CN111228928A - 洁净室立式球形过滤器 - Google Patents

Abstract

本发明涉及洁净室立式球形过滤器，涉及过滤器的技术领域，其包括与洁净室内地板连接的底座、设置于底座上的支撑架、穿设于支撑架内的进气管以及设置于支撑架上的球形滤罩，所述滤罩与进气管连通且其内壁上均匀分布有滤料，所述进气管上连通有空调机组以调节空气的温湿度并驱动空气穿过进气管进入滤罩内，所述滤罩的球形表面上均匀分布有气孔，空气经滤罩上的滤料过滤净化后自滤罩上的气孔流入洁净室内，所述洁净室内的地板或墙角上设置有与空调机组连通的回风口，用于将洁净室内的空气输回空调机组进行循环。本发明具有减少过滤器安装时的人力物力耗费以降低安装成本的效果。

Description

洁净室立式球形过滤器

技术领域

本发明涉及过滤器的技术领域，尤其是涉及洁净室立式球形过滤器。

背景技术

目前，洁净室通常是用于半导体或制药或医疗技术方面的制造和科学研究的环境中，其用于过滤和去除环境中的污染物，例如灰尘、空气微生物、气溶胶颗粒和化学蒸气等，更准确的说，洁净室具有可控污染水平的能力。

洁净室内均安装有空气过滤器，主用用于将外界空气转化成能够达到标准的洁净空气，一般通风用过滤器就是针对空气中的不同粒径的粉尘粒子进行捕捉、吸附，使空气质量提高。现有的空气过滤器一般都安装于吊顶上，通过自上而下的洁净气流为洁净室持续供应洁净空气，以此提升产品加工的品质。

公开号为CN204656212U的中国实用新型公开了一种低阻力高效空气过滤器，包括框体，所述框体上设有滤芯，所述滤芯包括多个均匀设置在框体上的滤芯单元，每个滤芯单元包括一层滤料和一层铝箔隔板，所述铝箔隔板上均匀设有多个凸起。该发明的低阻力高效空气过滤器，通过在铝箔隔板上设置滤料，方便过滤空气中的污染物与杂质，从而提升洁净室内的空气洁净度。

上述中的现有技术方案存在以下缺陷：由于现有的空气过滤器的风向固定，因此需要在吊顶上铺满空气过滤器才能确保洁净空气送到洁净室的各处，减少死区，但是空气过滤器所需安装的数量庞大，因此会耗费大量的人力物力。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的之一是提供洁净室立式球形过滤器，能减少人力物力的耗费，进而降低安装的成本。

本发明的上述发明目的是通过以下技术方案得以实现的：

洁净室立式球形过滤器，包括与洁净室内地板连接的底座、设置于底座上的支撑架、穿设于支撑架内的进气管以及设置于支撑架上的球形滤罩，所述滤罩与进气管连通且其内壁上均匀分布有滤料，所述进气管上连通有空调机组以调节空气的温湿度并驱动空气穿过进气管进入滤罩内，所述滤罩的球形表面上均匀分布有气孔，空气经滤罩上的滤料过滤净化后自滤罩上的气孔流入洁净室内，所述洁净室内的地板或墙角上设置有与空调机组连通的回风口，用于将洁净室内的空气输回空调机组进行循环。

通过采用上述技术方案，空调机组对空气的温湿度进行调节后空气沿进气管进入滤罩内，通过滤罩内的滤料对空气进行净化，滤罩呈球形，以此使其内的洁净空气通过均匀分布的气孔朝向各个方向溢出，以此对附近的加工区域进行全方位的覆盖，提升洁净度；且球形过滤器安装于地板上，而非吊顶上，并通过以点成面的形式减少了过滤器的密度，以此减少了人力物力的耗费，降低了安装的成本。

本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：所述支撑架上设置有用于带动滤罩沿高度方向滑动并锁定的升降组件，所述升降组件包括设置于底座上的套筒、滑移穿设于套筒内的套管以及带动套管滑动的驱动部件，所述进气管穿过套管与套筒延伸至地板下且与空调机组连通。

通过采用上述技术方案，驱动部件运作时套筒与套管之间产生相对滑动，以此使滤罩与地板之间的间距发生改变，以此方便调节滤罩的高度，以此根据实际加工设备高度进行调节，当设备高度较高时需要同步提高滤罩的高度以使洁净空气覆盖加工区域，实现无尘加工。

