CN111188014A - 一种蒸发源 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种蒸发源，涉及显示技术领域，包括坩埚，坩埚包括底部和设置于底部周向上的侧壁，底部和侧壁围成一端开口的容置腔；盖体，扣设开口，并与侧壁连接；喷嘴，固定连接于盖体远离容置腔的一侧，并与容置腔连通。本发明实施例通过将喷嘴和盖体固定连接，实现了喷嘴与盖体之间无螺纹结构，避免了蒸发源内蒸发材料的泄露，提升了镀膜工艺的稳定性和成膜的均一性，以及真空镀膜设备的稼动率。

Description

一种蒸发源

技术领域

本发明涉及显示技术领域，更具体地，涉及一种蒸发源。

背景技术

有机电致发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)显示产品具有自主发光、低电压直流驱动、全固化、视角宽、重量轻、组成和工艺简单等一系列的优点，与液晶显示器相比，OLED显示产品不需要背光源，视角大，功率低，其制造成本却低于同等分辨率的液晶显示器，因此，OLED显示产品具有广阔的应用前景。

OLED显示产品生产过程中需要使用真空镀膜设备。真空镀膜设备通过蒸发源盛放和加热蒸发材料，并通过蒸发源盖体上设置的喷嘴将升华或气化的蒸发材料喷出实现膜层的沉积。在生产过程中，蒸发源在频繁的升降温操作过程中，常出现蒸发材料泄露，造成镀膜工艺的稳定性和成膜的均一性较差，影响产品品质，而且蒸发材料泄露后，需要开腔维护，降低了OLED显示产品的生产效率。

发明内容

本发明实施例提供了一种蒸发源，用以解决蒸发源内蒸发材料泄露的问题。

为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种蒸发源，包括：

坩埚，包括底部和设置于底部周向上的侧壁，底部和侧壁围成一端开口的容置腔；

盖体，扣设开口，并与侧壁连接；

喷嘴，固定连接于盖体远离容置腔的一侧，并与容置腔连通。

可选的，喷嘴与盖体焊接连接。

可选的，喷嘴与盖体为一体结构。

可选的，盖体与侧壁焊接连接。

可选的，侧壁上开设有与容置腔连通的加料口，蒸发源还包括用于密封加料口的密封组件。

可选的，加料口位于坩埚高度的二分之一以上位置。

可选的，侧壁上设置有连接耳，连接耳位于加料口的两侧，连接耳上设置锁紧螺孔，密封组件包括固定板和设置于侧壁和固定板之间的密封件，固定板上设置有通孔，固定板通过穿设于通孔的锁紧螺杆与连接耳上的锁紧螺孔固定连接在连接耳上。

可选的，密封件的材料包括铝、铜或银。

可选的，坩埚为透明结构，坩埚的材料包括石英或铝镁尖晶石。

可选的，喷嘴和盖体均与坩埚的材料相同。

本发明实施例提供了一种蒸发源，通过将喷嘴和盖体固定连接，避免了蒸发源内蒸发材料的泄露，提升了镀膜工艺的稳定性和成膜的均一性，以及真空镀膜设备的稼动率。

本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

附图用来提供对本发明技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本发明的技术方案，并不构成对本发明技术方案的限制。

图1为本发明实施例一种蒸发源的主视图；

图2为图1所示蒸发源的右视图；

图3为本发明实施例密封组件结构示意图；

图4为本发明实施例另一种蒸发源的主视图。

附图标记说明

10-坩埚； 11-底部； 12-侧壁；

121-连接部； 1211-固定螺孔 122-固定螺杆；

123-加料口； 124-连接耳； 1241-锁紧螺孔；

20-盖体； 21-固定孔； 30-喷嘴；

40-密封组件； 41-固定板； 42-密封件；

43-锁紧螺杆。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下文中将结合附图对本发明的实施例进行详细说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。

在相关技术中，真空镀膜设备的蒸发源包括坩埚、通过螺杆固定于坩埚上的盖体和螺纹连接于盖体上的喷嘴。坩埚用于盛放和加热蒸发材料，蒸发材料经加热后升华或气化，升华或气化的蒸发材料经喷嘴喷出后，在基板上沉积成膜。此种结构的蒸发源在镀膜过程中，常出现蒸发材料泄露的问题，造成镀膜工艺的稳定性和成膜的均一性较差，并且需要降温开腔维护，降低生产效率。经本申请发明人研究发现，由于喷嘴与盖体的材料和结构不同，在蒸发源频繁的升降温过程中，喷嘴和盖体的热胀冷缩程度不同，造成喷嘴和盖体螺纹连接区域形成缝隙，蒸发材料通过缝隙进入镀膜腔，造成蒸发材料泄露。并且在蒸发材料泄露后，需要对真空镀膜设备维护修理，每次维护和修理需要降温操作，降温一次再次升温整个过程最快也得13小时，所以如何避免蒸发材料泄露发生是提升蒸镀工艺稳定性和提升镀膜设备稼动率的重要措施。

