CN111420500B - 进气口清理装置及采用该清理装置的废气处理装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种进气口清理装置及采用该清理装置的废气处理装置，进气口清理装置包括：缸体，具有容纳腔；滑杆，包括相对设置的第一端及第二端，第一端穿过缸体的端部延伸至容纳腔内，第二端位于容纳腔之外；保护套设置在缸体外部，且套设在滑杆上，保护套包括相对设置的固定端及移动端，固定端与缸体的端部抵接，移动端与滑杆的第二端连接，保护套为可伸缩结构；清理件与滑杆的第二端连接；在滑杆的延伸方向上，滑杆能够相对于容纳腔滑动，进而带动清理件移动，以清理进气口。本发明的优点在于，将所述滑杆与外界环境隔离，从而避免外界的高温及颗粒物影响所述滑杆的滑动，降低了所述进气口清理装置的耗损。

Description

进气口清理装置及采用该清理装置的废气处理装置
技术领域
本发明涉及废气处理领域，尤其涉及一种进气口清理装置及采用该清理装置的废气处理装置。
背景技术
在目前半导体生产制造的过程中，均会产生具毒性的工业废气，这些工业废气需要进行处理后才能排放到大气环境中，否则会对环境造成污染与公害。人们对环境保护越来越重视，如何将工业废气妥善处理，避免其污染环境成为工业生产中至关重要的一环。
但是，现有的废气处理装置的废气处理效率较低，不能满足需求。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是，提供一种进气口清理装置及采用该清理装置的废气处理装置，其能够降低了所述进气口清理装置的耗损。
为了解决上述问题，本发明提供了一种进气口清理装置，其包括：缸体，具有一容纳腔；滑杆，包括相对设置的第一端及第二端，所述第一端穿过所述缸体的端部延伸至所述容纳腔内，所述第二端位于所述容纳腔之外；保护套，设置在所述缸体外部，且套设在所述滑杆上，所述保护套包括相对设置的固定端及移动端，所述固定端与所述缸体的端部抵接，所述移动端与所述滑杆的第二端连接，所述保护套为可伸缩结构；清理件，与所述滑杆的第二端连接；在所述滑杆的延伸方向上，所述滑杆能够相对于所述容纳腔滑动，进而带动所述清理件移动，以清理进气口。
进一步，所述滑杆的第一端设置有活塞，所述活塞将所述容纳腔分为第一腔及第二腔，向所述第一腔及所述第二腔内充入气体，以推动所述活塞移动，进而带动所述滑杆相对于所述容纳腔滑动。
进一步，在所述第一腔及所述第二腔的侧壁均设置有开口，以供气体进出。
进一步，所述保护套侧壁为褶皱结构，以使所述保护套能够伸缩。
进一步，所述保护套为波纹管。
进一步，所述清理件为沿所述滑杆滑动方向延伸的螺旋构型。
进一步，所述清理件背离所述滑杆的一端设置有疏通件，所述疏通件为首尾相连的镂空结构。
进一步，所述疏通件的横截面面积大于所述清理件背离所述滑杆的一端的横截面面积。
进一步，所述疏通件所在平面与所述清理件移动方向垂直。
本发明还提供一种废气处理装置，其包括：进气端，设置有至少一进气口；如上所述的进气口清理装置，设置在所述进气端的外部，所述清理件延伸至所述进气口内，且能够沿所述进气口的轴向移动。
进一步，所述废气处理装置还包括一设置在所述进气端外部的进气室，所述进气口与所述进气室对应，所述缸体设置在所述进气室外部，所述滑杆延伸进入所述进气室，所述保护套设置在所述进气室内。
进一步，所述废气处理装置还包括一盖壳，所述盖壳设置在所述进气端的外部，且与所述进气端形成所述进气空间。
进一步，所述缸体固定设置在所述盖壳的外部顶面。
进一步，所述保护套的固定端固定设置在所述盖壳的内部顶面。
本发明的优点在于，通过保护套将所述滑杆与外界环境隔离，从而避免外界的高温及颗粒物影响所述滑杆的滑动，避免滑杆卡死，降低了所述进气口清理装置的耗损，大大节约成本，且减少了设备维修时间。
