CN111403317B - 一种旋转组件和紫外线热处理设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种紫外线热处理设备的旋转组件，包括至少一个旋转件，所述旋转件能够绕该旋转件的旋转轴旋转，还包括与旋转件间隔设置的止动机构，所述止动机构包括止动索和壳体，所述壳体上形成有绳索出口，所述止动索的一端设置在所述壳体内，所述止动索的另一端穿过所述绳索出口固定在所述旋转件上；所述止动索位于所述壳体内的部分上形成有止动部，且所述止动部无法穿过所述绳索出口。在本发明中，止动索在旋转件转动时被旋转件从绳索出口扯出，当旋转件旋转超过预设角度时，止动索上的止动部因无法穿过绳索出口而卡在壳体中，从而使旋转件无法继续转动，进而及时结束工艺，提高半导体工艺的安全性。本发明还提供一种紫外线热处理设备。

Description

一种旋转组件和紫外线热处理设备
技术领域
本发明涉及微电子设备领域，具体地，涉及一种旋转组件以及一种包括该旋转组件的紫外线热处理设备。
背景技术
在半导体设备领域，为补偿加热器对薄膜工件(例如晶圆或其他衬底)加热产生的温度不均匀性，提升薄膜工件的强度，通常需要对薄膜工件进行均匀或非均匀的光照加热(常为紫外光)。
在相关技术中，通常通过转动加热组件或转动薄膜工件来调整对薄膜工件进行光照加热的位置，并且在旋转过程中需要利用感应器进行旋转角度的控制。然而，在感应器出现故障时，半导体设备往往无法自行发现故障现象，导致加热组件或薄膜工件持续旋转，对薄膜工件和设备造成损害。
因此，如何提供一种能够在感应器故障时避免加热工艺过量的半导体设备，成为本领域亟待解决的技术问题。
发明内容
本发明旨在提供一种半导体设备中的运动结构，该结构能够在感应器出现故障时及时停止运动，以避免工艺过量。
为实现上述目的，作为本发明的一个方面，提供一种紫外线热处理设备的旋转组件，所述旋转组件包括至少一个旋转件，所述旋转件能够绕该旋转件的旋转轴旋转，所述旋转组件还包括止动机构，所述止动机构与所述旋转件间隔设置，所述止动机构包括止动索和壳体，所述壳体上形成有绳索出口，所述止动索的一端设置在所述壳体内，所述止动索的另一端穿过所述绳索出口固定在所述旋转件上，以随所述旋转件的旋转而同步移动；
所述止动索位于所述壳体内的部分上形成有止动部，且所述止动部的形状设置为不能够穿过所述绳索出口。
可选地，所述止动机构还包括集线盘，所述集线盘设置在所述壳体内，所述止动索位于所述壳体中的一端与所述集线盘连接，且所述集线盘能够旋转，以使得所述止动索由所述绳索出口进入所述壳体并缠绕在所述集线盘上。
可选地，所述集线盘上形成有集线槽，所述集线槽环绕所述集线盘的旋转中心形成在所述集线盘的回转面上，所述止动索缠绕在所述集线盘的集线槽中。
可选地，所述止动机构还包括发条弹簧，所述发条弹簧的一端与所述壳体连接，所述发条弹簧的另一端与所述集线盘连接，且所述发条弹簧能够在所述集线盘由初始位置发生旋转后，对所述集线盘施加一驱动力，以使得所述集线盘沿相反方向旋转至所述初始位置。
可选地，所述壳体包括壳盖和底座，所述底座上形成有中心柱，所述集线盘上形成有发条孔，所述发条孔沿所述集线盘的旋转轴方向贯穿所述集线盘，所述发条弹簧和所述中心柱均位于所述发条孔中，所述发条弹簧的一端与所述中心柱连接，所述发条弹簧的另一端与所述发条孔的孔壁连接。
可选地，所述壳体包括壳盖和底座，所述集线盘朝向所述底座的一侧形成有回转凸台，所述底座上形成有环形的回转槽，所述回转凸台与所述回转槽匹配设置，以使得所述集线盘能够围绕所述回转槽的旋转中心旋转。
可选地，所述旋转件上形成有绳索槽，所述绳索槽沿所述旋转件的旋转方向环绕在所述旋转件的表面上，所述止动索的一端固定在所述绳索槽中，且所述止动索能够随着所述旋转件的旋转进入所述绳索槽内。
