CN111441961A - 真空泵 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种可抑制泵消耗电力在泵使用过程中暂时变得过大的真空泵。涡轮分子泵包括：泵本体(1)，利用马达(M)对泵转子(10)进行旋转驱动来进行真空排气；加热器(5)，对泵本体(1)进行加热；以及控制装置(2)，对泵本体(1)及加热器(5)进行控制；且控制装置(2)在马达电流为规定电流值以上的情况下，限制加热器(5)的电力。

Description

真空泵

技术领域

本发明涉及一种真空泵。

背景技术

在用于进行化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)成膜或蚀刻的装置的真空排气的涡轮分子泵中，为了抑制反应产物堆积在泵本体内而利用加热器使泵本体升温者已为人所知(例如，参照专利文献1)。在涡轮分子泵中，在泵启动后的加速时大的马达电流流动，当变成额定旋转状态时，马达电流下降来维持额定旋转状态。另外，与从泵启动至变成额定旋转状态为止的加速时间相比，至使泵本体的温度上升至所期望的温度为止所需要的加热器加热时间非常长。因此，通常在接通泵电源的同时将加热器电源开启。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2013-79602号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

但是，当一边使加热器变成开启状态来对泵本体进行加热，一边使涡轮分子泵启动时，除马达加速时的大的马达电流以外，加热器电流流动，而暂时要求过大的电力。尤其，当在装置安装多台涡轮分子泵时，马达加速时的电力增大变得显著。

[解决问题的技术手段]

根据本发明优选的形态的真空泵包括：泵本体，利用马达对转子进行旋转驱动来进行真空排气；加热器，对所述泵本体进行加热；以及控制装置，对所述泵本体及所述加热器进行控制；且所述控制装置判断马达电流是否为规定电流值以上，在判断马达电流为规定电流值以上的情况下，限制所述加热器的电力。

在更优选的形态中，当限制所述加热器的电力时，在判断马达电流未满规定电流值的情况下，所述控制装置停止所述加热器的电力限制。

在更优选的形态中，所述控制装置在所述马达的旋转驱动开始时，开始所述加热器的电力限制，在所述马达变成额定旋转状态且判断所述马达电流未满所述规定电流值的情况下，停止所述加热器的电力限制。

在更优选的形态中，包括对从马达旋转开始至到达稳定旋转状态为止的加速时间进行计时的计时器，且所述控制装置在所述马达的旋转驱动开始时，开始所述加热器的电力限制，并且使由所述计时器所进行的计数开始，在所述计时器的计数完毕时，停止所述加热器的电力限制。

在更优选的形态中，包括多个对所述泵本体进行加热的加热器，且所述控制装置在所述马达电流为所述规定电流值以上的情况下，停止多个所述加热器中的至少一个的通电。

根据本发明优选的形态的真空泵包括：泵本体，利用马达对转子进行旋转驱动来进行真空排气；加热器，对所述泵本体进行加热；以及控制装置，对所述泵本体及所述加热器进行控制；且所述控制装置在所述马达的旋转驱动开始时，开始所述加热器的电力限制，并判断马达是否为额定旋转状态，在判断马达为额定旋转状态的情况下，停止所述加热器的电力限制。

根据本发明优选的形态的真空泵包括：泵本体，利用马达对转子进行旋转驱动来进行真空排气；加热器，对所述泵本体进行加热；以及控制装置，对所述泵本体及所述加热器进行控制；且所述控制装置判断马达转速的下降量是否为阈值以上，在判断马达转速的下降量为阈值以上的情况下，限制所述加热器的电力。

[发明的效果]

根据本发明，可抑制包含马达消耗电力与加热器消耗电力的泵消耗电力在泵使用过程中暂时变得过大。

附图说明

图1是表示涡轮分子泵的概略构成的图。

图2是表示泵本体的概略构成的剖面图。

图3是表示控制装置2的概略构成的框图。

图4是表示现有的加热器电流及马达电流的变化的图。

图5是表示电源开启后的加速区间及额定旋转区间的加热器控制的一例的流程图。

图6是表示第一实施方式的加热器电流限制控制的一例的图。

图7是表示额定旋转区间的加热器电流限制控制的一例的图。

图8是表示变形例1的加热器电流限制控制的一例的流程图。

图9是表示变形例2的加热器电流限制控制的一例的流程图。

图10是表示第二实施方式的加热器构成的图。

图11是表示第二实施方式的加热器电流限制控制的一例的图。

图12是表示第三实施方式的真空泵系统的构成的图。

[符号的说明]

