于超低温制冷机10的安装凸缘18。因此，能够使用具有广泛使用的真空凸缘作为安装凸缘18的现有的超低温制冷机10。

以上，基于实施例对本发明进行了说明。本领域技术人员应当可以理解：本发明并不只限定于上述实施方式，能够进行各种设计变更，并且可以存在各种变形例，并且这种变形例也在本发明的范围内。在一种实施方式中说明的各种特征也可以适用于其他实施方式。通过组合而产生的新的实施方式兼具所组合的每个实施方式的效果。

例如，第1实施方式中说明的特征同样也可以适用于第2实施方式。

超低温制冷机10并不只限于脉冲管制冷机，可以是GM制冷机或其他超低温制冷机。例如，在GM制冷机的情况下，可以将容纳内置有蓄冷器的置换器的缸体看作上述实施方式中的“蓄冷管”。GM制冷机不具有脉冲管。

在超低温系统100使用除了氦以外的制冷剂的情况下，超低温制冷机10只需提供该制冷剂的液化温度即可，并且可以是单级式制冷机。

以上，基于实施方式并使用具体的语句说明了本发明，但是，实施方式仅示出了本发明的原理、应用的一方面，关于实施方式，在不脱离技术方案所限定的本发明的技术思想的范围内可以存在诸多变形例及配置的变更。

Claims (6)

1.一种超低温制冷机，其特征在于，具备：

安装凸缘，其能够安装于所述再冷凝室，并且具有将制冷剂气体从室温环境导入到再冷凝室的制冷剂气体导入口；及

冷却台，在所述安装凸缘安装于所述再冷凝室的情况下，所述冷却台配置于所述再冷凝室内，

所述制冷剂气体导入口以使从所述制冷剂气体导入口排出的制冷剂气体流偏离所述冷却台的方式朝向相对于超低温制冷机的轴向垂直或倾斜的方向。

2.根据权利要求1所述的超低温制冷机，其特征在于，

还具备脉冲管，所述脉冲管将所述安装凸缘与所述冷却台进行连接，

所述制冷剂气体导入口以使从所述制冷剂气体导入口排出的制冷剂气体流偏离所述冷却台及所述脉冲管的方式朝向相对于所述超低温制冷机的轴向垂直或倾斜的方向。

3.根据权利要求1或2所述的超低温制冷机，其特征在于，

还具备蓄冷管，所述蓄冷管将所述安装凸缘与所述冷却台进行连接，

所述制冷剂气体导入口的朝向设置成使从所述制冷剂气体导入口排出的制冷剂气体流与所述蓄冷管进行热交换。

4.根据权利要求3所述的超低温制冷机，其特征在于，

所述制冷剂气体导入口具有从所述安装凸缘延伸至所述蓄冷管的附近的制冷剂气体导管，所述制冷剂气体导管具有使制冷剂气体流向所述蓄冷管的多个孔。

5.一种超低温制冷机，其特征在于，具备：

安装凸缘，其能够安装于所述再冷凝室，并且具有将制冷剂气体从室温环境导入到再冷凝室的制冷剂气体导入口；

冷却台，在所述安装凸缘安装于所述再冷凝室的情况下，所述冷却台配置于所述再冷凝室内，所述冷却台将制冷剂气体冷却至能够被冷凝的超低温；及

蓄冷管，将所述安装凸缘与所述冷却台进行连接，

所述制冷剂气体导入口具有形成在所述安装凸缘上的所述蓄冷管的周围的多个孔。

6.一种超低温系统，其特征在于，具备：

再冷凝室，容纳超低温制冷机的冷却台；

制冷剂气体导入口，设置于所述再冷凝室，并且将制冷剂气体从室温环境导入到所述再冷凝室，

所述制冷剂气体导入口以使从所述制冷剂气体导入口排出的制冷剂气体流偏离所述冷却台的方式朝向相对于所述超低温制冷机的轴向垂直或倾斜的方向。

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