CN111433590B - 分光分析装置 - Google Patents

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Abstract

本发明具有：光源，其将包含多个波长成分的光射出；偏振片，其将从光源射出的光变换为向样品照射的直线偏振光的光；偏振衍射元件，其使经过了样品的光所包含的第1偏振成分向第1方向衍射而进行波长分散，使第2偏振成分向与所述第1方向不同的第2方向衍射而进行波长分散；棱镜，其配置于偏振衍射元件的出射侧，具有与第1方向相交叉的第1出射面和与第2方向相交叉的第2出射面，第1出射面及第2出射面相对于包含第1方向及第2方向在内的基准面的角度彼此不同；拍摄元件，其对从棱镜的第1出射面射出的第1偏振成分的像和从第2出射面射出的第2偏振成分的像进行拍摄；以及处理装置，其基于拍摄元件的拍摄结果对样品进行分析。

Description

分光分析装置
技术领域
本发明涉及分光分析装置。
背景技术
特定的分子具有的手性(chirality；光学活性)具有左旋圆偏振光、右旋圆偏振光的吸光度不同的圆二色性。通常来说，为了对具有手性的手性分子的光学活性进行分析，通过圆二色性光谱仪进行测量。圆二色性光谱仪针对从光源向样品的入射光，使用光弹性调制器，分别切换为右旋圆偏振光、左旋圆偏振光而对吸光度进行测定。通过取得它们的比值而得到圆二色光谱。在该方法中，必须分别对右旋圆偏振光、左旋圆偏振光进行2次测量，丧失同时性并且测定速度变慢。
因此，提出了下述方法，即，将白色光照射至样品，将透过了样品的光通过偏振衍射光栅分离为左旋圆偏振光和右旋圆偏振光且进行波长分散，将分离且波长分散的左旋圆偏振光和右旋圆偏振光各自通过2个拍摄元件进行拍摄，基于拍摄到的信号的相位差对样品的构造进行解析。根据样品所具有的分子构造，右旋圆偏振光成分和左旋圆偏振光成分的吸收率不同，因此将透过了样品的右旋圆偏振光成分和左旋圆偏振光成分进行分离，取得这些信号的差分，由此对样品的分子的构造进行解析(例如，参照非专利文献1)。
另外，在双折射测定装置中，从光源射出的光线通过偏振元件产生直线偏振光，将直线偏振光通过光束扩展器进行扩展，从扩展的直线偏振光通过1/4波长板生成顺时针的圆偏振光，将生成的圆偏振光的光线照射至样品。而且，在双折射测定装置中，在使透过了样品的光成像的成像光学系统中，配置使多个衍射光产生的偏振衍射元件，将由偏振衍射元件产生的－1级衍射光的明暗通过拍摄元件进行拍摄。而且，在双折射测定装置中，使与基于拍摄到的明暗而求出的、
以圆偏振光(入射光)为基准的透过光(出射光)中的异常光成分和正常光成分之间的相位差相关的信息在显示器进行显示。偏振衍射元件是在透过树脂液中排列多个光栅单位而形成的结构双折射偏振衍射光栅，形成有4个图案的光栅(例如，参照专利文献1)。
专利文献1：国际公开第2016/031567号
非专利文献1：“Method for artifact-free circular dichroism measurementsbased on polarization grating”，Clementina Provenzano,Pasquale Pagliusi，Alfredo Mazzulla,and Gabriella Cipparrone，Optics Letters Vol.35，Issue 11，pp.1822-1824，2010
发明内容
但是，在现有技术中，是具有持有连续性的取向分布这一构造的偏振衍射光栅的结构。因此，在现有技术中，光栅宽度变大，衍射光栅数受到限制，因此无法提高衍射光栅数。如上所述，在现有技术中，由于无法提高衍射光栅数，因此波长分散性低。其结果，在现有技术中，存在无法提高波长分辨率这样的问题。
另外，在现有技术中，存在分光分析装置成为大型这样的问题。具体地说，在非专利文献1所记载的技术中，具有2个拍摄元件，分光分析装置成为大型。
本发明就是鉴于上述的问题点而提出的，其目的在于提供能够使波长分辨率提高的分光分析装置。另外，本发明的目的在于提供小型的分光分析装置。
为了达到上述目的，本发明的一个方式所涉及的分析装置具有：光源，其将包含多个波长成分的光射出；偏振片，其将从所述光源射出的光变换为向样品照射的直线偏振光的光；偏振衍射元件，其使经过了所述样品的光所包含的第1偏振成分向第1方向衍射而进行波长分散，使第2偏振成分向与所述第1方向不同的第2方向衍射而进行波长分散；棱镜，其配置于所述偏振衍射元件的出射侧，具有与所述第1方向交叉的第1出射面和与所述第2方向交叉的第2出射面，所述第1出射面及所述第2出射面相对于包含所述第1方向及所述第2方向在内的基准面的角度彼此不同；拍摄元件，其对从所述棱镜的所述第1出射面射出的所述第1偏振成分的像和从所述第2出射面射出的所述第2偏振成分的像进行拍摄；以及处理装置，其基于所述拍摄元件的拍摄结果对所述样品进行分析。
另外，在本发明的一个方式所涉及的分析装置中，也可以是所述第1方向和所述第1出射面的所述基准面内的角度，设定为使进行了波长分散的所述第1偏振成分的分散角度扩大的角度，所述第2方向和所述第2出射面的所述基准面内的角度，设定为使进行了波长分散的所述第2偏振成分的分散角度扩大的角度。
另外，本发明的一个方式所涉及的分析装置也可以具有柱面透镜，该柱面透镜配置于所述偏振片和所述样品之间，将向所述样品照射的光整形为向与所述基准面交叉的方向延伸的光。
另外，在本发明的一个方式所涉及的分析装置中，也可以是所述第1出射面相对于所述基准面的角度为90度，所述第2出射面相对于所述基准面的角度为45度。
