CN111356106B - 监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统，具体而言，涉及一种能够利用无线网络而在需要相当数量的离子发生器的制造系统中高效而无遗漏地监视离子发生器的性能的离子发生器管理系统。本发明作为监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统，包括：多个传感器部；多个从属模块；至少一个以上的主模块；网关模块；管理服务器。

Description

监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统
技术领域
本发明涉及监视多个离子发生器的性能或作为离子发生器除电对象的带电体的正压的离子发生器管理系统，详细而言，涉及一种能够在需要相当数量的离子发生器的制造系统中高效而无遗漏地监视离子发生器的性能或带电体的正压的离子发生器管理系统。
背景技术
一般而言，在电子设备、LCD、半导体等的制造工序中，为了预先防止细微灰尘附着于电子设备、LCD、半导体晶片或因静电而导致元件损毁等问题，一般安装静电去除装置，即离子发生器。
这种离子发生器大致可以分为电晕放电式装置和X射线辐射式装置，最近，主要利用克服了电晕放电式装置具有的高电压放电导致的溅射现象、产生臭氧气体、离子平衡调整所导致的不便等缺点的X射线辐射式装置，即X射线离子发生器。
所述X射线离子发生器作为生成并辐射X射线而使气体分子离子化，从而使除电对象物体表面的静电中和的装置，主要以照射软X射线(soft x-ray)的方式体现。这种X射线离子发生器不产生细微灰尘，也不需要使空气对流，因而作为更适合的方式而倍受瞩目，并开发成多样的方式。
这种离子发生器在电子设备、LCD、半导体等的制造工序中有相当多的数量在运转，当在如此相当多数量的离子发生器中，一部分离子发生器的性能低下时，整体制造工序中会发生巨大数量的不良产品，应持续监视为数众多的离子发生器的性能是否保持在适度水平以上，为此正在开发离子发生器管理系统。
图1是关于以往技术的离子发生器管理系统的概略性系统构成图。
如图1所示，以往技术的离子发生器管理系统构成得由多个离子发生器传感器部1以有线通信方式(例如，RS-232、RS-485等)串联连接，各传感器列通过网关3向服务器4传输离子发生器性能信息。
但是，就这种以往技术的离子发生器管理系统而言，性能监视传感器部之间以及传感器部与网关以串联有线通信方式2a连接，因此，一直存在因有线连接导致的连线复杂性增加的施工上的不便，因而需要过多的施工费用及施工时间，存在难以对作为各节点的传感器部和网关进行特定并系统、高效地进行管理的问题。
而且，以往技术的离子发生器管理系统使用串联有线通信方式2a，因而如图1所示，存在当在通信路径上发生一个通信中断时，从发生通信中断2b的部位起，作为下级节点的传感器部的传感信息无法传输给服务器的问题。
发明内容
因此，本发明目的是提供一种解决以往技术的问题的离子发生器管理系统。
具体而言，本发明目的是提供一种能够高效、系统且无遗漏地监视相当多数量的离子发生器的离子发生器管理系统。
根据旨在解决前述课题的本发明一个实施例，本发明可以提供一种监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统，作为监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统，其特征在于，包括：多个传感器部，所述多个传感器部为了感知离子发生器的性能，配备于每个离子发生器或由多个离子发生器构成的每个单位静电去除作业空间；多个从属模块，所述多个传感器部包括分别连接或配备于所述多个传感器部的从属通信部，通过所述从属通信部接收所述静电传感器部感知的感知数据并保管及管理；至少一个以上的主模块，所述至少一个以上的主模块包括主通信部，所述主通信部将所述多个从属通信部按每组多个的方式分组为至少一个以上的组后，与分组的多个从属通信部分别通过无线数据通信方式连接，所述主模块构成得保管及管理通过所述主通信部而进行无线数据接收的多个所述感知数据，并以无线数据方式传输；网关模块，所述网关模块包括以无线数据通信方式分别与所述至少一个以上的主通信部连接的网关通信部，对通过所述网关通信部而从所述至少一个以上的主模块分别进行无线数据接收的所述多个感知数据进行保管及管理；管理服务器，所述管理服务器以无线或有线数据通信方式与所述网关通信部连接，将所述网关模块接收的感知数据传输给管理终端。