可选地，所述旋转组件还包括导向装置，所述导向装置设置在所述止动机构与所述旋转件之间，所述导向装置具有导向槽，所述止动索穿过所述导向装置的导向槽。
可选地，所述旋转组件还包括底板，所述旋转件的旋转轴、所述止动机构和所述导向装置均固定设置在所述底板上；
所述导向装置包括导向主体和至少一个导向柱，所述导向槽形成在所述导向主体上，所述导向主体通过所述导向柱与所述底板固定连接，且所述导向主体在所述导向柱上的连接位置可调。
可选地，所述导向装置包括两个所述导向柱，所述导向柱具有导向圆柱面，且所述导向圆柱面的至少一部分穿过所述导向槽，所述止动索穿过所述导向槽的部分位于两个所述导向柱的导向圆柱面之间。
作为本发明的第二个方面，提供一种紫外线热处理设备，所述紫外线热处理设备包括至少一个加热组件和至少一个工件承载组件，所述加热组件与所述工件承载组件一一对应设置，用于对所述工件承载组件上承载的工件进行加热，所述紫外线热处理设备还包括旋转组件，所述旋转组件为前面所述的紫外线热处理设备的旋转组件；
所述旋转组件的旋转件与所述加热组件连接，用于驱动所述加热组件旋转；或者，所述旋转组件的旋转件与所述工件承载组件连接，用于驱动所述工件承载组件旋转。
在本发明提供的旋转组件和紫外线热处理设备中，止动索的一端固定在旋转件上，当旋转件转动时，止动索被从绳索出口扯出，在旋转件旋转超过预设角度时，止动索上的止动部会因无法穿过绳索出口而卡在壳体中，从而使旋转件无法继续转动，进而能够在旋转件旋转超过预定位置而传感器出现故障时及时结束工艺，提高了半导体工艺的安全性。
附图说明
附图是用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明，但并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1是本发明实施例提供的旋转组件的结构示意图；
图2是本发明实施例提供的旋转组件中止动机构的一种结构的示意图；
图3是图2中止动机构的俯视图；
图4是本发明实施例提供的止动机构中集线盘的结构示意图；
图5是本发明实施例提供的止动机构中壳盖的结构示意图；
图6是本发明实施例提供的止动机构中底座的结构示意图；
图7至9是本发明实施例提供的止动机构中集线盘与底座的装配关系示意图；
图10至图12是本发明实施例提供的止动机构中集线盘与底座以及壳盖的装配关系示意图；
图13是本发明实施例提供的旋转组件中止动索与其他结构的连接关系示意图；
图14是本发明实施例提供的旋转组件中导向装置的结构示意图；
图15是本发明实施例提供的紫外线热处理设备的一种结构的示意图。
附图标记说明
1：旋转组件 100：旋转件
200：止动机构 210：止动索
211：止动部 220：壳体
221：壳盖 222：底座
223：绳索出口 224：回转槽
225：中心柱 230：集线盘
231：集线槽 232：回转凸台
240：发条弹簧 250：锁紧螺钉
260：转动螺钉 270：发条挡环
280：紧定螺钉 300：旋转电机
400：传动带 500：主动轮
600：懒轮 700：导向装置
710：导向主体 720：导向柱
730：导向螺母 800：底板
910：传感器 920：挡片
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
作为本发明的一个方面，提供一种紫外线热处理设备的旋转组件1，如图1至14所示，该旋转组件1包括至少一个旋转件100，旋转件100能够绕该旋转件100的旋转轴旋转，旋转组件1还包括止动机构200，止动机构200与旋转件100间隔设置，止动机构200包括止动索210和壳体220，壳体220上形成有绳索出口223，止动索210的一端设置在壳体220内，止动索210的另一端穿过绳索出口223固定在旋转件100上，以随旋转件100的旋转而同步移动；