附图说明
图1是现有的废气处理装置的一结构示意图；
图2是本发明进气口清理装置的第一具体实施方式的结构示意图；
图3是本发明进气口清理装置的第二具体方式的结构示意图；
图4是本发明废气处理装置的一具体实施方式的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明提供的进气口清理装置及采用该清理装置的废气处理装置的具体实施方式做详细说明。
工业废气中通常会存在颗粒物，在废气处理装置的进气口处，颗粒物可能会堆积进而堵塞进气口。通常，在废气处理装置的进气口处设置进气口清理装置，以在通入废气的同时避免废气堆积在进气口处。
图1是现有的废气处理装置的一结构示意图。请参阅图1，所述废气处理装置通过一滑杆10带动所述清理件11在进气口12内移动，以清理所述进气口。具体地说，在进气期间，所述清理件11移动而带动废气内的颗粒物移动，从而使废气内的颗粒物不会堆积在进气口12的侧壁，进而避免其堵塞进气口12。
发明人发现，所述滑杆10需要借助润滑剂实现滑动，而工业废气温度较高，使得润滑剂易干燥，且工业废气中的颗粒物易聚集在滑杆上，也导致滑杆不易滑动，该两个因素易导致滑杆卡死，使得清理装置成为易耗品，需要定期更换。
为了降低进气口清理装置更换频率，降低成本，发明人提供了一种进气口清理装置。图2是本发明进气口清理装置的第一具体实施方式的结构示意图，请参阅图2，本发明进气口清理装置包括缸体20、滑杆21、保护套22及清理件23。
所述缸体20具有一容纳腔200。
所述滑杆21包括相对设置的第一端21A及第二端21B，所述第一端21A穿过所述缸体20的端部延伸至所述容纳腔200内，所述第二端21B位于所述容纳腔200之外。
在所述滑杆21的延伸方向上，所述滑杆21能够相对于所述容纳腔200滑动。其中，可通过活塞或者机械手臂等结构控制所述滑杆21相对于所述容纳腔200滑动。
在本具体实施方式中，所述滑杆21的第一端21A设置有活塞210，所述活塞210将所述容纳腔200分为第一腔201及第二腔202，所述第一腔201与所述第二腔202彼此不导通。其中，在所述第二腔202中不存在所述滑杆21。在所述第一腔201及所述第二腔202的侧壁均设置有开口201A及202A，以供气体进出。当需要所述滑杆21滑动时，可向所述第一腔201或者第二腔202内充气，所述气体推动所述活塞移动，进而带动所述滑杆21滑动。例如，当需要所述滑杆21向上滑动时，自所述开口201A向所述第一腔201内充入气体，所述气体推动所述活塞210向上移动，挤压所述第二腔202内的气体，所述第二腔202内的气体自所述开口202A排出，所述活塞210带动所述滑杆21相对于所述容纳腔向上滑动；若需要所述滑杆21向下滑动，则自所述开口202A向所述第二腔202内充入气体。
所述保护套22设置在所述缸体20外部，且套设在所述滑杆21上。所述保护套22包括相对设置的固定端22A及移动端22B。其中，所述固定端22A与所述缸体20的端部抵接，所述移动端22B与所述滑杆21的第二端21B连接。所述保护套22将所述滑杆21未位于容纳腔200内的部分与外界环境物理隔离，以避免外界高温对滑杆21上的润滑油的影响，同时也可避免废气中的颗粒在所述滑杆21上沉积。
所述保护套22的固定端22A相对于所述缸体20固定，例如，所述保护套22的固定端22A固定在所述缸体20的端部。所述保护套22的固定端22A与所述缸体20之间无缝隙，所述保护套22的移动端22B与所述滑杆21的第二端21B之间无缝隙，从而进一步避免废气中的颗粒进入所述保护套内，而在所述滑杆21上沉积。
