CN111379878B - 一种滑阀 - Google Patents

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Abstract

本公开提供一种滑阀，其具备套筒(22)和阀芯(21)，所述套筒(22)为在轴线方向上延伸的圆筒状，形成有在轴线方向上相互分离的第一阀口(26A)和第二阀口(27A)，所述阀芯(21)为在轴线方向上延伸且具有缩径部(43A)～(43C)的圆柱状，其通过沿轴线方向在套筒内部移动而开闭第一阀口，从而使第一阀口和第二阀口连通和切断。第一阀口包括：第一贯通部(81)，其为在套筒的圆周方向上具有第一宽度的贯通孔；和第二贯通部(82)～(84)，其为在套筒的圆周方向上具有不同于第一宽度的第二宽度的贯通孔。

Description

一种滑阀
关联申请的相互参照
本申请是基于2018年12月28日的2018-247218号日本专利申请提交的申请，将其内容援引于本说明书中。
技术领域
本公开涉及一种控制流体流量的滑阀。
背景技术
现有技术中存在一种滑阀，其包括形成有多个阀口的圆筒状的套筒，和通过沿轴线方向在套筒内部移动而开闭阀口的圆柱状的阀芯(参见专利文献1)。在专利文献1记载的滑阀中，在阀芯的用于封闭阀口的封闭部的端部上，形成有在轴线方向上使阀芯的直径逐渐变化的倾斜部。并且，通过调整倾斜部的形状，将轴线方向上的阀芯的移动量与流体的流量增加量的关系(流量的梯度)设定为所期望的关系。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第5893419号公报
发明内容
发明所要解决的技术问题
然而，专利文献1记载的滑阀中，阀芯的倾斜部需要进行高精度地加工，无可避免地使制造难度增大。
本公开是为解决上述问题而做出的，其主要目的为提供一种滑阀，其能够灵活地设定轴线方向上的阀芯的移动量与流体的流量增加量之间的关系，同时能够避免制造难度增大。
用于解决问题的手段
用于解决上述问题的第一手段为一种滑阀，包括：
套筒，其为在轴线方向上延伸的圆筒状，形成有在所述轴线方向上相互分离的第一阀口和第二阀口；和
阀芯，其为在所述轴线方向上延伸且具有缩径部的圆柱状，通过沿所述轴线方向在所述套筒内部移动而开闭所述第一阀口，从而使所述第一阀口和所述第二阀口连通和切断，
所述第一阀口包括第一贯通部和第二贯通部，所述第一贯通部为在所述套筒的圆周方向上具有第一宽度的贯通孔，所述第二贯通部为在所述套筒的圆周方向上具有不同于所述第一宽度的第二宽度的贯通孔。
根据上述结构，套筒为在轴线方向上延伸的圆筒状，形成有在所述轴线方向上相互分离的第一阀口和第二阀口。阀芯为在轴线方向上延伸且具有缩径部的圆柱状，通过沿轴线方向在套筒内部移动而开闭第一阀口。由此，阀芯将第一阀口和第二阀口连通和切断。因此，通过由阀芯调节第一阀口的开放面积，从而能够控制第一阀口与第二阀口之间流动的流体的流量。
在此，第一阀口包括第一贯通部和第二贯通部，所述第一贯通部为在套筒的圆周方向上具有第一宽度的贯通孔，所述第二贯通部为在套筒的圆周方向上具有不同于第一宽度的第二宽度的贯通孔。因而，根据轴线方向上的阀芯的移动量，能够实现例如第二贯通部封闭且第一贯通部的一部分或全部开放的状态，第一贯通部全部开放且第二贯通部的一部分开放的状态，第一贯通部的全部以及第二贯通部的全部开放的状态等(其他状态也有可能)。而且，在这些状态下，轴线方向上的阀芯的移动量与流体的流量增加量的关系(流量的梯度)彼此不同。因此，通过调整轴线方向上的第一贯通部和第二贯通部的位置或第一宽度、第二宽度，能够灵活地设定轴线方向上的阀芯的移动量与流体的流量增加量的关系。另外，轴线方向上的第一贯通部和第二贯通部的位置，由从第二阀口到第一贯通部以及第二贯通部各自的第二阀口侧的端部的距离来定义。
进而，由于第一贯通部和第二贯通部为贯通孔，因而能够通过钻孔等孔加工容易地形成。另外，通过调整轴线方向上的第一贯通部和第二贯通部的位置或第一宽度、第二宽度，从而能够灵活地设定阀芯的移动量与流体的流量增加量的关系，因而不需要在阀芯上形成背景技术提到的倾斜部。由此，能够避免滑阀的制造难度增大。
在第二手段中，所述第一贯通部为在所述套筒的圆周方向上具有作为所述第一宽度的第一直径的圆孔或长圆孔，所述第二贯通部为在所述套筒的圆周方向上具有不同于所述第一直径的、作为所述第二宽度的第二直径的圆孔或长圆孔。
根据上述结构，由于孔的形状简单，加工后的去毛刺等(精加工)较容易，同时能够抑制应力集中从而提高刚性。因此，能够抑制套筒的弯曲(变形)，并能够提高阀芯的滑动性。
在第三手段中，所述第一贯通部和所述第二贯通部的至少一方为一边沿着套筒圆周方向的三角孔，所述三角孔的角呈圆角。因而，能够抑制应力集中从而提高刚性。由此，可以抑制套筒的弯曲(变形)，提高阀芯的滑动性。
在第四手段中，所述第二贯通部形成于在所述轴线方向上比所述第一贯通部更远离所述第二阀口的位置，所述第二宽度大于所述第一宽度。
根据上述结构，第二贯通部形成于在轴线方向上比第一贯通部更远离第二阀口的位置。因而，在阀芯封闭第一阀口的状态下，阀芯从第二阀口向第一阀口的方向移动时，首先第一贯通部开放，接着第二贯通部开放。而且，第二贯通部的第二宽度大于第一贯通部的第一宽度。因此，在第二贯通部封闭且第一贯通部的开放面积增加期间，即第一阀口开始打开时，能够减小流体流量的梯度。由此，在第一阀口开始打开时，易于微调流体流量。另外，在封闭第一阀口的状态下，从套筒的内周面与阀芯的外周面之间漏出的流体，难以通过比第一宽度大的第二宽度的第二贯通部流动，因此能够减少流体的泄漏量。
之后，通过增加第二贯通部的开放面积，与增加第一贯通部的开放面积时相比，能够使流量增加量相对于阀芯的移动量的比值(流量的梯度)增大。因而，在使流量的梯度从第一梯度向大于第一梯度的第二梯度变化的滑阀中，能够缩短为了保证预定的目标流量所需的套筒长度。
第一贯通部为在套筒的圆周方向上具有第一直径的圆孔或长圆孔的情况下，第一贯通部的开放面积的增加速度在前半段上升后半段下降。
这一点，在第五手段中，在所述轴线方向上，所述第一贯通部存在的范围与所述第二贯通部存在的范围有一部分重叠。因此，能够在第一贯通部全开为止开始打开第二贯通部，能够抑制第一阀口的开放面积的增加速度上升后下降。也就是说，在第二贯通部开始打开时，能够抑制流体流量的梯度下降。
在轴线方向上，第一贯通部存在的范围与第二贯通部存在的范围有一部分重叠的情况下，第一贯通部与第二贯通部有可能会相连。如果第一贯通部与第二贯通部相连，则第一阀口的形状就会变复杂，套筒的强度有可能会降低。
这一点，在第六手段中，所述第一贯通部与所述第二贯通部形成在所述套筒的圆周方向上相互不重叠的位置上。由此，在轴线方向上，第一贯通部存在的范围与第二贯通部存在的范围有一部分重叠的情况下，也能够避免第一贯通部与第二贯通部相连。