本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：所述套筒顶端边沿上竖直开设有U形槽，且所述驱动部件包括滑移设置于U形槽内的齿条、转动设置于底座上的齿轮、同轴连接于齿轮上的蜗轮、与蜗轮啮合连接的蜗杆以及驱动蜗杆正反转的转动件，所述齿条与套管固定，且所述齿轮与蜗轮之间设置有用于使两者同轴固定的锁定件。

通过采用上述技术方案，球形过滤器的滤罩升高时其覆盖面变广而其洁净度提升效果降低，因此需要根据实际加工设备高度进行调节，当设备高度较高时需要同步提高滤罩的高度以使洁净空气覆盖加工区域，实现无尘加工；而转动件带动蜗杆时带动蜗轮转动，以此带动齿轮转动，以此使齿条传动并推动套管上升，以此方便对滤罩进行高度调节；且蜗轮蜗杆具有自锁功能，以此避免滤罩松动而下降。

本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：所述锁定件包括同轴固定于蜗轮上的锁定盘、同轴固定于齿轮上的锁定轮以及设置于底座上的驱动锁定轮靠近或远离锁定盘的紧迫件，所述锁定盘与锁定轮上均沿自身周向等角度间隔分布有轮齿，当齿轮靠近蜗轮时锁定盘上的轮齿与锁定轮上的轮齿啮合以使两者同轴固定。

通过采用上述技术方案，紧迫件驱动锁定轮靠近锁定盘，当齿轮靠近蜗轮时锁定盘上的轮齿与锁定轮上的轮齿啮合以使两者同轴固定，以此实现蜗轮与齿轮的同步转动，方便转动件带动蜗轮时带动齿轮转动，以此带动滤罩进行高度调节；当转动件故障时，可通过转动螺帽分离锁定轮上的轮齿与锁定盘上的轮齿，以此方便手动调节滤罩的高度，提高适用性。

本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：所述紧迫件包括同轴穿设于蜗轮与齿轮上的转轴、同轴固定于转轴一端的螺柱以及与螺柱螺纹连接的螺帽，所述螺帽的最大直径大于齿轮的内径且其侧壁与齿轮侧壁抵接，所述齿轮的偏心处设置有握柄。

通过采用上述技术方案，当螺帽转动时螺柱与转轴之间供齿轮与蜗轮沿轴向活动的一段长度缩短，以此使齿轮上的锁定轮与蜗轮上的锁定盘抵接，锁定轮上的轮齿与锁定盘上的轮齿啮合，以此实现两者的同轴固定，方便转动件带动蜗轮时带动齿轮转动，以此带动滤罩进行高度调节；且齿轮的偏心处设置有握柄，当转动件故障时，可通过转动螺帽分离锁定轮上的轮齿与锁定盘上的轮齿，以此方便手动调节滤罩的高度，提高适用性。

本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：所述滤罩的底部开设有圆形的进气口，所述进气口边沿上设置有呈圆环状的承接环，所述支撑架顶端开设有与承接环插接配合的环形槽，且支撑架的周侧壁上沿环形槽径向螺纹穿设有螺栓，所述承接环插入环形槽内后螺栓转动时移动至承接环上方且其一端与承接环顶部抵接。

通过采用上述技术方案，承接环与环形槽插接后进气口与进气管连通，以此实现滤罩与空调机组的连通，且螺栓在转动时与下方的承接环抵接，以此限定承接环，实现滤罩与支撑架的可拆卸连接，从而方便滤罩的清理与滤料的更换。

本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：所述螺栓至少有两个且沿承接环周向等角度间隔分布，所述环形槽底壁上设置有与承接环抵接的密封圈，所述承接环的顶部外侧边沿设置有倒角且倒角面向其外侧倾斜朝上。

通过采用上述技术方案，螺栓转动时沿环形槽径向向支撑架内侧移动，以此抵紧与环形槽插接的承接环，而承接环的顶部外侧边沿设置有倒角且倒角面向其外侧倾斜朝上，因此当螺栓继续转动时承接环上的倒角面起到导向作用，以此使承接环下压并与密封圈抵紧，以此减少空气的泄露，提升空气的洁净度。