另外，在本发明的一个方式所涉及的分析装置中，也可以是所述棱镜是所述基准面中的形状为梯形的板状的部件，所述棱镜的所述第1出射面是包含所述梯形的第1腿的面，所述棱镜的所述第2出射面是包含所述梯形的第2腿的面。
发明的效果
根据本发明，能够使波长分辨率提高。
附图说明
图1是表示第1实施方式所涉及的分光分析装置的结构例的图。
图2是第1实施方式所涉及的棱镜的斜视图。
图3是第1实施方式所涉及的棱镜的三面图。
图4是表示通过第1实施方式所涉及的棱镜产生的拍摄元件上的成像位置的图。
图5是表示由本实施方式所涉及的棱镜进行了波长分散的右旋圆偏振光成分和左旋圆偏振光成分的拍摄元件的成像位置的图。
图6是表示向第1实施方式所涉及的棱镜射入的光线和由棱镜射出的光线的例子的图。
图7是表示第1实施方式所涉及的基准面、右旋圆偏振光成分进行了波长分散的光线所形成的平面、左旋圆偏振光成分进行了波长分散的光线所形成的平面的关系例的图。
图8是表示第1实施方式所涉及的基准面、右旋圆偏振光成分进行了波长分散的光线所形成的平面、左旋圆偏振光成分进行了波长分散的光线所形成的平面所构成的角的图。
图9是表示第1实施方式所涉及的第1出射面相对于基准面不垂直的情况下的各平面的关系例的图。
图10是表示第2实施方式所涉及的分光分析装置的结构例的图。
图11是表示在第2实施方式所涉及的拍摄元件上成像的右旋圆偏振光成分各自的波长的线光和左旋圆偏振光成分各自的波长的线光的图。
具体实施方式
下面，一边参照附图一边对本发明的实施方式进行说明。此外，在下面的说明所使用的附图中，为了将各部件设为能够识别的大小，将各部件的比例尺适当进行了变更。
[第1实施方式]
图1是表示本实施方式所涉及的分光分析装置100的结构例的图。如图1所示，分光分析装置100具有光源1、偏振片2、偏振衍射元件4、棱镜5、拍摄元件7、处理装置8及存储部81。
此外，在本实施方式中，向样品20照射光，进行样品20中的各成分量的分析。
另外，在图1中，将光轴设为x轴方向，将与x轴方向垂直的方向设为y轴方向，将xy平面的深度方向设为z轴方向。
光源1、偏振片2、偏振衍射元件4、棱镜5、拍摄元件7在光源1的光轴方向即x轴方向上，按照光源1、偏振片2、偏振衍射元件4、棱镜5、拍摄元件7的顺序进行配置。棱镜5与偏振衍射元件4接近或者紧贴地配置。
样品20在光源1的光轴方向即x轴方向上，设置于偏振片2和偏振衍射元件4之间。
光源1是与进行分析的样品相对应的波长的光源，例如是宽频带光源或者射出红外光的光源。
偏振片2是将从光源1射入的光线变换为直线偏振光的光线3的透过型偏振片。由偏振片2变换后的直线偏振光的光线3照射至样品20。
向偏振衍射元件4射入透过了样品20的光线。偏振衍射元件4是具有结构性双折射或者分子取向(液晶)性双折射的透过型偏振衍射元件。偏振衍射元件4在xy平面将右旋圆偏振光成分向相对于光轴具有上侧(+侧)的角度φ的第1方向g1进行衍射并波长分散。偏振衍射元件4在xy平面将左旋圆偏振光成分向相对于光轴具有下侧(－侧)的角度φ的第2方向g2进行衍射并波长分散。此外，在本实施方式中，将包含第1方向g1和第2方向g2在内的面设为基准面f1。此外，波长分散(spectrally disperse)是指将入射光与波长相应地以不同的折射率进行折射，由此与波长相应地使入射光分散。
棱镜5例如是xy平面的形状为梯形，在z轴方向具有厚度的板状的光学部件。棱镜5具有：第1出射面5a，其是包含梯形形状的第1腿的面；第2出射面5b，其是包含梯形形状的第2腿的面；以及入射面5c，其是包含梯形形状的底边的面。向棱镜5的入射面5c从偏振衍射元件4射入在第1方向上进行了波长分散的右旋圆偏振光成分和在第2方向上进行了波长分散的左旋圆偏振光成分。
棱镜5将射入的进行了波长分散的右旋圆偏振光成分的波长分散角扩大而进行波形分散，从与第1方向相交叉的第1出射面5a射出波形分散的右旋圆偏振光成分6a。棱镜5将射入的右旋圆偏振光成分的波长分散角扩大而进行波长分散，从与第2方向相交叉的第2出射面5b射出波形分散的左旋圆偏振光成分6b。由此，在本实施方式中，使用棱镜5将偏振衍射元件4的波长分辨率扩大。此外，关于棱镜5的结构在后面记述。
拍摄元件7例如是二维的CCD(Colony Collapse Disorder；电荷耦合元件)、二维的CMOS(Complementary MOS；互补型MOS)等拍摄元件。在拍摄元件7，在z轴方向上，从第1出射面5a射出的进行了波长分散的右旋圆偏振光成分6a成像于第1位置7a。
在拍摄元件7，在z轴方向上，从第2出射面5b射出的进行了波长分散的左旋圆偏振光成分6b成像于第2位置7b。拍摄元件7对第1位置7a、第2位置7b各自的成像进行拍摄。拍摄元件7将拍摄到的进行了波长分散的右旋圆偏振光成分和进行了波长分散的左旋圆偏振光成分各自的光信号输出至处理装置8。
处理装置8基于由拍摄元件7输出的进行了波长分散的右旋圆偏振光成分、和进行了波长分散的左旋圆偏振光成分各自的光信号的光谱，运算相对于各个波长下的右旋圆偏振光成分和左旋圆偏振光成分的样品20的吸光度的差，由此导出圆偏振光二色性的大小。而且，处理装置8对各个波长下的圆偏振光二色性的大小进行绘制，由此对圆二色光谱(CD光谱)进行计算，由此对样品20的成分进行分析。处理装置8例如使用非专利文献1的(8)式，取得各个波长下的右旋圆偏振光成分的强度(intensity)和左旋圆偏振光成分的强度(intensity)的比值，计算比值的对数(log)，将比值的对数除以2，由此导出圆偏振光二色性的大小。