在第七手段中，在所述轴线方向上使所述阀芯从所述第二阀口向所述第一阀口的方向最大限度地移动的状态下，所述第二贯通部中开放的部分为一半以下。因而，在第二贯通部为在套筒的圆周方向上具有第一直径的圆孔或长圆孔的情况下，也能够在第二贯通部的开放面积的增加速度上升的范围内控制流体的流量。由此，能够在第二贯通部开始打开后抑制流体的流量梯度的降低。
在第八手段中，所述第一阀口包括多个所述第一贯通部，多个所述第一贯通部在所述轴线方向上的位置彼此不同。
根据上述结构，第一阀口包括多个所述第一贯通部。因此，通过调整第一贯通部的数量，从而能够容易地设定第一阀口开始打开时阀芯的移动量与流量增加量的关系。另外，多个第一贯通部在轴线方向上的位置彼此不同。因而，在封闭第一阀口的状态下，能够减少靠近阀芯的缩径部的第一贯通部，能够降低从套筒的内周面与阀芯的外周面之间漏出的流体的泄漏量。
在第九手段中，所述第一阀口包括第三贯通部，所述第三贯通部在所述轴线方向上形成于所述第一贯通部与所述第二贯通部之间的位置，其为在所述套筒的圆周方向上具有第三宽度的贯通孔，所述第三宽度大于所述第一宽度且小于所述第二宽度。
根据上述结构，第一阀口包括形成于轴线方向上第一贯通部与第二贯通部之间的第三贯通部。因而，在阀芯封闭第一阀口的状态下，阀芯从第二阀口向第一阀口的方向移动时，首先第一贯通部开放，接着第三贯通部开放，接着第二贯通部开放。并且，第三贯通部为在套筒的圆周方向上具有大于第一宽度且小于第二宽度的第三宽度的贯通孔。因此，在第一贯通部的开放面积增加时与第二贯通部的开放面积增加时之间，易于设定流体流量的梯度为它们中间的梯度。
在第十手段中，所述第二贯通部形成于在所述轴线方向上与所述第一贯通部相同的位置，所述第二宽度大于所述第一宽度。
根据上述结构，第二贯通部形成在轴线方向上与第一贯通部相同的位置。因此，在阀芯封闭第一阀口的状态下，阀芯从第二阀口向第一阀口的方向移动时，第一贯通部和第二贯通部同时开始开放。因而，第一贯通部和第二贯通部的开放面积一起增加期间，即第一阀口开始打开时，能够增大流体流量的梯度。
在此，在轴线方向上的第二贯通部的宽度大于轴线方向上的第一贯通部的宽度的情况下，阀芯进一步从第二阀口向第一阀口的方向移动时，第一贯通部全部开放，只有第二贯通部的开放面积增加。据此，与第一贯通部和第二贯通部的开放面积增加时相比，易于将流体流量的梯度设定为较小值。因此，在将流体流量的梯度从第三梯度变为小于第三梯度的第四梯度的滑阀中，能够缩短为了保证预定的目标流量所需的套筒长度。
在第十一手段中，在所述套筒的圆周方向上，多个所述第一阀口形成于彼此不同的位置，所述滑阀具有阀体，该阀体在其内部容纳有所述套筒，形成有将多个所述第一阀口相互连通的圆环状的第一凹槽，和将所述第一凹槽与外部连通的第一阀体贯通孔。
根据上述结构，在套筒的圆周方向上，多个第一阀口形成于彼此不同的位置。因此，通过多个第一阀口能够在套筒的内部与外部之间使流体流通。并且，滑阀具有将套筒容纳于内部的阀体。在阀体上形成有将多个第一阀口相互连通的圆环状的第一凹槽，和将第一凹槽与外部连通的第一阀体贯通孔。因而，通过圆环状的第一凹槽和第一阀体贯通孔能够使流体在多个第一阀口与阀体的外部之间流通。由此，能够增大在滑阀流通的流体的最大流量，同时，使流体容易在套筒的内部与阀体的外部之间流通。
在第十二手段中，在所述套筒的圆周方向上，多个所述第二阀口形成于彼此不同的位置，在所述阀体上形成有将多个所述第二阀口相互连通的圆环状的第二凹槽，和将所述第二凹槽与外部连通的第二阀体贯通孔。
根据上述结构，在套筒的圆周方向上，多个第二阀口形成于彼此不同的位置。因此，通过多个第二阀口能够使流体在套筒的内部与外部之间流通。在阀体上形成有将多个第二阀口相互连通的圆环状的第二凹槽，和将第二凹槽与外部连通的第二阀体贯通孔。因而，通过圆环状的第二凹槽和第二阀体贯通孔能够使流体在多个第二阀口与阀体的外部之间流通。由此，能够增大在滑阀流通的流体的最大流量，同时，使流体容易在套筒的内部与阀体的外部之间流通。
在第十三手段中，通过所述第一阀口和所述第二阀口的组合构成一个阀部，包括在所述轴线方向上并列的作为所述阀部的第一阀部和第二阀部，在所述第一阀部中，所述第二贯通部形成于在所述轴线方向上比所述第一贯通部更远离所述第二阀口的位置，所述第二宽度大于所述第一宽度，在所述第二阀部中，所述第二贯通部形成于在所述轴线方向与所述第一贯通部相同的位置，所述第二宽度大于所述第一宽度，在所述阀芯上相对于所述第一阀部和所述第二阀部分别形成有所述缩径部。
根据上述结构，通过第一阀口和第二阀口的组合构成一个阀部。因而，通过一个阀部能够控制一流体的流量。滑阀包括在所述轴线方向上并列的作为阀部的第一阀部和第二阀部。并且，在阀芯上相对于第一阀部和第二阀部分别形成有缩径部。因此，滑阀能够通过一个阀芯控制多个流体的流量。
还有，第一阀部能够使流量的梯度从第一梯度向大于第一梯度的第二梯度变化。另一方面，第二阀部能够使流量的梯度从第三梯度向小于第三梯度的第四梯度变化。因此，使第一阀部的一个阀口与第二阀部的一个阀口相连通，将滑阀作为混合阀使用时，能够使被混合的流体的流量接近恒定。另外，通过在所述混合阀中使流体的流通方向相反，可以将滑阀作为分配阀来使用。
附图说明
通过参照附图进行如下详细地说明，使关于本公开的上述目的以及其他目的、特征和优点更加明确。
图1为滑阀装置的截面图。
图2为表示套筒形状的图。
图3为表示阀芯与套筒的孔的位置关系的图。
图4为将图3的点划线所包围的部分放大表示的放大展开图。
图5为表示控制指令值和流量和孔的开放部分之间的关系的图。
图6为表示控制指令值和各阀部的流量之间的关系的曲线图。
图7为表示阀芯的位置和各阀部的开闭状态之间的关系的截面图。
图8为表示套筒的变更例的侧视图。
图9为表示阀口的变更例的示意图。
图10为表示阀口的其他变更例的示意图。
图11为表示阀口的其他变更例的示意图。
具体实施方式
下面，参照附图对一实施方式进行说明。本实施方式中，作为具有滑阀的滑阀装置予以实现。
如图1所示，滑阀装置10包括作为流体控制阀的滑阀11和使滑阀11工作的驱动部12。滑阀11构成为包括圆柱状的阀芯21、可滑动地支撑阀芯21的套筒22、以及容纳阀芯21和套筒22的阀体23。套筒22形成为圆筒状，阀体23为大致长方体形状的箱体。在滑阀11中，由套筒22以及阀体23的各内部空间形成阀室24，该阀室24中容纳有阀芯21。阀芯21的轴线方向的长度尺寸小于阀室24，在阀室24中阀芯21可在其轴线方向上滑动。
在套筒22上形成有与阀室24相通的阀口26A、26B、26C、27A、27B、27C。在套筒22的圆周方向上，多个第一阀口26A形成在彼此不同的位置。阀口26B、26C、27A、27B、27C也同样。阀口26A、26B、26C、27A、27B、27C为液体或气体等流体流动的流体通路。第一阀口26A、26B、26C为将流体供给到阀室24的供给阀口。第二阀口27A、27B、27C为将流体从阀室24排出的排出阀口。该等阀口26A、26B、26C、27A、27B、27C在阀芯21的轴线方向上并列设置。