1：泵本体

2：控制装置

5、5A～5C：加热器

7、22：加热器控制器

10：泵转子

14：转速传感器

21：泵控制器

21a：马达控制部

21b：MB控制部

21c：转速算出部

21d：电流判定部

21e：计时器

L1：加热器电流

L2：马达电流

M：马达

具体实施方式

以下，参照图对用于实施本发明的形态进行说明。

-第一实施方式-

图1是表示涡轮分子泵的概略构成的图。涡轮分子泵包括：泵本体1，安装在真空室，进行真空排气；以及控制装置2，对泵本体1进行驱动控制。泵本体1的连接器130与控制装置2的连接器233通过控制电缆4来连接。进而，在图1中所示的涡轮分子泵，设置有对泵本体1进行加热的加热器5。加热器5的连接器51与控制装置2的连接器234通过加热器电缆3来连接，从控制装置2朝加热器5供给电力。当对控制装置2的电源开关231进行开启操作时，控制装置2启动，开始朝加热器5的电力供给，当对泵启动开关232进行开启操作时，泵本体1的转子旋转开始。另外，控制装置2也可以通过来自上位控制器100的指令而进行电源开启动作、泵启动动作。

图2是表示泵本体1的概略构成的剖面图。如图2所示，在本实施方式中，以磁轴承式的涡轮分子泵为例进行说明，但本发明也可以应用于并非磁轴承式的例如机械轴承式的涡轮分子泵，进而，也可以应用于如使螺纹槽转子高速旋转来进行真空排气的分子泵那样的真空泵。紧固有泵转子10的轴11由设置在底座12的磁轴承124、磁轴承125、磁轴承126进行磁悬浮支撑。另外，在磁轴承124～磁轴承126不动作的情况下，轴11由紧急用的机械轴承127、机械轴承128来支撑。轴11由马达M进行旋转驱动。轴11的转速由转速传感器14来检测。

在泵转子10，在排气上游侧形成有多段旋转叶片101，在排气下游侧形成有构成螺纹槽泵的圆筒部102。对应于旋转叶片101与圆筒部102，在固定侧设置有多段固定叶片121、及圆筒状的定子122。在图2中所示的例子中，在定子122形成有螺纹槽，但也可以在旋转的圆筒部102形成螺纹槽。各固定叶片121经由间隔圈(spacer ring)123而载置在底座12上。

多段固定叶片121被收纳在已被固定在底座12的泵壳13内。在泵壳13形成有吸气口129。在底座12设置有排气孔120，所述排气孔120与前级泵(back pump)(未图示)连接。当泵转子10进行高速旋转时，吸气口129侧的气体分子被朝排气孔120侧排气。加热器5以卷绕在底座12的外周面的方式安装。在定子122设置有检测定子122的温度的温度传感器52。

图3是表示控制装置2的概略构成的框图。控制装置2包括：泵控制器21、加热器控制器22、以及输入部23。泵控制器21是对应于泵本体1来设置者，包括：马达控制部21a、磁轴承(Magnetic Bearing，MB)控制部21b、转速算出部21c、电流判定部21d、以及计时器21e。转速算出部21c根据来自转速传感器14的信号，算出马达M的转速。马达控制部21a根据已由转速算出部21c算出的转速，控制马达M的旋转。MB控制部21b控制磁轴承124、磁轴承125、磁轴承126的电磁铁电流。电流判定部21d将马达电流值与事先决定的阈值Ith进行比较，并判定马达电流值是否为阈值Ith以上。当由电流判定部21d判定马达电流值为阈值Ith以上时，泵控制器21将加热器电流限制信号输出至加热器控制器22。

加热器控制器22以由温度传感器52所检测到的温度变成规定温度范围的方式控制加热器5的电力(以下，称为调温控制)，并且根据从泵控制器21输入的加热器电流限制信号，控制加热器5的电力。另外，虽然根据加热器电流限制信号的电力控制的详细情况将后述，但根据加热器电流限制信号的电力控制优先于调温控制。另外，在图1中所示的例子中，将温度传感器52设置在定子122，但也可以设置在底座12等。