另外，优选地，其特征在于，所述从属通信部与所述主通信部之间的网络由网状网络构成，位于一个主通信部下级的一个从属通信部与位于所述一个主通信部下级的另一个从属通信部之间的网络由网状网络构成。
另外，优选地，其特征在于，所述主通信部与所述网关通信部之间的网络由网状网络构成。
另外，优选地，其特征在于，在所述从属通信部、所述主通信部以及所述网关通信部相互间，使用紫蜂(ZigBee)通信及蓝牙(Bluetooth)通信之一的通信方式。
另外，优选地，其特征在于，所述网状网络构成得当在一个从属通信部与另一个从属通信部之间决定数据通信路径时，或当在一个从属通信部与对应于所述一个从属通信部的主通信部之间决定数据通信路径时，以一个通信部为基准，将接收信号强度最强的另一个通信部决定为优先顺序通信路径并进行数据通信，当来自所述优先顺序通信路径上的所述另一个通信部的接收信号强度降低或消失时，以所述一个通信部为基准，将接收信号强度最强的又一个通信部再决定为优先顺序通信路径并进行数据通信。
另外，优选地，其特征在于，所述网关模块在通过所述网关通信部及所述主通信部而感知在所述网关模块的下级进行无线通信连接的所述至少一个以上主模块的数量后，针对所述至少一个以上的主模块，按照感知为无线通信连接于所述网关模块下级的主模块的数量，请求传输所述感知数据。
另外，优选地，其特征在于，所述主模块在通过所述主通信部及所述从属通信部而感知在所述主模块的下级进行无线数据连接的所述多个从属模块的数量后，针对所述多个从属模块，按照感知为无线通信连接于所述主模块下级的从属模块的数量，请求传输所述感知数据。
另外，优选地，其特征在于，所述管理服务器将所述网关模块、所述至少一个以上的主模块及所述多个从属模块，分别特定为由所述分组使用的组号、指称相应模块的地址号构成的两个坐标值并管理。
根据前述课题的技术方案，本发明构成得使连接于各个传感器部的多个从属模块、至少一个以上的主模块、网关模块，彼此通过无线网络连接而能够进行无线数据通信，从而为了从相当多数量的传感器部向管理服务器传输传感值而不需要有线连线，因此，可以提高离子发生器管理系统施工便利性，结果，可以显著节省离子发生器管理系统的构建及/或施工费用及施工时间。
另外，本发明构成得使从属通信部与主通信部之间的网络以及位于一个主通信部下级的一个从属通信部与位于所述一个主通信部下级的的另一个从属通信部之间的网络由网状网络构成，从而即使在从属通信部与主通信部之间通信中断或存在有通信错误的通信路径，从作为在这种问题通信路径下级存在的节点的传感器部感知的感知数据，也可以不遗漏而是通过再设置为网状网络的通信路径，经主模块及网关模块传递到管理服务器，进行系统性管理。
而且，本发明构成得在将通信路径再设置为网状网络时，以接收信号强度为基准再设置通信路径，从而可以高效、迅速地处理将替代问题通信路径的通信路径的再设置过程。
另外，本发明构成得使管理服务器将所述网关模块、所述至少一个以上的主模块及所述多个从属模块，分别特定为由所述分组使用的组号、指代相应模块的地址号构成的两个坐标值并进行管理，从而即使离子发生器管理系统的管理个体增加为相当多的数量，也具有可以系统、高效地管理离子发生器的性能状态的效果。
附图说明
图1是关于以往技术的离子发生器管理系统的概略性系统构成图，
图2是关于与本发明一个实施例相关的离子发生器工序状态的概略图，
图3是关于本发明一个实施例的离子发生器管理系统的概略性框线图，
图4是关于本发明一个实施例的离子发生器管理系统的通信网络的概略图，
图5是针对本发明一个实施例的离子发生器管理系统的节点登记及管理方案显示的概略性的表，
图6是关于本发明一个实施例的离子发生器管理系统包括的网状网络的概略图。
附图标记