对包括第一阀口26A、26B、26C的各供给路径的大致情况进行说明。第一阀口26A通过第一套筒周向槽36A和第一阀体周向槽41A与第一阀体贯通孔39A连通。第一阀口26B、26C，第一套筒周向槽36B、36C，第一阀体周向槽41B、41C，第一阀体贯通孔39B、39C也同样。
在套筒22的外周面上形成有在其圆周方向上延伸的(圆环状的)第一套筒周向槽36A、36B、36C。第一套筒周向槽36A使多个第一阀口26A相互连通。在阀体23的内周面上形成有在其圆周方向上延伸的(圆环状的)第一阀体周向槽41A、41B、41C(第一槽)。第一阀体周向槽41A形成在第一套筒周向槽36A的外周，与第一套筒周向槽36A连通。即，第一阀体周向槽41A使多个第一阀口26A相互连通。第一阀体周向槽41A使第一套筒周向槽36A与第一阀体贯通孔39A在径向上连通。第一套筒周向槽36B、36C，第一阀体周向槽41B、41C，第一阀体贯通孔39B、39C也同样。
另外，包括第二阀口27A、27B、27C的各排出路径的大致情况，也与包括第一阀口26A、26B、26C的各供给路径的大致情况相同。即，第二阀口27A通过第二套筒周向槽56A和第二阀体周向槽51A(第二槽)与第二阀体贯通孔59A连通。第二阀口27B、27C，第二套筒周向槽56B、56C，第二阀体周向槽51B、51C，第二阀体贯通孔59B、59C也同样。
在阀室24形成有可连通第一阀口26A与第二阀口27A的连通路38A。阀芯21能够在连通路38A连通阀口26A、27A的位置以及不连通的位置上移动。阀芯21的外周面与套筒22的内周面以抵接或接近的状态重叠。连通路38A不连通阀口26A、27A时，该等阀口26A、27A的至少一方被阀芯21的外周面封闭。另一方面，连通路38A连通阀口26A、27A时，流体从第一阀口26A通过连通路38A(阀室24)流向第二阀口27A。第一阀口26B、26C，第二阀口27B、27C，连通路38B、38C也同样。
连通路38A由设于阀芯21的外周面的阀芯周向槽61A形成。阀芯周向槽61A在阀芯21的圆周方向上延伸，轴线方向的宽度尺寸大于第一阀口26A与第二阀口27A的分隔距离。在阀芯21的轴线方向上，阀芯周向槽61A处于跨越第一阀口26A以及第二阀口27A的状态时，该等阀口26A、27A的双方与阀芯周向槽61A相通，阀口26A、27A通过阀芯周向槽61A连通。即，连通路38A处于跨越阀口26A、27A的状态时，该等阀口26A、27A由连通路38A连通。另一方面，连通路38A与阀口26A、27A的至少一方不连通时，该阀口26A、27A被阀芯21截断。第一阀口26B、26C，第二阀口27B、27C，连通路38B、38C，阀芯周向槽61B、61C也同样。
阀芯21的滑动方向与阀口26A、27A相对于阀室24的开放方向相交叉，因而，伴随着阀芯21的滑动，该滑动方向上连通路38A与阀口26A、27B的重叠宽度增加或减少。即阀口26A、27A的开放面积增加或减少。流体流过阀口26A、27A时，阀口26A、27A的开放面积越大其流量越大。开放面积在规定值以上时流量最大，该情况下阀口26A、27A全部开放。第一阀口26B、26C，第二阀口27B、27C，连通路38B、38C也同样。
在阀芯21中，形成有阀芯周向槽61A的部分为直径小于其他部分的直径的缩径部43A。由于阀芯周向槽61A的底部的角为曲面形状(R形状)，所以能够抑制应力集中。阀芯周向槽61B、61C,缩径部43B、43C也同样。在阀芯21中，在轴线方向上与缩径部43A、43B、43C相邻的部分为封闭部42。此时，封闭部42、缩径部43A、封闭部42、缩径部43B、封闭部42、缩径部43C、封闭部42在阀芯21的轴线方向上按顺序并列设置。
根据这样的结构，在滑阀11上设有使流体流通和截断的阀部31～33。该等阀部31～33并列在滑阀21的轴线方向上。第一阀部31具有通过连通路38A连通的一对阀口26A、27A。第二阀部32、第三阀部33、连通路38B、38C，第一阀口26B、26C，第二阀口27B、27C也同样。并且，阀部31～33在滑阀21的轴线方向上并列设置。滑阀21的各个阀部31～33分别具有缩径部43A、43B、43C。各阀部31～33的阀口的开放，伴随着滑阀21的滑动由各缩径部43A、43B、43C独立进行。第二阀部32构成为一对阀口26B、27B的两者均可封闭，第一阀部31与第三阀部33分别构成为仅第一阀口26A、26C可封闭。
本实施方式中构建了一流体循环系统，该系统将进行规定的处理动作的处理装置中所使用的流体再次供给至处理装置。该系统的循环路径包括三个路径，该三个路径为通过加热装置对使用完的流体进行加热的加热管线、通过冷却装置进行冷却的冷却管线以及不进行加热和冷却的旁通管线。处理装置的上游侧通过滑阀11与所述三个路径的下游侧连接。此时，滑阀11成为混合流进的多个流体的混合阀。
在第一阀体贯通孔39A上连接有将冷却用(COLD侧)的流体供给至滑阀11的冷却管线的配管。在第一阀体贯通孔39B上连接有将循环用(BYP侧)的流体供给至滑阀11的旁通管线的配管。在第一阀体贯通孔39C上连接有将加热用(HOT侧)的流体供给至滑阀11的加热管线的配管。另外，第二阀体贯通孔59A、59B、59C共同连接在用于混合从滑阀11排出的流体的混合用配管上。混合用配管连接于处理装置的上游侧。流体从滑阀11流入处理装置时，来自加热管线、冷却管线、旁通管线的流体的各流量通过阀芯21的滑动一起被调节。
在滑阀装置10中驱动部12为线性致动器。驱动部12包括：由钢材等强磁性体形成的可动部65；夹持可动部65配置的一对永久磁铁66；与一对永久磁铁66同一方向地产生磁场的线圈67。可动部65(可动元件)能够在与永久磁铁66的磁场方向垂直的方向上移动，在其移动方向与阀芯21的滑动方向一致的状态下固定于阀芯21的一端。在驱动部12中，可动部65的位置，即阀芯21的轴线方向的位置(行程位置)由线圈67的通电方向以及通电的电压、电流的大小来决定。
在驱动部12中可动部65位于中立位置时，阀芯21位于封闭第一阀部31和第三阀部33且开放第二阀部32的位置，此时，阀芯21也处于中立位置。阀芯21位于中立位置时，第一阀部31和第三阀部33双方各自的第一阀口26A、26C被封闭。
另外，可动部65在线圈67不通电时位于中立位置，然而在线圈67不通电的状态下，由于流过滑阀11的流体的影响可动部65会偏离中立位置。对此，可动部65通过伴随着线圈67的通电而产生的磁力保持在中立位置。具体地，在滑阀装置10中设有检测阀芯21的行程位置的位置传感器73。位置传感器73具有检测磁铁73a。根据位置传感器73的检测结果进行反馈控制以使得可动部65位于中立位置。
另外，位置传感器73位于与阀室24内的流体隔开的位置，不受流体的影响。还有，位置传感器73以与阀芯21等工作部件不接触的状态设置。另外，位置传感器73有静电容量型、磁致伸缩型(magnetostrictive type)、涡电流型等。再者，在驱动部12上可以设置线圈67不通电时使可动部65保持在中立位置的弹簧等施力部件。