存储部81预先存储有成像于拍摄元件7上的像的位置、波长以及偏振成分的关系。
接下来，进一步对棱镜5进行说明。
图2是本实施方式所涉及的棱镜5的斜视图。图3是本实施方式所涉及的棱镜5的三面图。图3(A)是正视图。图3(B)是右侧视图。
图3(C)是仰视图。
如图2、图3所示，棱镜5的第1出射面5a具有相对于基准面f1呈90度的第1出射面5a。棱镜5的第2出射面5b具有相对于基准面f1具有45度的角度的第2出射面5b。
如上所述，在本实施方式中，构成为使棱镜5的第1出射面5a和xy平面之间的角度不同于第2出射面5b和xy平面之间的角度，由此如图4所示，能够使成像于拍摄元件7的z轴方向的位置分离。图4是表示通过本实施方式所涉及的棱镜5产生的拍摄元件7上的成像位置的图。
如图4所示，从第1出射面5a射出的进行了波长分散的右旋圆偏振光成分6a成像于第1位置7a。第1位置7a为z轴方向的光轴的位置，例如是拍摄元件7的z轴方向的中心位置。
如图4所示，从第2出射面5b射出的进行了波长分散的左旋圆偏振光成分6b成像于第2位置7b。第2位置7b为相对于z轴方向的光轴的位置在上方的位置。
图5是表示通过本实施方式所涉及的棱镜5进行了波长分散的右旋圆偏振光成分6a和左旋圆偏振光成分6b的拍摄元件7上的成像位置的图。图5(A)是xy平面中的偏振衍射元件4、棱镜5和拍摄元件7的俯视图。图5(B)是yx平面中的拍摄元件7的俯视图。
通过偏振衍射元件4将右旋圆偏振光成分衍射至y轴方向的上侧(+侧)。通过偏振衍射元件4将左旋圆偏振光成分衍射至y轴方向的下侧(－侧)。而且，从棱镜5的入射面5c射入的右旋圆偏振光成分由于棱镜5的第1出射面5a的xy平面中的角度，衍射角度向+侧扩大。同样地，从棱镜5的入射面5c射入的左旋圆偏振光成分由于棱镜5的梯形的第2出射面5b的xy平面中的角度，衍射角度向－侧扩大。如上所述，通过棱镜5将衍射光的倾斜度角度扩大，由此能够提高波长分散性。其结果，根据本实施方式，如图5(B)所示，能够缩短偏振衍射元件4和拍摄元件7的距离。
其结果，将右旋圆偏振光成分由棱镜5进行了波长分散的光线如图5所示，如光线6a1～6a5这样波长分散角被扩大而进行波长分散。而且，光线6a1成像于拍摄元件7的位置7a。光线6a2成像于拍摄元件7的位置7a2。光线6a3成像于拍摄元件7的位置7a3。光线6a4成像于拍摄元件7的位置7a4。光线6a5成像于拍摄元件7的位置7a5。
另外，将左旋圆偏振光成分由棱镜5进行了波长分散的光线如图5所示，如光线6b1～6b5这样波长分散角被扩大而进行波长分散。而且，光线6bn(n为1至5的任意整数)成像于拍摄元件7的位置7an。
此外，在图5中，在光线6α(α为a或者b)1～6α5中，光线6α1的第1波长最短，光线6α5的第5波长最长。光线6α2的第2波长比光线6α1的第1波长更长。光线6α3的第3波长比光线6α2的第2波长更长。光线6α4的第4波长比光线6α3的第3波长更长。光线6α5的第5波长为最长的波长。
另外，在图5所示的例子中，示出了通过偏振衍射元件4分散为5个波长的例子，但并不限定于此。通过偏振衍射元件4分散的波长的数量只要大于或等于2个即可，也可以为3、大于或等于5。此外，在图5等所示的例子中为了简化说明，将在拍摄元件7上形成的像通过点表示。实际上在拍摄元件7上形成的像是位置7a1～7a5的像连续的像，位置7b1～7b5的像连续的像。
此外，存储部81预先存储有如上所述的在拍摄元件7上成像的像、波长以及偏振成分的关系。
并且，对向棱镜5射入的光线和由棱镜5射出的光线进行说明。
图6是表示向本实施方式所涉及的棱镜5射入的光线和由棱镜5射出的光线的例子的图。坐标系与图1相同。此外，在图6中，为了进行光线的说明，将偏振衍射元件4和棱镜5分开示出。
向偏振衍射元件4射入从样品20(图1)透过的光线3a。而且，偏振衍射元件4将光线3a衍射而分离为右旋圆偏振光成分6c(第1偏振成分)和左旋圆偏振光成分6d(第2偏振成分)。右旋圆偏振光成分6c相对于光轴3b沿逆时针具有角度φ。左旋圆偏振光成分6d相对于光轴3b沿顺时针具有角度φ。此外，右旋圆偏振光成分6c的光线和左旋圆偏振光成分6d的光线形成于基准面f1。此外，在图6中，图示出波长分散的光线中的代表性的光线。另外，偏振衍射元件4以例如在专利文献1中记载的方式构成。
向棱镜5的入射面5c射入由偏振衍射元件4进行分离而波长分散的右旋圆偏振光成分6c和左旋圆偏振光成分6d。而且，从棱镜5的第1出射面5a射出进行了波长分散的右旋圆偏振光成分6a的光线。从棱镜5的第2出射面5b射出进行了波长分散的右旋圆偏振光成分6b的光线。
在这里，第1出射面5a与基准面f1垂直地配置，因此右旋圆偏振光成分6a的光线形成于基准面f1。另一方面，在这里，第2出射面5b相对于基准面f1呈45度的角度而进行配置，因此左旋圆偏振光成分6b的光线形成于相对于基准面f1呈45度(第2规定角度)的角度的平面。
并且，对基准面f1、右旋圆偏振光成分进行了波长分散的右旋圆偏振光成分6a所形成的平面、左旋圆偏振光成分进行了波长分散的左旋圆偏振光成分6b所形成的平面的关系进行说明。
图7是表示本实施方式所涉及的基准面f1、右旋圆偏振光成分6a进行了波长分散的光线所形成的平面f2、左旋圆偏振光成分6b进行了波长分散的光线所形成的平面f3的关系例的图。图8是表示本实施方式所涉及的基准面f1、右旋圆偏振光成分6a进行了波长分散的光线所形成的平面f2、左旋圆偏振光成分6b进行了波长分散的光线所形成的平面f3所成的角的图。