止动索210位于壳体220内的部分上形成有止动部211，且止动部211的形状设置为不能够穿过绳索出口223。
本发明所提供的上述旋转组件1应用于半导体设备中，例如，可以用于驱动半导体紫外线热处理设备中的组件转动。本发明对如何精确检测旋转件100的旋转角度不做具体限定，例如，可以通过传感器910对旋转件100上的定位标记或定位结构进行检测。本发明对传感器910的种类不做具体限定，例如，传感器910可以是测距传感器、磁力传感器。为提高检测精度，优选地，传感器910为光电传感器，相应地，旋转组件1包括挡片920，挡片920设置在旋转件100上，当挡片920旋转至传感器910所在位置时，能够遮挡住传感器910所接收到的光信号，以使得设备感知旋转件100的旋转角度。
然而，当传感器910出现故障时，设备无法及时发现旋转件100已转过工艺所需的角度，使得加热等半导体工艺以及晶片的旋转运动继续进行，容易导致半导体工艺过量并损坏晶片。
为解决上述技术问题，本发明实施例提供的旋转组件1包括止动索210，止动索210的一端固定在旋转件100上，当旋转件100转动时，止动索210被从绳索出口223扯出，在旋转件100旋转超过预设角度时，止动索210上的止动部211会因无法穿过绳索出口223而卡在壳体220中，从而使旋转件100无法继续转动，进而能够在旋转件100旋转超过预定位置时及时结束工艺，以避免传感器910出现故障时导致半导体工艺过量，进而提高了半导体工艺的安全性。
本发明对旋转件100停转后旋转组件1如何发现故障不做具体限定，例如，如图1所示，旋转组件1还包括旋转电机300，旋转电机300用于驱动旋转件100转动。当旋转件100受止动索210限制而停止转动时，旋转电机300也将被强制停转，进而发生过载，以便于技术人员根据电机过载故障发现故障现象。
为便于技术人员及时发现设备故障，优选地，旋转组件1还包括报警器，该报警器能够在旋转电机300过载时发出报警信号，以便于技术人员及时对设备进行故障排除。
本发明对止动索210的长度及横截面尺寸不做具体限定，例如，当止动索210为的横截面为圆形时，其横截面的直径可以为0.5-2mm，止动索210可以设置为能够缠绕在旋转件100上一至两周。本发明对止动部211如何固定在止动索210上也不做具体限定，例如，止动部211可以采用螺钉连接、压接、焊接方式固定到止动索210上。
本发明对旋转电机300如何驱动旋转件100转动不做具体限定，例如，如图1所示，旋转组件1还包括传动带400，旋转电机300通过传动带400驱动旋转件100转动。如图1所示，旋转组件1可以包括主轮500，旋转电机300驱动主轮500转动，以使得主轮500通过摩擦力带动与之接触的传动带400运动。
为提高旋转电机300驱动旋转件100转动的机械效率，进一步优选地，如图1所示，旋转组件1还包括懒轮600，懒轮600设置在旋转电机300与旋转件100之间，且懒轮600的旋转面与传动带400接触，以使得传动带400对旋转件100的包角大于180°。
本发明对旋转件100如何进行转动不做具体限定，例如，旋转件100可以以0°→-180°→90°→-270°、0°→-180°→+90°→-270°或者90°→-270°→+0°→-180°三种模式进行转动。
为实现止动机构200对止动索210的收回，以提高设备的安全性，优选地，如图6至13所示，止动机构200还包括集线盘230，集线盘230设置在壳体220内，止动索210位于壳体220中的一端与集线盘230连接，且集线盘230能够旋转，以使得止动索210由绳索出口223进入壳体220并缠绕在集线盘230上。