在阀芯21上设有在轴线方向上贯通其阀芯21的阀芯贯通孔71。在阀室24中阀芯21的两端侧的各个空间为伴随着阀芯21的滑动而扩大和缩小的扩缩空间24a，该等扩缩空间24a通过阀芯贯通孔71连通。扩缩空间24a以及阀芯贯通孔71被流过各阀部31～33的流体等填满，该流体伴随着阀芯21的滑动通过阀芯贯通孔71从一方的扩缩空间24a移动到另一方的扩缩空间24a。由此，阀芯21滑动时，由于扩缩空间24a内的流体对阀芯21施加的阻力减小，因而能够降低驱动部12滑动阀芯21时的驱动力。
接下来参照图2详细地说明套筒22的形状。图2(a)表示套筒22的外形，图2(b)为通过圆孔81、84的中心的截面图，图2(c)为通过长圆孔82的中心的截面图。在套筒22的外周部上，从所述位置传感器73侧的端部按顺序形成有所述第一套筒周向槽36A、第二套筒周向槽56A、第一套筒周向槽36B、第二套筒周向槽56B、第一套筒周向槽36C、第二套筒周向槽56C。在套筒22中与各套筒周向槽邻接的位置上形成有用于安装O形圈等密封部件的凹槽74。
在第一阀部31中，相同形状以及相同尺寸的四个(多个)第二阀口27A以90°间隔(等间隔)形成在套筒22的圆周方向上。在套筒22的轴线方向上四个第二阀口27A的位置一致。第二阀口27A为在套筒22的圆周方向以及轴线方向上具有规定直径r0的圆孔(贯通孔)。
在套筒22的轴线方向上，在与第二阀口27A仅相距规定距离的位置上形成有第一阀口26A。第一阀口26A包括作为贯通孔的圆孔81、长圆孔82、圆孔83以及圆孔84。在套筒22的圆周方向上，圆孔81的中心位置与圆孔84的中心位置一致。在套筒22的圆周方向上，圆孔81、长圆孔82、圆孔83形成在彼此不重叠的位置上。在套筒22的圆周方向上，长圆孔82、圆孔83、圆孔84形成在彼此不重叠的位置上。
在套筒22的轴线方向上，圆孔81、长圆孔82、圆孔83、圆孔84形成在彼此不同的位置上。在此，套筒22的轴线方向的各孔81～84的位置，由从第二阀口27A到各孔81～84的第二阀口27A侧的一端的距离来定义。按照从相距第二阀口27A的距离较短的孔开始的顺序为圆孔81、长圆孔82、圆孔83、圆孔84。在套筒22的轴线方向上，圆孔81的存在范围与长圆孔82存在的范围有一部分重叠。在套筒22的轴线方向上，长圆孔82的存在范围与圆孔83存在的范围与圆孔84存在的范围有一部分重叠。孔81～84彼此不连接。
圆孔81、83、84为在套筒22的圆周方向以及轴线方向上分别具有直径r1、r3、r4的圆孔。长圆孔82在套筒22的圆周方向上具有直径r2，其为在套筒22的轴线方向上具有大于直径r2的直径的长圆孔。按照直径由小到大的顺序为直径r1、直径r2、直径r3、直径r4。第一阀口26A在套筒22的圆周方向上以90°间隔(等间隔)形成有四个(多个)。但是，四个(全部)第一阀口26A包括圆孔81、84，而仅有两个(一半)第一阀口26A包括长圆孔82和圆孔83。
还有，如果将圆孔81视为第一贯通部，则孔82～84可视为第二贯通部。如果将圆孔81视为第一贯通部，将孔84视为第二贯通部时，则孔82、83可视为第三贯通部。如果将圆孔81视为第一贯通部，将圆孔83视为第二贯通部时，则长圆孔82可视为第三贯通部。如果将长圆孔82视为第一贯通部，则圆孔83、84可视为第二贯通部。如果将长圆孔82视为第一贯通部，将圆孔84视为第二贯通部，则圆孔83可视为第三贯通部。如果将圆孔83视为第一贯通部，则圆孔84可视为第二贯通部。另外，第三阀部33相对于第二阀部32以对称的形状形成在与第一阀部31对称的位置上。
在第二阀部32上形成有包括作为贯通孔的圆孔85、86的第一阀口26B和包括作为贯通孔的圆孔87、88的第二阀口27B。在套筒22的轴线方向上，第一阀口26B与第二阀口27B彼此仅相距规定的距离。
在套筒22的圆周方向上，圆孔85和圆孔86形成在彼此不重叠的位置上。在套筒22的轴线方向上，圆孔85和圆孔86形成在相同的位置上。这里，套筒22的轴线方向的圆孔85、86的位置，由从圆孔87(第二阀口27B)到圆孔85、86的圆孔87侧的一端的距离来定义。在套筒22的轴线方向上，圆孔85存在的范围与圆孔86存在的范围有一部分重叠。圆孔85与圆孔86相互不连接。
圆孔85、86为在套筒22的圆周方向以及轴线方向上分别具有直径r5、r6的圆孔。直径r6小于所述圆孔84的直径r4，大于孔81～83的直径r1～r3以及圆孔85的直径r5。第一阀口26B在套筒22的圆周方向上以90°间隔(等间隔)形成有四个(多个)。然而，四个(全部)第一阀口26A包括圆孔86，而仅有两个(一半)第一阀口26B包括圆孔85。另外，圆孔85相当于第一贯通部，圆孔86相当于第二贯通部。
在套筒22的圆周方向上，圆孔87和圆孔88形成在彼此不重叠的位置上。在套筒22的轴线方向上，圆孔87和圆孔88形成在相同的位置上。这里，套筒22的轴线方向的圆孔87、88的位置，由从圆孔85(第一阀口26B)到圆孔87、88的圆孔85侧的一端的距离来定义。在套筒22的轴线方向上，圆孔87存在的范围与圆孔88存在的范围有一部分重叠。圆孔87与圆孔88相互不连接。
圆孔87、88为在套筒22的圆周方向以及轴线方向上分别具有直径r7、r8的圆孔。直径r8小于所述圆孔84的直径r4，大于孔81～83的直径r1～r3以及圆孔87的直径r7。第二阀口27B在套筒22的圆周方向上以90°间隔(等间隔)形成有四个(多个)。然而，四个(全部)第二阀口27B包括圆孔88，而仅有两个(一半)第二阀口27B包括圆孔87。另外，圆孔87相当于第一贯通部，圆孔88相当于第二贯通部。
图3为表示阀芯21与套筒22的孔81～88之间的位置关系的图。图3(c)示出了在套筒22的圆周方向上展开表示第一阀部31以及第三阀部33的孔81～84。
控制指令值为0％(中立位置)时，阀芯21的封闭部42使第一阀部31的第一阀口26A以及第三阀部33的第一阀口26C全部封闭，缩径部43B使第二阀部32的第一阀口26B以及第二阀口27B全部打开。随着控制指令值越的，阀芯21的缩径部43C打开第三阀部33的第一阀口26C，封闭部42关闭第二阀部32的第一阀口26B。并且，控制指令值为100％时，阀芯21的缩径部43C使第三阀部33的第一阀口26C全部打开，封闭部42使第二阀部32的第一阀口26B全部封闭。另外，随着控制指令值从0％越减少，阀芯21的缩径部43A打开第一阀部31的第一阀口26A，封闭部42关闭第二阀部32的第二阀口27B。而且，控制指令值为-100％时，阀芯21的缩径部43A使第一阀部31的第一阀口26A全部打开，封闭部42使第二阀部32的第二阀口27B全部封闭。
同图表示了通过使阀芯21向左移动从而第一阀部31中的缩径部43A开始打开圆孔81的状态。另外，表示了第二阀部32的封闭部42从全开开始封闭圆孔88的状态。表示了第三阀部33的封闭部42对圆孔81的封闭结束而转变成全封闭的状态。