在图7、图8中，如上所述，基准面f1是包含第1方向g1和第2方向g2在内的面。平面f2是包含通过将右旋圆偏振光成分6a进行波长分散而得到的光线在内的平面。平面f3是包含通过将左旋圆偏振光成分6b进行波长分散而得到的光线在内的平面。
将右旋圆偏振光成分6a波长分散的光线所形成的平面f2和基准面f1形成于相同的xy平面。因此，在使将右旋圆偏振光成分6a波长分散的光线所形成的平面f2在xy平面内进行了移动的情况下，将右旋圆偏振光成分6a波长分散的光线所形成的平面f2和基准面f1重叠。
另一方面，在使将左旋圆偏振光成分6b波长分散的光线所形成的平面f3在xy平面内进行了移动的情况下，将左旋圆偏振光成分6b波长分散的光线所形成的平面f3和基准面f1所成角β。即，在本实施方式中，将左旋圆偏振光成分6b波长分散的光线所形成的平面f3，相对于将右旋圆偏振光成分6a波长分散的光线所形成的平面f2而具有第2规定角度、即所成角β。
此外，在上述的例子中，对在棱镜5中第2出射面5b相对于基准面f1倾斜45度的例子进行了说明，但并不限定于此。如图5所示，只要是在拍摄元件7上成像的像分离的角度即可。例如，z轴方向的第2出射面5b也可以相对于基准面f1倾斜－45度。在该情况下，在图4中，从第2出射面5b射出的进行了波长分散的左旋圆偏振光成分6b成像于相对于z轴方向的光轴的位置在下方的位置。
另外，也可以是第2出射面5b与基准面f1垂直，第1出射面5a相对于基准面f1倾斜例如45度。
并且，也可以是第1出射面5a相对于基准面f1倾斜第1规定角度，第2出射面5b相对于基准面f1倾斜第1规定角度±第2规定角度。
如上所述，在第1出射面5a相对于基准面f1不垂直的情况下，也可以如图9所示，从第1出射面5a射出的右旋圆偏振光成分6a的光线所形成的平面f3相对于基准面f1具有第1规定角度(所成角γ)。
图9是表示本实施方式所涉及的第1出射面5a相对于基准面f1不垂直的情况下的各平面的关系例的图。
另外，也可以是第1出射面5a相对于基准面f1例如倾斜45度，第2出射面5b相对于基准面f1例如倾斜－45度。通过以上述方式构成，从而与图1所示的结构相比较，能够进一步减少右旋圆偏振光成分6a和左旋圆偏振光成分6b的串扰。
通过上述的结构，在本实施方式中，由向棱镜5射入的右旋圆偏振光成分6c(第1偏振成分)和左旋圆偏振光成分6d(第2偏振成分)形成的基准面f1、和由从第1出射面5a射出的右旋圆偏振光成分6a的光线形成的平面，形成于同一平面上。而且，在本实施方式中，由从第1出射面5a射出的右旋圆偏振光成分6a的光线形成的平面和基准面f1为同一平面，由从第2出射面5b射出的左旋圆偏振光成分6b的光线形成的平面和基准面f1具有第2规定角度(45度)。由此，根据本实施方式，如图4、图5所示，能够在拍摄元件7上的z轴方向的不同的位置使右旋圆偏振光成分6a和左旋圆偏振光成分6b成像。
如以上所述，根据本实施方式，能够通过棱镜5，在同轴上对右旋圆偏振光成分和左旋圆偏振光成分进行角度调整，因此能够通过1个2维拍摄元件得到圆二色光谱。其结果，根据本实施方式，能够实现2个圆偏振光成分的同时性。
另外，根据本实施方式，通过并用偏振衍射元件4和棱镜5，从而能够减少右旋圆偏振光成分6a和左旋圆偏振光成分6b的串扰，并且提高波长分散性，因此能够缩短直至拍摄元件7为止的距离。其结果，根据本实施方式，能够提高波长分辨率，且能够与以往相比使分光分析装置100小型化。如上所述，根据本实施方式，通过将拍摄元件7设为一个，从而分光分析装置100成为小型。
另外，根据本实施方式，构成为能够通过1个拍摄元件7进行拍摄，因此不需要如使用2个拍摄元件的情况那样进行光学系统的调整。
棱镜5的入射面5c与偏振衍射元件4接近或者紧贴地配置。此外，偏振衍射元件4和棱镜5的入射面5c也可以通过粘接剂或研磨粘接进行接合。或者，偏振衍射元件4和棱镜5的入射面5c之间也可以构成为设置空间而机械地固定。偏振衍射元件4和棱镜5的入射面5c在通过粘接剂或研磨粘接进行接合的情况下，能够得到不需要偏振衍射元件4和棱镜5的光学性的调整这一效果。在该情况下，光学性的调整仅在拍摄元件7的z轴方向进行即可。
此外，如现有技术这样，在将光学元件分为3个的情况下，在拍摄元件7的z轴方向的调整的基础上，还需要倾斜方向(tilt angle)的调整。如上所述，根据本实施方式，与现有技术相比较能够减少调整，因此也能够减少通过调整而产生的精度的误差。
[第2实施方式]
图10是表示本实施方式所涉及的分光分析装置100A的结构例的图。如图10所示，分光分析装置100具有光源1、偏振片2、偏振衍射元件4、棱镜5、拍摄元件7A、处理装置8A、存储部81A及柱面透镜9。
此外，在本实施方式中，向样品20照射光，进行样品20中的各成分量的分析。
另外，在图6中，将光轴设为x轴方向，将与x轴方向垂直的方向设为y轴方向，将xy平面的深度方向设为z轴方向。另外，针对具有与分光分析装置100相同功能的结构要素，使用相同的标号而省略说明。
光源1、偏振片2、偏振衍射元件4、棱镜5、柱面透镜9、拍摄元件7A在光源1的光轴方向即x轴方向上，按照光源1、偏振片2、偏振衍射元件4、棱镜5、柱面透镜9、拍摄元件7A的顺序进行配置。棱镜5的底边与偏振衍射元件4接近地配置。
样品20在光源1的光轴方向即x轴方向上，设置于柱面透镜9和偏振衍射元件4之间。
偏振片2是将从光源1射入的光线变换为直线偏振光的光线3的透过型偏振片。由偏振片2变换后的直线偏振光的光线3射出至柱面透镜9。