本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：所述进气管位于地板上方的一段采用波纹管，且波纹管的顶部边沿与支撑架顶端固定，当滤罩与支撑架连接后波纹管与滤罩连通。

通过采用上述技术方案，波纹管具有长度可调的特性，以此方便调节滤罩的高度，避免滤罩调节后发生空气泄漏的情况，且当滤罩与支撑架连接后波纹管与滤罩连通，以此方便拆装滤罩进行清理或更换。

本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：球形过滤器有多台且分布于洁净室内各处，且洁净室内设置有控制多台球形过滤器运作的总控台，所述总控台电连接于各球形过滤器的转动件以控制各球形过滤器的滤罩升降至设定的高度。

通过采用上述技术方案，操作人员可以通过总控台控制洁净室内各台球形过滤器的转动件，以此控制各球形过滤器的滤罩高度，以此根据实际加工设备高度调节球形过滤器的高度，球形过滤器的滤罩升高时其覆盖面变广而其洁净度提升效果降低，因此需要根据实际情况进行调节。

本发明在一较佳示例中可以进一步配置为：洁净室的地板的下方设置有回流腔，所述回流腔内注有水，水的高度低于地板高度，地板上开设有供洁净室内的空气进入回流腔的回流孔，且回流腔的一侧连通有与空调机组连通的回风管。

通过采用上述技术方案，粉尘随洁净室的空气通过回流孔进入回流腔内，且回流腔内注有水，以此吸附空气中的粉尘，避免粉尘扬起而回到洁净室内，且回流腔内的水可以定期更换，以此清理粉尘；回流腔内的空气通过回风管回到空调机组内进行空气循环，从而实现空气的回用。

综上所述，本发明包括以下至少一种有益技术效果：

1.通过滤罩内的滤料对空气进行净化，滤罩呈球形，以此使其内的洁净空气通过均匀分布的气孔朝向各个方向溢出，以此对附近的加工区域进行全方位的覆盖，提升洁净度；且球形过滤器安装于地板上，而非吊顶上，并通过以点成面的形式减少了过滤器的密度，以此减少了人力物力的耗费，降低了安装的成本；

2.当螺帽转动时螺柱与转轴之间供齿轮与蜗轮沿轴向活动的一段长度缩短，以此使齿轮上的锁定轮与蜗轮上的锁定盘抵接，锁定轮上的轮齿与锁定盘上的轮齿啮合，以此实现两者的同轴固定，方便转动件带动蜗轮时带动齿轮转动，以此带动滤罩进行高度调节；且齿轮的偏心处设置有握柄，当转动件故障时，可通过转动螺帽分离锁定轮上的轮齿与锁定盘上的轮齿，以此方便手动调节滤罩的高度，提高适用性；

3.螺栓在转动时与下方的承接环抵接，以此限定承接环，实现滤罩与支撑架的可拆卸连接，从而方便滤罩的清理与滤料的更换；当螺栓继续转动时承接环上的倒角面起到导向作用，以此使承接环下压并与密封圈抵紧，以此减少空气的泄露，提升空气的洁净度。

附图说明

图1是本实施例的整体结构示意图；

图2是球形过滤器的整体结构示意图；

图3是球形过滤器的爆炸结构示意图，主要展示锁定盘；

图4是本实施例的部分结构示意图，主要展示密封圈。

附图标记：1、底座；11、支撑架；111、环形槽；112、密封圈；12、进气管；2、滤罩；22、承接环；23、螺栓；24、空调机组；3、升降组件；31、套筒；311、U形槽；32、套管；4、驱动部件；41、齿条；42、齿轮；421、握柄；43、蜗轮；44、蜗杆；45、转动件；451、伺服电机；5、锁定件；51、锁定盘；52、锁定轮；53、紧迫件；531、螺柱；532、螺帽；6、回流腔；61、回流孔；62、回风管。

具体实施方式

以下结合附图对本发明作进一步详细说明。

实施例一：参照图1，为本发明公开的洁净室立式球形过滤器，包括与洁净室内地板连接的底座1、设置于底座1上的支撑架11、穿设于支撑架11内的进气管12以及设置于支撑架11上的球形滤罩2。底座1呈方形且与地板通过螺钉固定，支撑架11轮廓呈圆柱状，用于支撑滤罩2。进气管12竖直穿过支撑架11且延伸至地板下方，并沿地板下方水平延伸且其穿出室外的一端上连通有空调机组24，以此调节空气的温湿度并驱动空气穿过进气管12进入滤罩2内。