在输入部23，设置有操作员进行操作输入的开关类(包含图1中所示的电源开关231及泵启动开关232)、或输入来自上位控制器100的指令信号的端口等。当电源开关231被开启，或从上位控制器100输入电源开启信号时，即当输入电源开启指令时，对控制装置2的各部供给电力的未图示的电源部启动。通过电源部的启动，泵控制器21开始由MB控制部21b所进行的磁悬浮控制，加热器控制器22开始由加热器5所进行的调温控制。其后，当泵启动开关232被开启，或从上位控制器100输入泵启动信号时，即当输入泵启动指令时，由马达控制部21a所控制的马达M的旋转开始。

图4是表示现有的情况下的从电源开启至马达M的转速变成额定转速为止的加热器电流L1、马达电流L2及转速N的变迁的一例者。另外，在图4中，省略了被供给至磁轴承124～磁轴承126的磁轴承电流的记载。通过电源开启而开始供给磁轴承电流，紧固有泵转子10的轴11由磁轴承124～磁轴承126进行磁悬浮支撑。磁悬浮后的磁轴承电流因轴11的微小的位移而略微地变化，但在与马达电流L2的变化进行了比较的情况下，可看作大致固定。

当在图4的t＝t1处开启电源时，加热器5被开启，并被供给固定值I1的加热器电流L1。当在t＝t2处输入泵启动指令时，由马达控制部21a所控制的马达M的旋转开始，转速N伴随时间的经过而上升。当在t＝t3处转速N到达额定旋转状态时，其后马达控制部21a以将转速N维持成额定旋转状态的方式控制马达M的旋转。所谓额定旋转状态，是指转速N包含在包括额定转速Ns的规定转速范围(Ns～Ns－ΔN)内的状态。ΔN是针对泵本体1的各机种而事先设定。

在作为加速区间的从t＝t2至t＝t3为止，马达电流L2变成马达加速所需要的大的电流值I21，在变成额定旋转状态的t＝t3以后，马达电流L2减少至将马达M维持成额定转速Ns所需要的电流值I22(＜I21)。其结果，在加速区间中，加热器5的电流值I1、马达M的电流值I21、以及磁轴承124～磁轴承126的电磁铁电流流动。所述加速区间的电流值比额定旋转区间的电流值(I1+I22+电磁铁电流)大，在加速区间中暂时要求过大的电力。

因此，在本实施方式中，泵控制器21进行如图5、图6中所示那样的控制，由此抑制加速区间的合计电流值的增加。图5是说明电源开启后的加速区间及额定旋转区间的泵控制器21的控制的流程图。图6是表示本实施方式的从泵停止状态至额定旋转为止的加热器电流L1、马达电流L2及转速N的变迁的图。

在图5的步骤S1中，判定是否已输入电源开启指令，当如图6的t＝t1所示被输入电源开启指令时，进入步骤S2。在步骤S2中，泵控制器21输出磁悬浮指令，而使由MB控制部21b所进行的磁轴承124～磁轴承126的磁悬浮控制开始。进而，在步骤S3中，泵控制器21朝加热器控制器22输出调温控制开始的指令。加热器控制器22使加热器5开启来开始调温控制。对加热器5供给加热器电流L1(参照图6)。在步骤S4中，判定是否已输入泵启动指令，当被输入泵启动指令时，进入步骤S5。

在步骤S5中，泵控制器21朝加热器控制器22输出加热器电流限制信号。其结果，调温控制被中断，并且加热器5被关闭，加热器电流L1变成零。在步骤S6中，泵控制器21朝马达控制部21a输出使马达M旋转的旋转指令。马达控制部21a开始使马达M从转速为零的状态上升至额定转速Ns为止的马达加速控制。

在图6中所示的例子中，在t＝t2处，从泵控制器21朝加热器控制器22输出加热器电流限制信号(步骤S5)。加热器控制器22当接收加热器电流限制信号时，中断调温控制并关闭加热器5。其结果，加热器电流L1变成零，被供给至泵本体1及加热器5的电流的合计变成马达电流值与被供给至磁轴承124～磁轴承126的激励电流的和，在加速区间中所需要的电流值比以前减少。其后，在步骤S6中输出旋转指令，马达加速开始，转速N上升。