向柱面透镜9射入由偏振片2射出的直线偏振光的光线3。柱面透镜9将射入的直线偏振光的光线变换为线光31，将变换后的线光31照射至样品20。即，柱面透镜9将向样品20照射的光整形为在与基准面f1相交叉的方向延伸的光。由此，根据本实施方式，能够同时地进行样品20的沿z轴方向的光学特性的测量。
向偏振衍射元件4射入透过了样品20的光线。在这里，透过了样品20的光线为线光，因此在透过光中包含有z轴方向的位置信息。偏振衍射元件4是具有结构性双折射或者分子取向(液晶)性双折射的透过型偏振衍射元件。偏振衍射元件4将右旋圆偏振光成分的线光相对于光轴向上侧的+侧衍射并且进行波长分散。偏振衍射元件4将左旋圆偏振光成分线光相对于光轴向下侧的－侧衍射并且进行波长分散。
棱镜5例如是xy平面中的形状为梯形的四方柱的棱镜，从偏振衍射元件4向棱镜5的底边射入相对于光轴具有规定的角度的进行了波长分散的右旋圆偏振光成分的线光、和相对于光轴具有规定的角度的进行了波长分散的左旋圆偏振光成分的线光。棱镜5从第1出射面5a射出针对射入的进行了波长分散的右旋圆偏振光成分的线光将波长分散角扩大而进行了波形分散的右旋圆偏振光成分6a的线光。棱镜5从第2出射面5b射出针对射入的右旋圆偏振光成分将波长分散角扩大而进行了波长分散的波形分散的左旋圆偏振光成分6b的线光。由此，在本实施方式中，使用棱镜5，将偏振衍射元件4的波长分辨率扩大。
拍摄元件7A例如是二维的CCD、二维的CMOS等拍摄元件。拍摄元件7A对由棱镜5射出的右旋圆偏振光成分6a的成像和左旋圆偏振光成分6b的成像进行拍摄。拍摄元件7A将拍摄到的右旋圆偏振光成分6a的信号和拍摄到的左旋圆偏振光成分6b的信号输出至处理装置8A。处理装置8A使用例如非专利文献1的(8)式，取得各个波长下的右旋圆偏振光成分的强度(intensity)和左旋圆偏振光成分的强度(intensity)的比值，计算比值的对数(log)，将比值的对数除以2，由此导出圆偏振光二色性的大小。此外，关于向拍摄元件7A射入的光线、成像的位置在后面记述。
向处理装置8A输入由拍摄元件7A输出的右旋圆偏振光成分6a的信号和拍摄到的左旋圆偏振光成分6b的信号。处理装置8A运算相对于各个波长下的右旋圆偏振光成分和左旋圆偏振光成分的样品20的吸光度的差，对圆二色光谱进行计算，由此对样品20的成分进行分析。此外，关于由处理装置8A取得差分的像，使用图8在后面记述。
存储部81A预先存储有在拍摄元件7A上成像的像的位置、波长和偏振成分的关系。
图11是表示在本实施方式所涉及的拍摄元件7A上成像的右旋圆偏振光成分6a各自的波长的线光和左旋圆偏振光成分6b各自的波长的线光的图。在图11中，长度方向为y轴方向，宽度方向为z轴方向。
右旋圆偏振光成分6a各自的波长的线光7a10～7a40成像于拍摄元件7A上。此外，y轴方向表示与样品20的分子构造相对应的位置。线光7a10～7a40各自包含第1波长的像7aN1、第2波长的像7aN2、第3波长的像7aN3、第4波长的像7aN4、第5波长的像7aN5(N为1至4的整数)。此外，第1波长为最短的波长。第2波长比第1波长更长。第3波长比第2波长更长。第4波长比第3波长更长。第5波长为最长的波长。
另外，左旋圆偏振光成分6b各自的波长的线光7b10～7b40成像于拍摄元件7A上。此外，y轴方向表示与样品20的分子构造相对应的位置。线光7b10～7b40各自包含第1波长的像7bN1、第2波长的像7bN2、第3波长的像7bN3、第4波长的像7bN4、第5波长的像7bN5(N为1至4的整数)。
处理装置8A运算相对于相同的位置且相同的波长的右旋圆偏振光成分6a和左旋圆偏振光成分6b的样品20的吸光度的差，对圆二色光谱进行计算，由此对样品20的成分进行分析。处理装置8A例如针对第1波长，对右旋圆偏振光成分的像7a41的信号和左旋圆偏振光成分的像7b41的差进行运算。
此外，在图11所示的例子中，为了简化说明，将各位置、各波长的像由点表示。实际上在拍摄元件7A上形成的像成为包含7a11～7a45在内的面的像，成为包含7b11～7b45在内的面的像。
通过该结构，在本实施方式中，能够二维地得到与样品的分子构造相对应的位置，因此一边使样品20或者分光分析装置100A移动一边进行拍摄，由此能够二维地对与样品的分子构造相对应的位置进行分析。
此外，在上述的例子中，对在棱镜5中第2出射面5b相对于基准面f1倾斜45度的例子进行了说明，但并不限定于此。梯形的第2出射面5b相对于基准面f1的倾斜度，只要是在拍摄元件7A上成像的像分离的角度即可。
如上所述，在本实施方式中，构成为将由棱镜5进行了波长分散的光线进一步通过柱面透镜9变换为线光。
由此，根据本实施方式，通过柱面透镜9变换为线光，因此通过使样品20移动而进行拍摄，从而能够二维地进行样品20的分子构造的解析。
此外，在第1实施方式、第2实施方式中，对zy平面中的棱镜5的形状在xy平面中为梯形且在z轴方向具有厚度的例子进行了说明，但并不限定于此。棱镜5的形状只要是具有至少1个入射面、彼此角度不同的第1出射面和第2出射面的立体，则可以是任何形状。棱镜5的形状例如可以是基准面的形状为四边形即四方柱等的多边形柱、四棱锥体等形状。棱镜5的形状在基准面的形状为四边形即四方柱的情况下，包含四边形的一边的面为第1出射面5a，包含四边形的其他一边的面为第2出射面5b，包含四边形的另外一边的面也可以是入射面5c。
此外，在第1实施方式、第2实施方式中，对从第1出射面5a射出右旋圆偏振光成分，从第2出射面5b射出左旋圆偏振光成分的例子进行了说明，但并不限定于此。也可以是第1出射面5a射出左旋圆偏振光成分，第2出射面5b射出右旋圆偏振光成分。