为了解决蒸发源内蒸发材料泄露的问题，本发明实施例提供了一种蒸发源，包括坩埚，包括底部和设置于底部周向上的侧壁，底部和侧壁围成一端开口的容置腔；盖体，扣设开口，并与侧壁连接；喷嘴，固定连接于盖体远离容置腔一侧，并与容置腔连通。

本发明实施例提供的蒸发源，通过将喷嘴和盖体固定连接，防止了蒸发源频繁升降温过程中喷嘴和盖体间形成缝隙，进而避免了蒸发源内蒸发材料的泄露，提升了镀膜工艺的稳定性和成膜的均一性以及真空镀膜设备的稼动率。

下面结合附图具体说明本发明实施例技术方案：

图1为本发明实施例蒸发源的主视图。如图1所示，蒸发源包括：

坩埚10，包括底部11和设置于底部11周向上的侧壁12，底部11和侧壁12围成一端开口的容置腔，容置腔用于盛放蒸发材料，蒸发材料可以为有机材料，坩埚10的结构可以为矩形槽结构，在此不做限定；

盖体20，扣设坩埚10的开口，并与侧壁12连接；

喷嘴30，固定连接于盖体20远离容置腔的一侧，并与坩埚10的容置腔连通，容置腔内升华或气化的蒸发材料可以通过喷嘴30喷出；其中，喷嘴30设置于盖体20的上表面，喷嘴30的数量为多个。

固定连接可以采用但不局限于如下方式：喷嘴30可以与盖体20为一体结构，一体结构成型工艺包括一体烧制工艺或浇铸工艺；喷嘴30也可以焊接于盖体20上，即喷嘴30与盖体20焊接连接。

图2为图1所示蒸发源的右视图。如图2所示，侧壁12的上端向远离容置腔的方向延伸形成连接部121，连接部121表面的周向上设置多个固定螺孔1211，盖体20的表面的周向边缘位置设置多个固定孔21，固定孔21和固定螺孔1211的位置和数量对应，盖体30通过穿设于固定孔21内的固定螺杆122与连接部121上的固定螺孔1211螺接固定在连接部121上。本实施例不改变相关技术中盖体与坩埚的连接结构，可采用原始坩埚，降低真空镀膜设备的改造成本。

本发明实施例提供的蒸发源，通过将喷嘴和盖体固定连接，实现了喷嘴与盖体之间无螺纹结构，防止了蒸发源频繁升降温过程中喷嘴和盖体之间产生缝隙，避免了蒸发源内蒸发材料的泄露，提升了镀膜工艺的稳定性和成膜均一性，以及真空镀膜设备的稼动率。

在相关技术中，盖体上的螺纹在喷嘴频繁的拆卸过程中容易损坏，损坏后可能造成蒸发材料泄露，并且只能更换新的盖体，而且设备作业前为了防止喷嘴紧固不牢造成蒸发材料泄露，需要对喷嘴的紧固情况进行确认，对于大尺寸基板来说，需要更大的蒸发源，喷嘴会更多，喷嘴的紧固确认更加费时和费力，本发明实施例通过将喷嘴和盖体固定连接，不仅避免了盖体螺纹损坏后更换盖体和蒸发材料泄露的问题，增加蒸发源的使用寿命，而且不需要在每次加料后进行喷嘴的紧固确认，简化作业流程。

在生产过程中，需要开盖填充蒸发材料，盖体与坩埚之间需要大量的螺杆固定，例如一个蒸发源上会有30个以上螺杆固定，无论拆装均比较费事，一旦螺杆发生滑丝导致无法拆卸。并且每次作业前，为了防止蒸发材料泄露，需要对螺杆的紧固情况进行确认，同样费时费力。如果拧螺杆时盖体或坩埚螺孔出现问题，又会造成整个蒸发源无法使用。

为了解决上述问题，本发明实施例的侧壁上开设有与容置腔连通的加料口，蒸发源还包括用于密封加料口的密封组件。

如图2所示，侧壁12上开设有与容置腔连通的加料口123，通过加料口123可以向容置腔内填充蒸发材料。坩埚10的侧壁12上设置连接耳124，连接耳124位于加料口123的两侧。侧壁12可以包括依次连接的第一侧壁、第二侧壁、第三侧壁和第四侧壁，第一侧壁和第三侧壁相对，第二侧壁和第四侧壁相对，加料口设置在第二侧壁上，一个连接耳设置于第一侧壁，另一个连接耳设置于第三侧壁。连接耳124上设置锁紧螺孔1241。其中，连接耳124可以焊接在侧壁12上，也可以与坩埚10一体成型。