在图5的步骤S7中，泵控制器21判定电流判定部21d的判定结果是否为L2≧Ith。由于通过步骤S6的处理而已开始马达加速，因此在步骤S7中判定L2≧Ith，并进入步骤S8，输出加热器电流限制信号。但是，由于通过步骤S5的处理而已输出加热器电流限制信号，因此此处继续输出状态。当步骤S8的处理结束时，返回至步骤S7。

另外，在图7中所示的例子中，假定通过步骤S6的处理，马达电流L2如图6那样瞬间上升至值I21为止，为了在所述马达电流L2的上升之前使加热器5关闭而设置有步骤S5的处理。但是，在马达电流L2上升至值I21为止的时间比通过步骤S7及步骤S8的处理来中断调温控制为止的时间长的情况下，可省略步骤S5的处理。即，不使用泵启动信号而仅利用马达电流L2，便可进行如上所述的中断调温控制的加热器电流限制控制。

在图6的t＝t2以后的加速区间及额定旋转区间中，重复步骤S7～步骤S9的处理。在t＝t2以后，转速N因马达加速而增加，当在t＝t3处到达额定转速Ns时，马达控制部21a使马达电流L2从I21减少至I22，并将马达转速维持成额定旋转状态即额定转速Ns。

当在图6的t＝t3处马达电流L2从I21减少至I22时，在图5的步骤S7中判定L2＜Ith，并进入步骤S9，泵控制器21停止加热器电流限制信号的输出。当加热器电流限制信号被停止时，加热器控制器22再次开始调温控制并将加热器5开启。其结果，电流值I1的加热器电流L1被供给至加热器5。

图7是表示在额定旋转区间中马达电流因气体流入而增加时的加热器电流限制控制的一例的图。如上所述，在额定旋转区间中，重复执行图5中所示的流程图的步骤S7～步骤S9的处理。在图7中所示的例子中，在t＝t4处开始气体流入，在t＝t5处停止气体流入。在气体流入开始以前的t＜t4及气体流入停止以后的t5＜t的区间中进行调温控制，所述调温控制以温度传感器52的检测温度变成事先设定的温度范围的方式对加热器5进行开启/关闭控制。另一方面，在作为气体流入期间的t4≦t≦t5中停止调温控制。

当马达负荷因气体流入而增加时，马达M的转速N下降。当转速N下降时，马达控制部21a以使马达电流L2从I22起增加来使转速N变成额定转速Ns的方式进行控制。所述增加后的电流值依存于气体流入量，在气体流入量小的情况下增加量小，在气体流入量大的情况下增加量变大。在本实施方式中，在增加量大至需要加热器电流限制控制的程度的情况下，例如在如图7所示产生与加速区间相同程度的电流增加的气体流入量以上的情况下，执行与加速区间的情况相同的加热器电流限制控制。即，图7中所示的Ith对应于以何种程度容许暂时的电力增加(电流增加)来设定。

当在图7的t＝t5处停止气体流入且马达负荷恢复原样时，转速N比额定转速Ns上升，因此马达控制部21a以使马达电流L2恢复成I22来使转速N变成额定转速Ns的方式进行控制。

即，当在t＝t4处开始气体流入且马达电流L2增加时，在图5的步骤S7中判定L2≧Ith，并进入步骤S8，将加热器电流限制信号输入加热器控制器22。其结果，加热器控制器22中断调温控制，并关闭加热器5而使加热器电流L1变成零。其后，当在t＝t5处停止气体流入且马达电流L2下降至I22时，在图5的步骤S7中判定L2＜Ith，并进入步骤S9。当在步骤S9中泵控制器21停止加热器电流限制信号的输出时，加热器控制器22再次开始由加热器5所进行的调温控制。

如此，即便在额定旋转区间中，当马达负荷因气体流入等而增加且马达电流L2已变成阈值Ith以上时，也中断调温控制并关闭加热器5。其结果，可防止泵本体1与加热器5的合计消耗电力在泵使用过程中暂时变得过大。

另外，在图5、图6中所示的例子中，加热器控制器22当接收加热器电流限制信号时，使加热器5变成关闭，但也可以减少加热器电流L1的电流值来限制加热器5的消耗电力，而代替使加热器5变成关闭来使加热器电流L1变成零。由此，即便马达电流L2暂时增大，也可以抑制合计的电流值(换言之，消耗电力)的增大。