此外，也可以将用于实现本发明的处理装置8(或者8A)的功能的全部或者一部分的程序记录于计算机可读取的记录介质，将在该记录介质中记录的程序读入至计算机系统而执行，由此进行由处理装置8(或者8A)执行的处理的全部或者一部分。此外，在这里所谓的“计算机系统”也可以是包含OS、周边仪器等硬件的结构。另外，“计算机系统”还包含具有主页提供环境(或者显示环境)的WWW系统。另外，“计算机可读取的记录介质”是指软盘、光磁盘、ROM、CD－ROM等可移动介质、内置于计算机系统的硬盘等存储装置。并且，“计算机可读取的记录介质”是指，如成为经由互联网等网络、电话线路等通信线路而发送出程序的情况下的服务器或客户端的计算机系统内部的易失性存储器(RAM)这样，包含以一定时间保存有程序的介质。
另外，上述程序也可以从在存储装置等收容有该程序的计算机系统经由传送介质、或者通过传送介质中的传送波传送至其他计算机系统。在这里，对程序进行传送的“传送介质”是指，如互联网等网络(通信网)、电话线路等通信线路(通信线)这样，具有对信息进行传送的功能的介质。另外，上述程序也可以是用于实现前述的功能的一部分的程序。并且，也可以通过与将前述的功能已经记录于计算机系统的程序的组合而实现，可以是所谓的差分文件(差分程序)。
以上，使用实施方式对用于实施本发明的方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式，能够在不脱离本发明的主旨的范围内施加各种变形及置换。
标号的说明
100、100A…分光分析装置，1…光源，2…偏振片，4…偏振衍射元件，5…棱镜，7、7A…拍摄元件，8、8A…处理装置，9…柱面透镜，81…存储部，5a…第1出射面，5b…第2出射面，5c…入射面，f1…基准面。

Claims (19)

1.一种分光分析装置，其具有：
光源，其将包含多个波长成分的光射出；
偏振片，其将从所述光源射出的光变换为向样品照射的直线偏振光的光；
偏振衍射元件，其使经过了所述样品的光所包含的第1偏振成分向第1方向衍射而进行波长分散，使第2偏振成分向与所述第1方向不同的第2方向衍射而进行波长分散；
棱镜，其配置于所述偏振衍射元件的出射侧，具有与所述第1方向相交叉的第1出射面和与所述第2方向相交叉的第2出射面，所述第1出射面及所述第2出射面相对于包含所述第1方向及所述第2方向在内的基准面的角度彼此不同；
拍摄元件，其对从所述棱镜的所述第1出射面射出的所述第1偏振成分的像、和从所述第2出射面射出的所述第2偏振成分的像进行拍摄；以及
处理装置，其基于所述拍摄元件的拍摄结果对所述样品进行分析，
所述棱镜是所述基准面中的形状为梯形的部件，
所述棱镜的所述第1出射面是包含所述梯形的第1腿的面，
所述棱镜的所述第2出射面是包含所述梯形的第2腿的面。
2.根据权利要求1所述的分光分析装置，其中，
所述第1方向和所述第1出射面的所述基准面内的角度，设定为使进行了波长分散的所述第1偏振成分的分散角度扩大的角度，
所述第2方向和所述第2出射面的所述基准面内的角度，设定为使进行了波长分散的所述第2偏振成分的分散角度扩大的角度。
3.根据权利要求1或2所述的分光分析装置，其中，
具有柱面透镜，该柱面透镜配置于所述偏振片和所述样品之间，将向所述样品照射的光整形为向与所述基准面相交叉的方向延伸的光。
4.根据权利要求1或2所述的分光分析装置，其中，
所述第1出射面相对于所述基准面的角度为90度，
所述第2出射面相对于所述基准面的角度为45度。
5.根据权利要求1或2所述的分光分析装置，其中，
第1偏振成分是右旋圆偏振光成分或者左旋圆偏振光成分中的任一者，
第2偏振成分是右旋圆偏振光成分或者左旋圆偏振光成分中的另一者。
6.根据权利要求1或2所述的分光分析装置，其中，
所述偏振衍射元件是具有结构性双折射或者分子取向性双折射的透过型偏振衍射元件。
7.根据权利要求1所述的分光分析装置，其中，
所述棱镜具有包含所述梯形的底边在内的面即入射面，
从所述偏振衍射元件射出的进行了所述衍射而波长分散的第1偏振成分、和进行了所述衍射而波长分散的第2偏振成分射入至所述入射面。
8.根据权利要求1所述的分光分析装置，其中，
所述棱镜是所述基准面中的形状为四边形的板状的部件，
所述棱镜的所述第1出射面是包含所述四边形的任意一边的面，
所述棱镜的所述第2出射面是包含所述四边形的其他一边的面。
9.根据权利要求8所述的分光分析装置，其中，
所述棱镜具有包含所述四边形的另一边的面即入射面，
从所述偏振衍射元件射出的进行了所述衍射而波长分散的第1偏振成分和进行了所述衍射而波长分散的第2偏振成分射入至所述入射面。
10.根据权利要求7或9所述的分光分析装置，其中，
所述偏振衍射元件具有将进行了所述衍射而波长分散的第1偏振成分、和进行了所述衍射而波长分散的第2偏振成分射出的出射面，
所述棱镜的所述入射面和所述偏振衍射元件的所述出射面紧贴。
11.根据权利要求7或9所述的分光分析装置，其中，
所述偏振衍射元件具有将进行了所述衍射而波长分散的第1偏振成分和进行了所述衍射而波长分散的第2偏振成分射出的出射面，
所述棱镜和所述偏振衍射元件以在所述棱镜的所述入射面和所述偏振衍射元件的所述出射面之间设置有空间的方式进行固定。
12.根据权利要求1或2所述的分光分析装置，其中，
在所述拍摄元件中，所述第1偏振成分的像和所述第2偏振成分的像在所述拍摄元件的成像面中彼此偏移而成像。