在本发明中，止动机构200包括集线盘230，当止动索210被旋转件100拉出壳体220，且旋转件100开始沿反方向转动时，集线盘230能够带动止动索210的端部旋转并将止动索210缠绕在集线盘230上，从而实现止动索210的收纳。
为提高集线盘230转动的灵活性，优选地，如图2至13所示，集线盘230上形成有集线槽231，集线槽231环绕集线盘230的旋转中心形成在集线盘230的回转面上，且止动索210缠绕在集线槽231中。
本发明对壳体220的结构不做具体限定，例如，为便于止动机构200的安装，优选地，如图2至12所示，壳体220包括壳盖221和底座222。为提高止动索210在绳索出口223中运动的流畅性，优选地，绳索出口223形成在壳盖221上，且绳索出口223的位置与集线槽231匹配。
为实现止动机构200对止动索210的自动收回以及保持止动索210的张紧力，优选地，如图2和3所示，止动机构200还包括发条弹簧240，发条弹簧240的一端与壳体220连接，发条弹簧240的另一端与集线盘230连接，且发条弹簧240能够在集线盘230由初始位置发生旋转后，对集线盘230施加一驱动力，以使得集线盘230沿相反方向旋转至该初始位置。
该初始位置可以是发条弹簧240上弹力为零的位置，或者也可以是部分止动索210被收回止动机构200的比例最大时集线盘230的旋转位置。
在本发明中，当部分止动索210被旋转件100拽出壳体220时，止动索210将带动旋转件100发生旋转(即离开初始位置)。发条弹簧240在集线盘230转动时产生弹力(即驱动力)，并通过该驱动力驱动集线盘230沿相反方向转动(即驱动集线盘230回到初始位置)。当旋转件100换向时，集线盘230在该复位驱动力的驱动下将止动索210位于壳体220外的多余部分重新拽回壳体220中，以实现止动索210的自动收纳，并且，发条弹簧240还能够在旋转件100的旋转过程中保持止动索210上的张紧力，以避免止动索210从旋转件100上脱落。
本发明对如何将发条弹簧240的一端固定在壳体220上不做具体限定，例如，为减小止动机构200的体积，提高结构的紧凑性，优选地，如图2、图4所示，底座222上形成有中心柱225，集线盘230上形成有发条孔，该发条孔沿集线盘230的旋转轴方向贯穿集线盘230，发条弹簧240和中心柱225均位于该发条孔中，发条弹簧240的一端与中心柱225连接，发条弹簧240的另一端与该发条孔的孔壁连接。
本发明对如何将发条弹簧240的一端固定在中心柱225上不做具体限定，例如，可选地，如图2至12所示，中心柱225中形成有开口槽，发条弹簧240的一端固定在该开口槽中。本发明对如何使该开口槽夹紧发条弹簧240不做具体限定，例如，如图2、图3所示，止动机构200还包括锁紧螺钉250，锁紧螺钉250旋转固定在中心柱225上，用于调节中心柱225上开口槽的张开程度。
本发明对集线盘230如何在壳体220中转动不做具体限定，例如，集线盘230可以通过轴承与壳体220连接，或者通过在集线盘230或壳体220的内壁上安装导轮以实现二者之间的相对转动。
为提高装置结构的简洁性，降低装置维护成本，优选地，如图2至12所示，集线盘230朝向底座222的一侧形成有回转凸台232，底座222上形成有环形的回转槽224，回转凸台232与回转槽224匹配设置，以使得集线盘230围绕回转槽224的旋转中心旋转。
为提高集线盘230转动角度的可调节性，可选地，如图2、图3所示，止动机构200还包括转动螺钉260，转动螺钉260固定在集线盘230上，以便于技术人员通过转动螺钉260手动调节集线盘230的转动角度。壳盖221上形成有调节开口，以使得转动螺钉260穿过该调节开口暴露在壳体220外。