(变形例1)

在所述实施方式中，当电源开启指令被输入时，使加热器5变成开启而开始调温控制，但也可以如图8中所示的流程图那样，在泵启动后转速N已变成额定旋转状态(额定转速Ns)的时机，使加热器5变成开启而开始调温控制。图8的流程图是从图6的流程图中删除步骤S3及步骤S5，并在步骤S6的后段追加步骤S20及步骤S21的处理者。

在图8的步骤S6中，从泵控制器21朝马达控制部21a输出旋转指令而开始马达加速。其后，当在步骤S20中判定转速N已到达额定旋转状态(额定转速Ns)时，在步骤S21中开始调温控制，开启加热器5。即，在转速N已到达额定转速Ns后，初次开启加热器5。在已到达额定转速Ns后重复步骤S7～步骤S9的处理，进行如图7中所示那样的加热器控制。在此变形例1中，当接收了加热器电流限制信号时，也可以减少加热器电流L1的电流值来限制加热器5的消耗电力，而代替关闭加热器5。

如此，在变形例1中，当在加速区间中马达电流L2已变成阈值Ith以上时、或马达负荷因气体流入而增加且马达电流L2已变成阈值Ith以上时，加热器电流L1也被限制成零或小的值，因此可抑制暂时的消耗电力的增大。

(变形例2)

在所述第一实施方式或变形例1中，当马达电流L2已变成阈值Ith以上时输出加热器电流限制信号，使加热器电流L1变成零或小的值来使合计的消耗电力下降。在变形例2中，如图9所示，将泵启动信号及转速N代替马达电流L2用于加热器电流限制控制。图9的流程图是在图5中所示的流程图中设置步骤S30～步骤S33来代替步骤S7～步骤S9者。

当在图9的步骤S6中从泵控制器21朝马达控制部21a输出旋转指令时，开始马达加速。在步骤S30中，泵控制器21判定转速N是否已到达额定旋转状态(额定转速Ns)。当转速N到达额定旋转状态(额定转速Ns)时，从步骤S30进入步骤S31，停止加热器电流限制信号的输出。其结果，再次开始经中断的调温控制，进行如图7的t＜t4或t＞t5所示那样的调温控制。

在步骤S32中，判定转速N的下降量ΔN相对于事先设定的阈值ΔNth是否为ΔN≧ΔNth。如图7所示，当马达负荷因气体流入而增加时，马达M的转速N下降。所述转速下降量ΔN依存于气体流入，气体流入量越大，转速下降量ΔN越大。此处，将马达电流L2变成阈值Ith以上的气体流入量的情况下的转速下降量ΔNth设定成是否执行加热器电流限制控制的阈值。当在图7的t＝t4处转速N因气体流入而下降ΔNth以上时，在步骤S32中判定ΔN≧ΔNth，并进入步骤S33，输出加热器电流限制信号。加热器控制器22通过加热器电流限制信号的接收来中断调温控制，并使加热器5变成关闭。其结果，如图7所示，加热器电流L1变成零。

当步骤S33的处理结束时，返回至步骤S30，判定转速N是否已到达额定转速Ns。在图7中所示的例子中，从在t＝t4处中断调温控制至在t＝t5处变成N＝Ns为止，重复步骤S30的处理。而且，当在t＝t5处变成N＝Ns时，从步骤S30进入步骤S31，停止加热器电流限制信号并再次开始调温控制。

(变形例3)

在所述第一实施方式中，如图5的步骤S7、步骤S9的处理那样，在马达加速开始后检测马达电流L2从I21减少至I22的时机，并再次开始经中断的调温控制。在变形例3中，当在t＝t2处被输入泵启动指令时，中断调温控制并关闭加热器5，且利用设置在泵控制器21的计时器21e对加速时间进行计时，在计时器21e已到时的时机再次开始调温控制。即，以如下方式设定计时器21e：在图6的t＝t2处开始由计时器21e所进行的计时，在t≧t3的时机计时器21e到时。由此，在转速N到达额定转速Ns且马达电流L2确实地变成I22后，将加热器5关闭。