1000：离子发生器管理系统
100：离子发生器
200：传感器部
300：从属模块
400：主模块
500：网关模块
600：管理服务器
具体实施方式
如果参照后面与附图一同详细叙述的实施例，本发明的优点及特征以及达成其的方法将更加明确。
但是，本发明并非限定于以下公开的实施例，可以以互不相同的多样形态体现，这些实施例只提供用于使本发明的公开更完整，向本发明所属技术领域的技术人员完整地告知发明的范畴，本发明只由权利要求项的范畴所定义。
另外，本说明书中使用的术语用于说明实施例，并非要限制本发明。
在本说明书中，只要在语句中未特别提及，单数型也包括复数型。说明书中使用的“包括(comprises)”及/或“包括的(comprising)”，不排除在提及的构成要素之外存在或添加其他构成要素。
如果没有不同的定义，本说明书中使用的所有术语(包括技术及科学术语)可以用作本发明所属技术领域的技术人员可以共同理解的意义。
下面参照附图，对本发明进行说明。
图2是关于与本发明一个实施例相关的离子发生器100工序状态的概略图，图3是关于本发明一个实施例的离子发生器管理系统1000的概略性框线图，图4是关于本发明一个实施例的离子发生器管理系统1000的通信网络的概略图，图5是针对本发明一个实施例的离子发生器管理系统1000的节点登记及管理方案显示的概略性的表，图6是关于本发明一个实施例的离子发生器管理系统1000包括的网状网络MN的概略图。
如图2所示，如果考查与本发明一个实施例相关的离子发生器100工序状态，可知相当多数量的离子发生器100为了去除带电体10的静电而正在运转。
其中，为了感知离子发生器100的性能低下或寿命枯竭，在离子发生器100工序过程中可以配备有多个传感器部200。
另外，作为追加实施例，所述传感器部200可以构成得周期性地或实时地感知作为所述离子发生器除电对象的带电体的正压。
此时，所述传感器部200如图2所示，可以每个离子发生器100均配备。
作为追加实施例，虽然图中未示出，但也可以由多个离子发生器100构成的每个单位静电去除作业空间20配备一个传感器部200。
如图3及图4所示，本发明一个实施例的离子发生器管理系统1000包括：多个传感器部200；多个从属模块300，所述多个从属模块300分别连接于所述传感器部200；至少一个以上的主模块400，所述至少一个以上的主模块400对所述多个从属模块300进行分组并请求传输感知数据；网关模块500，所述网关模块500针对所述至少一个以上的主模块400，请求传输感知数据；管理服务器600，所述管理服务器600从所述网关模块500接受传输感知数据。
如图2至图4所示，所述传感器部200构成得感知在离子发生器要去除静电的带电体10表面存在的正电荷量或正压，优选构成得针对所述带电体10，可以以非接触方式测量正压。
作为追加实施例，所述传感器部200可以以用于追加收集静电去除作业空间20的环境信息的传感器配备，例如也可以还包括针对静电去除作业空间20的温度传感器、湿度传感器、电压传感器、电流传感器中至少一种以上而构成。
如图3至图6所示，从属模块300可以分别连接于所述传感器部200，或作为一个构成而配备于所述传感器部200，所述从属模块300可以在离子发生器管理系统1000中配备多个。例如，如图所示，从属模块300可以配备225个(＝15x 15)。
所述从属模块300包括分别连接或配备于所述传感器部200的从属通信部，构成得通过所述从属通信部而收集所述静电传感器部200感知的感知数据并进行保管及管理。
而且，所述从属模块300(或所述从属通信部)在全体系统中或全体网络中作为最下级节点，构成得从对应的传感器部200周期性地收集感知的感知数据并保管、管理，当有对应的主模块400的请求时，以无线数据通信方式，将所述感知的感知数据传输给主模块。
如图5所示，所述从属模块300特定为指定成组号不为“0”、地址不为“0”的节点。
而且，至少一个以上的主模块400将所述多个从属通信部按每组多个的方式分组为至少一个以上的组进行管理。例如，如图所示，从属模块300配备225个(＝15x 15)，所述主模块400配备15个，可以构成得所述主模块400分别按15个一组的方式将从属模块300分组而形成无线通信网络。