虚线X表示了封闭部42与缩径部43A的边界。图4为将图3的点划线所包围的部分放大表示的放大展开图。如同图所示，只有圆孔81接触到虚线X，孔82～84与虚线X分离。因此，在封闭第一阀部31的第一阀口26A的状态下，能够抑制流体通过孔82～84从套筒22的内周面与套筒21的外周面之间向缩径部43A泄漏。再者，圆孔81的直径r1小于孔82～84的直径r2～r4。由此，在封闭第一阀部31的第一阀口26A的状态下，能够减少套筒22的内周面与阀芯21的外周面之间的流体的泄漏量。同样地，在封闭第三阀部33的第一阀口26C的状态下，能够减少套筒22的内周面与阀芯21的外周面之间的流体的泄漏量。
图5为表示控制指令值和流量Q和孔81～84(第一阀口26C)的开放部分之间的关系的图。同图表示了所述加热管线的加热用的流体通过第三阀部33流动的流量。
控制指令值为0％时，孔81～84全部由封闭部42关闭，流量为0(L/min)。控制指令值为0～数％时，孔81～84全部由封闭部42关闭，流量为0(L/min)。即第三阀部33在控制指令值为0％左右时具有死区(dead band)。
控制指令值进一步增加时，圆孔81通过阀芯21的缩径部43C开始打开。此时，由于在套筒22的圆周方向的圆孔81的直径r1小于孔82～84的直径r2～r4，因而流体的流量增加速度最缓慢。即流量相对于控制指令值(阀芯21的移动量)的梯度最小。
圆孔81打开至一半时，长圆孔82通过缩径部43C开始打开。在此，由于圆孔81为在套筒22的圆周方向上具有直径r1的圆孔，因而圆孔81的开放面积的增加速度在前半段上升后半段下降。这一点，由于圆孔81打开到一半时长圆孔82开始打开，因而能够抑制第一阀口26C的开放面积的增加速度上升之后下降。由于长圆孔82的直径r2大于圆孔81的直径r1且小于圆孔83、84，因而流体的流量缓慢增加。长圆孔82的半圆部分开放后，由于长圆孔82的矩形部分被打开，因而流量相对于控制指令值的梯度恒定。
控制指令值进一步增加时，圆孔83通过缩径部43C开始打开。此时，由于在套筒22的圆周方向的圆孔83的直径r3大于孔81、82的直径r1、r2且小于圆孔84的直径r4，因而流体的流量稍微急速地增加。
控制指令值为50％时，圆孔84通过缩径部43C开始打开。此时，由于在套筒22的圆周方向的圆孔83的直径r4大于孔81～83的直径r1～r3，因而流体的流量最急速地增加。即流量相对于控制指令值的梯度最大。
控制指令值为100％时，成为在套筒22的轴线方向上使阀芯22从第二阀口27C向第一阀口26C的方向最大限度地移动的状态。在此状态下，圆孔81中开放的部分为一半以下。因而，可以在圆孔84的开放面积的增加速度上升的前半段结束圆孔84的开放，在圆孔84的开放面积的增加速度下降的后半段不开放圆孔84。由此，能够抑制第一阀口26C的开放面积的增加速度下降。
另外，所述冷却管线的冷却用的流体通过第一阀部31流动的流量与控制指令值之间的关系也同样。在该情况下，控制指令值为负，控制指令值的增加变为减少。
另一方面，如图3所示，控制指令值为0％时，孔85～88全开，循环管线的循环用的流体的流量为最大。控制指令值为0～±数％时，孔85～88全开，流量为最大。即，第二阀部32在控制指令值为0％左右时具有死区。
控制指令值增加时，圆孔86开始由封闭部42封闭。这时，套筒22的圆周方向上的圆孔86的直径r6小于所述圆孔84的直径r4，大于孔81～83的直径r1～r3以及圆孔85的直径r5。因而，流体的流量缓慢地、具体地以与孔81、82的开放导致的流量的增加速度同等程度的减少速度减少。
控制指令值进一步增加时，圆孔85开始由封闭部42关闭。即圆孔86和圆孔85由封闭部42关闭。因而，流体的流量急速地、具体地以与孔83、84的开放导致的流量的增加速度同等程度的减少速度减少。
控制指令值为100％时，成为在套筒22的轴线方向上使阀芯21从第一阀口26B向第二阀口27B的方向最大限度地移动的状态。在此状态下，圆孔85、86完全关闭。
图6为表示控制指令值和各阀部31～33的流量之间的关系的曲线图。通过第一阀部31调节冷却用流体(COLD)的流量，通过第二阀部32调节循环用流体(BYP)的流量，通过第三阀部33调节加热用流体(HOT)的流量。
如同图所示，控制指令值为-100％时，流体(COLD)的流量为最大，流体(BYP)的流量以及流体(HOT)的流量均为0。控制指令值为-100％到-50％的情况下，控制指令值增加时流体(COLD)的流量急剧减少，流体(BYP)的流量急剧增加。从滑阀11排出的流体的总流量(TOTAL)恒定而与控制指令值无关。
控制指令值从-50％进一步增加时，流体(COLD)的流量稍微缓慢地减少，流体(BYP)的流量稍微缓慢地增加。控制指令值进一步增加时，流体(COLD)的流量最缓慢地减少，流体(BYP)的流量最缓慢地增加。
控制指令值为-数％时，流体(COLD)的流量为0，流体(BYP)的流量为最大。控制指令值达到数％之前，一直保持流体(COLD)的流量为0，流体(BYP)的流量为最大的状态。
控制指令值增加超过数％时，流体(BYP)的流量最缓慢地减少，流体(HOT)的流量最缓慢地增加。控制指令值达到50％之前，控制指令值增加时流体(BYP)的流量稍微缓慢地减少，流体(HOT)的流量稍微缓慢地增加。
控制指令值为50％到100％时，控制指令值增加时流体(BYP)的流量急剧地减少，流体(HOT)的流量急剧地增加。另外，控制指令值与各阀部31～33的流量之间的关系不仅限于图6所示的关系，能够通过调整孔81～88的位置或直径r1～r8任意地设定。
图7为表示阀芯12的位置和各阀部31～33的开闭状态之间的关系的截面图。
图7(a)所示的控制指令值为-100％时，阀芯21位于从中立位置向第一阀部31一侧(负方向)最大限度地移动的位置。如图6所示，第一阀部31(COLD)为最大流量，第二阀部32(BYP)以及第三阀部33(HOT)流量为0。在第一阀部31中，第一阀口26A和第二阀口27A均全开。第二阀部32的第一阀口26B和第二阀口27B中第二阀口27B封闭。第三阀部33的第一阀口26C和第二阀口27C中第一阀口26C封闭。此时，通过第一阀部31仅有冷却用流体(COLD)流向处理装置。
图7(b)所示的控制指令值为-50％时，阀芯21位于向负方向最大限度移动的位置与中立位置的中间。如图6所示，第一阀部31(COLD)为最大流量的大约两成流量，第二阀部32(BYP)为最大流量的八成流量，第三阀部33(HOT)的流量为0。在第一阀部31中，第一阀口26A约打开两成。第二阀部32的第一阀口26B和第二阀口27B中第二阀口27B约打开八成。第三阀部33的第一阀口26C、第二阀口27C中第一阀口26C封闭。此时，通过第一阀部31流动的冷却用流体(COLD)和通过第二阀部32流动的循环用流体(BYP)被混合后流向处理装置。
图7(c)所示的控制指令值为0％时，阀芯21位于中立位置。如图6所示，第二阀部32(BYP)为最大流量，第一阀部31(COLD)和第三阀部33(HOT)的流量为0。第一阀部31的第一阀口26A、第二阀口27A中第一阀口26A封闭。在第二阀部32中，第一阀口26B和第二阀口27B均全开。第三阀部33的第一阀口26C、第二阀口27C中第一阀口26C封闭。此时，通过第二阀部32仅有循环用流体(BYP)流向处理装置。