其中，所述保护套22为可伸缩结构。当所述滑杆21相对于所述容纳腔200滑动时，所述保护套22的移动端跟随所述滑杆21的第二端21B移动，所述保护套22做伸缩运动，以与滑杆21位于容纳腔200之外的区域匹配。具体地说，例如，当所述滑杆21沿所述容纳腔200向上滑动时，所述保护套22的移动端22A跟随所述滑杆21的第二端21B移动，所述滑杆21位于所述容纳腔200之外的区域变短，所述保护套22做收缩变形，当所述滑杆21沿所述容纳腔200向下滑动时，所述保护套22的移动端22A跟随所述滑杆21的第二端21B移动，所述滑杆21位于所述容纳腔200之外的区域变长，所述保护套22做伸展变形。
进一步，在本具体实施方式中，所述保护套22的侧壁为褶皱结构，以使所述保护套能够伸缩。例如，所述保护套22为耐高温的风箱波纹管。在本发明其他具体实施方式中，所述保护套22可以为多段能够错位滑动的结构，以实现保护套的伸缩功能。
所述清理件23与所述滑杆21的第二端21B连接。所述清理件23沿所述滑杆21的滑动方向延伸。所述滑杆21能够相对于所述容纳腔200滑动，进而带动所述清理件23移动，以清理进气口。
进一步，在本具体实施方式中，所述清理件23为沿所述滑杆21滑动方向延伸的螺旋构型，相较于直杆构型，所述螺旋构型能够在不影响废气流通的情况下增大所述清理件的作用面积，大大提高清理效率。
本发明进气口清理装置通过保护套22将所述滑杆21与外界环境隔离，从而避免外界的高温及颗粒物影响所述滑杆21的滑动，避免滑杆21卡死，降低了所述进气口清理装置的耗损，大大节约成本，且减少了设备维修时间。
请参阅图1，发明人又发现，在进气口12朝向燃烧室13的一侧，废气中的颗粒易积聚，随着积聚的颗粒增多，在所述进气口12朝向燃烧室13的一侧会形成一锅底状结构14，该锅底状结构14会堵塞进气口12。清理件23的末端虽然能够作用于所述锅底状结构14，但是，清理件23的末端为尖型构型，其作用面积有限，使得锅底状结构14被去除的部分较少，这会影响进气口12的压力。鉴于上述原因，发明人又提供了本发明进气口清理装置的一第二具体实施方式。图3是本发明进气口清理装置的第二具体方式的结构示意图，请参阅图3，该第二具体实施方式与第一具体实施方式的区别在于，在所述清理件23背离所述滑杆21的一端设置有疏通件24。
进一步，在本第二具体实施方式中，所述疏通件24为首尾相连的镂空结构，例如，所述疏通件24为环形镂空结构、三角形镂空结构、矩形镂空结构等。所述疏通件24既不影响废气的流通，又能够增大作用于所述锅底状结构14的面积，进而增大所述锅底状结构14被去除的面积，减小所述进气口的压力变化。
进一步，所述疏通件24的横截面面积大于所述清理件23背离所述滑杆21的一端的横截面面积。所述疏通件24能够增大作用于所述锅底状结构14的面积，从而使得锅底状结构14被去除的区域增大，从而减小所述进气口的压力变化。
进一步，在本具体实施方式中，所述疏通件24所在平面与所述清理件23移动方向垂直，以进一步增大所述疏通件24作用于所述锅底状结构14的面积。
本发明进气口清理装置利用疏通件24增大所述清理件23末端的面积，进而增大所述锅底状结构14被去除的面积，减小所述进气口的压力变化，延长设备清洗周期。
本发明还提供一种废气处理装置，其采用上述的进气口清理装置进行进气口的清理。图4是本发明废气处理装置的一具体实施方式的结构示意图。请参阅图4，本发明废气处理装置包括进气端40、燃烧室50及如上所述的进气口清理装置60。
所述进气端40设置有至少一进气口41。所述进气口41与所述燃烧室50连通。在本具体实施方式中，所述进气端40设置有两个所述进气口41，在本发明其他具体实施方式中，所述进气端40也可设置四个所述进气口41。
在本具体实施方式中，所述废气处理装置还包括一设置在所述进气端40外部的进气室42。其中，通过在所述进气端40的外部设置盖壳43而形成所述进气室42。所述进气口41与所述进气室42对应，废气通过所述进气室42的开口进入所述进气室42，并经所述进气口41进入所述燃烧室50。