具体而言，所述主模块400包括主通信部，构成得所述主通信部以无线数据通信方式分别与分组的多个从属通信部连接。
而且，所述主模块400构成得对通过所述主通信部而进行无线数据接收的多个所述感知数据进行保管及管理，同时构成得向所述网关模块500以无线数据方式传输所述感知数据。
如图5所示，所述主模块400特定为指定成组号不为“0”、地址为“0”的节点。
所述主模块400作为所述从属模块300的上级节点同时也是所述网关模块500的下级节点，构成得发挥中继器作用，从所述从属模块300收集感知数据，传输给所述网关模块500。
更具体而言，所述主模块400可以构成得周期性地收集从属模块300的感知数据并进行保管及管理，可以构成得当有网关模块500的传输请求时，将如此收集、保管及管理的感知数据(例如，以数据包方式)一并传输。
这是因为，构成得对如此利用主模块400周期性地收集的感知数据进行保管及管理后一并传输，从而与网关模块500向各个从属模块300或传感器部个别地请求感知数据并收集数据的情形相比，在通信数据包方面，以及通信时间方面会有益处。
如果考查所述主模块400的感知数据信息请求过程，所述主模块400通过所述主通信部及所述从属通信部，感知在所述主模块400的下级进行无线通信的所述多个从属模块300的数量。
然后，所述主模块针对所述多个从属模块300，以按照感知为在所述主模块400的下级进行无线通信连接的从属模块300的数量来请求传输所述感知数据的方式，执行感知数据请求过程。
而且，网关模块500包括：第一网关通信部，所述第一网关通信部以无线数据通信方式分别与所述至少一个以上的主通信部连接；第二网关通信部，所述第二网关通信部以数据通信方式与所述管理服务器600连接。
而且，所述第一网关通信部为无线数据通信模块，所述网关模块500构成得对通过所述第一网关通信部而从所述至少一个以上主模块400分别进行无线数据接收的所述多个感知数据进行保管及管理。
所述第二网关通信部可以为有线或无线数据通信模块，例如，可以为无线保真(Wifi)模块。
所述网关模块500为管理服务器600下级的系统或管理服务器600下级的网络，即单一网关网络基准下的最高级节点，构成得针对从各从属模块300收集的感知数据，例如利用TCP/IP，向作为希望的目的地的管理服务器600传输总汇的感知数据。
如图5所示，所述网关模块500特定为指定成组号为“0”、地址为“0”的节点。
如果考查所述网关模块500的感知数据信息请求过程，所述网关模块500通过所述网关通信部及所述主通信部，感知在所述网关模块500的下级进行无线通信连接的所述至少一个以上的主模块400的数量。
然后，所述网关模块500针对所述至少一个以上的主模块400，以按照感知为在所述网关模块500的下级进行无线通信连接的主模块400的数量来请求传输所述感知数据的方式，执行感知数据请求过程。
如图6所示，所述从属通信部与所述主通信部之间的网络由网状网络MN构成。
如果参考图6，位于一个主通信部的下级的一个从属通信部与位于所述一个主通信部的下级的另一个从属通信部之间的网络，由网状网络MN构成。即，被一个主通信部分组的从属模块300，彼此在既定距离内形成网状网络MN。
作为追加实施例，所述主通信部与所述网关通信部之间的网络也可以以网状网络MN构成。
为了形成网状网络MN，在所述从属通信部、所述主通信部以及所述网关通信部相互间，使用紫蜂(ZigBee)通信、蓝牙(Bluetooth)通信、UWB(超宽带)、Z-wave中的一种通信方式。
例如，所述从属通信部、所述主通信部可以由紫蜂通信模块或蓝牙通信模块构成，所述第一网关通信部也可以由紫蜂通信模块或蓝牙通信模块构成。
其中，紫蜂(ZigBee)作为在IEEE 802.15.4中扩展了网络及安全层、网络拓扑的技术，支持路由算法和Ad-hoc(点对点)、Star(星状)、Mesh(网状)网络等多样网络构成。这种紫蜂(ZigBee)具有平均耗电50mW左右的低功率特性，为了保障QoS(Quality of Service：服务质量)，支持GTS(Guaranteed Time Slot：同步时隙)数据传输机制。