为保持发条弹簧240处在工作位置，可选地，如图2、图3所示，止动机构200还包括发条挡环270，发条挡环270与集线盘230远离底座222的一侧固定连接，以防止发条弹簧240由该发条孔中脱出。
为便于对止动机构200进行检修，可选地，如图2、图3所示，止动机构200还包括紧定螺钉280，壳体220上形成有紧定螺钉孔，该紧定螺钉孔沿厚度方向贯穿壳体220的侧壁，当紧定螺钉280旋入壳体220时，紧定螺钉280的端部能够接触集线盘230，以使得集线盘230停止转动，以便于技术人员对止动机构200进行检修操作。
在本发明的一些实施例中，集线盘230还可以通过发条弹簧240以外的其他弹性元件实现自动复位，例如，可以是扭力弹簧、游丝等。
本发明对止动索210的材料及结构不做具体限定，例如，止动索210的材料可以是金属材料、也可以是非金属材料，止动索210的结构可以是编织绳索(如，编制绳、布条等)、链条，或者也可以是丝线或长条形的薄片材料(例如金属丝、金属薄片)等。
为进一步提高设备结构的紧凑性，如图13所示，旋转件100上形成有绳索槽，该绳索槽沿旋转件100的旋转方向环绕在旋转件100的表面上，止动索210的一端固定在该绳索槽中，且止动索210能够随着旋转件100的旋转进入该绳索槽内。
在本发明中，止动索210上由止动机构200中拽出的一部分将自动缠绕在该绳索槽内，从而允许组件之间的的距离尽可能减小，提高设备结构的紧凑性。如图1、图13所示，A点为止动索210在集线槽231中的固定位置，B点为止动索210在该绳索槽中的固定位置，B’点为绳索换向点，当B点转动至绳索换向点B’位置时，止动索210被拽出止动机构200的长度最短，当旋转件100由该位置开始转动时，止动索210将被拉出止动机构200沿与旋转件100转动方向相反的方向缠绕在旋转件100上。
为提高旋转组件1整体结构运动的流畅性，优选地，如图1、图14所示，旋转组件1还包括导向装置700，导向装置700设置在止动机构200与旋转件100之间，导向装置700具有导向槽，止动索210穿过导向装置700的导向槽。
本发明对如何维持上述结构之间的位置关系不做具体限定，例如，可选地，如图1所示，旋转组件1还包括底板800，旋转件100的旋转轴、止动机构200、旋转电机300、主动轮500、导向装置700均固定设置在底板800上。
为提高该导向槽的可调节性，优选地，如图14所示，导向装置700包括导向主体710和至少一个导向柱720，该导向槽形成在导向主体710上，导向主体710通过导向柱720与底板800固定连接，导向主体710在导向柱720上的连接位置可调，以通过控制导向主体710在导向柱720上的位置来控制该导向槽与底板800之间的距离，从而调节止动索210与旋转件100上的绳索槽以及与集线盘230上的集线槽231之间的对位关系。
本发明对如何调节导向主体710在导向柱720上的连接位置不做具体限定，例如，可选地，如图14所示，导向装置700还包括导向螺母730，导向螺母730与导向柱720螺纹连接，且导向主体710固定在导向柱720上的两个导向螺母730之间。
为提高止动索210在导向装置700中活动的流畅性，优选地，如图14所示，导向装置700包括两个导向柱720，导向柱720具有导向圆柱面，且该导向圆柱面的至少一部分穿过该导向槽，止动索210穿过导向槽的部分位于两个导向柱720的导向圆柱面之间。当止动索210与该导向槽呈一定角度时，止动索210将与该导向槽中的圆角(即导向柱720上的导向圆柱面)接触，从而不会损坏止动索210，提高止动索210在导向装置700中活动的流畅性，并延长止动索210的使用寿命。