图3为本发明实施例密封组件结构示意图。如图3所示，密封组件40包括固定板41和设置于固定板41和侧壁之间的密封件42。固定板41上设置多个通孔，固定板41通过穿设于通孔内的锁紧螺杆43和连接耳124上的锁紧螺孔螺接固定在连接耳124上。密封件42可以覆盖整个加料口。密封件可以设置在多个通孔限定的范围内，也可以在密封件与通孔对应的位置设置供锁紧螺杆穿设的穿装孔，在此不做限定。在密封件42固定在固定板41上，固定方式包括粘结和焊接。在本实施例中，密封件42的材料可以采用质软的金属，可选的，密封件的材料包括铝、铜或银。

在本实施例中，加料口可以为一个，也可以为多个。可选的，加料口为两个并相对设置。在相关技术中，真空镀膜设备同一腔室设置两个相对的腔室门，加料口相对设置，并朝向腔室门，有利于蒸发源的坩埚内填充蒸发材料。

在本实施例中，加料口设置于坩埚高度的二分之一以上位置，其中坩埚高度为图2所示的高度h。

本发明实施例通过在侧壁上设置加料口，并通过密封组件密封加料口，在需要向坩埚内填充蒸发材料时，无需拆装盖体和坩埚，避免了螺杆滑丝、螺杆紧固确认费时费力，以及坩埚螺孔出现问题导致坩埚报废等一系列问题的发生。

在本发明实施例中，盖体焊接于坩埚上。图4为本发明实施例另一种蒸发源的主视图。如图4所示，盖体20焊接于坩埚10的侧壁12上，即盖体20与侧壁12焊接连接，其中盖体20焊接于侧壁12的连接部121上。

本发明实施例提供了一种蒸发源，通过将盖体焊接于坩埚上，实现了坩埚与盖体之间无需采用大量螺杆固定，减少人员作业量及螺杆紧固的确认时间，并避免漏检导致的螺杆未紧固造成的蒸发材料泄露问题。

在本发明实施例中，坩埚的材料可以采用钨、钼或钽金属。目前生产确认蒸发源中的蒸发材料情况需打开坩埚进行确认，由于螺杆安装较多，作业费时费力，且需多次确认，将坩埚设置为透明结构，可直接观察蒸发源内部材料分布及颜色情况，减少了工作量，因此，坩埚的材料可以包括石英或铝镁尖晶石。铝镁尖晶石具有良好的耐腐蚀性和热稳定性，是一种透明或半透明材料，被称为“透明金属”。盖体和喷嘴与坩埚的材料可以相同，也可以不同，例如，坩埚、盖体和喷嘴的材料完全相同，均采用石英，或者喷嘴与盖体的材料相同，与坩埚的材料不同，即坩埚采用石英，喷嘴和盖体的材料使用金属钼，在此不一一列举。可选的，盖体和喷嘴与坩埚的材料相同。将盖体和喷嘴透明化，也有利于观察蒸发材料的蒸发状态。

在本发明中的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“一侧”、“另一侧”、“一端”、“另一端”、“边”、“相对”、“四角”、“周边”、“口”字结构”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的结构具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

虽然本发明所揭露的实施方式如上，但所述的内容仅为便于理解本发明而采用的实施方式，并非用以限定本发明。任何本发明所属领域内的技术人员，在不脱离本发明所揭露的精神和范围的前提下，可以在实施的形式及细节上进行任何的修改与变化，但本发明的专利保护范围，仍须以所附的权利要求书所界定为准。

Claims (10)

1.一种蒸发源，其特征在于，包括：

坩埚，包括底部和设置于所述底部周向上的侧壁，所述底部和侧壁围成一端开口的容置腔；

盖体，扣设所述开口，并与所述侧壁连接；

喷嘴，固定连接所述盖体远离容置腔的一侧，并与所述容置腔连通。

2.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于：所述喷嘴与所述盖体焊接连接。

3.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于：所述喷嘴与所述盖体为一体结构。

4.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于：所述盖体与所述侧壁焊接连接。

5.根据权利要求1-4任一项所述的蒸发源，其特征在于：所述侧壁上开设有与所述容置腔连通的加料口，所述蒸发源还包括用于密封所述加料口的密封组件。

6.根据权利要求5所述的蒸发源，其特征在于：所述加料口位于所述坩埚高度的二分之一以上位置。

7.根据权利要求5所述的蒸发源，其特征在于：所述侧壁上设置有连接耳，所述连接耳位于所述加料口的两侧，所述连接耳上设置锁紧螺孔，所述密封组件包括固定板和设置于侧壁和固定板之间的密封件，所述固定板上设置有通孔，所述固定板通过穿设于通孔的锁紧螺杆与连接耳上的锁紧螺孔螺接固定在所述连接耳上。

8.根据权利要求7所述的蒸发源，其特征在于：所述密封件的材料包括铝、铜或银。

9.根据权利要求1-4任一项所述的蒸发源，其特征在于：所述坩埚为透明结构，所述坩埚的材料包括石英或铝镁尖晶石。

10.根据权利要求9所述的蒸发源，其特征在于：所述喷嘴和盖体均与所述坩埚的材料相同。

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