而且，蓝牙作为无需复杂的线缆而用于以低价格体现便携装置间双向近距离通信的近距离无线通信技术，使用24GHz ISM频带的射频频率，在有障碍物的情况下也可以体现无线数据通信，具有的特征是可实现在作为0～10m单点对多点网络的微微网(Piconet)中进行数据和语音通信的低费用、低功率、短距离无线通信。
而且，UWB作为替代IEEE 1394的家庭娱乐网络的无线通信技术，可在最大20m的短距离实现480Mbps以上大容量传输，即使不使用载波也可以通信，因而提供可以廉价制造成小型的优点。UWB也具有不太受到多条路径导致的信号干扰影响的特征。
另外，Z-Wave作为具有互操作性的无线通信协议，是设计用作居住空间与HAVC(混成自动电压控制)控制、照明控制、家电设备控制、侵入与火灾感知、计量仪测量等目的的基于无线RF(射频)的通信技术，使独立的设备实现智能网络设备化，能够进行控制和监视。Z-Wave可实现个别网络识别，不发生网络间的干扰问题，在路由方面，设计成自动选择信号的传输路径，实现安全的信号传递。
如此构成得使从属通信部与主通信部之间的网络以及位于一个主通信部的下级的一个从属通信部与位于所述一个主通信部的下级的另一个从属通信部之间的网络，由网状网络MN构成，从而即使在从属通信部与主通信部之间通信中断或存在有通信错误的通信路径，从作为在这种问题通信路径的下级存在的节点的感器部感知的感知数据也不会遗漏，而是通过再设置为网状网络MN的通信路径，经主模块400及网关模块而传递给管理服务器600，进行系统性管理。
例如，如果参考图6，当在直接连接于M1主模块400与S3从属模块300之间的数据通信路径发生通信故障时，S3从属模块300的感知数据可以经由S4从属模块300及S1从属模块300传输给M1主模块400，或经由S1从属模块300传输给M1主模块400，或经由S4从属模块300、S2从属模块300及S1从属模块300而传输给M1主模块400。
优选地，根据本发明，当所述网状网络MN在一个从属通信部与另一个从属通信部之间，决定多个数据通信路径中的数据通信路径时，或在一个从属通信部与对应于所述一个从属通信部的主通信部之间决定数据通信路径时，可以以一个通信部为基准，将接收信号强度最强的另一个通信部决定为优先顺序通信路径并进行数据通信。
然后，所述网状网络MN可以构成得在来自所述优先顺序通信路径上的所述另一个通信部的接收信号强度降低或消失时，所述网状网络MN以所述一个通信部为基准，将接收信号强度最强的又一个通信部再决定为优先顺序通信路径并进行数据通信。
如此构成得在将网状网络MN再设置为通信路径时，以接收信号强度为基准再设置通信路径，从而可以高效、迅速地处理将替代问题通信路径的通信路径的再设置过程。
管理服务器600构成得以无线或有线数据通信方式与所述第二网关通信部连接，将所述网关模块500接收的感知数据传输给管理终端。
如图5所示，所述管理服务器600可以将所述网关模块500、所述至少一个以上的主模块400及所述多个从属模块300，分别特定为由所述分组使用的组号、指称相应模块的地址号构成的两个坐标值进行管理。
为此，可以在所述管理服务器600或各模块具备分组设置开关和地址设置开关，优选地，还可以包括使得以视觉方式输出所设置的组号和地址号的显示部。
所述管理服务器600可以在将所述网关模块500、所述至少一个以上主模块400及所述多个从属模块300分别特定为所述两个坐标值并进行管理的同时，还一同存储、管理关于各坐标值的实际位置信息。
因此，一旦遗漏一个从属模块300的感知数据，可以将其判断为连接于相应从属模块300的传感器部200故障，管理者可以更容易地掌握如此判断为故障的传感器部200的位置，可以使离子发生器100及传感器部200的管理实现效率化、系统化。
如上所述参照附图中示出的实施例，对本发明进行了说明，这只是用于说明发明，只要是本发明所属技术领域的技术人员便会理解，可以从发明的内容导出多样的变形或均等的实施例。
因此，本发明真正的权利范围应根据权利要求书的技术思想决定。