图7(d)所示的控制指令值为50％时，阀芯21位于中立位置与从中立位置向第三阀部33一侧(正方向)最大限度移动的位置的中间。如图6所示，第一阀部31(COLD)流量为0，第二阀部32(BYP)为最大流量的约八成流量，以及第三阀部33(HOT)的流量为最大流量的约两成流量。第一阀部31的第一阀口26A、第二阀口27A中第一阀口26A封闭。第二阀部32的第一阀口26B和第二阀口27B中第一阀口26B约打开八成。第三阀部33的第一阀口26C、第二阀口27C中第一阀口26C约打开两成。此时，通过第二阀部32流动的循环用流体(BYP)和通过第三阀部33流动的加热用流体(HOT)被混合后流向处理装置。
图7(e)所示的控制指令值为100％时，阀芯21位于从中立位置向第三阀部33一侧(正方向)最大限度移动的位置。如图6所示，第三阀部33(HOT)为最大流量，第二阀部32(BYP)以及第三阀部33(HOT)流量为0。第一阀部31的第一阀口26A、第二阀口27A中第一阀口26A封闭。第二阀部32的第一阀口26B和第二阀口27B中第一阀口26B封闭。在第三阀部33中，第一阀口26C和第二阀口27C均全开。此时，通过第三阀部33仅有加热用流体(HOT)流向处理装置。
以上详细说明的本实施方式具有以下优点。
·第一阀口26A、26C包括：在套筒22的圆周方向上具有直径r1的圆孔81；和在套筒22的圆周方向上具有不同于直径r1的直径r2的长圆孔82。因而，根据套筒22的轴线方向上的阀芯21的移动量，能够实现例如长圆孔82封闭且圆孔81的一部分开放的状态、圆孔81的全部开放且长圆孔82的一部分开放的状态、圆孔81的全部以及长圆孔82的全部开放的状态等。而且，在这些状态下，轴线方向上的阀芯21的移动量与流体的流量增加量之间的关系(流量的梯度)彼此不同。因此，通过调整轴线方向上的圆孔81和长圆孔82的位置或直径r1、直径r2，从而能够灵活地设定轴线方向上的阀芯21的移动量与流体的流量增加量之间的关系。另外，圆孔83与圆孔84的组合等也能够起到与前述同样的作用效果。
·由于圆孔81和长圆孔82分别为圆孔以及长圆孔，因而可以通过钻孔等孔加工容易地形成。而且，由于孔的形状简单，加工后的去毛刺等(精加工)较容易，同时能够抑制应力集中从而提高刚性。因此，能够抑制套筒22的弯曲(变形)，并能够提高阀芯21的滑动性。另外，通过调整轴线方向上的圆孔81和长圆孔82的位置或直径r1、直径r2，从而能够设定阀芯21的移动量与流体的流量增加量之间的关系，因而不需要在阀芯21上形成背景技术提到的倾斜部。由此，能够避免滑阀21的制造难度增大。
·在第一阀部31以及第三阀部33中，长圆孔82形成于在轴线方向上与圆孔81相比分别距离第二阀口27A、27C更远的位置上。因而，在阀芯21封闭第一阀口26A、26C的状态下，阀芯21从第二阀口27A、27C分别向第一阀口26A、26C的方向移动时，首先圆孔81开放，接着长圆孔82开放。而且，长圆孔82的直径r2大于圆孔81的直径r1。因此，在长圆孔82封闭且圆孔81的开放面积增加期间，即第一阀口26A、26C开始打开时，能够减小流体流量的梯度。由此，在第一阀口26A、26C开始打开时，易于微调流体的流量。再者，在封闭第一阀口26A、26C的状态下，从套筒22的内周面与阀芯21的外周面之间漏出的流体，难以通过比直径r1大的直径r2的长圆孔82流动，因此能够减少流体的泄漏量。
·通过增加圆孔83、84的开放面积，从而与增加圆孔81的开放面积时相比，能够使流量增加量相对于阀芯21的移动量的比值(流量的梯度)变大。因而，在使流量的梯度从第一梯度向大于第一梯度的第二梯度变化的滑阀21中，能够缩短为了保证预定的目标流量所需的套筒22的长度。
·由于圆孔81为在套筒22的圆周方向上具有直径r 1的圆孔，因而圆孔81的开放面积的增加速度在前半段上升后半段下降。这一点，在轴线方向上，圆孔81存在的范围与长圆孔82存在的范围有一部分重叠。由此，能够在圆孔81全开之前开始打开长圆孔82，能够抑制第一阀口26A、26C的开放面积的增加速度上升后下降。也就是说，在长圆孔82开始打开时，能够抑制流体流量的梯度下降。另外，长圆孔82与圆孔84的组合等也能够起到与前述同样的作用效果。
·如果孔81～83相连，第一阀口26A、26C的形状就会变复杂，套筒22的强度有可能会降低。这一点，孔81～83形成在套筒22的圆周方向上相互不重叠的位置上。由此，在轴线方向上，圆孔81(长圆孔82)存在的范围与长圆孔82(圆孔83)存在的范围有一部分重叠的情况下，也能够避免圆孔81(长圆孔82)与长圆孔82(圆孔83)相连。
·在所述轴线方向上使阀芯21从第二阀口27A、27C分别向第一阀口26A、26C的方向最大限度地移动的状态下，圆孔84中开放的部分为一半以下。因而，能够在圆孔84的开放面积的增加速度上升的范围内控制流体的流量。由此，圆孔84开始打开后，能够抑制流体的流量梯度的降低。
·第一阀口26A、26C包括形成于轴线方向上的圆孔81与圆孔84之间的位置上的孔82、83。因而，在阀芯21封闭第一阀口26A、26C的状态下，阀芯21从第二阀口27A、27C分别向第一阀口26A、26C的方向移动时，首先圆孔81开放，接着孔82、83开放，接着圆孔84开放。并且，孔82、83为在套筒22的圆周方向上分别具有大于直径r1且小于直径r4的直径r2、r3的孔。因此，在圆孔81的开放面积增加时与圆孔84的开放面积增加时之间，易于设定流体流量的梯度为它们中间的梯度。
·在第二阀部32中，圆孔86形成在轴线方向上与圆孔85相同的位置上。因此，在阀芯21封闭第一阀口26B的状态下，阀芯21从第二阀口27B向第一阀口26B的方向移动时，圆孔85和圆孔86同时开始开放。因而，圆孔85和圆孔86的开放面积一起增加期间，即第一阀口26B开始打开时，能够增大流体流量的梯度。
·在此，圆孔86的直径r6大于圆孔85的直径r5。因而，阀芯21进一步从第二阀口27B向第一阀口26B的方向移动时，圆孔85全部开放，只有圆孔86的开放面积增加。据此，与圆孔85和圆孔86的开放面积增加时相比，易于将流体流量的梯度设定为较小值。由此，在将流体流量的梯度从第三梯度变为小于第三梯度的第四梯度的滑阀11中，能够缩短为了保证预定的目标流量所需的套筒22的长度。另外，在阀芯21封闭第二阀口27B的状态下，阀芯21从第一阀口26B向第二阀口27B的方向移动时，能够起到与前述相同的作用效果。
·在套筒22的圆周方向上，多个第一阀口26A(26C)形成于彼此不同的位置上。因此，通过多个第一阀口26A(26C)能够在套筒22的内部与外部之间使流体流通。并且，滑阀11具有将套筒22容纳于内部的阀体23。在阀体23上形成有将多个第一阀口26A(26C)相互连通的圆环状的第一阀体周向槽41A(41C)，以及将第一阀体周向槽41A(41C)与外部连通的第一阀体贯通孔39A(39C)。因而，通过圆环状的第一阀体周向槽41A(41C)和第一阀体贯通孔39A(39C)能够在多个第一阀口26A(26C)与阀体23的外部之间使流体流通。由此，能够增大在滑阀11流通的流体的最大流量，同时，使流体在套筒22的内部与阀体23的外部之间容易流通。