作为本发明的第二个方面，提供一种紫外线热处理设备，如图15所示，该紫外线热处理设备包括至少一个加热组件2和至少一个工件承载组件3，加热组件2与工件承载组件3一一对应设置，用于对工件承载组件3上承载的工件进行加热，该紫外线热处理设备还包括前面实施例中的旋转组件1。
旋转组件1的旋转件100与加热组件2连接，用于驱动加热组件2旋转；或者，旋转组件1的旋转件100与工件承载组件3连接，用于驱动工件承载组件3旋转。
在本发明提供的上述紫外线热处理设备中，旋转组件1中的旋转件100上固定设置有止动索210，当旋转件100转动时，止动索210被从壳体220的绳索出口223扯出，在旋转件100旋转超过预设角度时，止动索210上的止动部211会因无法穿过绳索出口223而卡在壳体220中，从而使旋转件100无法继续转动，进而能够在旋转件100旋转达到预定位置时及时结束工艺，提高了半导体工艺的安全性。
本发明对加热组件2的种类不做具体限定，例如，加热组件2可以是微波无极灯，如图15所示，可选地，加热组件2包括加热灯21，加热灯21的形状优选为细长管状，加热灯21用于发出紫外光(UV，Ultraviolet)，以照射晶片0并对其进行加热。为提高加热组件2对晶片0加热的均匀性，优选地，加热组件2还包括一级反射瓶22、二级反射瓶23，一级反射瓶22设置在加热灯21与工件承载组件3之间，二级反射瓶23设置在一级反射瓶22与工件承载组件3之间，一级反射瓶22和二级反射瓶23用于将加热灯21发出的光线集中反射至晶片0所在区域(即加热区域)。
可选地，如图15所示，该紫外线热处理设备还包括风冷组件4，用于向加热组件2的加热区域送风，以调节该加热区域的温度。
可选地，如图15所示，该紫外线热处理设备还包括喷头6和石英窗7，石英窗7设置在二级反射瓶23与工件承载组件3之间，喷头6设置在石英窗7与工件承载组件3之间。石英窗7用于使二级反射瓶23发出的光线均匀地照射在晶片0上，喷头6用于向晶片0释放工艺气体。
可选地，如图15所示，该紫外线热处理设备还包括加热器8，加热器8位于工件承载组件3远离加热组件2的一侧，用于从另一侧对该加热区域进行加热。
本发明对如何平稳维持加热区域的温度不做具体限定，例如，优选地，如图15所示，该紫外线热处理设备还包括反应腔室5，反应腔室5包括上盖51，上盖51的材料为透明材料，二级反射瓶23、工件承载组件3和加热器8均设置在反应腔室5中。
为实现对旋转组件1中旋转件100旋转角度的精确控制，可选地，如图15所示，该紫外线热处理设备还包括传感器910，传感器910用于检测旋转组件1中旋转件100的旋转角度。本发明对传感器910的种类及设置位置不作具体限定，例如，传感器910可以设置在反应腔室5的内壁上，当挡片920旋转至传感器910所在位置时，能够遮挡住传感器910所接收到的光信号，以使得该紫外线热处理设备感知旋转件100的旋转角度。
为便于本领域技术人员理解，本发明人提供该紫外线热处理设备的一种半导体工艺过程如下：
风冷组件4开启，在达到一定风压、风量后，加热组件2开启并产生紫外光，紫外光经一级反射瓶22、二级反射瓶23反射后，透过石英窗7、喷头6照射到晶片0表面。微波无极灯源中的加热灯21呈细长管状，而置于加热器8表面上的晶片0为圆形，采用组件1实现灯源的180°往复式转动，进而使紫外光均匀照射在晶片0的表面，以提高工艺的均匀性。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种紫外线热处理设备的旋转组件，用于驱动加热组件或者工件承载组件旋转，所述旋转组件包括至少一个旋转件，所述旋转件能够绕该旋转件的旋转轴旋转，其特征在于，所述旋转组件还包括止动机构，所述止动机构与所述旋转件间隔设置，所述止动机构包括止动索和壳体，所述壳体上形成有绳索出口，所述止动索的一端设置在所述壳体内，所述止动索的另一端穿过所述绳索出口固定在所述旋转件上，以随所述旋转件的旋转而同步移动；