Claims (8)

1.一种监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统，作为监视多个离子发生器的性能或作为所述离子发生器除电对象的带电体的正压的离子发生器管理系统，其特征在于，包括：
多个传感器部，所述多个传感器部为了感知离子发生器的性能或作为所述离子发生器除电对象的带电体的正压，配备于每个离子发生器或由多个离子发生器构成的每个单位静电去除作业空间；
多个从属模块，所述多个从属模块包括分别连接或配备于所述多个传感器部的从属通信部，通过所述从属通信部接收所述传感器部感知的感知数据并保管及管理；
至少一个以上的主模块，所述至少一个以上的主模块包括主通信部，所述主通信部将多个所述从属通信部按每组多个的方式分组为至少一个以上的组后，与分组的多个从属通信部分别通过无线数据通信方式连接，所述主模块构成得保管及管理通过所述主通信部而进行无线数据接收的多个所述感知数据，并以无线数据方式传输；
网关模块，所述网关模块包括以无线数据通信方式分别与所述至少一个以上的主通信部连接的网关通信部，对通过所述网关通信部而从所述至少一个以上的主模块分别进行无线数据接收的多个所述感知数据进行保管及管理；
管理服务器，所述管理服务器以无线或有线数据通信方式与所述网关通信部连接，将所述网关模块接收的感知数据传输给管理终端。
2.根据权利要求1所述的监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统，其特征在于，
所述从属通信部与所述主通信部之间的网络由网状网络构成。
3.根据权利要求2所述的监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统，其特征在于，
所述主通信部与所述网关通信部之间的网络由网状网络构成。
4.根据权利要求2或3所述的监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统，其特征在于，
在所述从属通信部、所述主通信部以及所述网关通信部相互间，使用ZigBee通信及蓝牙通信之一的通信方式。
5.根据权利要求2或3所述的监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统，其特征在于，
所述网状网络构成得当在一个从属通信部与另一个从属通信部之间决定数据通信路径时，或当在一个从属通信部与对应于所述一个从属通信部的主通信部之间决定数据通信路径时，
以一个通信部为基准，将接收信号强度最强的另一个通信部决定为优先顺序通信路径并进行数据通信，当来自所述优先顺序通信路径上的所述另一个通信部的接收信号强度降低或消失时，以所述一个通信部为基准，将接收信号强度最强的又一个通信部再决定为优先顺序通信路径并进行数据通信。
6.根据权利要求1所述的监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统，其特征在于，
所述网关模块在通过所述网关通信部及所述主通信部而感知在所述网关模块的下级进行无线通信连接的所述至少一个以上主模块的数量后，
针对所述至少一个以上的主模块，按照感知为无线通信连接于所述网关模块下级的主模块的数量，请求传输所述感知数据。
7.根据权利要求6所述的监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统，其特征在于，
所述主模块在通过所述主通信部及所述从属通信部而感知在所述主模块的下级进行无线数据连接的所述多个从属模块的数量后，
针对所述多个从属模块，按照感知为无线通信连接于所述主模块下级的从属模块的数量，请求传输所述感知数据。
8.根据权利要求1所述的监视多个离子发生器的性能的离子发生器管理系统，其特征在于，
所述管理服务器将所述网关模块、所述至少一个以上的主模块及所述多个从属模块，分别特定为由所述分组使用的组号、指称相应模块的地址号构成的两个坐标值并管理。
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