13.根据权利要求1或2所述的分光分析装置，其中，
所述处理装置具有存储部，该存储部预先存储有在所述拍摄元件的成像面上成像的像的位置、波长以及偏振成分的关系，
所述处理装置基于由所述拍摄元件拍摄到的所述第1偏振成分的像、所述第2偏振成分的像和在所述存储部中存储的所述关系，进行规定的运算而导出所述波长下的所述样品的圆偏振光二色性的大小。
14.根据权利要求13所述的分光分析装置，其中，
所述规定的运算是指，导出相对于所述波长下的所述第1偏振成分和所述第2偏振成分的所述样品的吸光度的差。
15.根据权利要求4所述的分光分析装置，其中，
所述基准面和包含将所述第1偏振成分由所述偏振衍射元件进行波长分散而得到的光线的第1波长分散平面重叠，
包含将所述第2偏振成分由所述偏振衍射元件进行波长分散而得到的光线的第2波长分散平面相对于所述基准面的角度为规定的第1角度。
16.根据权利要求1或2所述的分光分析装置，其中，
所述第1出射面相对于所述基准面的角度为－45度，
所述第2出射面相对于所述基准面的角度为45度。
17.根据权利要求16所述的分光分析装置，其中，
包含将所述第1偏振成分由所述偏振衍射元件进行波长分散而得到的光线的第1波长分散平面相对于所述基准面的角度为规定的第2角度，
包含将所述第2偏振成分由所述偏振衍射元件进行波长分散而得到的光线的第2波长分散平面相对于所述基准面的角度为规定的第1角度，
所述规定的第2角度是与所述规定的第1角度彼此符号不同的数值，所述规定的第2角度的绝对值等于所述规定的第1角度的绝对值。
18.根据权利要求1或2所述的分光分析装置，其中，
所述第1出射面相对于所述基准面的角度是具有正或者负的任一值的角度，
所述第2出射面相对于所述基准面的角度是具有正或者负的任意另一值的角度。
19.根据权利要求18所述的分光分析装置，其中，
包含将所述第1偏振成分由所述偏振衍射元件进行波长分散而得到的光线的第1波长分散平面相对于所述基准面的角度为规定的第2角度，
包含将所述第2偏振成分由所述偏振衍射元件进行波长分散而得到的光线的第2波长分散平面相对于所述基准面的角度为规定的第1角度，
所述规定的第2角度是与所述规定的第1角度彼此符号不同的数值。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11402270B2 (en) * 2018-06-13 2022-08-02 National University Corporation Kagawa University Spectral measurement device and spectral measurement method
CN110376213B (zh) * 2019-08-14 2022-01-25 深圳市麓邦技术有限公司 光学检测系统及方法
WO2021132630A1 (ja) * 2019-12-27 2021-07-01 富士フイルム株式会社 ハイパースペクトルセンサー、ハイパースペクトルカメラ
CN114815020B (zh) * 2022-04-21 2023-09-22 岭南师范学院 一种高品质因数折射率传感器的设计方法及折射率传感器
WO2024038894A1 (ja) * 2022-08-18 2024-02-22 富士フイルム株式会社 光学素子

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1557256A (zh) * 1968-03-01 1969-02-14
US3674350A (en) * 1969-06-21 1972-07-04 Eastman Kodak Co Viewer
JP2000266666A (ja) * 1999-03-19 2000-09-29 Hitachi Koki Co Ltd エリプソメータ
CN1945281A (zh) * 2006-10-10 2007-04-11 宁波大学 一种圆二色性的测量装置及其测量方法
WO2008142723A2 (en) * 2007-05-18 2008-11-27 Universita' Della Calabria Method and device for measuring circular dichroism in real time
CN206670797U (zh) * 2017-04-13 2017-11-24 莱森光学（深圳）有限公司 瞬态高成像分辨率的光谱成像系统

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6831781B2 (en) * 1998-02-26 2004-12-14 The General Hospital Corporation Confocal microscopy with multi-spectral encoding and system and apparatus for spectroscopically encoded confocal microscopy
US7929134B2 (en) * 2007-05-25 2011-04-19 Case Western Reserve University Even frequency spacing spectrometer and optical coherence tomography device