所述止动索位于所述壳体内的部分上形成有止动部，且所述止动部的形状设置为不能够穿过所述绳索出口，其中
所述旋转组件的所述旋转件与加热组件连接，用于驱动所述加热组件旋转；或者，所述旋转组件的所述旋转件与工件承载组件连接，用于驱动所述工件承载组件旋转。
2.根据权利要求1所述的紫外线热处理设备的旋转组件，其特征在于，所述止动机构还包括集线盘，所述集线盘设置在所述壳体内，所述止动索位于所述壳体中的一端与所述集线盘连接，且所述集线盘能够旋转，以使得所述止动索由所述绳索出口进入所述壳体并缠绕在所述集线盘上。
3.根据权利要求2所述的紫外线热处理设备的旋转组件，其特征在于，所述集线盘上形成有集线槽，所述集线槽环绕所述集线盘的旋转中心形成在所述集线盘的回转面上，所述止动索缠绕在所述集线盘的集线槽中。
4.根据权利要求2所述的紫外线热处理设备的旋转组件，其特征在于，所述止动机构还包括发条弹簧，所述发条弹簧的一端与所述壳体连接，所述发条弹簧的另一端与所述集线盘连接，且所述发条弹簧能够在所述集线盘由初始位置发生旋转后，对所述集线盘施加一驱动力，以使得所述集线盘沿相反方向旋转至所述初始位置。
5.根据权利要求4所述的紫外线热处理设备的旋转组件，其特征在于，所述壳体包括壳盖和底座，所述底座上形成有中心柱，所述集线盘上形成有发条孔，所述发条孔沿所述集线盘的旋转轴方向贯穿所述集线盘，所述发条弹簧和所述中心柱均位于所述发条孔中，所述发条弹簧的一端与所述中心柱连接，所述发条弹簧的另一端与所述发条孔的孔壁连接。
6.根据权利要求2所述的紫外线热处理设备的旋转组件，其特征在于，所述壳体包括壳盖和底座，所述集线盘朝向所述底座的一侧形成有回转凸台，所述底座上形成有环形的回转槽，所述回转凸台与所述回转槽匹配设置，以使得所述集线盘能够围绕所述回转槽的旋转中心旋转。
7.根据权利要求1至6中任意一项所述的紫外线热处理设备的旋转组件，其特征在于，所述旋转组件还包括导向装置，所述导向装置设置在所述止动机构与所述旋转件之间，所述导向装置具有导向槽，所述止动索穿过所述导向装置的导向槽。
8.根据权利要求7所述的紫外线热处理设备的旋转组件，其特征在于，所述旋转组件还包括底板，所述旋转件的旋转轴、所述止动机构和所述导向装置均固定设置在所述底板上；
所述导向装置包括导向主体和至少一个导向柱，所述导向槽形成在所述导向主体上，所述导向主体通过所述导向柱与所述底板固定连接，且所述导向主体在所述导向柱上的连接位置可调。
9.根据权利要求8所述的紫外线热处理设备的旋转组件，其特征在于，所述导向装置包括两个所述导向柱，所述导向柱具有导向圆柱面，且所述导向圆柱面的至少一部分穿过所述导向槽，所述止动索穿过所述导向槽的部分位于两个所述导向柱的导向圆柱面之间。
10.一种紫外线热处理设备，所述紫外线热处理设备包括至少一个加热组件和至少一个工件承载组件，所述加热组件与所述工件承载组件一一对应设置，用于对所述工件承载组件上承载的工件进行加热，其特征在于，所述紫外线热处理设备还包括旋转组件，所述旋转组件为权利要求1至9中任意一项所述的紫外线热处理设备的旋转组件；
所述旋转组件的旋转件与所述加热组件连接，用于驱动所述加热组件旋转；或者，所述旋转组件的旋转件与所述工件承载组件连接，用于驱动所述工件承载组件旋转。
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