·在套筒22的圆周方向上，多个第二阀口27A(27C)形成于彼此不同的位置上。因此，通过多个第二阀口27A(27C)能够在套筒22的内部与外部之间使流体流通。在阀体23上形成有将多个第二阀口27A(27C)相互连通的圆环状的第二阀体周向槽51A(51C)，和将第二阀体周向槽51A(51C)与外部连通的第二阀体贯通孔59A(59C)。因而，通过圆环状的第二阀体周向槽51A(51C)和第二阀体贯通孔59A(59C)能够在多个第二阀口27A(27C)与阀体23的外部之间使流体流通。由此，能够增大在滑阀11流通的流体的最大流量，同时，使流体在套筒22的内部与阀体23的外部之间容易流通。
·通过第一阀口26A(26C)和第二阀口27A(27C)的组合构成一个阀部。因而，通过一个阀部可以控制一流体的流量。滑阀11包括在轴线方向上并列的阀部即第一阀部31、第二阀部32和第三阀部33。并且，在阀芯21上相对于第一阀部31、第二阀部32和第三阀部33分别形成有缩径部43A、43B、43C。因此，滑阀11能够通过一个阀芯21控制多个流体的流量。
·第一阀部31和第三阀部33能够使流量的梯度从第一梯度向大于第一梯度的第二梯度变化。一方面，第二阀部32能够使流量的梯度从第三梯度向小于第三梯度的第四梯度变化。因此，使第一阀部31(第三阀部33)的第二阀口27A(27C)与第二阀部32的第二阀口27B相连通，将滑阀11作为混合阀使用时，能够使被混合的流体的流量接近恒定值。另外，通过在所述混合阀中使流体的流通方向为相反方向，也能够将滑阀11作为分配阀来使用。
另外，也可以对上述实施方式做出如下变更予以实施。与上述实施方式相同的部分采用相同的符号表示，在此省略说明。
·在套筒22的内周面与封闭部42的外周面之间设有间隙，控制指令值为0％时，也可以采用流体通过间隙和孔81～84流动的结构。
·优选从滑阀11排出的流体的总流量为恒定值而与控制指令值无关，也可根据控制指令值进行多种变化。还有，相对于滑阀11的流体的供给侧与排出侧的差压为恒定的，并且在流体的总流量根据控制指令值有若干变化时，也能够通过控制差压使流体的总流量为恒定值而与控制指令值无关。
·可以采用如下结构：通过第三阀部33调节冷却用流体(COLD)的流量，通过第二阀部32调节循环用流体(BYP)的流量，通过第一阀部31调节加热用流体(HOT)的流量。
·在上述实施方式中，在套筒22中与各套筒周向槽邻接的位置上，形成有用于安装O形圈等密封部件的凹槽74。作为替代方式，也可以在阀体23的与所述凹槽74对应的位置上，形成用于安装O形圈等密封部件的凹槽。
·第一阀体贯通孔39A、39B、39C可以不通过第一套筒周向槽36A、36B、36C而与第一阀口26A、26B、26C连接。即也可以形成第一阀体周向槽41A、41B、41C，而省略第一套筒周向槽36A、36B、36C。另外，也可以省略第一阀体周向槽41A、41B、41C，形成第一套筒周向槽36A、36B、36C。
·如图8所示，第一阀口26A、26C包括作为贯通孔的多个圆孔91(第一贯通部)和作为贯通孔的圆孔92(第二贯通部)。因而，通过调节圆孔91的数量，从而能够容易地设定第一阀口26A、26C开始打开时阀芯21的移动量与流量增加量之间的关系。再者，多个圆孔91在轴线方向上的位置彼此不同。因此，在封闭第一阀口26A、26C的状态下，能够减少分别靠近阀芯21的缩径部43A、43C的圆孔91，能够减少从套筒22的内周面与阀芯21的外周面之间泄漏的流体的泄漏量。
·如图9所示，第一阀口26C(26A)可以包括作为贯通孔的长圆孔部93和圆孔部94。长圆孔部93(第一贯通部)为在套筒22的圆周方向上具有直径r13、在套筒22的轴线方向上具有大于直径r13的直径的长圆孔。圆孔部94(第二贯通部)为在套筒22的圆周方向以及轴线方向上具有大于直径r13的直径r14的圆孔。在套筒22的圆周方向上，长圆孔部93的中心位置与圆孔部94的中心位置一致。在套筒22的轴线方向上，长圆孔部93存在的范围与圆孔部94存在的范围有一部分重叠。因而，长圆孔部93与圆孔部94相连。这样的结构也能够起到上述实施方式的作用效果。另外，也可以把圆孔部94变更为在套筒22的圆周方向上具有直径r14、在套筒22的轴线方向上具有大于直径r14的直径的长圆孔。
·如图10所示，第一阀口26C(26A)也可以包括圆孔95和圆孔96。圆孔95(第一贯通部)为在套筒22的圆周方向以及轴线方向上具有直径r15的圆孔。圆孔96(第二贯通部)为在套筒22的圆周方向以及轴线方向上具有大于直径r15的直径r16的圆孔。在套筒22的圆周方向上，圆孔95的中心位置与圆孔96的中心位置不同。在套筒22的轴线方向上，圆孔95存在的范围与圆孔96存在的范围不重叠。这样的结构在除了第一阀口26C的开放面积的增加速度上升后暂时下降的情况外，也能够起到上述实施方式的作用效果。
·长圆孔不限于长径沿着轴线方向的长圆孔，也可以为短径沿着轴线方向的长圆孔。这种情况下，可以增大流量增加量相对于阀芯21的移动量的比值(流量的梯度)。还有，作为长圆孔，不限于具有半圆部和矩形部的形状，也可以采用椭圆。
·如图11所示，第一阀口26C(26A)也可以包括圆孔95和三角孔97。圆孔95(第一贯通部)为在套筒22的圆周方向以及轴线方向上具有直径r15的圆孔。作为贯通孔的三角孔97(第二贯通部)为在套筒22的圆周方向上具有大于直径r15的宽度w1的三角孔。三角孔97的一边沿着套筒22的圆周方向，三角孔97的角为圆角。三角孔97中沿着套筒22的圆周方向的一边配置在距离圆孔95最远的位置上。在套筒22的圆周方向上，圆孔95的中心位置与三角孔97的重心位置不同。在套筒22的轴线方向上，圆孔95存在的范围与三角孔97存在的范围不重叠。这样的结构在除了第一阀口26C的开放面积的增加速度上升后暂时下降的情况外，也能够起到上述实施方式的作用效果。另外，在套筒22的轴线方向上，圆孔95存在的范围与三角孔97存在的范围也可以重叠。此外，也可以把圆孔95的形状变更为三角孔，把三角孔97的形状变更为圆孔或长圆孔。即也可采用第一贯通部和第二贯通部的至少一方为一边沿着套筒22的圆周方向的三角孔，三角孔的角为圆角的结构。此外，也可以把第一贯通部和第二贯通部的形状设为其他的多边形孔(多边形状的贯通孔)。另外，优选多边形孔的角为圆角。
·在套筒22的圆周方向上，也可以只形成一个第一阀口26A(26C)。这种情况下，可以省略第一套筒周向槽36A(36C)以及第一阀体周向槽41A(41C)，将第一阀口26A(26C)连接到第一阀体贯通孔39A(39C)。
·在套筒22的圆周方向上，也可以只形成一个第二阀口27A(27C)。这种情况下，可以省略第二套筒周向槽56A(56C)以及第二阀体周向槽51A(51C)，将第二阀口27A(27C)连接到第二阀体贯通孔59A(59C)。