滤罩2与进气管12连通且其内壁上均匀分布有滤料，滤料采用活性炭过滤棉等，以此去除空气中的污染物，滤罩2的球形表面上均匀分布有气孔，气孔连通洁净室空间与进气管12，以此使进气管12输送而至的空气在滤料过滤后自滤罩2上的气孔排入洁净室内，从而提升洁净室内的洁净度。洁净室的地板的下方设置有回流腔6，回流腔6内注有水和空气，水的高度低于地板高度，且地板上开设有供洁净室内的空气进入回流腔6的回流孔61。

回流孔61星散分布于地板上，粉尘随洁净室的空气通过回流孔61进入回流腔6内，且回流腔6内注有水，以此吸附空气中的粉尘，避免粉尘扬起而回到洁净室内，且回流腔6内的水可以定期更换，以此清理粉尘。且回流腔6的一侧连通有与空调机组24连通的回风管62，回流腔6内的空气通过回风管62回到空调机组24内进行空气循环，从而实现空气的回用。

参照图1、图2，支撑架11上设置有用于带动滤罩2沿高度方向滑动并锁定的升降组件3，升降组件3包括设置于底座1上的套筒31、滑移穿设于套筒31内的套管32以及带动套管32滑动的驱动部件4，进气管12穿过套管32与套筒31延伸至地板下且与空调机组24连通。套筒31、套管32均呈圆筒状，且套筒31与底座1通过螺钉固定，套管32外壁与套筒31内壁滑移连接，驱动部件4运作时套筒31与套管32之间产生相对滑动，以此使滤罩2与地板之间的间距发生改变，以此方便调节滤罩2的高度。且进气管12位于套筒31、套管32内的一段采用波纹管，且波纹管的顶部边沿与套管32顶端通过螺钉固定，波纹管具有长度可调的特性，以此方便调节滤罩2的高度，避免滤罩2调节后发生空气泄漏的情况。

参照图2、图3，套筒31顶端边沿上竖直开设有U形槽311，U形槽311连通套筒31的内壁与外壁，且驱动部件4包括滑移设置于U形槽311内的齿条41、设置于底座1上的齿轮42、同轴连接于齿轮42上的蜗轮43、与蜗轮43啮合连接的蜗杆44以及驱动蜗杆44正反转的转动件45。齿条41与套管32焊接固定，且与套管32轴向平行，齿条41与U形槽311滑移连接，以此对套管32起到导向作用，减少套管32的周向偏移。

底座1上焊接固定有穿过齿轮42与蜗轮43的转轴，转轴水平分布，且与齿轮42、蜗轮43转动连接，转动件45采用伺服电机451，伺服电机451与底座1通过螺钉固定，其输出轴与蜗杆44同轴固定。伺服电机451带动蜗杆44转动时带动蜗轮转动，且齿轮42与蜗轮43之间设置有用于使两者同轴固定的锁定件5，当齿轮42与蜗轮43通过锁定件5同轴固定后，蜗轮带动齿轮42转动以带动齿条41升降，从而带动套管32升降，进而方便调节滤罩2的高度。

锁定件5包括同轴固定于蜗轮43上的锁定盘51、同轴固定于齿轮42上的锁定轮52以及设置于底座1上的驱动锁定轮52靠近或远离锁定盘51的紧迫件53。锁定盘51与锁定轮52均呈圆形且直径一致，且锁定盘51与锁定轮52上均沿自身周向等角度间隔分布有轮齿，当齿轮42靠近蜗轮43时锁定盘51上的轮齿与锁定轮52上的轮齿啮合以使两者同轴固定，从而实现蜗轮43到齿轮42的传动，实现滤罩2的升降。且齿轮42的偏心处转动设置有握柄421，握柄421的转动轴线与齿轮42的转动轴线平行，因此当伺服电机451发生故障时，可通过转动螺帽532分离锁定轮52上的轮齿与锁定盘51上的轮齿，以此方便通过握持握柄421手动调节滤罩2的高度，提高适用性。