-第二实施方式-

在所述第一实施方式中，在泵本体1设置有一个加热器5，但在第二实施方式中，如图10所示包括三个加热器5A、5B、5C。加热器5A以与加热器5的情况同样地卷绕在底座12的外周的方式设置，对底座12进行加热。进而，通过安装在泵壳13的加热器5B来对泵壳13进行加热，由此防止朝涡轮泵段的下游侧的产物堆积，通过安装在排气孔120的加热器5C来对排气孔120进行加热，由此防止朝排气孔120内的产物堆积。

在此种构成的情况下，例如对于所有加热器5A～加热器5C，可与第一实施方式的情况同样地，按照图5的流程图在相同的时机对所有加热器5A～加热器5C进行开启/关闭控制，也可以如图11所示，将加热器5A、加热器5B与加热器5C分开来控制。假定已开启加热器5A～加热器5C时的加热器电流值I11、加热器电流值I12、加热器电流值I13是以I11＞I12＞I13的方式设定者。当在相同的时机对所有加热器5A～加热器5C进行开启/关闭控制的情况下，当马达电流L2的值为阈值Ith以上时，加热器电流值的合计变成零，当马达电流L2的值低于阈值Ith时，加热器电流值的合计变成I11+I12+I13。

在图11中所示的加热器电流限制控制中应用图5中所示的流程图，调温控制及根据加热器电流限制信号的控制仅应用于加热器5A、加热器5B，关于加热器5C，不论调温控制及加热器电流限制信号均设为开启状态。即，在图11的电源开启的时机(t＝t1)将所有加热器5A～加热器5C开启，当在图5的步骤S5中从泵控制器21输出加热器电流控制信号时，加热器控制器22中断调温控制并将加热器5A、加热器5B关闭。其后，当在步骤S6中输出旋转指令而开始马达加速(t＝t2)时，马达电流L2增加至值I21，转速N伴随时间的经过而上升。

当在t＝t3处转速N到达额定旋转状态(额定转速Ns)时，马达电流L2从值I21朝值I22减少，在图5的步骤S7中判定L2＜Ith，并进入步骤S9。当在步骤S9中停止加热器电流控制信号的输出时，再次开始调温控制并将加热器5A、加热器5B关闭。在图11中所示的控制例的情况下，当L2≧Ith时，加热器电流L11～加热器电流L13的合计变成I13，当L2＜Ith时，加热器电流L11～加热器电流L13的合计变成I11+I12+I13。

另外，在所述例子中，当输出加热器电流控制信号时，将三个加热器中的两个或全部关闭，但也能够以将三个加热器中的一个关闭的方式构成。即，通过将存在多个的加热器中的至少一个关闭，可抑制由马达电流上升所引起的暂时的消耗电力的增大。

-第三实施方式-

在所述第一实施方式及第二实施方式中，在真空泵的控制装置2设置有加热器控制器22，但在第三实施方式中，如图12所示，独立于控制装置2而设置专用的加热器控制器7，通过泵本体1、控制装置2及加热器控制器7来构成真空泵系统。控制装置2与加热器控制器7通过信号线71来连接，已从泵控制器21中输出的加热器电流限制信号经由信号线71而传输至加热器控制器7。虽然省略关于加热器电流控制的说明，但可进行与所述第一实施方式及第二实施方式、以及变形例1～变形例3中记载的控制相同的控制。

(1)根据所述实施方式及变形例，涡轮分子泵包括：泵本体1，利用马达M对泵转子10进行旋转驱动来进行真空排气；加热器5，对泵本体1进行加热；以及控制装置2，对泵本体1及加热器5进行控制；且控制装置2的电流判定部21d判断马达电流是否为规定电流值以上，在判断马达电流为规定电流值以上的情况下，控制装置2限制加热器5的电力。其结果，可抑制马达电流L2与加热器电流的合计在泵使用过程中暂时变得过大，即可抑制包含马达消耗电力与加热器消耗电力的泵消耗电力在泵使用过程中暂时变得过大。

(2)进而，如图5所示，当限制加热器的电力时，当在步骤S7中判断马达电流L2未满规定的阈值Ith的情况下，在步骤S9中停止加热器的电力限制。因此，其结果，仅在马达电流L2为阈值Ith以上的情况下限制加热器的电力，因此可将利用加热器的加热的停止抑制成最小限度。