US20090034077A1 (en) * 2007-08-01 2009-02-05 Horiba Jobin Yvon, Inc. Grating with angled output prism face for providing wavelength-dependent group delay
US9046422B2 (en) * 2011-04-20 2015-06-02 The Arizona Board Of Regents On Behalf Of The University Of Arizona Ultra-compact snapshot imaging fourier transform spectrometer
US9442015B2 (en) * 2010-09-03 2016-09-13 The Arizona Board Of Regents On Behalf Of The University Of Arizona Snapshot spatial heterodyne imaging polarimetry
JP2012078200A (ja) * 2010-10-01 2012-04-19 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 分光計測装置
FR2998962B1 (fr) * 2012-12-04 2015-02-20 Horiba Jobin Yvon Sas Spectrometre pour l'analyse du spectre d'un faisceau lumineux
US9535200B2 (en) * 2012-12-19 2017-01-03 The Aerospace Corporate Complete-stokes fourier-domain imaging polarimeter
FR3003845B1 (fr) 2013-04-02 2016-04-15 Labinal Systeme de recuperation et de conversion d'energie cinetique et d'energie potentielle en energie electrique pour aeronef
WO2016000001A1 (en) * 2014-07-01 2016-01-07 Margaryan Hakob Device and method for measuring circular dichroism
EP3187856B8 (en) 2014-08-26 2022-01-12 The Doshisha Birefringence measurement device and birefringence measurement method
US20170153373A1 (en) * 2015-02-10 2017-06-01 University Of Central Florida Research Foundation, Inc. Achromatic Holographic Phase Masks, Methods, and Applications
US9778107B2 (en) * 2015-03-23 2017-10-03 Zhilin Hu Linear frequency domain grating and multiband spectrometer having same
US10161797B2 (en) * 2015-07-05 2018-12-25 Purdue Research Foundation Sub-millimeter real-time circular dichroism spectrometer with metasurfaces
CN108432067B (zh) * 2016-01-20 2020-04-28 特拉迪欧德公司 利用棱镜进行光束质量改善和带宽减少的波长光束组合激光系统
DE102019135759B4 (de) * 2019-12-23 2024-01-18 Carl Zeiss Ag LIDAR-System zur scannenden Abstandsermittlung eines Objekts

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR1557256A (zh) * 1968-03-01 1969-02-14
US3674350A (en) * 1969-06-21 1972-07-04 Eastman Kodak Co Viewer
JP2000266666A (ja) * 1999-03-19 2000-09-29 Hitachi Koki Co Ltd エリプソメータ
CN1945281A (zh) * 2006-10-10 2007-04-11 宁波大学 一种圆二色性的测量装置及其测量方法
WO2008142723A2 (en) * 2007-05-18 2008-11-27 Universita' Della Calabria Method and device for measuring circular dichroism in real time
CN206670797U (zh) * 2017-04-13 2017-11-24 莱森光学（深圳）有限公司 瞬态高成像分辨率的光谱成像系统

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