紧迫件53包括同轴固定于转轴一端的螺柱531以及与螺柱531螺纹连接的螺帽532，螺帽532的最大直径大于齿轮42的内径且其侧壁与齿轮42侧壁抵接，以此限定齿轮42的活动区域。当螺帽532转动时螺柱531与转轴之间供齿轮42与蜗轮43沿轴向活动的一段长度缩短，以此使齿轮42上的锁定轮52与蜗轮43上的锁定盘51抵接，使锁定轮52上的轮齿与锁定盘51上的轮齿啮合，以此实现两者的同轴固定，以此带动滤罩2进行高度调节。

滤罩2可拆卸连接于套管32上且当滤罩2与套管32连接后波纹管与滤罩2连通，以此实现滤罩2与空调机组24的连通，同时方便拆装滤罩2进行清理或更换。滤罩2的底部开设有圆形的进气口（图中未示出），进气口边沿上设置有呈圆环状的承接环22，承接环22沿其宽度方向的截面呈L形且凹陷侧朝向闭环外，套管32顶端开设有与承接环22插接配合的环形槽111，以此实现滤罩2与套管32的插接。

且套管32的周侧壁上沿环形槽111径向螺纹穿设有螺栓23，螺栓23有两个且沿承接环22周向等角度间隔分布，承接环22插入环形槽111内后螺栓23转动时移动至承接环22上方且其一端与承接环22顶部抵接，以此限制承接环22脱离环形槽111，起到锁定滤罩2的效果。而环形槽111底壁上粘接有与承接环22抵接的密封圈112，密封圈112呈圆环状且其中心轴线与环形槽111的中心轴线重合，且承接环22的顶部外侧边沿设置有倒角，此倒角面向其外侧倾斜朝上。当螺栓23继续转动时承接环22上的倒角面起到导向作用，以此使承接环22下压并与密封圈112抵紧，以此减少空气的泄露，提升空气的洁净度。

本实施例的实施原理为：空调机组24对空气的温湿度进行调节后空气沿进气管12进入滤罩2内，通过滤罩2内的滤料对空气进行净化。由于滤罩2呈球形，以此使其内的洁净空气通过均匀分布的气孔朝向各个方向溢出，以此对附近的加工区域进行全方位的覆盖，提升洁净室内的洁净度。且球形过滤器安装于地板上，而非吊顶上，并通过以点成面的形式喷出，以此减少过滤器安装的密度，减少了人力物力的耗费，降低了安装运维的成本。

当某一加工区域的设备高度较高，需要同步提高滤罩2的高度以使洁净空气覆盖加工区域时，操作人员只需启动伺服电机451，伺服电机451带动蜗杆44转动，以此带动蜗轮43转动，以此带动齿轮42转动，以此使齿条41传动并推动套管32上升，方便对滤罩2进行高度调节以适应实际的加工需要。且蜗轮43蜗杆44具有自锁功能，以此避免滤罩2松动而下降。

实施例二：球形过滤器有多台且分布于洁净室内各处，且洁净室内设置有控制多台球形过滤器运作的总控台，总控台电连接于各球形过滤器的伺服电机451以单独控制各球形过滤器的滤罩2升降至设定的高度。当某一加工区域引进高度更高的加工设备时需要通过控制伺服电机451转动以调整该区域球形过滤器的滤罩2高度，以此提升无尘加工的覆盖率。

本实施例的实施原理为：操作人员可以通过总控台控制洁净室内各台球形过滤器的伺服电机451，以此控制各球形过滤器的滤罩2高度，以此根据实际加工设备高度调节球形过滤器的高度，球形过滤器的滤罩2升高时其覆盖面变广而其洁净度提升效果降低，因此当设备较高时需要对应调节伺服电机451正转或反转使得滤罩2升降至高于设备的位置，以此实现无尘加工，提升产品的加工品质。

本具体实施方式的实施例均为本发明的较佳实施例，并非依此限制本发明的保护范围，故：凡依本发明的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.洁净室立式球形过滤器，其特征在于，包括与洁净室内地板连接的底座（1）、设置于底座（1）上的支撑架（11）、穿设于支撑架（11）内的进气管（12）以及设置于支撑架（11）上的球形滤罩（2），所述滤罩（2）与进气管（12）连通且其内壁上均匀分布有滤料，所述进气管（12）上连通有空调机组（24）以调节空气的温湿度并驱动空气穿过进气管（12）进入滤罩（2）内，所述滤罩（2）的球形表面上均匀分布有气孔，空气经滤罩（2）上的滤料过滤净化后自滤罩（2）上的气孔流入洁净室内，所述洁净室内的地板或墙角上设置有与空调机组（24）连通的回风口，用于将洁净室内的空气输回空调机组（24）进行循环。