(3)另外，如图6所示，当指示马达M的旋转驱动开始的泵启动指令已被输入泵控制器21时，将加热器5关闭或使加热器5的电流值下降来开始加热器5的电力限制，在马达M变成额定旋转状态(额定转速Ns)且判断马达电流L2未满规定电流值I21的情况下，停止加热器5的电力限制。其结果，当马达电流L2为规定电流值I21以上时对加热器5进行电力限制，可抑制马达电流L2与加热器电流的合计暂时变得过大。

另外，也可以代替马达电流L2，如图8中所示的变形例1那样，判断马达M是否为额定旋转状态，在判断马达M为额定旋转状态的情况下，停止加热器5的电力限制。另外，也可以如图9中所示的变形例2那样，判断马达转速的下降量ΔN是否为阈值ΔNth以上，在判断马达转速的下降量ΔN为阈值ΔNth以上的情况下，限制加热器5的电力。

(4)另外，也可以如变形例3那样，包括对从马达旋转开始至到达稳定旋转状态为止的加速时间进行计时的计时器21e，当指示马达M的旋转驱动开始的泵启动指令被输入时，开始加热器5的电力限制，并且使由计时器21e所进行的计数开始，当在经过加速时间后计时器21e已计数完毕时，停止加热器5的电力限制。其结果，在马达电流L2为规定电流值I21以上的情况下限制加热器5的电力，可抑制马达电流L2与加热器电流的合计暂时变得过大。

(5)进而，也可以如第二实施方式那样，包括对泵本体1进行加热的多个加热器5A、加热器5B、加热器5C，在马达电流L2为规定电流值I21以上的情况下，停止多个加热器5A、加热器5B、加热器5C中的至少一个的通电。由此，在马达电流L2为规定电流值I21以上的情况下限制加热器电力，可抑制马达电流L2与加热器电流的合计暂时变得过大。

以上对各种实施方式及变形例进行了说明，但本发明并不限定于这些内容。在本发明的技术思想的范围内可想到的其他形态也包含在本发明的范围内。

Claims (7)

1.一种真空泵，其中，包括：

泵本体，利用马达对转子进行旋转驱动来进行真空排气；

加热器，对所述泵本体进行加热；以及

控制装置，对所述泵本体及所述加热器进行控制；且

所述控制装置判断马达电流是否为规定电流值以上，在判断马达电流为规定电流值以上的情况下，限制所述加热器的电力。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其中，

当限制所述加热器的电力时，在判断马达电流未满规定电流值的情况下，所述控制装置停止所述加热器的电力限制。

3.根据权利要求1所述的真空泵，其中，

所述控制装置在所述马达的旋转驱动开始时，开始所述加热器的电力限制，在所述马达变成额定旋转状态且判断所述马达电流未满所述规定电流值的情况下，停止所述加热器的电力限制。

4.根据权利要求1所述的真空泵，其中，包括对从马达旋转开始至到达稳定旋转状态为止的加速时间进行计时的计时器，且

所述控制装置在所述马达的旋转驱动开始时，开始所述加热器的电力限制，并且使由所述计时器所进行的计数开始，在所述计时器的计数完毕时，停止所述加热器的电力限制。

5.根据权利要求1所述的真空泵，其中，包括多个对所述泵本体进行加热的加热器，且

所述控制装置在所述马达电流为所述规定电流值以上的情况下，停止多个所述加热器中的至少一个的通电。

6.一种真空泵，其中，包括：

泵本体，利用马达对转子进行旋转驱动来进行真空排气；

加热器，对所述泵本体进行加热；以及

控制装置，对所述泵本体及所述加热器进行控制；且

所述控制装置在所述马达的旋转驱动开始时，开始所述加热器的电力限制，并判断马达是否为额定旋转状态，在判断马达为额定旋转状态的情况下，停止所述加热器的电力限制。

7.一种真空泵，其中，包括：

泵本体，利用马达对转子进行旋转驱动来进行真空排气；

加热器，对所述泵本体进行加热；以及

控制装置，对所述泵本体及所述加热器进行控制；且

所述控制装置判断马达转速的下降量是否为阈值以上，在判断马达转速的下降量为阈值以上的情况下，限制所述加热器的电力。

Images