所述进气口清理装置60设置在所述进气端40的外部。具体地说，在本具体实施方式中，所述进气口清理装置60的所述缸体20设置在所述进气室42外部，所述滑杆21穿过所述进气室42的一个过孔延伸进入所述进气室42，所述保护套22设置在所述进气室42内，所述清理件23延伸至所述进气口41内，且能够沿所述进气口41的轴向移动。
当废气进入所述进气室42后，所述保护套22能够将所述滑杆21与废气隔离，从而避免废气的温度及废气内的颗粒影响所述滑杆21的滑动。废气经所述进气口41进入所述燃烧室60。在所述进气口41处，所述清理件23被所述滑杆21带动而上下移动，其能够搅动所述废气，避免废气中的颗粒在所述进气口41侧壁堆积。
进一步，在本具体实施方式中，所述缸体20固定设置在所述盖壳43的外部顶面，所述保护套22的固定端22A固定设置在所述盖壳43的内部顶面。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (13)

1.一种进气口清理装置，其特征在于，包括：
缸体，具有一容纳腔；
滑杆，包括相对设置的第一端及第二端，所述第一端穿过所述缸体的端部延伸至所述容纳腔内，所述第二端位于所述容纳腔之外；
保护套，设置在所述缸体外部，且套设在所述滑杆上，所述保护套包括相对设置的固定端及移动端，所述固定端与所述缸体的端部抵接，所述移动端与所述滑杆的第二端连接，所述保护套为可伸缩结构；
清理件，与所述滑杆的第二端连接；
在所述滑杆的延伸方向上，所述滑杆能够相对于所述容纳腔滑动，进而带动所述清理件移动，以清理进气口；
所述清理件背离所述滑杆的一端设置有疏通件，所述疏通件为首尾相连的镂空结构。
2.根据权利要求1所述的进气口清理装置，其特征在于，所述滑杆的第一端设置有活塞，所述活塞将所述容纳腔分为第一腔及第二腔，向所述第一腔及所述第二腔内充入气体，以推动所述活塞移动，进而带动所述滑杆相对于所述容纳腔滑动。
3.根据权利要求2所述的进气口清理装置，其特征在于，在所述第一腔及所述第二腔的侧壁均设置有开口，以供气体进出。
4.根据权利要求1所述的进气口清理装置，其特征在于，所述保护套侧壁为褶皱结构，以使所述保护套能够伸缩。
5.根据权利要求4所述的进气口清理装置，其特征在于，所述保护套为波纹管。
6.根据权利要求1所述的进气口清理装置，其特征在于，所述清理件为沿所述滑杆滑动方向延伸的螺旋构型。
7.根据权利要求1所述的进气口清理装置，其特征在于，所述疏通件的横截面面积大于所述清理件背离所述滑杆的一端的横截面面积。
8.根据权利要求1所述的进气口清理装置，其特征在于，所述疏通件所在平面与所述清理件移动方向垂直。
9.一种废气处理装置，其特征在于，包括：
进气端，设置有至少一进气口；
如权利要求1所述的进气口清理装置，设置在所述进气端的外部，所述清理件延伸至所述进气口内，且能够沿所述进气口的轴向移动。
10.根据权利要求9所述的废气处理装置，其特征在于，所述废气处理装置还包括一设置在所述进气端外部的进气室，所述进气口与所述进气室对应，所述缸体设置在所述进气室外部，所述滑杆延伸进入所述进气室，所述保护套设置在所述进气室内。
11.根据权利要求10所述的废气处理装置，其特征在于，所述废气处理装置还包括一盖壳，所述盖壳设置在所述进气端的外部，且与所述进气端形成所述进气室。
12.根据权利要求11所述的废气处理装置，其特征在于，所述缸体固定设置在所述盖壳的外部顶面。
13.根据权利要求12所述的废气处理装置，其特征在于，所述保护套的固定端固定设置在所述盖壳的内部顶面。
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