2.根据权利要求1所述的洁净室立式球形过滤器，其特征在于，所述支撑架（11）上设置有用于带动滤罩（2）沿高度方向滑动并锁定的升降组件（3），所述升降组件（3）包括设置于底座（1）上的套筒（31）、滑移穿设于套筒（31）内的套管（32）以及带动套管（32）滑动的驱动部件（4），所述进气管（12）穿过套管（32）与套筒（31）延伸至地板下且与空调机组（24）连通。

3.根据权利要求2所述的洁净室立式球形过滤器，其特征在于，所述套筒（31）顶端边沿上竖直开设有U形槽（311），且所述驱动部件（4）包括滑移设置于U形槽（311）内的齿条（41）、转动设置于底座（1）上的齿轮（42）、同轴连接于齿轮（42）上的蜗轮（43）、与蜗轮（43）啮合连接的蜗杆（44）以及驱动蜗杆（44）正反转的转动件（45），所述齿条（41）与套管（32）固定，且所述齿轮（42）与蜗轮（43）之间设置有用于使两者同轴固定的锁定件（5）。

4.根据权利要求3所述的洁净室立式球形过滤器，其特征在于，所述锁定件（5）包括同轴固定于蜗轮（43）上的锁定盘（51）、同轴固定于齿轮（42）上的锁定轮（52）以及设置于底座（1）上的驱动锁定轮（52）靠近或远离锁定盘（51）的紧迫件（53），所述锁定盘（51）与锁定轮（52）上均沿自身周向等角度间隔分布有轮齿，当齿轮（42）靠近蜗轮（43）时锁定盘（51）上的轮齿与锁定轮（52）上的轮齿啮合以使两者同轴固定。

5.根据权利要求4所述的洁净室立式球形过滤器，其特征在于，所述紧迫件（53）包括同轴穿设于蜗轮（43）与齿轮（42）上的转轴、同轴固定于转轴一端的螺柱（531）以及与螺柱（531）螺纹连接的螺帽（532），所述螺帽（532）的最大直径大于齿轮（42）的内径且其侧壁与齿轮（42）侧壁抵接，所述齿轮（42）的偏心处设置有握柄（421）。

6.根据权利要求1所述的洁净室立式球形过滤器，其特征在于，所述滤罩（2）的底部开设有圆形的进气口，所述进气口边沿上设置有呈圆环状的承接环（22），所述支撑架（11）顶端开设有与承接环（22）插接配合的环形槽（111），且支撑架（11）的周侧壁上沿环形槽（111）径向螺纹穿设有螺栓（23），所述承接环（22）插入环形槽（111）内后螺栓（23）转动时移动至承接环（22）上方且其一端与承接环（22）顶部抵接。

7.根据权利要求6所述的洁净室立式球形过滤器，其特征在于，所述螺栓（23）至少有两个且沿承接环（22）周向等角度间隔分布，所述环形槽（111）底壁上设置有与承接环（22）抵接的密封圈（112），所述承接环（22）的顶部外侧边沿设置有倒角且倒角面向其外侧倾斜朝上。

8.根据权利要求1所述的洁净室立式球形过滤器，其特征在于，所述进气管（12）位于地板上方的一段采用波纹管，且波纹管的顶部边沿与支撑架（11）顶端固定，当滤罩（2）与支撑架（11）连接后波纹管与滤罩（2）连通。

9.根据权利要求3所述的洁净室立式球形过滤器，其特征在于，球形过滤器有多台且分布于洁净室内各处，且洁净室内设置有控制多台球形过滤器运作的总控台，所述总控台电连接于各球形过滤器的转动件（45）以控制各球形过滤器的滤罩（2）升降至设定的高度。

10.根据权利要求1所述的洁净室立式球形过滤器，其特征在于，洁净室的地板的下方设置有回流腔（6），所述回流腔（6）内注有水，水的高度低于地板高度，地板上开设有供洁净室内的空气进入回流腔（6）的回流孔（61），且回流腔（6）的一侧连通有与空调机组（24）连通的回风管（62）。

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