·能够实现包括第一～第三阀部31～33的至少一个的滑阀。
本公开是依据实施方式予以说明的，但不限于该实施方式或结构。本公开还包括各种各样的变形例或同等范围内的变形。而且，各种各样的组合或形态，进一步地，仅含有一个要素、含有要素的数量为其以上、或者其以下的其他组合或形态也属于本公开的范畴或构思范围。
符号说明
10：滑阀装置；
11：滑阀；
12：驱动部；
21：阀芯；
22：套筒；
23：阀体；
24：阀室；
26A：第一阀口；
26B：第一阀口；
26C：第一阀口；
27A：第二阀口；
27B：第二阀口；
27C：第二阀口；
31：第一阀部；
32：第二阀部；
33：第三阀部；
38A：连通路；
38B：连通路；
38C：连通路；
39A：第一阀体贯通孔；
39B：第一阀体贯通孔；
39C：第一阀体贯通孔；
42：封闭部；
43A：缩径部；
43B：缩径部；
43C：缩径部；
59A：第二阀体贯通孔；
59B：第二阀体贯通孔；
59C：第二阀体贯通孔；
81：圆孔；
82：长圆孔；
83：圆孔；
84：圆孔；
85：圆孔；
86：圆孔；
87：圆孔；
88：圆孔；
91：圆孔；
92：圆孔；
93：长圆孔部；
94：圆孔部；
95：圆孔；
96：圆孔。

Claims (17)

1.一种滑阀，包括：
套筒，所述套筒为在轴线方向上延伸的圆筒状，在所述套筒上形成有在所述轴线方向上相互分离的第一阀口和第二阀口；和
阀芯，所述阀芯为在所述轴线方向上延伸且具有缩径部的圆柱状，通过沿所述轴线方向在所述套筒内部移动而开闭所述第一阀口，从而使所述第一阀口和所述第二阀口连通和切断，
所述第一阀口包括第一贯通部和第二贯通部，所述第一贯通部为在所述套筒的圆周方向上具有第一宽度的贯通孔，所述第二贯通部为在所述套筒的圆周方向上具有不同于所述第一宽度的第二宽度的贯通孔，
所述第二贯通部形成于在所述轴线方向上比所述第一贯通部更远离所述第二阀口的位置，所述第二宽度大于所述第一宽度，以及
所述第一阀口包括第三贯通部，所述第三贯通部在所述轴线方向上形成于所述第一贯通部与所述第二贯通部之间的位置，所述第三贯通部为在所述套筒的圆周方向上具有第三宽度的贯通孔，所述第三宽度大于所述第一宽度且小于所述第二宽度。
2.如权利要求1所述的滑阀，其中，
所述第一贯通部为在所述套筒的圆周方向上具有作为所述第一宽度的第一直径的圆孔或长圆孔，
所述第二贯通部为在所述套筒的圆周方向上具有不同于所述第一直径的、作为所述第二宽度的第二直径的圆孔或长圆孔。
3.如权利要求1所述的滑阀，其中，
所述第一贯通部和所述第二贯通部的至少一方为一边沿着所述套筒的圆周方向的三角孔，所述三角孔的角呈圆角。
4.如权利要求1所述的滑阀，其中，
在所述轴线方向上，所述第一贯通部存在的范围与所述第二贯通部存在的范围部分重叠。
5.如权利要求4所述的滑阀，其中，
所述第一贯通部与所述第二贯通部形成在所述套筒的圆周方向上相互不重叠的位置。
6.如权利要求1所述的滑阀，其中，
在所述轴线方向上使所述阀芯从所述第二阀口向所述第一阀口的方向最大限度地移动的状态下，所述第二贯通部中开放的部分为一半以下。
7.如权利要求1所述的滑阀，其中，
所述第一阀口包括多个所述第一贯通部，
多个所述第一贯通部在所述轴线方向上的位置彼此不同。
8.如权利要求4所述的滑阀，其中，
所述第一阀口包括多个所述第一贯通部，
多个所述第一贯通部在所述轴线方向上的位置彼此不同。
9.如权利要求5所述的滑阀，其中，
所述第一阀口包括多个所述第一贯通部，
多个所述第一贯通部在所述轴线方向上的位置彼此不同。
10.如权利要求1～3的任一项所述的滑阀，其中，
所述第二贯通部形成于在所述轴线方向上与所述第一贯通部相同的位置，
所述第二宽度大于所述第一宽度。
11.一种滑阀，包括：
套筒，所述套筒为在轴线方向上延伸的圆筒状，在所述套筒上形成有在所述轴线方向上相互分离的第一阀口和第二阀口；和
阀芯，所述阀芯为在所述轴线方向上延伸且具有缩径部的圆柱状，通过沿所述轴线方向在所述套筒内部移动而开闭所述第一阀口，从而使所述第一阀口和所述第二阀口连通和切断，
所述第一阀口包括第一贯通部和第二贯通部，所述第一贯通部为在所述套筒的圆周方向上具有第一宽度的贯通孔，所述第二贯通部为在所述套筒的圆周方向上具有不同于所述第一宽度的第二宽度的贯通孔，其中，
在所述套筒的圆周方向上，多个所述第一阀口形成于彼此不同的位置，
所述滑阀包括阀体，所述阀体在其内部容纳有所述套筒，在所述阀体上形成有将多个所述第一阀口相互连通的圆环状的第一凹槽，和将所述第一凹槽与外部连通的第一阀体贯通孔。
12.如权利要求11所述的滑阀，其中，
所述第一贯通部为在所述套筒的圆周方向上具有作为所述第一宽度的第一直径的圆孔或长圆孔，
所述第二贯通部为在所述套筒的圆周方向上具有不同于所述第一直径的、作为所述第二宽度的第二直径的圆孔或长圆孔。
13.如权利要求11所述的滑阀，其中，
所述第一贯通部和所述第二贯通部的至少一方为一边沿着所述套筒的圆周方向的三角孔，所述三角孔的角呈圆角。
14.如权利要求11所述的滑阀，其中，
在所述套筒的圆周方向上，多个所述第二阀口形成于彼此不同的位置，
在所述阀体上形成有将多个所述第二阀口相互连通的圆环状的第二凹槽，和将所述第二凹槽与外部连通的第二阀体贯通孔。
15.一种滑阀，包括：
套筒，所述套筒为在轴线方向上延伸的圆筒状，在所述套筒上形成有在所述轴线方向上相互分离的第一阀口和第二阀口；和
阀芯，所述阀芯为在所述轴线方向上延伸且具有缩径部的圆柱状，通过沿所述轴线方向在所述套筒内部移动而开闭所述第一阀口，从而使所述第一阀口和所述第二阀口连通和切断，
所述第一阀口包括第一贯通部和第二贯通部，所述第一贯通部为在所述套筒的圆周方向上具有第一宽度的贯通孔，所述第二贯通部为在所述套筒的圆周方向上具有不同于所述第一宽度的第二宽度的贯通孔，其中，
通过所述第一阀口和所述第二阀口的组合构成一个阀部，
所述滑阀包括在所述轴线方向上并列的作为所述阀部的第一阀部和第二阀部，
在所述第一阀部中，所述第二贯通部形成于在所述轴线方向上比所述第一贯通部更远离所述第二阀口的位置，所述第二宽度大于所述第一宽度，
在所述第二阀部中，所述第二贯通部形成于在所述轴线方向与所述第一贯通部相同的位置，所述第二宽度大于所述第一宽度，
在所述阀芯上，于所述第一阀部和所述第二阀部分别形成有所述缩径部。
16.如权利要求15所述的滑阀，其中，
所述第一贯通部为在所述套筒的圆周方向上具有作为所述第一宽度的第一直径的圆孔或长圆孔，
所述第二贯通部为在所述套筒的圆周方向上具有不同于所述第一直径的、作为所述第二宽度的第二直径的圆孔或长圆孔。
17.如权利要求15所述的滑阀，其中，
所述第一贯通部和所述第二贯通部的至少一方为一边沿着所述套筒的圆周方向的三角孔，所述三角孔的角呈圆角。
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